JP6794296B2 - フッ素含有水の処理装置、フッ素含有水の処理方法及び膜ろ過システム - Google Patents
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Description
図2に示すフッ素含有水の処理装置2は、反応槽10a、第1凝集槽12a、第2凝集槽14a、沈殿槽16aを備える第1処理ユニット11と、反応槽10b、第1凝集槽12b、第2凝集槽14b、沈殿槽16bを備える第2処理ユニット13とを備える。第1処理ユニット11及び第2処理ユニット13は並列に配置され、それぞれの処理ユニットにおいて、フッ素含有水が処理される。図2に示すフッ素含有水の処理装置2は、RO膜又はNF膜のろ過膜を備える膜ろ過モジュール18及び分散剤添加ライン20を備える膜ろ過装置(膜ろ過手段)、移送手段として移送ライン22を備えている。膜ろ過装置は、第1処理ユニット11側に設置されている。
フッ素含有水として、半導体工場排水を用いた。当該排水中のフッ素濃度は200mg/Lであった。
○:フロックの大きさが1mm以上
△:フロックの大きさが1mm未満、但しフロックは目視により確認できるレベル
×:フロックが目視により確認できない
(沈降性評価)
○:撹拌停止後、5秒以内にフロックが容器底部に達する
△:撹拌停止後、5秒超〜30秒以内にフロックが容器底部に達する。
×:撹拌停止後、フロックが容器底部に達するまでに30秒超かかる。
(膜ろ過処理の条件)
通水圧力:1.0MPa
濃縮水循環流量:5L/min
濃縮水の濃縮倍率:2倍
容器に上記半導体工場排水1Lを導入し、また、上記膜ろ過処理で得た濃縮水を200mL添加すると共に、水酸化カルシウムを添加した。水酸化カルシウムは、排水中のフッ素濃度と当量値から300mg−Ca/L過剰となるように添加した。次に、HClでpHを9に調整した後、ジャーテスター(宮本理研工業製)を用いて、120ppmの撹拌速度で、15分間排水を撹拌した。次に、無機凝集剤であるポリ塩化アルミニウムを300mg/L添加した後、HClでpHを7に調整し、ジャーテスター(宮本理研工業製)を用いて、120ppmの撹拌速度で、10分間排水を撹拌した。次に、高分子凝集剤オルフロック(登録商標)ON−1H(オルガノ株式会社製)を1mg/L添加した後、ジャーテスター(宮本理研工業製)を用いて、120ppmの撹拌速度で、10分間撹拌した。次に、撹拌を停止して、容器内の水を5分静置して、沈殿処理を行った。沈殿処理後のフロックを観察し、上記凝集性評価基準により、フロックの凝集性を評価した。また、上記沈降性評価基準により、沈殿処理の際のフロック沈降性を評価した。その結果を表3に示す。
Claims (9)
- フッ素含有水とカルシウム塩とを反応させ、フッ化カルシウムを生成する反応槽と、前記反応槽から排出されるフッ化カルシウム含有水と凝集剤とを反応させる凝集槽と、前記凝集槽から排出されるフッ化カルシウム含有水を沈殿処理して、フッ化カルシウム含有汚泥と処理水とに分離する沈殿槽と、を有する処理ユニットと、
前記沈殿槽から排出される処理水に分散剤を添加した後、RO膜又はNF膜を含むろ過膜で膜ろ過処理して、透過水と濃縮水とを得る膜ろ過手段と、
前記濃縮水を前記凝集槽に移送する移送手段と、を備えることを特徴とするフッ素含有水の処理装置。 - フッ素含有水とカルシウム塩とを反応させ、フッ化カルシウムを生成する反応槽と、前記反応槽から排出されるフッ化カルシウム含有水と凝集剤とを反応させる凝集槽と、前記凝集槽から排出されるフッ化カルシウム含有水を沈殿処理して、フッ化カルシウム含有汚泥と処理水とに分離する沈殿槽と、を有する処理ユニットが複数並列に配置された処理システムと、
前記複数の処理ユニットのうちの少なくともいずれか1つの処理ユニットに設置され、当該処理ユニットの沈殿槽から排出される処理水に分散剤を添加した後、RO膜又はNF膜で膜ろ過処理して、透過水と濃縮水とを得る膜ろ過手段と、
前記濃縮水を前記複数の処理ユニットのうちの少なくとも1つの処理ユニットの凝集槽に移送する移送手段と、を備えることを特徴とするフッ素含有水の処理装置。 - 前記複数の処理ユニットのうちの少なくとも1つの処理ユニットには、前記膜ろ過手段が設置されておらず、
前記移送手段は、前記膜ろ過手段が設置されていない処理ユニットの凝集槽に前記濃縮水を移送することを特徴とする請求項2に記載のフッ素含有水の処理装置。 - フッ素含有水とカルシウム塩とを反応させ、フッ化カルシウムを生成する反応工程と、前記反応工程から排出されるフッ化カルシウム含有水と凝集剤とを反応させる凝集工程と、前記凝集工程から排出されるフッ化カルシウム含有水を沈殿処理して、フッ化カルシウム含有汚泥と処理水とに分離する沈殿工程と、を有する処理工程と、
前記沈殿工程から排出される処理水に分散剤を添加した後、RO膜又はNF膜を含むろ過膜で膜ろ過処理して、透過水と濃縮水とを得る膜ろ過工程と、
前記濃縮水を前記凝集工程に移送する移送工程と、を備えることを特徴とするフッ素含有水の処理方法。 - フッ素含有水とカルシウム塩とを反応させ、フッ化カルシウムを生成する反応工程と、前記反応工程から排出されるフッ化カルシウム含有水と凝集剤とを反応させる凝集工程と、前記凝集工程から排出されるフッ化カルシウム含有水を沈殿処理して、フッ化カルシウム含有汚泥と処理水とに分離する沈殿工程と、を有する処理工程を複数並列で行う並列処理工程と、
前記複数の処理工程のうちの少なくともいずれか1つの処理工程の沈殿工程から排出される処理水に分散剤を添加した後、RO膜又はNF膜を含むろ過膜で膜ろ過処理して、透過水と濃縮水とを得る膜ろ過工程と、
前記濃縮水を前記複数の処理工程のうちの少なくとも1つの処理工程の凝集工程に移送する移送工程と、を備えることを特徴とするフッ素含有水の処理方法。 - 前記複数の処理工程のうちの少なくとも1つの処理工程においては前記膜ろ過工程を行わず、
前記移送工程は、前記膜ろ過工程を行わない処理工程の凝集工程に前記濃縮水を移送することを特徴とする請求項5に記載のフッ素含有水の処理方法。 - フッ素含有水とカルシウム塩とを反応させ、フッ化カルシウムを生成する反応槽と、前記反応槽から排出されるフッ化カルシウム含有水と凝集剤とを反応させる凝集槽と、前記凝集槽から排出されるフッ化カルシウム含有水を沈殿処理して、フッ化カルシウム含有汚泥と処理水とに分離する沈殿槽と、を有する処理ユニットの前記沈殿槽から排出される処理水を処理する膜ろ過システムであって、
前記沈殿槽から排出される処理水に分散剤を添加した後、RO膜又はNF膜を含むろ過膜で膜ろ過処理して、透過水と濃縮水とを得る膜ろ過手段と、
前記濃縮水を前記処理ユニットの凝集槽に移送する移送手段と、を備えることを特徴とする膜ろ過システム。 - フッ素含有水とカルシウム塩とを反応させ、フッ化カルシウムを生成する反応槽と、前記反応槽から排出されるフッ化カルシウム含有水と凝集剤とを反応させる凝集槽と、前記凝集槽から排出されるフッ化カルシウム含有水を沈殿処理して、フッ化カルシウム含有汚泥と処理水とに分離する沈殿槽と、を有する処理ユニットが複数並列に配置された処理システムにおいて、前記複数の処理ユニットのうちの少なくともいずれか1つの処理ユニットの沈殿槽から排出される処理水を処理する膜ろ過システムであって、
前記複数の処理ユニットのうちの少なくともいずれか1つの処理ユニットに設置され、当該処理ユニットの沈殿槽から排出される処理水に分散剤を添加した後、RO膜又はNF膜で膜ろ過処理して、透過水と濃縮水とを得る膜ろ過手段と、
前記濃縮水を前記複数の処理ユニットのうちの少なくとも1つの処理ユニットの凝集槽に移送する移送手段と、を備えることを特徴とする膜ろ過システム。 - 前記複数の処理ユニットのうちの少なくとも1つの処理ユニットには、前記膜ろ過手段が設置されておらず、
前記移送手段は、前記膜ろ過手段が設置されていない処理ユニットの凝集槽に前記濃縮水を移送することを特徴とする請求項8に記載の膜ろ過システム。
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