JP6830478B2 - 半導体ウエハ検査のためのイメージング性能を最適化する方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2015年8月28日に出願した米国仮出願第62/211,288号の米国特許法第119(e)による利益を主張する。この米国仮出願第62/211,288号は、全体として本願に引用して援用する。
Claims (19)
- 対象物へ検査光を送達するように構成された光学構成要素と、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルより大きいときに前記光学構成要素を調整する1つ以上のレンズ偏心マニピュレータであり、前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの調整は、前記光学構成要素を通過して向かう前記検査光の焦点面を自動焦点光の焦点面と重なり合うようにシフトさせる、レンズ偏心マニピュレータと、
前記対象物へ送達された前記検査光に少なくとも一部基づいて前記対象物の画像を得るように構成された検出器と、
前記光学構成要素および前記検出器と通信するプロセッサであって、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルを超えるときの閾時間を決定するモデルを生成し、前記閾時間は前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの1つ以上の制御パラメータの測定が生じた後の経過時間であり、
前記閾時間での前記対象物の検査の前に前記光学構成要素の収差が選択された収差レベル内に低減されるように、前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの調整を介して前記光学構成要素を調整し、
前記閾時間での前記対象物の検査の間に、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベル内であるかを決定するために前記1つ以上の制御パラメータを測定し、前記1つ以上の制御パラメータは、時間、パワー、温度、又は圧力の少なくとも1つに基づいており、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルを超えていることを決定した上で、選択された収差レベルを超えている光学構成要素の収差を補償するために前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの調整を介して前記光学構成要素を調整する、
ように構成されたプロセッサと、
を備えることを特徴とする検査システム。 - 請求項1に記載の検査システムであって、前記対象物は、ウエハを含むことを特徴とする検査システム。
- 請求項2に記載の検査システムであって、前記対象物は基準チップをさらに含み、前記基準チップは、前記検出器の視野内に配置されるように構成され、前記検査光が前記ウエハへ送達されるときに、前記ウエハと同一平面上にあるように保持されるように構成されることを特徴とする検査システム。
- 請求項3に記載の検査システムであって、前記プロセッサは、前記検出器によって取得された前記基準チップの前記画像に基づいて前記光学構成要素の前記収差を測定するように構成されていることを特徴とする検査システム。
- 請求項1に記載の検査システムであって、前記プロセッサは、前記光学構成要素の前記収差を時間、パワー、温度、又は圧力の少なくとも1つの関数としてモデル化するようにさらに構成されていることを特徴とする検査システム。
- 請求項5に記載の検査システムであって、前記プロセッサは、時間、パワー、温度、又は圧力の少なくとも1つに基づいて前記閾時間を決定するようにさらに構成されていることを特徴とする検査システム。
- ウエハへ検査光を送達するように構成された光学構成要素と、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルより大きいときに前記光学構成要素を調整する1つ以上のレンズ偏心マニピュレータであり、前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの調整は、前記光学構成要素を通過して向かう前記検査光の焦点面を自動焦点光の焦点面と重なり合うようにシフトさせる、レンズ偏心マニピュレータと、
前記ウエハへ送達された前記検査光に少なくとも一部基づいて前記ウエハの画像を取得するように構成された検出器と、
前記光学構成要素および前記検出器と通信するプロセッサであって、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルを超えるときの閾時間を決定するモデルを生成し、前記閾時間は前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの1つ以上の制御パラメータの測定が生じた後の経過時間であり、
前記閾時間での前記ウエハの検査の前に前記光学構成要素の収差が選択された収差レベル内に低減されるように、前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの調整を介して前記光学構成要素を調整し、
前記閾時間での前記ウエハの検査の間に、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベル内であるかを決定するために前記1つ以上の制御パラメータを測定し、前記1つ以上の制御パラメータは、時間、パワー、温度、又は圧力の少なくとも1つに基づいており、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルを超えていることを決定した上で、選択された収差レベルを超えている光学構成要素の収差を補償するために前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの調整を介して前記光学構成要素を調整する、 ように構成されたプロセッサと
を備えることを特徴とする検査システム。 - 請求項7に記載の検査システムであって、
前記検出器の視野内に配置されるように構成され、前記検査光が前記ウエハへ送達されるときに、前記ウエハと同一平面上にあるように保持されるように構成された基準チップを含むことを特徴とする検査システム。 - 請求項8に記載の検査システムであって、前記検出器は、前記光学構成要素によって送達された前記検査光に少なくとも一部基づいて前記基準チップの画像を取得するようにさらに構成され、前記プロセッサは、前記検出器によって取得された前記基準チップの前記画像に基づいて前記光学構成要素の前記収差を測定するようにさらに構成されることを特徴とする検査システム。
- 請求項7に記載の検査システムであって、前記プロセッサは、前記光学構成要素の前記収差を1つ以上の変数の関数としてモデル化するようにさらに構成されていることを特徴とする検査システム。
- 請求項10に記載の検査システムであって、前記光学構成要素の前記収差は、時間、パワー、温度、または圧力の少なくとも1つの関数としてモデル化されることを特徴とする検査システム。
- 請求項10に記載の検査システムであって、前記プロセッサは、時間、パワー、温度、又は圧力の少なくとも1つに基づいて前記閾時間を決定するようにさらに構成されていることを特徴とする検査システム。
- 検査システムのイメージング性能を調整する方法であって、
光学構成要素を通じて対象物へ検査光を送達するステップであり、前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルより大きいときに前記光学構成要素を調整する1つ以上のレンズ偏心マニピュレータが、前記光学構成要素を通過して向かう前記検査光の焦点面を自動焦点光の焦点面と重なり合うようにシフトさせるように調整すべく構成される、ステップと、
前記対象物へ送達された前記検査光に少なくとも一部基づいて前記対象物の画像を取得するステップと、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルを超えるときの閾時間を決定するモデルを生成するステップであり、前記閾時間は前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの1つ以上の制御パラメータの測定が生じた後の経過時間である、ステップと、
前記閾時間での前記対象物の検査の前に前記光学構成要素の収差が選択された収差レベル内に低減されるように、前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの調整を介して前記光学構成要素を調整するステップと、
前記閾時間での前記対象物の検査の間に、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベル内であるかを決定するために前記1つ以上の制御パラメータを測定するステップであり、前記1つ以上の制御パラメータは、時間、温度、又は圧力に基づいている、ステップと、
前記光学構成要素の収差が選択された収差レベルを超えていることを決定した上で、選択された収差レベルを超えている光学構成要素の収差を補償するために前記1つ以上のレンズ偏心マニピュレータの調整を介して前記光学構成要素を調整する、ステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項13に記載の方法であって、前記対象物は、基準チップを含み、前記光学構成要素の前記収差は、前記基準チップの前記画像に基づいて測定されることを特徴とする方法。
- 請求項13に記載の方法であって、
前記光学構成要素の前記収差を時間、温度、又は圧力の関数としてモデル化するステップをさらに含むことを特徴とする方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
時間、温度、又は圧力に基づいて前記閾時間を決定するステップをさらに含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の検査システムであって、
前記1つ以上の制御パラメータは、時間、温度、及び圧力に基づくことを特徴とする検査システム。 - 請求項7に記載の検査システムであって、
前記1つ以上の制御パラメータは、時間、温度、及び圧力に基づくことを特徴とする検査システム。 - 請求項13に記載の方法であって、
前記1つ以上の制御パラメータは、時間、温度、及び圧力に基づくことを特徴とする方法。
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