JP6796450B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
前記第2のガス導入部の前記複数のノズルはそれぞれ、当該複数のノズルが配された円の、当該ノズルの位置における接線方向に、前記第2のガスを吐出してもよい。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るプラズマ処理装置の概略構成を示す断面図であり、図2は、図1のプラズマ処理装置に用いられるマイクロ波プラズマ源の構成を示すブロック図である。図3は、図2のマクロ波プラズマ源におけるマイクロ波放射機構の配置を示す図であり、図4は、図1のプラズマ処理装置のマイクロ波プラズマ源におけるマイクロ波放射機構を示す断面図である。
なお、以下では、誘電体窓63のうち、中央に位置するものを中央誘電体窓63といい、この中央誘電体窓63を中心とした同一円周上に等間隔で配されたものを周囲誘電体窓63という。
図5は、天壁10aの下面図である。図6は、第2のガスシャワー部22を構成するノズルの概略を説明する図であり、図6(A)及び図6(B)はそれぞれ上記ノズルの断面図及び側面図である。図7は、第3のガスシャワー部23を構成するノズルの概略を説明する図であり、第3のガスシャワー部23が設けられる側壁10bの平面図である。
さらに、本例では、6個のノズル110が設けられている円を基準にすると、各ノズル110からのガスの吐出方向は同一周方向である。さらにまた、本例では、ガス吐出孔112はそれぞれ、中央誘電体窓63と周囲誘電体窓63との間に向けてガスを吐出する。なお、各ノズル110は隣接するノズル110のうち一方のノズル110に対してのみガスを吐出するが、両方のノズル110に向けて、すなわち、二方向に吐出してもよい。
なお、ノズル110の本数が多いほど、またノズル110の間隔が狭いほどプラズマの均一性が悪化する傾向にあるので、ノズル110の数及び間隔は、要求されるプラズマの均一性を確保できるように設定することが好ましい。また、要求されるプラズマの均一性が確保される限りにおいて、プラズマを意図的に遮断するために、ノズル110の間隔を狭く、本数を多く設定することもできる。ノズル110の間隔は、内接円がφ30mm以上となる間隔であることが好ましく、例えばφ80mmに設定される。
また、ノズル110の径はプラズマの均一性の観点からは極力細い方が好ましいが、ガス供給のための空間部を設ける観点、熱伝導性を確保する観点からはある程度の径が必要であり、5〜20mmが好ましく、例えばφ15mmに設定される。
なお、ノズル130の本数が多いほど、またノズル130の間隔が狭いほどプラズマの均一性が悪化する傾向にあるので、ノズル130の数及び間隔は、要求されるプラズマの均一性を確保できるように設定することが好ましい。また、要求されるプラズマの均一性が確保される限りにおいて、プラズマを意図的に遮断するために、ノズル130の間隔を狭く、本数を多く設定することもできる。ノズル130の間隔は、根本の間隔がφ30mm以上となる間隔であることが好ましく、例えばφ80mmに設定される。
図8は、第2の実施形態に係るプラズマ処理装置を説明する図であり、本実施形態に係る天壁の下面図である。なお、以下では、第1の実施形態との相違点のみ説明し、第2のガスの供給形態等、第1の実施形態のものと同様の部分については説明を省略する。
本実施形態においても、第2のガスの均一性をより高めることができる。
本発明の実施形態に係るプラズマ処理装置は、第2のガスシャワー部の複数のノズルが全て、水平から所定の角度で且つ鉛直方向下側または上側に第2のガスを吐出する形態であってもよい。
1…チャンバ
2…マイクロ波プラズマ源
3…全体制御部
10a…天壁
10b…側壁
11…サセプタ
110…ノズル
112…ガス吐出孔
130、150…ノズル
134…ガス吐出孔
143…ガス吐出孔
21…第1のガスシャワー部
22…第2のガスシャワー部
23…第3のガスシャワー部
63…誘電体窓
81…第1のガス供給部
82…第2のガス供給部
Claims (7)
- チャンバと、
該チャンバ内で被処理体を載置する載置台と、
前記チャンバの天壁を介して前記チャンバ内にマイクロ波を導入し、前記チャンバ内に表面波プラズマを生成するプラズマ源と、
前記天壁から第1のガスを前記チャンバ内に供給する第1のガス導入部と、
前記天壁と前記載置台との間の所定高さから第2のガスを前記チャンバ内に導入する第2のガス導入部と、
を備え、
前記第2のガス導入部は、
前記天壁から前記載置台の方向へ延出し、同一円周上に等間隔で配された複数のノズルを有し、
前記複数のノズルはそれぞれ、円周方向に隣接する前記ノズルに向けて前記第2のガスを吐出することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記天壁は、マイクロ波を透過させるための誘電体窓と、該誘電体窓が装着される金属部分とを有し、
前記第1のガス導入部は、前記金属部分に形成され、
前記ノズルは、前記金属部分における前記第1のガス導入部が形成されていない部分に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記誘電体窓は、前記天壁の中央に設けられた中央誘電体窓と、該中央誘電体窓を中心とした同一円周上に等間隔で配された周囲誘電体窓とを有し、
前記複数のノズルはそれぞれ、前記中央誘電体窓と前記周囲誘電体窓との間に向けて前記第2のガスを吐出することを特徴とする請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記複数のノズルはそれぞれ、水平から所定の角度で且つ鉛直方向下側または上側に前記第2のガスを吐出することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記ノズルは、水平から所定の角度で且つ鉛直方向下側に吐出するものと水平から所定の角度で且つ鉛直方向上側に吐出するものが交互に設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第2のガス導入部の外側領域に設けられ、前記第2のガスを前記チャンバに導入する第3のガス導入部をさらに備え、
該第3のガス導入部は、同一円周上に等間隔で並べられた別の複数のノズルを有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2のガス導入部の前記複数のノズルはそれぞれ、当該複数のノズルが配された円の、当該ノズルの位置における接線方向に、前記第2のガスを吐出することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
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