JP6796812B2 - ガラスパネルユニットの製造方法、およびガラス窓の製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、ガラスパネルユニットの製造方法、およびガラス窓の製造方法に関する。

一対のガラス板の間に、減圧状態の内部空間が形成されたガラスパネルユニットが、従来知られている。減圧状態の内部空間には、一対のガラス板の間の距離を維持するために、複数のピラー（スペーサ）が配置される。

この種のガラスパネルユニットにおいて、一対のガラス板のうち一方のガラス板の内面に低放射膜を設けてもよいことが、特許文献１等に記載されている。

多様な種類のガラス板に対して、低放射膜を有するガラス板を重ねてガラスパネルユニットを製造するときに、前者のガラス板の種類に応じて、製造工程（装置）を変更することが必要となる場合がある。

たとえば、網入りガラスに対して、低放射膜を有するガラス板を重ねてガラスパネルユニットを製造する場合に、以下のような問題が生じるおそれがある。すなわち、網入りガラスの上に複数のピラーが配置されていると、各ピラーの配置を画像処理で検査する際に、各ピラーと網が重なって検査の邪魔になる場合がある。

これを避けるため、網と重ならないように各ピラーを配置するには、網入りガラスの種類に応じてピラーの配置形態を変更する必要が生じ、製造工程（装置）の共通化が困難となる。

日本国公開特許公報２００２−２５５５９４号

本開示は、共通の工程を用いて、多様な種類のガラス板と、低放射膜を有するガラス板が重なった構造のガラスパネルユニットを製造すること、およびこのガラスパネルユニットを用いたガラス窓を製造することを、目的とする。

本開示の一態様に係るガラスパネルユニットの製造方法は、配置工程、接合工程、減圧工程、および封止工程を備える。前記配置工程は、第一基板に複数のピラーを配置する工程である。前記接合工程は、前記複数のピラーを囲む枠状のシール材を介して、前記第一基板と前記第一基板に対向する第二基板を気密に接合することで、前記第一基板と前記第二基板の間に、前記シール材に囲まれた内部空間を形成する工程である。前記減圧工程は、前記内部空間を減圧する工程である。前記封止工程は、前記内部空間を、減圧状態で封止する工程である。前記第一基板は、第一ガラス板と、前記第一ガラス板上に位置する低放射膜を含み、前記配置工程では、前記低放射膜に前記複数のピラーを配置する。

本開示の一態様に係るガラス窓の製造方法は、前記ガラスパネルユニットを、窓枠に嵌め込む嵌め込み工程を備える。

図１Ａは、一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法で用いられる第一ガラス板を示す断面図である。図１Ｂは、同上の第一ガラス板上に低放射膜が位置する状態を示す断面図である。図１Ｃは、同上の第一ガラス板上に低放射層と保護層が位置する状態を示す断面図である。 図２は、同上の製造方法の配置工程で用いられる装置を一部破断して示す側面図である。 図３は、同上の製造方法の接合工程で用いられる第一基板を示す平面図である。 図４は、図３のＡ−Ａ線断面図である。 図５は、同上の接合工程で用いられる第一基板と第二基板を示す斜視図である。 図６は、同上の製造方法で製造されたガラスパネルユニットを示す平面図である。 図７は、図６のＢ−Ｂ線断面図である。 図８は、変形例１のガラスパネルユニットを示す断面図である。 図９は、変形例２のガラスパネルユニットを示す平面図である。 図１０は、図９のＣ−Ｃ線断面図である。 図１１は、変形例２のガラスパネルユニットの他例を示す断面図である。 図１２は、上記実施形態のガラスパネルユニットを備えるガラス窓を示す平面図である。

本実施形態は、ガラスパネルユニットの製造方法、およびガラス窓の製造方法に関し、特に、減圧された内部空間を有するガラスパネルユニットの製造方法、およびこのガラスパネルユニットを用いたガラス窓の製造方法に関する。

添付図面に基づいて、一実施形態のガラスパネルユニット９０およびガラスパネルユニット９０を備えるガラス窓９について、順に説明する。なお、添付図面においては各構成を概略的に示しており、図示の各構成の寸法形状は、実際の寸法形状とは異なる。

（ガラスパネルユニット）
図６、図７に示すように、一実施形態のガラスパネルユニット９０は、第一基板１、第二基板２、シール材５、複数のピラー４、およびゲッター４５を備える。本実施形態では、ガラスパネルユニット９０は、ピラー４を多数備えている。

第一基板１は、第一ガラス板１５と、第一ガラス板１５の厚み方向の一側を覆う低放射層１７０を備える。低放射層１７０は、第一ガラス板１５のうち第二基板２に対向する面を覆う。第一基板１のうち第二基板２に対向する面は、低放射層１７０の表面で構成されている。

第二基板２は、網入りガラス６１で構成されている。網入りガラス６１は、針金で形成された網６１５が内蔵されたガラス板である。網入りガラス６１は、火炎を浴びたときに崩壊することが網６１５によって抑えられるので、高い防火性を有する。

第二基板２は、少なくとも網入りガラス６１で構成されていればよく、網入りガラス６１の厚み方向の両側または片側に、適宜のコーティングが施されてもよい。

シール材５は、ガラスフリット等の熱接着剤を用いて形成された枠体５００と、同じくガラスフリット等の熱接着剤を用いて形成された円弧状の仕切り５０２を含む。枠体５００を形成する材料と、仕切り５０２を形成する材料とでは、互いに溶融温度が相違することが好ましい。

枠体５００は、第一基板１の周縁部と、第二基板２の周縁部に、それぞれ接合されている。第一基板１と第二基板２の互いの周縁部は、枠体５００を介して気密に接合されている。

仕切り５０２は、枠体５００に囲まれる空間を、第一基板１が有する排気孔５５に連通する空間５９と、空間５９を除く内部空間５１とに仕切っている。排気孔５５には、外側からキャップ５５２が嵌め込まれている。複数のピラー４およびゲッター４５は、内部空間５１に位置する。内部空間５１は、たとえば０．１Ｐａ以下の真空度に至るまで減圧された断熱空間である。

複数のピラー４は、互いに距離をあけて分散配置されている。複数のピラー４の材料、寸法形状、配置パターン等は、適宜に設定され得る。

各ピラー４は、第一基板１のうち第二基板２に対向する面に押し当たり、かつ、第二基板２のうち第一基板１に対向する面に押し当たることで、第一基板１と第二基板２の間隔を、所定間隔に維持する。第二基板２のうち第一基板１に対向する面は、網入りガラス６１の表面で構成されている。

ゲッター４５は、気体分子を吸着するように構成されており、複数のピラー４のそれぞれから、距離をあけて位置する。ゲッター４５は、第一基板１に設置されているが、第二基板２に設置されてもよい。

次に、一実施形態のガラスパネルユニット９０を製造するための各工程について説明する。

一実施形態のガラスパネルユニット９０の製造方法は、配置工程、検査工程、接合工程、減圧工程、および封止工程を備える。

配置工程では、図２に示すパンチングの装置７を用いて、第一基板１に複数のピラー４が配置される。

この工程での第一基板１には、保護層１７１が設けられている。

つまり、第一基板１においては、図１Ａ、図１Ｂ及び図１Ｃ等に示すように、第一ガラス板１５の表面に低放射層１７０があり、低放射層１７０の表面にさらに保護層１７１があり、低放射層１７０と保護層１７１で低放射膜１７が構成されている。保護層１７１は、たとえばカーボンを用いて形成される。

図２に示すように、装置７は、ステージ状の基板支持部７１と、基板支持部７１の上方に設置される抜き型７２と、抜き型７２の上方に供給されるシート４００と、シート４００の上方に設置される複数のパンチ７３を備える。

基板支持部７１は、第一基板１を、低放射膜１７が上端に位置する姿勢で支持する。

抜き型７２は、基板支持部７１に支持された第一基板１の上方に位置する。抜き型７２は、上下に貫通する複数の貫通孔７２１を有する。抜き型７２の上面には、複数の貫通孔７２１を覆うようにシート４００が載せられる。シート４００の材質には、樹脂、金属等の各種の材質が用いられる。

各パンチ７３は、柱状であり、詳しくは、円柱状である。各パンチ７３は、抜き型７２に載せられたシート４００の一部分４０１を、その先端面で下方に打ち抜くように構成されている。各パンチ７３の先端面の下方には、シート４００の一部分４０１と、抜き型７２の貫通孔７２１が位置する。各パンチ７３は、貫通孔７２１に挿し通すことが可能な寸法形状を有する。

配置工程では、各パンチ７３が、下方にむけて一直線状の軌道で打ち込まれる。これにより、各パンチ７３が、シート４００の一部分４０１を、抜き型７２の貫通孔７２１を通じて下方に打ち抜く。打ち抜かれた一部分４０１は、それぞれパンチ７３の先端面に当たった状態で、第一基板１が備える低放射膜１７の表面、つまり保護層１７１の表面に押し付けられ、ピラー４を構成する。装置７は、複数のパンチ７３をシート４００に対して同時に打ち込むように構成されているが、装置７はこの形態に限定されず、少なくとも一つのパンチ７３をシート４００に打ち込むように構成されていればよい。

低放射膜１７のうち、低放射層１７０は保護層１７１で覆われているので、各ピラー４の一部分４０１が低放射膜１７に勢いよく押し付けられても、低放射層１７０が傷付くことは抑えられる。

なお、各ピラー４を第一基板１に配置する手段は、装置７のような、パンチングによってシート４００からの打ち抜きと配置を連続的に実行する装置に限定されず、他の装置や他の手段を用いることも可能である。また、低放射膜１７が保護層１７１を備えないことも有り得る。この場合には、低放射層１７０で低放射膜１７が構成される。

検査工程では、第一基板１に各ピラー４が適正に配置されているか否かが、検査される。具体的には、カメラを用いて第一基板１が撮影され、撮影された画像に適宜の画像処理が施されることにより、検査が行われる。

検査工程を行った後に、接合工程が行われる。

接合工程を行う段階において、第一基板１の低放射膜１７の表面には、図３、図４及び図５に示すように、シール材５とゲッター４５がさらに配置されている。

シール材５に含まれる枠体５００と仕切り５０２は、ディスペンサー等の塗布装置を用いて、第一基板１の低放射膜１７の表面に塗布され、その後に乾燥および仮焼成される。接合工程では、仕切り５０２に通気路５０４が形成されている。

接合工程では、第一基板１と、第二基板２、つまり網入りガラス６１とは、図５等に示すように、シール材５、複数のピラー４、およびゲッター４５を挟んだ状態でセットされ、接合炉内で加熱される。

加熱により溶融した枠体５００を介して、第一基板１と第二基板２の互いの周縁部が気密に接合される。この段階では、内部空間５１と空間５９は、通気路５０４を通じて互いに連通している。

配置工程において低放射層１７０を覆っていた保護層１７１は、接合工程における接合炉内での加熱により、内部空間５１においてガス化される。なお、接合炉内での加熱以外のタイミング、つまり配置工程と減圧工程の間の適宜のタイミングで、保護層１７１を加熱してガス化することも可能である。

減圧工程では、たとえば排気孔５５に連通するように第一基板１に排気管が接続され、排気管を通じて、内部空間５１が、たとえば０．１Ｐａ以下の真空度に至るまで減圧される。言い換えると、減圧工程では、内部空間５１が真空引きされる。このとき、ガス化した保護層１７１の成分は、他の空気成分と共に内部空間５１から排出される。

封止工程では、仕切り５０２が所定温度で加熱溶融されることで、通気路５０４を塞ぐように仕切り５０２が変形する。これにより、内部空間５１が、減圧状態、詳しくは真空状態を維持したままで封止される。

仕切り５０２の溶融温度は、枠体５００の溶融温度よりも高く設定されていることが好ましい。この設定により、接合工程の段階で仕切り５０２が変形して通気路５０４を塞ぐことが、より確実に防止される。

以上、説明した一実施形態のガラスパネルユニット９０においては、低放射層１７０を有する第一基板１によって日射による熱の通過が抑制され、網入りガラス６１を有する第二基板２によって防火性が高められる。しかも、製造過程において、第二基板２、つまり網入りガラス６１に複数のピラー４を配置するのではなく、第一基板１に複数のピラー４を配置するので、検査工程において各ピラー４が網６１５に重なることがなく、検査に不具合を生じることが抑えられる。

一実施形態のガラスパネルユニット９０では、排気孔５５を第一基板１に一つ設けているが、内部空間５１を減圧状態で封止できるのであれば、排気孔５５を第一基板１に複数設けることや、排気孔５５を第二基板２に一つまたは複数設けることも可能である。

また、一実施形態のガラスパネルユニット９０では、仕切り５０２を変形させることで内部空間５１を封止しているが、他の方法で内部空間５１を封止することも可能である。たとえば、内部空間５１を減圧状態に維持したまま、排気孔５５に挿入したガラスフリット等の熱接着剤を加熱溶融させて排気孔５５を塞ぎ、これにより内部空間５１を封止することも可能である。

続いて、上記実施形態のガラスパネルユニット９０の変形例について説明する。以下では、既に説明した構成と同様の構成については、図中に上記実施形態と同一の符号を付して説明を省略し、異なる構成については、詳しく説明する。

（変形例１）
変形例１のガラスパネルユニット９０Ａについて、図８に基づいて説明する。

変形例１においては、第二基板２Ａが、粗面６２０を有する擦りガラス６２で構成されている。擦りガラス６２の粗面６２０とは反対側の面には、さらに適宜のコーティングが施されてもよい。

粗面６２０は、表面処理によって多数の微細な凹凸が形成された面である。擦りガラス６２は、粗面６２０を有することで、半透明または不透明に構成されている。粗面６２０は、内部空間５１に面しているので、粗面６２０に水が付着して透けて視えることは防止されている。

変形例１のガラスパネルユニット９０Ａにおいては、低放射層１７０を有する第一基板１によって、日射による熱の通過が抑制され、擦りガラス６２を有する第二基板２Ａによって、全体の透明性が抑えられる。しかも、配置工程において、複数のピラー４が、第二基板２Ａ、つまり粗面６２０を有する擦りガラス６２に配置されるのではなく、第一基板１に配置されるので、粗面用の特別な配置手段を用いずとも、各ピラー４が安定的に配置される。

（変形例２）
変形例２のガラスパネルユニット９０Ｂについて、図９、図１０に基づいて説明する。

変形例２のガラスパネルユニット９０Ｂは、第二基板２に対向する第三基板３と、第二基板２と第三基板３の互いの周縁部を全周に亘って気密に接合する第二シール材３８を、さらに備える。

第三基板３は、少なくとも第三ガラス板３５で構成されていればよい。第三基板３は、全体として透明であるが、半透明または非透明でもよい。

第二基板２と第三基板３の互いの対向面２２，３２の間には、第二シール材３８により封止された第二の内部空間が、形成されている。

図１０に示すように、枠状である第二シール材３８の内側には、枠状のスペーサ３４が、さらに配置されている。枠状のスペーサ３４は、その周方向の少なくとも一部に、中空部分を有する。スペーサ３４の中空部分には、乾燥剤３６が充填されている。

スペーサ３４はアルミニウム等の金属で形成されており、貫通孔３４１を有する。貫通孔３４１は、スペーサ３４の内周面に開口している。スペーサ３４の中空部分は、貫通孔３４１を介して第二の内部空間に連通している。

乾燥剤３６は、たとえばシリカゲルである。第二シール材３８は、たとえばシリコン樹脂、ブチルゴム等の高気密性の樹脂で形成されている。

第二の内部空間は、第二基板２、第三基板３および第二シール材３８で密閉された空間であり、乾燥ガスが充填されている。乾燥ガスは、たとえばアルゴン等の乾燥した希ガス、または乾燥空気である。変形例２のガラスパネルユニット９０Ｂは、さらに高い断熱性を発揮する。

なお、第三基板３の位置は、第二基板２に対向する位置に限定されない。第三基板３は、第一基板１または第二基板に対向すればよい。図１１に示すように、第三基板３が第一基板１に対向する場合には、第二シール材３８が、第一基板１と第三基板３の互いの周縁部に接合される。

変形例２のガラスパネルユニット９０Ｂの製造方法は、上述した配置工程、検査工程、接合工程、排気工程および封止工程に加えて、第二接合工程を備える。第二接合工程は、第二基板２に対して、第二シール材３８を介して第三基板３が接合される工程である。なお、第三基板３が第一基板１に対向する場合、第二接合工程は、第一基板１に対して、第二シール材３８を介して第三基板３が接合される工程である。

（ガラス窓）
一実施形態のガラスパネルユニット９０を用いて製造されたガラス窓９について、図１２に基づいて説明する。

ガラス窓９は、一実施形態のガラスパネルユニット９０と、ガラスパネルユニット９０の周縁部に嵌め込まれた矩形枠状の窓枠９５を備える。ガラス窓９においては、正面から視たときに、ガラスパネルユニット９０のシール材５の枠体５００が窓枠９５に覆われる位置にあることが好ましい。

ガラス窓９を製造する方法は、一実施形態のガラスパネルユニット９０を製造するための各工程に加えて、ガラスパネルユニット９０に窓枠９５を嵌め込む嵌め込み工程を備える。嵌め込み工程において、変形例１のガラスパネルユニット９０Ａを窓枠９５に嵌め込んでもよいし、変形例２のガラスパネルユニット９０Ｂを窓枠９５に嵌め込んでもよい。

（態様）
以上、説明した実施形態および各変形例から理解されるように、第１の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、配置工程、接合工程、減圧工程、および封止工程を備える。配置工程は、第一基板（１）に複数のピラー（４）を配置する工程である。接合工程は、複数のピラー（４）を囲む枠状のシール材（５）を、第一基板（１）と第一基板（１）に対向する第二基板（２；２Ａ；２Ｂ）の間に挟んで、第一基板（１）と第二基板（２；２Ａ；２Ｂ）を気密に接合する工程である。接合工程では、第一基板（１）と第二基板（２；２Ａ；２Ｂ）の間に、シール材（５）に囲まれた内部空間（５１）を形成する。減圧工程は、内部空間（５１）を減圧する工程である。封止工程は、内部空間（５１）を、減圧状態で封止する工程である。第一基板（１）は、第一ガラス板（１５）と、第一ガラス板（１５）上に位置する低放射膜（１７）を含む。配置工程では、低放射膜（１７）に複数のピラー（４）を配置する。

したがって、第１の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、低放射膜（１７）を有する第一基板（１）に対して、複数のピラー（４）を介して第二基板（２；２Ａ；２Ｂ）を重ね、ガラスパネルユニット（９０）を製造することができる。ここで、第二基板（２；２Ａ；２Ｂ）として各種の網入りガラス、擦りガラス等の多様なガラス板を用いる場合も、ガラス板の種類によらず共通の工程、つまり配置工程、接合工程、減圧工程、および封止工程を経て、ガラスパネルユニット（９０；９０Ａ；９０Ｂ）を製造することができる。

一例として、第二基板（２Ａ）が網入りガラス（６１）である場合も、配置工程では複数のピラー（４）が第一基板（１）に配置されるので、その後の検査工程において、網入りガラス（６１）の網（６１５）が各ピラー（４）に重なって邪魔になることがない。また、第二基板（２Ｂ）が擦りガラス（６２）である場合も、複数のピラー（４）は、粗面（６２０）を有する擦りガラス（６２）ではなく第一基板（１）の側に配置されるため、配置工程において、複数のピラー（４）の配置は安定的に行われる。そのため、第１の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、第二基板（２；２Ａ；２Ｂ）を構成するガラス板の種類に応じた特別な工程を設ける必要なく、低放射膜（１７）を有するガラスパネルユニット（９０；９０Ａ；９０Ｂ）を製造することができる。

第２の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１の態様のガラスパネルユニットの製造方法と組み合わせ得る。第２の態様のガラスパネルユニットの製造方法では、低放射膜（１７）は、第一ガラス板（１５）上に位置する低放射層（１７０）と、低放射層（１７０）上に位置する保護層（１７１）を含む。配置工程では、保護層（１７１）の表面に複数のピラー（４）を配置する。

したがって、第２の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、複数のピラー（４）を低放射膜（１７）に配置したときに低放射層（１７０）が傷付くことが、保護層（１７１）の存在によって抑えられる。

第３の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第２の態様のガラスパネルユニットの製造方法と組み合わせ得る。第３の態様のガラスパネルユニットの製造方法では、配置工程と減圧工程の間に行う加熱により、保護層（１７１）をガス化する。

したがって、第３の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、保護層（１７１）が除去された状態でガラスパネルユニット（９０；９０Ａ；９０Ｂ）が製造される。

第４の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第３の態様のガラスパネルユニットの製造方法と組み合わせ得る。第４の態様のガラスパネルユニットの製造方法では、接合工程は、シール材（５）を加熱により溶融する工程を含む。接合工程の加熱により、保護層（１７１）をガス化する。

したがって、第４の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、接合工程の際に保護層（１７１）が除去される。

第５の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１〜第４のいずれか一つの態様のガラスパネルユニットの製造方法と組み合わせ得る。第５の態様のガラスパネルユニットの製造方法では、第二基板（２Ａ）は、網入りガラス（６１）を含む。

したがって、第５の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、防火性の高いガラスパネルユニット（９０Ａ）を製造することができる。しかも、配置工程において、複数のピラー（４）は第一基板（１）の側に配置されるので、接合工程の前に、画像処理による検査を行ったときに、網入りガラス（６１）の網（６１５）が各ピラー（４）に重なって邪魔になることがない。

第６の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１〜第４のいずれか一つの態様のガラスパネルユニットの製造方法と組み合わせ得る。第６の態様のガラスパネルユニットの製造方法では、第二基板（２Ｂ）は、粗面（６２０）を有する擦りガラス（６２）を含む。接合工程では、第一基板（１）に粗面（６２０）が対向する状態で、第一基板（１）と第二基板（２Ｂ）を接合する。

したがって、第６の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、全体として不透明または半透明なガラスパネルユニット（９０Ｂ）を製造することができる。しかも、配置工程において、複数のピラー（４）は、粗面（６２０）を有する擦りガラス（６２）に配置されるのではなく、第一基板（１）の側に配置されるので、各ピラー（４）の配置が安定的に行われる。

第７の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１〜第６のいずれか一つの態様のガラスパネルユニットの製造方法と組み合わせ得る。第７の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第二接合工程をさらに備える。第二接合工程は、第三ガラス板（３５）を含む第三基板（３）を、第一基板（１）または第二基板（２；２Ａ；２Ｂ）に対して、枠状の第二シール材（３８）を介して気密に接合する工程である。

したがって、第７の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、さらに断熱性の高いガラスパネルユニット（９０；９０Ａ；９０Ｂ）が製造される。

第８の態様のガラス窓の製造方法は、第１〜第７のいずれか一つの態様のガラスパネルユニットの製造方法と組み合わせ得る。第８の態様のガラスパネル窓の製造方法は、ガラスパネルユニット（９０；９０Ａ；９０Ｂ）を、窓枠（９５）に嵌め込む嵌め込み工程を備える。

したがって、第８の態様のガラス窓の製造方法によれば、ガラス板の種類によらず共通の工程、つまり配置工程、接合工程、減圧工程、封止工程、及び嵌め込み工程を経て、低放射膜（１７）を有するガラス窓（９）を製造することができる。

１ 第一基板
１２ 面
１５ 第一ガラス板
１７ 低放射膜
１７０ 低放射層
１７１ 保護層
２，２Ａ，２Ｂ 第二基板
３ 第三基板
３５ 第三ガラス板
３８ 第二シール材
４ ピラー
５ シール材
５１ 内部空間
５５ 排気孔
６１ 網入りガラス
６２ 擦りガラス
６２０ 粗面
９ ガラス窓
９０，９０Ａ，９０Ｂ ガラスパネルユニット
９５ 窓枠

Claims (8)

1. 第一基板に複数のピラーを配置する配置工程と、
   前記第一基板を撮影し、撮影された画像に画像処理を施して、前記複数のピラーの配置を検査する検査工程と、
   前記複数のピラーを囲む枠状のシール材を、前記第一基板と前記第一基板に対向する第二基板の間に挟んで、前記第一基板と前記第二基板を気密に接合することで、前記第一基板と前記第二基板の間に、前記シール材に囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
   前記内部空間を減圧する減圧工程と、
   前記内部空間を、減圧状態で封止する封止工程を備え、
   前記第一基板は、網入りガラスではない第一ガラス板と、前記第一ガラス板上に位置する低放射膜を含み、
   前記配置工程では、前記低放射膜に前記複数のピラーを配置する、
   ガラスパネルユニットの製造方法。
2. 前記低放射膜は、前記第一ガラス板上に位置する低放射層と、前記低放射層上に位置する保護層を含み、
   前記配置工程では、前記保護層の表面に前記複数のピラーを配置する、
   請求項１のガラスパネルユニットの製造方法。
3. 前記配置工程と前記減圧工程の間に行う加熱により、前記保護層をガス化する、
   請求項２のガラスパネルユニットの製造方法。
4. 前記接合工程は、前記シール材を加熱により溶融する工程を含み、
   前記接合工程の加熱により、前記保護層をガス化する、
   請求項３のガラスパネルユニットの製造方法。
5. 前記第二基板は、網入りガラスを含む、
   請求項１〜４のいずれか一つのガラスパネルユニットの製造方法。
6. 前記第二基板は、粗面を有する擦りガラスを含み、
   前記接合工程では、前記第一基板に前記粗面が対向する状態で、前記第一基板と前記第二基板を接合する、
   請求項１〜４のいずれか一つのガラスパネルユニットの製造方法。
7. 第三ガラス板を含む第三基板を、前記第一基板または前記第二基板に対して、枠状の第二シール材を介して気密に接合する第二接合工程を、さらに備える、
   請求項１〜６のいずれか一つのガラスパネルユニットの製造方法。
8. 請求項１〜７のいずれか一つのガラスパネルユニットの製造方法で製造されたガラスパネルユニットを、窓枠に嵌め込む嵌め込み工程を備える、
   ガラス窓の製造方法。

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