JP6801829B1 - レジスト材料及びパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
具体的に、本発明は、以下の構成を有する。
[2] ポリマーは、下記一般式(102)で表される構造に由来する単位をさらに含む[1]に記載のレジスト材料;
[3] ポリマーは、下記一般式(103)で表される構造に由来する単位をさらに含む[1]又は[2]に記載のレジスト材料;
[4] 一般式(101)において、R2はフッ素原子、塩素原子又は臭素原子である[1]〜[3]のいずれかに記載のレジスト材料。
[5] 一般式(101)において、R11は水素原子である[1]〜[4]のいずれかに記載のレジスト材料。
[6] 一般式(102)において、R3はフッ素原子、塩素原子又は臭素原子である[2]〜[5]のいずれかに記載のレジスト材料。
[7] [1]〜[6]のいずれかに記載のレジスト材料から形成されるレジスト膜。
[8] [1]〜[6]のいずれかに記載のレジスト材料を基板上に塗布し、レジスト膜を形成する工程と、
露光工程と、
現像工程と、を含むパターン形成方法。
[9] 現像工程の前に金属導入工程をさらに含む、[8]に記載のパターン形成方法。
[10] 露光工程では、波長が15nm以下の電磁波をレジスト膜に照射する、[8]又は[9]に記載のパターン形成方法。
[11] 現像工程で使用される現像液は、エステル系化合物、ケトン系化合物及びアルコール系化合物からなる群から選択される少なくとも1種を含む、[8]〜[10]のいずれかに記載のパターン形成方法。
本発明は、下記一般式(101)で表される構造に由来する単位を含むポリマーを含有するレジスト材料に関する。
本発明のレジスト材料は下記一般式(101)で表される構造に由来する単位を含むポリマーを含有する。すなわち、ポリマーは、糖誘導体に由来する単位を含むものであることが好ましい。なお、本明細書において、「単位」はポリマーの主鎖を構成する繰り返し単位(モノマー単位)である。但し、1つの糖誘導体に由来する単位の側鎖にさらに糖誘導体に由来する単位を含む場合もあり、この場合、側鎖のポリマーを構成する繰り返し単位(モノマー単位)も本明細書でいう「単位」に相当する。
一般式(101)で表される構造に由来する単位の含有率(質量%)=一般式(101)で表される構造に由来する単位の質量×一般式(101)で表される構造に由来する単位(モノマー)数/ポリマーの重量平均分子量
溶解度(質量%)=ポリマーの質量/(ポリマーの質量+有機溶剤の質量)×100
ポリマーの合成は、リビングラジカル重合やリビングアニオン重合、原子移動ラジカル重合といった公知の重合法で行うことができる。例えばリビングラジカル重合の場合、AIBN(α、α’−アゾビスイソブチロニトリル)といった重合開始剤を用い、モノマーと反応させることによってコポリマーを得ることができる。リビングアニオン重合の場合、塩化リチウムの存在下でブチルリチウムとモノマーを反応させることによってポリマーを得ることができる。なお、本実施例において、ポリマーの合成例を示しているが、本実施形態はそれに限られるものではなく、上記各合成法や公知の合成法によって適宜合成することができる。例えば、国際公開WO99/062964等に記載されている方法を利用することができる。
セルロースについては、例えば特開2014−148629号公報に開示されている方法で抽出することができる。
ラジカル重合は開始剤を添加して熱反応や光反応で2個のフリーラジカルを生じさせることで起こる重合反応である。モノマー(例えばスチレンモノマーとキシロオリゴ糖の末端のβ−1位にメタクリル酸を付加した糖メタクリレート化合物)と開始剤(例えばアゾビスブチロニトリル(AIBN)のようなアゾ化合物)を150℃で加熱することでポリスチレン−ポリ糖メタクリレートランダムコポリマーを合成することができる。
RAFT重合は、チオカルボニルチオ基を利用した交換連鎖反応を伴う、ラジカル開始重合反応である。例えばキシロオリゴ糖の末端1位についたOH基をチオカルボニルチオ基に変換し、その後スチレンモノマーを30℃以上100℃以下で反応させてコポリマーを合成する、という手法を取ることができる(Material Matters vol.5, No.1 最新高分子合成 シグマアルドリッチジャパン株式会社)。
ATRP重合は、糖の末端OH基をハロゲン化し、金属錯体[(CuCl、CuCl2、CuBr、CuBr2もしくはCuI等)+TPMA(tris(2−pyridylmethyl)amine)]、MeTREN(tris[2−(dimethylamino)ethyl]amine)など)、モノマー(例えばスチレンモノマー)、及び、重合開始剤(2,2,5−トリメチル−3−(1−フェニルエトキシ)−4−フェニル−3−アザヘキサン)を反応させることにより、糖コポリマー(例えば糖−スチレンブロックコポリマー)を合成することができる。
NMP重合は、アルコキシアミン誘導体を開始剤として加熱することで、モノマー分子とカップリングと反応を起こしニトロキシドを生じさせる。その後、熱解離によりラジカルが生じることでポリマー化反応が進む。このようなNMP重合は、リビングラジカル重合反応の一種である。モノマー(例えばスチレンモノマーとキシロオリゴ糖の末端のβ−1位にメタクリル酸を付加した糖メタクリレート化合物)とを混合し、2,2,6,6−tetramethylpiperidine 1−oxyl(TEMPO)を開始剤とし、140℃で加熱することでポリスチレン−ポリ糖メタクリレートランダムコポリマーを合成することができる。
クリック反応は、プロパルギル基をもつ糖とCu触媒を用いた1,3−双極アジド/アルキン環化付加反応である。
本発明のレジスト材料は、さらに有機溶剤を含むものであってもよい。但し、レジスト材料は、有機溶剤に加えて、さらに水や各種水溶液などの水系溶媒を含んでいてもよい。有機溶剤としては、例えば、アルコール系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、含硫黄系溶媒、アミド系溶媒、エステル系溶媒、炭化水素系溶媒等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明のレジスト材料は、後述するような任意成分を含むものであってもよい。
本発明のレジスト材料は、ポリマーに加えてさらにポリマーを構成するモノマー成分を含んでいてもよい。モノマー成分としては、例えば、上述した、一般式(101)で表される化合物、一般式(102)及び/又は(103)で表される化合物が挙げられる。
本発明のレジスト材料はさらに架橋性化合物を含んでもよい。この架橋反応により、形成されたレジスト膜は強固になり、エッチング耐性を高めることができる。また、架橋性化合物が添加された場合、電磁波を照射することで、露光部のポリマーの架橋反応を促進させ、不溶化させることもできる。この場合、適切な現像液で処理することで、未露光部分のレジスト膜(レジスト材料)が除去されることになる。
レジスト材料には架橋反応を促進するための触媒として、p−トルエンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、ピリジニウム−p−トルエンスルホン酸、サリチル酸、スルホサリチル酸、クエン酸、安息香酸、ドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウム、ヒドロキシ安息香酸等の酸化合物を添加することができる。また、触媒として、2,4,4,6−テトラブロモシクロヘキサジエノン、ベンゾイントシラート、2−ニトロベンジルトシラート、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート、フェニル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、ベンゾイントシレート、N−ヒドロキシスクシンイミドトリフルオロメタンスルホネート等の酸発生剤を添加することができる。
本発明のレジスト材料はさらに光反射防止剤を含んでもよい。光反射防止剤としては、例えば、吸光性を有する化合物を挙げることができる。吸光性を有する化合物としては、光反射防止膜の上に設けられるフォトレジスト中の感光成分の感光特性波長領域における光に対して高い吸収能を有するものを挙げることができ、例えば、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アゾ化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、アントラキノン化合物、トリアジン化合物等が挙げられる。ポリマーとしては、ポリエステル、ポリイミド、ポリスチレン、ノボラック樹脂、ポリアセタール、アクリルポリマー等を挙げることができる。化学結合により連結した吸光性基を有するポリマーとしては、アントラセン環、ナフタレン環、ベンゼン環、キノリン環、キノキサリン環、チアゾール環といった吸光性芳香環構造を有するポリマー等を挙げることができる。
レジスト材料は、イオン液体や界面活性剤等をさらに含んでもよい。レジスト材料にイオン液体を含有させることで、ポリマーと有機溶剤との相溶性を高めることができる。
レジスト材料に界面活性剤を含有させることで、レジスト材料の基板への塗布性を向上させることができる。好ましい界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びシリコン系界面活性剤が挙げられる。
その他、既知のレオロジー調整剤や、接着補助剤、酸発生剤や、増感剤、消光剤など任意の材料をレジスト材料に含めてもよい。
本発明は、上述したレジスト材料から形成されたレジスト膜に関するものであってもよい。レジスト膜は、基板等にパターンを形成する際に使用されるものであって、基板にエッチング処理を施す際の保護膜として機能し得る膜である。なお、レジスト膜には、パターンを形成する前の層状の膜も、パターン形成後の間欠膜も含まれる。
本発明は、上述したレジスト材料を用いたパターン形成方法に関するものでもある。具体的には、パターン形成方法は、上述したレジスト材料を基板上に塗布し、レジスト膜を形成する工程と、露光工程と、現像工程と、を含むことが好ましい。
(アセチル糖メタクリレート1の合成)
キシロース20gを、無水酢酸250gと酢酸320gの混合溶液へ添加し、30℃で2時間攪拌した。溶液のおよそ5倍量の冷水を攪拌しながらゆっくりと加え、2時間攪拌したのちに1晩静置し、結晶を析出させ、アセチル糖25gを得た。フラスコ中でTHF400mLにエチレンジアミン1.2gと酢酸0.14gを加えて0℃にした溶液に、アセチル糖10gを加え、4時間攪拌した。これを冷水1Lに注入し、ジクロロメタンで2回抽出した。この抽出物20g、ジクロロメタン300mL及びトリエチルアミン4.8gをフラスコに入れ、−30℃に冷却した。塩化メタクリロイル2.8gを加えて2時間攪拌した。これを冷水300mLに注入し、ジクロロメタンで2回抽出し、溶媒を濃縮することにより、アセチル糖メタクリレート1を16.1g得た。得られたアセチル糖メタクリレート1の構造は以下のとおりである。
アセチル糖メタクリレート1 14.8gと2−クロロアクリル酸メチル(東京化成社製)60gを溶媒として、THF 100g、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.5gをフラスコに入れた後、フラスコを密閉し、窒素置換した。窒素雰囲気下、78℃に昇温し6時間撹拌した。その後、室温に戻し、フラスコ内を大気下とし、得られた溶液にメタノール300gを滴下し、重合物を析出させた。その後、析出した重合物を含む溶液を吸引ろ過し、白色のコポリマー1 10gを得た。得られたコポリマー1の各構成単位の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖メタクリレート1-クロロアクリル酸メチル-スチレンランダムコポリマーの合成)
アセチル糖メタクリレート1 11.4gと2−クロロアクリル酸メチル(東京化成社製)4.0g、スチレン(東京化成社製)4.6gを溶媒として、THF100g、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.8gをフラスコに入れた後、フラスコを密閉し、窒素置換した。窒素雰囲気下、78℃に昇温し6.0時間撹拌した。その後、室温に戻し、フラスコを大気下とし、得られた溶液にメタノール300gを滴下し、重合物を析出させた。その後、析出した重合物を含む溶液を吸引ろ過し、白色のコポリマー2 11gを得た。得られたコポリマー2の各構成単位の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖メタクリレート1-クロロアクリル酸メチル-メタクリル酸ベンジルランダムコポリマーの合成)
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 の添加量を12.5gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を4.3gに変更し、さらにスチレン 4.6gをメタクリル酸ベンジル(東京化成社製)3.2gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー3 10.4gを得た。得られたコポリマー3の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖メタクリレート1-クロロアクリル酸メチル-α-メチルスチレンランダムコポリマーの合成)
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 の添加量を12.4gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を4.2gに変更し、さらにスチレン4.6gをα−メチルスチレン 3.6gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー4 12gを得た。得られたコポリマー4の各構成単位の構造は以下のとおりである。
(糖メタクリレートの合成)
キシロース33gを水150mLに溶かし、炭酸水素アンモニウム(和光純薬工業社製)を28.5gずつ24時間ごとに4回加え、37℃で96時間攪拌した。その後、蒸留水200mLを加え、20mLになるまで水を留去した後、150mLの水を加え、10mLになるまで濃縮した。これをアンモニア臭が消失するまで繰り返し、凍結乾燥後、白色固体を得た。この物質を1x10−3MのKOH水溶液50mLに溶解させ、2−イソシアネートエチルメタクリレート(和光純薬工業社製)を10.4g加え、3℃に保ったまま12時間激しく撹拌した。析出した白色固体を除去したのち、ろ液を50mLのジエチルエーテルを用いて4回洗浄し、凍結乾燥を行った。この後、得られた白色固体を水2mL、メタノール10mLの混合溶液に溶解させ、アセトン200mLの混合溶液に滴下し冷却した。その後、フィルター濾過し減圧乾燥することにより、糖メタクリレート 25gを得た。糖メタクリレートの構造は以下のとおりである。
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 11.4gを糖メタクリレート7.8gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を6.2gに変更し、さらにスチレン4.6gをα−メチルスチレン3.2gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー5 10.0gを得た。得られたコポリマー5の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖メタクリレート2の合成)
糖メタクリレート10gに、無水酢酸120gを2時間反応させた。その後、33質量%の酢酸マグネシウム溶液で反応を停止させ、純水を加えて結晶を析出させることにより、アセチル糖メタクリレート2を得た。得られたアセチル糖メタクリレート2の構造は以下のとおりである。
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 11.4gをアセチル糖メタクリレート2 12.2gに変更し、スチレン4.6gをα−メチルスチレン3.2gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー6 11.5gを得た。得られたコポリマー6の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖メタクリレート1−アクリル酸メチル−α−メチルスチレンランダムコポリマーの合成)
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1の添加量を13.0gに変更し、クロロアクリル酸メチル4.0gをアクリル酸メチル3.2gに変更し、さらにスチレン4.6gをα−メチルスチレン3.8gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー7 12.0gを得た。得られたコポリマー7の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチルキシロオリゴ糖メタクリレートの合成)
アセチル糖メタクリレート1の合成にて、キシロース20gをキシロオリゴ糖(平均糖鎖長3)55gに変更した以外は同様の方法にて合成を行い、アセチルキシロオリゴ糖メタクリレート 30.0gを得た。得られたアセチルキシロオリゴ糖メタクリレートは以下のとおりである。
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 11.4gをアセチルキシロオリゴ糖メタクリレート 8.4gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を5.2gに変更し、スチレン4.6gをα−メチルスチレン6.4gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー8 8.8gを得た。得られたコポリマー8の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖クロロアクリレート)
アセチル糖メタクリレート1の合成にて、塩化メタクリロイルを2−クロロアクリル酸クロリド(1Click Chemistry Stock Products社製)に変更して合成を行い、アセチル糖クロロアクリレート20gを得た。得られたアセチル糖クロロアクリレートの構造は以下のとおりである。
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 11.4gをアセチル糖クロロアクリレート14.1gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を4.1gに変更し、スチレン4.6gをα−メチルスチレン3.5gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー9 11.2gを得た。得られたコポリマー9の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖メタクリレート1−クロロアクリル酸メチル−3,5−ビス(トリフルオロメチル)スチレンランダムコポリマーの合成)
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1の添加量を10.0gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を3.5gに変更し、スチレン4.6gを3,5−ビス(トリフルオロメチル)スチレン(東京化成社製)7.0gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー10 10.1gを得た。得られたコポリマー10の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖メタクリレート3の合成)
アセチル糖メタクリレート1の合成にて、キシロース20gをグルコース21g(東京化成社製)に変更した以外は同様の方法にて合成を行い、アセチル糖メタクリレート3 22.0gを得た。得られたアセチル糖メタクリレート3は以下のとおりである。
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 11.41gをアセチル糖メタクリレート3 15.0gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を2.5gに変更し、さらにスチレン4.6gをα−メチルスチレン2.5gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー11 8.5gを得た。得られたコポリマー11の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖スチレンの合成)
アセチル糖メタクリレート1の合成と同様にしてアセチル糖を合成した。次いで、4−ビニルフェノール10.8g(90mmol)、アセチル糖32.2g(32mmol)及び塩化亜鉛0.5gをかきまぜながらシリコン油浴中で160℃で、30分加熱した。融解混合物を約60℃に冷却し、ベンゼン200mLに溶かした。この溶液を水で2回洗浄し、次いで水相がほぼ無色になるまで1M水酸化ナトリウムで洗浄した。続いて水で2回洗った後乾燥し、減圧濃縮することにより、アセチル糖スチレン26.5gを得た。得られたアセチル糖スチレンの構造は以下のとおりである。
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 11.4gをアセチル糖スチレン8.6gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を5.7gに変更し、さらにスチレン4.6gをα−メチルスチレン5.6gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー12 13.1gを得た。得られたコポリマー12の各構成の構造は以下のとおりである。
(アセチル糖メタクリレート1−クロロアクリル酸メチル−α―メチルスチレンランダムコポリマーの合成)
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 の添加量を16.3gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量1.9gに変更し、スチレン4.6gをα-メチルスチレン1.9gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー13 10.1gを得た。得られたコポリマー13の各構成の構造は以下のとおりである。
(クロロアクリル酸メチル−α−メチルスチレンランダムコポリマーの合成)
コポリマー1の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 14.8gをα−メチルスチレン10.1gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を9.9gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー14 13.1gを得た。得られたコポリマー14の各構成の構造は以下のとおりである。
(クロロアクリル酸メチル-メタクリル酸ベンジルランダムコポリマーの合成)
コポリマー1の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 14.8gをメタクリル酸ベンジル8.1gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を11.9gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー15 10.1gを得た。得られたコポリマー15の各構成の構造は以下のとおりである。
(1−メタクリル酸アダマンチル−クロロアクリル酸メチル−メタクリル酸ベンジルランダムコポリマーの合成)
コポリマー2の合成にて、アセチル糖メタクリレート1 12.1gをメタクリル酸1−アダマンチル(東京化成社製)10.0gに変更し、クロロアクリル酸メチルの添加量を5.4gに変更し、α−メチルスチレンの添加量を3.6gから4.6gに変更した以外は同様の方法にてコポリマー16を得た。得られたコポリマー16の各構成の構造は以下のとおりである。
<重量平均分子量>
コポリマーの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラム(GPC)法にて測定した。
GPCカラム:Shodex K−806M/K−802連結カラム(昭和電工社製)
カラム温度:40℃
移動層:クロロホルム
検出器:RI
すべて重合が終了してから、GPC法で重合度を確認することにより、狙いの重合度、平均分子量のランダムコポリマーができていることを確認した。なお、各コポリマーの重量平均分子量Mwは50,000であった。
1H−NMRにより、コポリマーの単位(a)と単位(b):単位(c)の比率(モル比)を求めて、算出した。モル比とは、コポリマー中に存在する各単位の個数の比率を示す。
合成したコポリマーを秤量し、23℃のアニソール(東京化成社製)に2.5質量%になるように溶解させ、目視で溶解性を確認し、以下基準で評価した。
○:溶液が透明であり、白濁や沈殿はない
△:溶液が白濁しているが、沈殿はない
×:溶液中に沈殿がみられる
合成したコポリマーを秤量し、23℃のアニソール(東京化成社製)に3.0質量%になるように溶解させた。この溶液を、シリコンウエハー上に膜厚100nmになるようにスピンコートし、ホットプレートにて180℃で2分間加熱し、焼成した。焼成後のシリコンウエハーに電子ビーム描画装置ELS−F125(エリオニクス社製)を用いて加速電圧50kV、電流500pA(波長0.0053nm)の条件で電子線照射をし、潜像を描画した。その後、下記に示した工程を行い感度、解像度評価用サンプルを作製し、感度と解像度の評価を行った。
ドーズ量をそれぞれ60μC/cm2、160μC/cm2、260μC/cm2とし、レジスト膜上に線幅100nmであり、ライン:スペース比が1:1のラインアンドスペースの潜像を描画した。描画後のシリコンウエハーを23℃の酢酸ペンチル(東京化成社製)に浸漬し現像を行った。現像後、窒素ブローにて乾燥させることで、感度評価用サンプルを作製した。
ラインアンドスペース部の表面及び断面について、走査型電子顕微鏡(SEM)JSM7800F(日本電子製)を用いて、加速電圧5kV、エミッション電流86.0μA、倍率100,000倍の条件で観察し、感度を確認した。状態については、下記の評価基準で評価を行った。なお、160μC/cm2以下のドーズ量にてラインアンドスペースのパターンが現像されていた場合を感度が良好であると評価した。
○:ラインアンドスペースのパターンが現像されている
×:ラインアンドスペースのパターンが現像されていない
ドーズ量を200μC/cm2として、レジスト膜上に線幅20nm、50nm、100nm、ライン:スペース比が1:1のラインアンドスペースの潜像を描画した。描画後のシリコンウエハーを23℃の酢酸ペンチル(東京化成社製)に浸漬し現像を行った。現像後、窒素ブローにて乾燥させることで、解像度評価用サンプルを作製した。
次いで、ラインアンドスペース部の表面及び断面について、走査型電子顕微鏡(SEM)JSM7800F(日本電子製)を用いて、加速電圧5kV、エミッション電流86.0μA、倍率100,000倍で観察し、解像度を確認した。状態については、下記の評価基準で評価を行った。なお、線幅50nm以下のラインアンドスペースにおいてラインパターンが直線状であり、かつスペース部のレジスト膜由来の残留物がない状態を、解像度が良好であると評価した。
○:ラインアンドスペースのラインパターンが直線状であり、かつスペース部のレジスト膜由来の残留物がない
×:ラインアンドスペースのラインパターンが直線状ではないか(蛇行しており)、もしくはスペース部にレジスト膜由来の残留物がある、もしくはラインパターンが確認できない
40 レジスト膜
Claims (9)
- 下記一般式(101)で表される構造に由来する単位と、下記一般式(102)で表される構造に由来する単位とを含むポリマーを含有するレジスト材料;
- 前記ポリマーは、下記一般式(103)で表される構造に由来する単位をさらに含む請求項1に記載のレジスト材料;
- 前記一般式(101)において、R2はフッ素原子、塩素原子又は臭素原子である請求項1又は2に記載のレジスト材料。
- 前記一般式(101)において、R11は水素原子である請求項1〜3のいずれか1項に記載のレジスト材料。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のレジスト材料から形成されるレジスト膜。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のレジスト材料を基板上に塗布し、レジスト膜を形成する工程と、
露光工程と、
現像工程と、を含むパターン形成方法。 - 前記現像工程の前に金属導入工程をさらに含む、請求項6に記載のパターン形成方法。
- 前記露光工程では、波長が15nm以下の電磁波を前記レジスト膜に照射する、請求項6又は7に記載のパターン形成方法。
- 前記現像工程で使用される現像液は、エステル系化合物、ケトン系化合物及びアルコール系化合物からなる群から選択される少なくとも1種を含む、請求項6〜8のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019123878 | 2019-07-02 | ||
JP2019123878 | 2019-07-02 | ||
PCT/JP2020/025632 WO2021002350A1 (ja) | 2019-07-02 | 2020-06-30 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020190167A Division JP6825741B1 (ja) | 2019-07-02 | 2020-11-16 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6801829B1 true JP6801829B1 (ja) | 2020-12-16 |
JPWO2021002350A1 JPWO2021002350A1 (ja) | 2021-09-13 |
Family
ID=73740970
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020545617A Active JP6801829B1 (ja) | 2019-07-02 | 2020-06-30 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220373886A1 (ja) |
JP (1) | JP6801829B1 (ja) |
KR (1) | KR20220031019A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1539550A (zh) * | 2003-11-03 | 2004-10-27 | 浙江大学 | 一种高效聚合物分离膜亲水化改性的方法 |
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JP2013145255A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | パターン形成方法及びレジスト組成物 |
WO2017199521A1 (ja) * | 2016-05-20 | 2017-11-23 | 王子ホールディングス株式会社 | パターン形成用自己組織化組成物及びパターン形成方法 |
WO2019012716A1 (ja) * | 2017-07-13 | 2019-01-17 | 王子ホールディングス株式会社 | 下層膜形成組成物、パターン形成方法及びパターン形成下層膜形成用コポリマー |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60117243A (ja) | 1983-11-30 | 1985-06-24 | Fujitsu Ltd | パタ−ン形成方法 |
JPH083636B2 (ja) | 1986-11-29 | 1996-01-17 | 富士通株式会社 | 電子線ポジレジスト |
JP3568599B2 (ja) | 1993-12-28 | 2004-09-22 | 富士通株式会社 | 放射線感光材料及びパターン形成方法 |
KR20010052543A (ko) | 1998-06-04 | 2001-06-25 | 나까노 가쯔히꼬 | 정제 α- 클로로아크릴산메틸·α-메틸스티렌 공중합체 및이것을 함유하는 전자선 레지스트 조성물 |
-
2020
- 2020-06-30 KR KR1020227001577A patent/KR20220031019A/ko unknown
- 2020-06-30 JP JP2020545617A patent/JP6801829B1/ja active Active
- 2020-06-30 US US17/623,995 patent/US20220373886A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013145255A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | パターン形成方法及びレジスト組成物 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2021002350A1 (ja) | 2021-09-13 |
KR20220031019A (ko) | 2022-03-11 |
US20220373886A1 (en) | 2022-11-24 |
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