JP6824029B2 - 防着筒及びこれを備えた基板処理装置 - Google Patents
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Description
円筒状の胴部を有する処理チャンバと、処理チャンバ内にプラズマを生成するプラズマ生成機構とを備えた基板処理装置の前記胴部内に配設される略円筒状の防着筒であって、
所定の厚みを有する板状の弾性部材からなり、
筒軸方向の全長に亘ってスリットが形成され、自然状態での最大外径が前記胴部の内径より大径であり、最大外径が前記胴部の内径よりも小径となるように弾性変形可能な筒状本体と、
前記筒状本体における前記スリットを挟む2つの端部の内の一方端部から他方端部側に向けて連続して形成され、前記スリットを覆うオーバーラップ部とを有している防着筒に係る。
2 処理チャンバ
3 プラズマ生成空間
4 処理空間
5 胴部
6 底板
7 天板
8 凸部材
9 防着板
10 防着筒
11 筒状本体
12 スリット
13 オーバーラップ部
20 処理ガス供給機構
25 コイル
30 コイル電力供給機構
35 基台
40 基台電力供給機構
Claims (11)
- 円筒状の胴部を有する処理チャンバと、処理チャンバ内にプラズマを生成するプラズマ生成機構とを備えた基板処理装置の前記胴部内に配設される略円筒状の防着筒であって、
所定の厚みを有する板状の弾性部材からなり、
筒軸方向の全長に亘ってスリットが形成され、自然状態での最大外径が前記胴部の内径より大径であり、最大外径が前記胴部の内径よりも小径となるように弾性変形可能な筒状本体と、
前記筒状本体における前記スリットを挟む2つの端部の内の一方端部から他方端部側に向けて連続して形成され、前記スリットを覆うオーバーラップ部とを有していることを特徴とする防着筒。 - 前記オーバーラップ部は、前記一方端部から前記他方端部側に向けて連続して前記筒状本体の内周面側又は外周面側に形成されていることを特徴とする請求項1記載の防着筒。
- 前記防着筒は、前記基板処理装置の前記胴部内であって、前記処理チャンバ内にプラズマを生成させるためのコイルから離れた位置に配設されることを特徴とする請求項1又は2記載の防着筒。
- 前記防着筒は、前記筒状本体の外周面と前記胴部の内周面とが対向するように該胴部内に配設された状態で、前記筒状本体の外周面が前記胴部の内周面に押し当てられるとともに、前記オーバーラップ部が前記スリットを覆った状態で、該オーバーラップ部が前記筒状本体の他方端部に当接しないことを特徴とする請求項1乃至3記載のいずれかの防着筒。
- 前記オーバーラップ部は、前記筒状本体の一方端部が、前記筒状本体の内側に折れ曲がり、更に前記他方端部と略平行となるように折れ曲って形成されていることを特徴とする請求項1乃至4記載のいずれかの防着筒。
- 前記自然状態でのスリットの幅は、前記2つの端部が周方向において当接するように弾性変形した状態での最大外径が前記胴部の内径よりも小径となる幅であることを特徴とする請求項1乃至5記載のいずれかの防着筒。
- 前記筒状本体は、筒軸を挟んで前記スリットと対向する部分における外周面の曲率が前記胴部の内周面の曲率よりも小さく、前記スリットの周辺部分における外周面の曲率が前記スリットと対向する部分における外周面の曲率よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至6記載のいずれかの防着筒。
- 前記スリットを挟む2つの端部における、周方向において対向するそれぞれの端面は、前記筒状本体の上端から下端にかけて連続した1つの平面であることを特徴とする請求項1乃至7記載のいずれかの防着筒。
- 前記胴部の内径をdとして、
前記弾性部材の厚みtは、0.001d〜0.01dであり、
前記自然状態でのスリットの幅Snは、0.05d〜0.5dであり、
前記自然状態での最大外径Dnは、1.05d〜1.5dであることを特徴とする請求項1乃至8記載のいずれかの防着筒。 - 前記胴部の内径をdとして、
前記弾性部材の厚みtは、0.001d〜0.01dであり、
前記自然状態でのスリットの幅Snは、0.05d〜0.3dであり、
前記自然状態での最大外径Dnは、1.05d〜1.3dであることを特徴とする請求項1乃至9記載のいずれかの防着筒。 - 円筒状の胴部を有する処理チャンバと、処理チャンバ内にプラズマを生成するプラズマ生成機構とを備え、該処理チャンバ内に配設された基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
請求項1乃至10のいずれか1項に記載の防着筒を更に備えており、
前記防着筒は、前記筒状本体の外周面と前記胴部の内周面とが対向した状態で、該胴部内に配設されていることを特徴とする基板処理装置。
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JP2016252500A JP6824029B2 (ja) | 2016-12-27 | 2016-12-27 | 防着筒及びこれを備えた基板処理装置 |
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