JP6791105B2 - 発光装置の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、発光装置の製造方法に関する。
近年、LEDが搭載される発光装置は、照明器具、パーソナルコンピュータ(PC)やテレビのバックライト、大型ディスプレイなど、様々な用途に使用され、需要が増えるとともに、光出力向上の要求も高まってきている。
例えば、特許文献1には、発光チップを被覆する第1層の上に、光拡散部材を含有する第2層をスプレー法等で塗布し、第2層の表面に形成される複数の凹凸で外来光を散乱させることで、表示コントラストの低下を軽減させた表示装置が開示されている。
他の例として、特許文献2には、LEDチップの光取り出し面に未硬化樹脂層を形成し、蛍光体を吹き付けて当該未硬化樹脂層に注入することで、色変換層に含まれる蛍光体の濃度ばらつきを抑え、色ムラを低減させた発光装置の製造方法が開示されている。
特開2003−086846号公報 特開2007−243053号公報
上述のように、表面層の性質を改善することで発光装置の光出力向上を図る方法は、種々知られており、例えば、パッケージの表面にブラスト処理を施すと、当該表面が荒れることで外光反射の影響を抑えた発光装置を製造することが知られている。
しかしながら、複数のパッケージがリードフレームに配置される場合、パッケージの表面のみならず、リードフレームの表面にも必然的にブラスト処理が施されてしまう(図12参照)。
この結果、パッケージを個片化した後、各パッケージに備えられるリード電極を、はんだなどの導電性部材を介して基板に接合する工程で、接合部にボイドが発生し、発光装置におけるリード電極と基板との間の接合強度が低下するという問題が生じる。
本開示に係る実施形態は、リード電極と基板との間の接合強度を低下させずに、外光反射の影響を抑えた発光装置の製造方法を提供することを課題とする。
前記課題を解決するために本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法は、発光素子と、前記発光素子が載置されるリード電極と、前記リード電極を保持し前記発光素子を収納する凹部を有する樹脂成形体と、前記凹部に配置される透光性部材と、を有する発光装置が複数形成されたリードフレームを準備する工程と、複数の貫通孔を有するマスクを準備し、前記樹脂成形体及び前記透光性部材が前記貫通孔から露出するように前記マスクを前記リードフレームに重ねる工程と、前記樹脂成形体及び前記透光性部材の表面に、粒体材料を吹き付けるブラスト処理を施す工程と、を含む。
本開示の実施形態に係る発光装置の製造方法によれば、リード電極と基板との間の接合強度を低下させずに、外光反射の影響を抑えることができる。
本実施形態に係る発光装置の構成を示す斜視図である。 本実施形態に係る発光装置の構成を示す平面図である。 本実施形態に係る発光装置の構成を示す断面図であり、図1BのIC−IC線における断面を示す。 本実施形態に係る透光性部材の表面を示し、図1Cの破線で囲んだ部分における拡大図である。 本実施形態に係る遮光性部材の表面を示し、図1Cの破線で囲んだ部分における拡大図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法の手順を示すフローチャートである。 本実施形態に係る発光装置の製造方法の樹脂成形体準備工程で準備される樹脂成形体の構成を模式的に示す断面図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法の発光素子実装工程での樹脂成形体に発光素子を実装した状態を模式的に示す断面図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法の樹脂供給工程を模式的に示す断面図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法の樹脂硬化工程を模式的に示す断面図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法のリードフレーム準備工程で準備されるリードフレームの構成を示す平面図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法のマスク実装工程を模式的に示す斜視図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法のマスク実装工程でマスクを実装した状態を模式的に示す斜視図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法のマスク実装工程を示す断面図であり、図5BのVC−VC線における断面を模式的に示す。 本実施形態に係る発光装置の製造方法のブラスト処理工程を模式的に示す断面図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法のブラスト処理工程におけるノズルの投射角度を示す模式図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法のリードフレーム洗浄工程及びリードフレーム水切り工程を示す模式図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法の発光装置個片化工程を示す平面図である。 本実施形態に係る発光装置の製造方法のリード電極折り曲げ工程を示す断面図である。 発光装置と基板とのはんだ接合の様子を示す断面図である。 実施例に係る発光装置のはんだ接合の様子を示す断面SEM写真である。 比較例に係る発光装置のはんだ接合の様子を示す断面SEM写真である。 従来例に係る発光装置の製造方法のブラスト処理工程を模式的に示す模式図である。
以下、実施形態に係る発光装置及びその製造方法について説明する。なお、以下の説明において参照する図面は、本実施形態を概略的に示したものであるため、各部材のスケールや間隔、位置関係などが誇張、又は、部材の一部の図示が省略されている場合がある。また、以下の説明において、同一の名称及び符号を付したものについては、原則として同一又は同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略することとする。
<発光装置の構成>
本実施形態に係る発光装置の構成について、図1A乃至図1Cを参照して説明する。
図1Aは、本実施形態に係る発光装置の構成を示す斜視図である。図1Bは、本実施形態に係る発光装置の構成を示す平面図である。図1Cは、本実施形態に係る発光装置の構成を示す断面図であり、図1BのIC−IC線における断面を示す。
なお、図1Cにおいて、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5a近傍の破線で囲んだ部分をそれぞれ拡大して、図1D及び図1Eとして、示している。また、図1Cにおいて、第1充填剤52を円形で示すとともに、第2充填剤42を、ハッチングの方向及び大きさを変えて、円形で示している。これらの形状は該当する部材の具体的な形状を示すものではなく、充填剤の粒子の種類を区別するために便宜的に用いている。
発光装置100は、発光素子1(11,12,13)と、発光素子1が載置されるリード電極3(31,32,33,34,35,36)と、リード電極3を保持し、発光素子1を収納する凹部2aを有する樹脂成形体2と、凹部2aに配置される透光性部材5と、を有する。発光素子1は、ワイヤ6を用いて凹部2aの底面に配置されているリード電極3と電気的に接続されている。
樹脂成形体2及び透光性部材5は、それぞれの表面に、ブラスト処理が施されているため、それぞれの表面には、凹凸すなわち複数の突起が形成されている。表面の凹凸は、例えば、樹脂成形体2の側壁を構成する遮光性部材4の表面4aにおいて、遮光性部材4が含有する第2充填剤42の粒子の一部が、遮光性部材4の母材41から露出することにより形成される。また、例えば、透光性部材5の表面5aにおいて、透光性部材5が含有する第1充填剤52の粒子の一部が、透光性部材5の母材51から露出することにより形成される。ブラスト処理は、発光装置100において、発光面つや消し加工のために行われる処理である。
発光素子1は、樹脂成形体2の凹部2aの底面に実装されている。本実施形態では、互いに発光色の異なる3個の発光素子11,12,13が凹部2a内に実装されている。例えば、発光色を青色とする発光素子11、発光色を緑色とする発光素子12、発光色を赤色とする発光素子13を実装することができる。
なお、以降は、3個の発光素子11,12,13のそれぞれを特に区別しない場合には、「発光素子1」と呼ぶことがある。
発光素子11,12,13は、凹部2aの底面2bの中央部に配置されているリード電極33上にダイボンドされている。また、発光素子11,12,13の一方の電極であるアノード電極が、ワイヤ6を用いてリード電極34に電気的に接続されている。また、発光素子11,12,13の他方の電極であるカソード電極が、ワイヤ6を用いてそれぞれに対応するリード電極の何れかと電気的に接続されている。つまり、3つの発光素子11,12,13は、それぞれ独立して電圧を印加できるように構成されている。これによって、発光素子11,12,13を個別に点灯させたり、発光素子11,12,13の輝度レベルを任意に調節したりすることが可能であり、発光装置100の発光色及び明るさを任意に変化させることができる。従って、発光装置100は、カラー画像表示装置の1画素として用いることができる。
ここで用いられる発光素子1は、形状や大きさ、半導体材料などが特に限定されるものではない。発光素子1の発光色としては、用途に応じて任意の波長のものを選択することができる。青色や緑色に発光する発光素子11、12は、近紫外から可視光領域に発光波長を有する、InAlGa1−X−YN(0≦X≦1、0≦Y≦1、X+Y≦1)で表される窒化物半導体からなる発光素子を好適に用いることができる。また、赤色に発光する発光素子13としては、GaAs、AlInGaP、AlGaAs系の半導体を用いることもできる。
本実施形態においては、発光素子1として、正負の電極が同じ面側に配置されたものでもよく、正負の電極が互いに異なる面側に配置されたものでもよい。正負の電極が同じ面側に配置された発光素子1を用いる場合は、フェイスアップ実装型、フェイスダウン実装型のいずれであってもよい。また、複数の発光素子1を搭載する場合に、実装型の異なるものが混在してもよい。
なお、凹部2a内に実装される発光素子1の数は1個以上であればよく、発光素子1を複数個搭載する場合の発光色の組み合わせ、発光素子1の外形形状などは適宜に変更することができる。
樹脂成形体2は、リード電極3と遮光性部材4とを有しており、平面視で略正方形の外形形状を有し、上面側に開口を有する凹部2aが設けられている。凹部2aは、発光素子1を実装するための領域であり、凹部2aの底面2bは、リード電極3と、遮光性部材4とで構成されている。また、凹部2aの側壁は、遮光性部材4で構成されている。
樹脂成形体2は、凹部2aの側壁の上面である遮光性部材4の表面4aにおいて、ブラスト処理が施されている。そのため、第2充填剤42の粒子の一部が母材41から露出しており、第2充填剤42の粒子に起因する凹凸形状すなわち突起を有している(図1C参照)。
樹脂成形体2の外側面は、発光装置100の光取り出し面である上面から底面に向かって広がる傾斜を有している。樹脂成形体2の外側面の傾斜角度θ1は、1.0°〜2.5°であることが好ましく、1.5°〜2.0°であることがより好ましい。樹脂成形体2は、外側面に所定の傾斜角度θ1で傾斜があることで、後記するブラスト処理工程(S1007)において、粒体材料をリード電極3に吹き付け難くすることができる。
リード電極3は、6つのリード電極31〜36で構成されており、ワイヤ6を介して電気的に接続されている3つの発光素子11〜13と外部電源とを接続するための配線である。
リード電極31〜36は、それぞれの一部が凹部2aの底面2bの一部を構成している。そして、リード電極31〜36は、平面視でそれぞれ遮光性部材4を貫通して外側面の端部まで延伸して当該端部で下方に折れ曲がり、遮光性部材4の外側面に沿い、更に遮光性部材4の下面に沿って内側に折れ曲がるように形成されている。発光装置100は、下面側が実装面であり、遮光性部材4の下面側において内側に折れ曲がって設けられているリード電極31〜36のアウターリードの部位が、はんだなどの導電性接合部材を用いて外部と接続される外部接続部である。
リード電極31〜36には、ブラスト処理が施されていないため、リード電極31〜36の表面は荒れていない。従って、接合部の接合強度を低下させずに、発光装置100を基板に実装することができる。
また、リード電極31〜36の凹部2aの底面2bに露出しているインナーリードの部分が、ワイヤ6を介して発光素子11〜13と電気的に接続される部位である。リード電極34は発光素子11のカソード電極と、リード電極35は発光素子12のカソード電極と、リード電極32は発光素子13のカソード電極と、それぞれ電気的に接続されている。リード電極31は発光素子11のアノード電極と、リード電極36は発光素子12のアノード電極と、リード電極33は発光素子13のアノード電極と、それぞれ電気的に接続されている。
なお、リード電極33は、インナーリードの部分が凹部2aの底面2bの中央部に配置されており、発光素子11〜13がダイボンド部材を用いて接合される発光素子配置領域を兼ねている。
リード電極3は、平板状の金属板に、エッチング加工やプレス加工の穴抜きや折り曲げを施すことで形成することができる。原材料である金属板は、発光素子の樹脂成形体のリードフレームに用いられるものとして、公知の材料を用いることができる。金属板の厚さは、樹脂成形体の形状や大きさなどに応じて適宜に選択されるが、例えば、100〜500μm程度の厚さのものが用いられ、120〜300μmの厚さが更に好ましい。また、金属板の材料としては、例えば、Cu系の合金が用いられる。
なお、凹部2aの底面2bに露出しているリード電極3のインナーリードの表面は、光反射性又は/及びワイヤ6やダイボンド部材などとの接合性を高めるために、Ag、Au、Niなどのメッキ処理を施すようにしてもよい。
遮光性部材4は、6つのリード電極31〜36を互いに離間して固定するとともに、凹部2aの側壁を構成する部材である。遮光性部材4は、光を透過せずに遮光する材料で構成されており、光を反射することで遮光する光反射性材料、又は、光を吸収することで遮光する光吸収性材料が用いられる。
遮光性部材4は、具体的には、透光性を有する樹脂を母材41とし、フィラーとして遮光性を付与するための第2充填剤42を含有した樹脂材料を用いて形成することができる。
遮光性部材4に光反射性材料を用いる場合は、遮光性部材4は、発光素子1から出射して、透光性部材5を伝播して遮光性部材4に到達した光を透光性部材5内に戻すように機能する。これによって、発光装置100の上面からの光取り出し効率を向上させることができる。
また、遮光性部材4に光吸収性材料を用いる場合は、遮光性部材4は、発光素子1から出射して、透光性部材5を透過して遮光性部材4に入射する光を吸収する。このため、発光装置100の上面のみから光を出射させることができる。
そして、光反射性材料又は光吸収性材料の何れを遮光性部材4に用いる場合であっても、発光装置100からの光の出射が透光性部材5の表面に限定されるため、発光領域と非発光領域とのコントラストが高い、いわゆる「見切り性」の良好な発光装置100とすることができる。
遮光性部材4の母材41に用いられる樹脂としては、例えば熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂を挙げることができる。
熱可塑性樹脂の場合、例えば、ポリアミド樹脂、ポリフタルアミド樹脂、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、不飽和ポリエステルなどを用いることができる。
熱硬化性樹脂の場合、例えば、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂などを用いることができる。
遮光性部材4が光反射性を有する場合は、母材41に第2充填剤42として光反射性物質の粒子を含有させて光反射性を付与した樹脂材料を用いて遮光性部材4を形成することができる。光反射性物質としては、例えば、TiO,Al,ZrO,MgOなどを挙げることができる。
また、凹部2aの内側面は、発光素子1が発する光の波長域において反射率が70%以上であることが好ましく、80%以上がより好ましい。遮光性部材4における光反射性物質である第2充填剤42の含有量は、5質量%以上60質量%以下であればよく、10質量%以上50質量%以下が好ましい。
また、第2充填剤42の平均粒径は、0.5μm以上15μm以下程度とすることが好ましい。第2充填剤42の大きさをこの範囲とすることで、遮光性部材4は、良好な強度及び/又は光反射性を得ることができる。
なお、特に断らない限り、本明細書において、各種のフィラーや研磨剤などの粒径の値は、空気透過法又はFisher−SubSieve−Sizers−No.(F.S.S.S.法)によるものとする。
さらに、例えば、遮光性部材4は、強化剤であるワラストナイトなどを第2充填剤として用いてもよい。
また、遮光性部材4の表面4aの複数の突起は、JIS規格B0601:2013で規定される算術平均粗さRaで、0.090μm以上0.210μm以下程度となるように形成することが好ましい。特に、遮光性部材4の表面4aを算術平均粗さRaで、0.130μm以上とすることで外来光を、より効率よく散乱させることができる。
遮光性部材4が光吸収性を有する場合は、前記した母材41に、光吸収性物質の粒子を含有させて光吸収性を付与された樹脂材料を用いて形成することができる。光吸収性物質としては、黒色顔料を挙げることができ、より具体的には、カーボンブラックやグラファイトなどの炭素系顔料を挙げることができる。なお、光吸収性物質としてカーボンブラックを添加する場合は、1質量%程度とすることができる。
遮光性部材4は、母材41に第2充填剤42を含有することで光反射性及び/又は強度を付与された樹脂材料を用いて、金型を用いたトランスファーモールド法、射出成形法、圧縮成形法などの成形法、スクリーン印刷法などの塗布法などによって形成することができる。
また、遮光性部材4の表面4aは凹凸すなわち複数の突起を有する。複数の突起は、表面4aにブラスト処理を施すことで形成される。ブラスト処理後の遮光性部材4の表面4aは、例えば、第2充填剤42の粒子の一部を母材41から露出させることで形成することができる。なお、第2充填剤42の粒子の露出の有無にかかわらず、遮光性部材4の表面4aの複数の突起は、第2充填剤42の粒子に起因して形成されることが好ましい。
ブラスト処理を施すことにより形成される表面の凹凸によって、遮光性部材4の表面4aで反射される外光の正反射光成分を良好に低減することができる。発光装置100を画像表示装置の画素として用いる場合は、外光が画像表示装置に照射される場合であっても、外光の正反射光成分が低減されるため、観察方向に依らずに画素の明暗や色彩を良好に認識できることができる。
透光性部材5は、樹脂成形体2の凹部2a内に設けられ、発光素子1を封止する封止部材である。透光性部材5は、透光性を有する樹脂を母材51として用いて形成する際に未硬化の樹脂の粘度を調整したり、透光性部材5に光拡散性を付与したりするためのフィラーとして第1充填剤52を含有している。
また、透光性部材5の表面5aは、遮光性部材4の表面4aと同様に、ブラスト処理が施されることにより、凹凸すなわち複数の突起を有する。ブラスト処理後の透光性部材5の表面5aは、例えば、第1充填剤52の粒子の一部が母材51から露出することで形成される。第1充填剤52の粒子の露出の有無にかかわらず、透光性部材5の表面5aの凹凸は、第1充填剤52の粒子に起因して形成されることが好ましい(図1C参照)。なお、透光性部材5の表面5aは、第1充填剤52が露出していない表面においても、凹凸を有することが好ましい。
透光性部材5に含有させる第1充填剤52は、1種類でもよいが、2種類を含有させてもよく、更に3種類以上であってもよい。具体的には、異なる材質の充填剤を用いるようにしてもよく、同じ材質であっても粒径や形状が異なるものを用いるようにしてもよい。
また、透光性部材5は、透光性が損なわれない程度に、カーボンブラックなどの光吸収性物質の粒子を他のフィラーとして含有するようにしてもよい。透光性部材5に適量の光吸収性物質の粒子を含有させることで、樹脂成形体2の凹部2a内に露出するリード電極3の表面などでの正反射光の光取り出し面からの出射を抑制することができる。これによって、発光装置100からの出射光の配光特性を改善することができる。
そして、透光性部材5は、必要に応じて、蛍光体や着色顔料、母材51よりも屈折率の高い光拡散性物質などの粒子を含有させるようにしてもよい。
透光性部材5の母材51としては、透光性を有する熱硬化性樹脂を用いることができ、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂などを挙げることができる。また、第1充填剤52としては、母材51よりも屈折率の低い透光性材料が用いられる。第1充填剤52は、具体的には、SiOを挙げることができる。例えば、母材51として、屈折率が1.53のエポキシ樹脂を用いた場合に、第1充填剤52として、屈折率が1.46のSiOを用いることができる。
また、第1充填剤52の平均粒径は、0.5μm以上15μm以下程度とすることが好ましい。第1充填剤52の粒径をこの範囲とすることで、第1充填剤52の粒子に起因して形成される複数の突起によって、透光性部材5の表面5aにおける外光の正反射光成分を効率よく低減することができる。
また、透光性部材5における第1充填剤52の含有量は、2質量%以上40質量%以下程度とすることが好ましい。
透光性部材5の表面5aの複数の突起は、JIS規格B0601:2013で規定される算術平均粗さRaで、0.095μm以上0.220μm以下程度となるように形成することが好ましく、0.180μm以下が更に好ましい。
また、発光装置100の光取り出し面である透光性部材5の表面5aにおいて、母材51よりも低屈折率の第1充填剤52を露出させることで、透光性部材5と光が取り出される先の媒質である空気(屈折率1.0)との屈折率差を小さくすることができる。また、光が取り出される界面における屈折率差を小さくすることで、当該界面での光反射率を小さくすることができる。従って、発光装置100の外部への光取り出し効率を高めることができる。ここで、母材51と第1充填剤52との屈折率差は、0.03以上あれば、第1充填剤52を露出させることで発光装置100の光取り出し効率を高めることができる。
また、発光装置100の上面である遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aに複数の突起を設けることで、発光装置100の上面が他の部材と接触した場合に点接触となるため、接触した他の部材のタック(付着)を防止することができ、製造する際や実装する際の発光装置100の取り扱いが容易となる。
なお、発光装置100において、凹部内の防水性を高めるために、遮光性部材4の表面4aが透光性部材5で被覆されていることがある。この場合、遮光性部材4の表面4aにはブラスト処理による表面凹凸は実質的に形成されず、遮光性部材4を被覆する透光性部材5に表面凹凸が形成される。このような発光装置100においても、上述した効果と同様の効果が得られる。
ワイヤ6は、発光素子1や保護素子などの電子部品と、リード電極31〜36とを電気的に接続するための配線である。ワイヤ6の材質としては、Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)、Pt(白金)、Al(アルミニウム)などの金属、及び、それらの合金を用いたものが挙げられるが、特に、熱伝導率等に優れたAuを用いるのが好ましい。なお、ワイヤ6の太さは特に限定されず、目的及び用途に応じて適宜選択することができる。
<発光装置の製造方法>
次に、本実施形態に係る発光装置の製造方法について、図2〜図9を参照して説明する。
図2は、本実施形態に係る発光装置の製造方法の手順を示すフローチャートである。図3Aは、本実施形態に係る発光装置の製造方法の樹脂成形体準備工程で準備される樹脂成形体の構成を模式的に示す断面図である(S1001)。図3Bは、本実施形態に係る発光装置の製造方法の発光素子実装工程での樹脂成形体に発光素子を実装した状態を模式的に示す断面図である(S1002)。図3Cは、本実施形態に係る発光装置の製造方法の樹脂供給工程を模式的に示す断面図である(S1003)。図3Dは、本実施形態に係る発光装置の製造方法の樹脂硬化工程を模式的に示す断面図である(S1004)。図4は、本実施形態に係る発光装置の製造方法のリードフレーム準備工程で準備されるリードフレームの構成を示す平面図である(S1005)。図5Aは、本実施形態に係る発光装置の製造方法のマスク実装工程を模式的に示す斜視図である(S1006)。図5Bは、本実施形態に係る発光装置の製造方法のマスク実装工程でマスクを実装した状態を模式的に示す斜視図である(S1006)。図5Cは、本実施形態に係る発光装置の製造方法のマスク実装工程を模式的に示す断面図であり、図5BのVC−VC線における断面を示す(S1006)。図6Aは、本実施形態に係る発光装置の製造方法のブラスト処理工程を模式的に示す断面図である(S1007)。図6Bは、本実施形態に係る発光装置の製造方法のブラスト処理工程におけるノズルの投射角度を示す模式図である(S1007)。図7は、本実施形態に係る発光装置の製造方法のリードフレーム洗浄工程及びリードフレーム水切り工程を示す模式図である(S1008,S1009)。図8は、本実施形態に係る発光装置の製造方法の発光装置個片化工程を示す平面図である。図9は、本実施形態に係る発光装置の製造方法のリード電極折り曲げ工程を示す断面図である。
なお、図3A〜図3D、図6Aにおいて、樹脂成形体2は、凹部2aの底面2b及び側壁を構成する上部のみを示し、下部は省略している。
本実施形態に係る発光装置100の製造方法は、樹脂成形体準備工程S1001と、発光素子実装工程S1002と、樹脂供給工程S1003と、樹脂硬化工程S1004と、リードフレーム準備工程S1005と、マスク実装工程S1006と、ブラスト処理工程S1007と、リードフレーム洗浄工程S1008と、リードフレーム水切り工程S1009と、発光装置個片化工程S1010と、リード電極折り曲げ工程S1011と、を含んでいる。
図3Aに示すように、樹脂成形体準備工程S1001は、リード電極3が底面2bに配置され、遮光性部材4を側壁として囲まれて上方に開口する凹部2aを有する樹脂成形体2を準備する工程である。
具体的には、本工程において、まず、金属板をプレス加工で穴抜きすることで、リード電極3の外形を備えたリードフレームを形成する。次に、遮光性部材4の形状に相当する空間を有する上下金型でリードフレームを挟み込む。次に、金型内の空間に、母材41となる樹脂に第2充填剤42を含有した樹脂材料を注入し、樹脂材料を固化又は硬化後に金型から取り出すことで、遮光性部材4がリード電極3と一体的に形成される。
なお、本工程で準備される樹脂成形体2において、遮光性部材4の表面4a近傍に配置されている第2充填剤42は、ブラスト処理工程が施される前であるため、基本的には母材41で被覆されているが、母材41で被覆されていない第2充填剤42が存在していてもよい。
図3Bに示すように、発光素子実装工程S1002は、樹脂成形体2の凹部2a内に、発光素子1を実装する工程である。本工程において、発光素子1(11〜13)は、リード電極33上にダイボンドされ、ワイヤ6を用いて、各発光素子1が対応するリード電極31〜36と電気的に接続される。
図3Cに示すように、樹脂供給工程S1003は、母材51となる未硬化の透光性樹脂に第1充填剤52の粒子を含有した樹脂材料を、例えば、ディスペンサ71を用いたポッティング法で凹部2aに供給する工程である。第1充填剤52は、母材51よりも屈折率が低いことが好ましい。
図3Dに示すように、樹脂硬化工程S1004は、ヒーターやリフロー炉などの加熱装置72を用いて加熱することで、樹脂材料を硬化させる工程である。これにより、凹部2a内に発光素子1を被覆する透光性部材5が形成される。
なお、本工程で形成される透光性部材5において、透光性部材5の表面5a近傍に配置されている第1充填剤52は、ブラスト処理工程が施される前であるため、基本的には母材51で被覆されているが、母材41で被覆されていない第1充填剤52が存在していてもよい。
図4に示すように、リードフレーム準備工程S1005は、発光装置100が複数形成されたリードフレーム30を準備する工程である。即ち、リードフレーム準備工程S1005は、上述の樹脂成形体準備工程S1001から樹脂硬化工程S1004までの工程が施された、個片化前の発光装置100が、複数並べて配置されたリードフレーム30を準備する工程である。
リードフレーム30は、リードフレーム30の一部を曲げることで形成される凸部35aを備える(図5C参照)。後記する凸部35aは、発光装置100が形成される領域(第1領域)と隣り合う位置に形成される。また、後記する凸部35aは、マスク40がリードフレーム30の表面30aから所定の間隔を隔てて配置されるように設けられ、マスク40を保持するための保持部として機能させることができる。
リードフレーム30は、導電率の高い金属材料で形成されることが好ましく、当該材料としては、例えば、Cu、Fe、CuとFeの合金、などが挙げられる。また、リードフレーム30は、光反射性又は/及びワイヤ6やダイボンド部材などとの接合性を高めるために、表面30aが金属膜で被覆されることが好ましい。金属膜としては、例えば、Ag、Ag合金、Au、Au合金などが好適に利用できる。また、金属膜の下地層に、Niを含む層を形成することが好ましく、更に下地層の上層に、Ni/Pd、又はNi/Au、又はNi/Pd/Auなどを含む層を形成することがより好ましい。金属膜の形成方法としては、例えば、メッキ処理、などを挙げることができる。
図5A及び図5Cに示すように、マスク実装工程S1006は、複数の貫通孔45を有するマスク40を準備し、樹脂成形体2及び透光性部材5が貫通孔45から露出するように、マスク40をリードフレーム30に重ねる工程である。
マスク40は、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aが貫通孔45から露出するように、凸部35aの上方に載置される。
マスク40は、貫通孔45の内側面に緩衝材を備えることが好ましい。緩衝材を設けることで、樹脂成形体2の外側面と貫通孔45の内側面との距離を一定に保つことができる。これにより、マスク40とリードフレーム30とが重ねられる際に、マスク40と樹脂成形体2とを直接接触させずに済むため、樹脂成形体2がマスク40によって傷つけられることを防ぐことができる。また、ブラスト処理工程において、噴射銃のガン圧が高く、マスク40が撓んでしまったとしても、マスク40と樹脂成形体2とを直接接触させずに済むため、樹脂成形体2がマスク40によって傷つけられることを防ぐことができる。
マスク40の上面は、樹脂成形体2の上面より高い位置に設置されることが好ましい。マスク40の上面が樹脂成形体2の上面より高いことで、ブラスト処理工程において、樹脂成形体2の外側面などがブラスト処理されることを抑制することができる。即ち、粒体材料を、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aのみに、確実に吹き付けることが可能になる。
マスク40の厚さは、1mm以上であることが好ましい。マスク40が適度な厚みを有することで、ブラスト処理工程において、マスク40が反ることを防ぐことができる。
貫通孔45は、個々に離間する樹脂成形体2に対応して、設けられてもよいし、一方向に連続する樹脂成形体2の複数に対応して、設けられてもよい。貫通孔45が個々に離間する樹脂成形体2に対応して設けられる場合、貫通孔45の大きさは、例えば、約2.5mm×2.5mmである。また、例えば、貫通孔45が、リードフレーム30の長手方向に、連続して1列に並んで形成される複数の樹脂成形体2に対応して設けられる場合、貫通孔45は、長方形状に形成されることになる。
貫通孔45の位置は、マスク40とリードフレーム30とが重ねられる際に、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aが貫通孔45から露出し、リードフレーム30の表面30aがマスク40で覆われる位置に調整されることが好ましい。貫通孔45の形状は、例えば、平面視において、樹脂成形体2の形状に対応して、正方形状、長方形状とすることができる。また、貫通孔45の大きさは、マスク40とリードフレーム30とが重ねられる際に、貫通孔45の内側面と樹脂成形体2の外側面との間に、所定の隙間46が形成される程度の大きさであることが好ましい。隙間46が形成されることで、リードフレーム30の表面30aにスラリーを到達させ難くしつつも、所定の流体によって、リードフレーム30の表面30aを洗浄することが可能になる。
マスク40は、貫通孔45の位置、大きさ、形状、などが、前記したように予め適宜調整されることで、ブラスト処理工程において、噴射銃のノズルから噴射する粒体材料を、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aのみに適切に吹き付けることが可能になる。
図6Aに示すように、ブラスト処理工程S1007は、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aに対して、マスク40を介して、粒体材料を吹き付けるブラスト処理を施す工程である。なお、ブラスト処理工程S1007からリードフレーム水切り工程S1009までの工程は、ブラスト処理装置75によって行われ、重ねられたマスク40及びリードフレーム30が、搬送用キャリア50に載置され、搬送路に沿って、各処理装置に搬送されることで行われる(図7参照)。
本工程により、透光性部材5の表面5aに、第1充填剤52の粒子に起因する突起(凹凸)を形成することができる。同様に、樹脂成形体2の表面に、第2充填剤42の粒子に起因する突起(凹凸)を形成することができる。
また、本工程により、リードフレーム30の表面30aに粒体材料が、ブラスト処理されてしまうことによるめっき剥がれ等を抑制することができる。上述のマスク40を使用することで、リードフレーム30の表面30aを露出させずに、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aのみを露出させることができるためである。
ブラスト処理は、ウェットブラスト法で行うことが好ましく、スラリーをノズル73から加工対象面に投射することで行われる。ウェットブラスト法は、ドライブラスト法に比べて、加工対象物に対する研磨剤74による衝撃を小さくすることができる。このため、第1充填剤52や第2充填剤42に用いられる無機物の粒子に大きな損傷を与えずに、比較的に軟質な樹脂材料を選択的に削り取ることで除去することできる。また、ウェットブラスト法によれば、より小径の研磨剤74を用いることができるため微細な加工に適している。このため、透光性部材5の表面5aや遮光性部材4の表面4aに、粗い凹凸を形成することなく、第1充填剤52や第2充填剤42の表面を被覆する母材51及び母材41を除去することができる。
スラリーは、例えば、純水に粒体材料である研磨剤74を含有させたもの、などが挙げられる。研磨剤74は、ブラスト処理によって除去される母材51及び母材41よりも硬度の高いものが好ましく、例えば、ガラス、アルミナ(Al)、炭化ケイ素(SiC)、ステンレス、ジルコニア(ZrO)、樹脂などを挙げることができる。
研磨剤74の粒径は、2μm以上14μm以下程度とすることが好ましい。また、ウェットブラスト法により、純水に研磨剤74を含有させたスラリーを用いる場合、スラリーにおける研磨剤74の含有量は、5体積%以上30体積%以下程度とすることが好ましい。
本工程において、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aのみを露出させたマスク40を利用することで、リードフレーム30の表面30aに、研磨剤74により、表面が荒れることを防ぐことができる。これにより、発光装置100の製造後に行われるはんだ実装の際に、接合部におけるボイドの発生を抑制し、リード電極と基板との間の接合強度を低下させない発光装置100を実現できる。
また、本工程において、外側面が光取り出し面から底面に向かって広がる傾斜を有する樹脂成形体2を使用することで、粒体材料を、貫通孔45から露出する遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aには吹き付け易くすることができるとともに、リードフレーム30の表面30aには吹き付け難くすることができる。
また、本工程において、第1充填剤52及び第2充填剤42が露出するように、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aに対してブラスト処理を施すことで、遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aが微細に荒らされるため、表面の光拡散性が向上し、これらの面において反射防止効果を得ることができる。これにより、外光反射の影響を抑えた発光装置100を実現できる。なお、透光性部材5の表面5a近傍の第1充填剤52の上方を被覆する母材51、及び遮光性部材4の表面4a近傍の第2充填剤42の上方を被覆する母材41を除去する際に、第1充填剤52及び第2充填剤42が、できる限り、それぞれの母材51及び母材41から剥離しないように、所定のガン圧力でブラスト処理を行うことが好ましい。
図6Bに示すように、研磨剤74を含有するスラリーの投射角度73aは、ブラスト処理の対象面である遮光性部材4の表面4a及び透光性部材5の表面5aに対して、80°以上100°以下とすることが好ましく、90°近傍とすることがより好ましい。
ブラスト処理の対象面に対して、垂直(90°)に近い投射角度73aで研磨剤74を投射することで、リードフレーム30の表面30aにスラリーが吹き付けられることを抑制できる。従って、投射角度73aを前記した範囲とすることで、第2充填剤42の表面における母材41、及び第1充填剤52の表面における母材51を効率よく除去できるとともに、ブラスト処理後のリードフレーム30の表面30aに、研磨剤74を残存し難くする、或いは、研磨剤74がめり込むことを防ぐことができる。
また、ウェットブラスト法では、前記したスラリーを圧縮空気とともに噴射銃のノズル73から加工処理の対象面に向かって噴射させる。このときの圧縮空気の圧力(噴射銃のガン圧)は、ノズル73の形状や投射角度73a、研磨剤74の材質や形状、粒径などによって最適値は異なるが、例えば、0.1MPa〜0.5MPa程度とすることができる。
図7に示すように、リードフレーム洗浄工程S1008は、搬送用キャリア50に載置されたマスク40及びリードフレーム30を、複数の洗浄装置によって、洗浄する工程である。搬送用キャリア50に載置されたマスク40及びリードフレーム30は、ここでは、搬送路に沿って、第1洗浄装置81、第2洗浄装置82、第3洗浄装置83、の順に搬送される。
第1洗浄工程S1008aにおいて、マスク40とリードフレーム30とが重ねられて配置された搬送用キャリア50は、図7に示す矢印方向に、第1洗浄装置81へと搬送される。
第1洗浄装置81(例えば、水洗槽)は、樹脂成形体2の外側面とマスク40の貫通孔45の内側面との間に形成される隙間46(図5C参照)を通過できる流体(例えば、水)によって、リードフレーム30を洗浄する。第1洗浄装置81によって、リードフレーム30の表面30aに付着した粒体材料は、洗い流される。
隙間46は、リードフレーム30の表面30aを洗浄する流体を通過させ易く、リードフレーム30の表面30aをブラスト処理するスラリーを通過させ難い間隔に調整されることが好ましい。隙間46の間隔は、0.04mm〜0.06mmであることが好ましく、0.05mm程度であることがより好ましい。また、隙間46の間隔は、研磨剤74の粒径に対して10倍から20倍であることが好ましい。隙間46の間隔が、適切に調整され、且つ、樹脂成形体2の外側面が、光取り出し面から底面に向かって広がる傾斜を有することで、リードフレーム30の表面30aに付着した粒体材料は、洗い流され易くなる。
次に、第2洗浄工程S1008bにおいて、マスク40とリードフレーム30とが重ねられて配置された搬送用キャリア50は、図7に示す矢印方向に、第1洗浄装置81から第2洗浄装置82へと搬送される。
第2洗浄装置82(例えば、水洗シャワー)は、樹脂成形体2の外側面とマスク40の貫通孔45の内側面との間に形成される隙間46を通過できる流体(例えば、水)によって、リードフレーム30を洗浄する。第2洗浄装置82によって、リードフレーム30の表面30aに第1洗浄装置81で流されずに残存する粒体材料が、洗い流される。
次に、第3洗浄工程S1008cにおいて、マスク40とリードフレーム30とが重ねられて配置された搬送用キャリア50は、図7に示す矢印方向に、第2洗浄装置82から第3洗浄装置83へと搬送される。
第3洗浄装置83(例えば、水洗ジェット)は、樹脂成形体2の外側面とマスク40の貫通孔45の内側面との間に形成される隙間46を通過できる流体(例えば、水)によって、リードフレーム30を洗浄する。第3洗浄装置83によって、リードフレーム30の表面30aに第2洗浄装置82で流されずに残存する粒体材料が、洗い流される。
なお、第1洗浄装置81で用いられる水より第2洗浄装置82で用いられる水の方が、純度が高く、第2洗浄装置82で用いられる水より第3洗浄装置83で用いられる水の方が、更に純度が高いようにすることが好ましい。
図7に示すように、リードフレーム水切り工程S1009は、搬送用キャリア50に載置されたマスク40及びリードフレーム30を、水切り装置90によって、水切りする工程である。第1洗浄装置81、第2洗浄装置82、第3洗浄装置83によって、洗浄されたリードフレーム30は、最終的に、水切り装置90によって、水分が除去される。
水切り装置90は、例えば、搬送用キャリア50に載置されたマスク40及びリードフレーム30に対してエア或いは温風を吹き付けて、リードフレーム30の表面30aに付着した水分を除去する。なお、水切り装置90による水切りの方法は、特に限定されるものではない。
図8に示すように、発光装置個片化工程S1010は、発光装置100の間に設定された境界線BD1、境界線BD2に沿って、リードフレーム30を切断し、発光装置100を個片化する工程である。
本工程において、ダイサーなどを用いて、境界線BD1、境界線BD2に沿って、リードフレーム30に対して厚さ方向に貫通する溝を形成することで、リードフレーム30を切断し、発光装置100を個片化する。なお、本工程で個片化される発光装置100は、ブラスト処理が施された後であるため、遮光性部材4の表面4aにおいて、遮光性部材4が含有する第2充填剤42の粒子の一部が、遮光性部材4の母材41から露出し、透光性部材5の表面5aにおいて、透光性部材5が含有する第1充填剤52の粒子の一部が、透光性部材5の母材51から露出している。
図9に示すように、リード電極折り曲げ工程S1011は、樹脂成形体2に保持され、樹脂成形体2の外側面から露出するリード電極3を、樹脂成形体2の外表面(裏面)に沿って折り曲げる工程である。これにより、リード電極3は、樹脂成形体2の外側面から樹脂成形体2の裏面へと折り曲げられて配置される。
樹脂成形体2の外側面から樹脂成形体2の裏面へと折り曲げられて配置されるリード電極31〜36の部位は、はんだなどの導電性接合部材によって、基板に接合される接合部となる。リードフレーム30の表面30aには、ブラスト処理が施されていないため、発光装置100の製造後に行われるはんだ実装の際に、当該接合部にボイドが発生することはなく、リード電極と基板とは、導電性接合部材を介して強固に接合される。
以上説明したように各工程を行うことにより、発光装置100が製造される。
上述の製造方法により製造された発光装置100によれば、リード電極に対して、ブラスト処理が施されていないため、リード電極と基板との間の接合強度が低下しない。また、上述の製造方法により製造された発光装置100によれば、樹脂成形体2の表面及び透光性部材5の表面に対して、適切にブラスト処理が施されているため、外光反射の影響を抑えることができる。即ち、リード電極と基板との間の接合強度を低下させずに、外光反射の影響を抑えた発光装置の製造方法を実現できる。
≪実施例≫
次に、本実施形態に係る発光装置の製造方法によって、製造された発光装置100における実施例について説明する。はじめに、発光装置100を作製した。そして、図10に示すように、はんだ150を用いて、リード電極3と基板200とを接合した。リード電極3と基板200との接合部を、接合部Xとした。接合後のサンプルを「実施例のサンプル」とした。
図11Aにおける上側の図は、図10の接合部Xを示す図であり、図11Aにおける真ん中の図は、領域A1の拡大図であり、図11Aにおける下側の図は、領域A2の拡大図である。
実施例のサンプルにおける各構成要素の詳細を、以下に示す。
(発光装置の形状及び材料)
・リード電極:
材料:Cu合金、厚み0.15mm
めっき:Agめっき、めっき厚2.5μm以上
・透光性部材:
母材:エポキシ樹脂(屈折率1.5)
第1充填剤:破砕シリカ(含有量20質量%程度)、球状シリカ(10μm程度、含有量40質量%程度)
・遮光性部材(光吸収性部材):
母材:ポリアミド樹脂(カーボンブラックを1質量%程度含む)
第2充填剤:ワラストナイト(含有量40質量%程度)
・樹脂成形体:
平面視での外形寸法:1辺が2.6mm
透光性部材の開口径:2.0mm×2.2mm
・発光素子:青色LED、緑色LED、赤色LEDを各1個実装
(ブラスト処理の条件)
・マスク:あり
・研磨液(スラリー):
溶媒:純水
研磨剤:低アルカリガラス(粒径2〜20μm)
形状:真球形状
比重:2.6
組成:SiO(55.5%)、CaO(23.1%)、Al(14.0%)、B(5.7%)、MgO(1.0%)、NaO(0.5%)、Fe(0.29%)
色:ホワイト
・投射角度:90°
・投射方向:1方向
・ガン圧:0.25(MPa)
・加工処理速度:5mm/秒
・ブラスト処理装置:mini−PFE
上記の各条件で、空気圧を加えて研磨液をノズルから霧状に噴射することで、樹脂成形体2の表面及び透光性部材5の表面5aにブラスト処理を施した。
(はんだ実装の条件)
・はんだ:
材料:Sn−Ag−Cu
・基板:
材料:ガラスエポキシ基板、Cu配線
≪比較例≫
「実施例のサンプル」と比較するため、「比較例のサンプル」を作製した。図11Bにおける上側の図は、図10の接合部Xを示す図であり、図11Bにおける真ん中の図は、領域B1の拡大図であり、図11Bにおける下側の図は、領域B2の拡大図である。
「比較例のサンプル」が「実施例のサンプル」と異なる点は、上述のブラスト処理の条件において、マスク:なし、とした点のみである。その他の条件は、全て「実施例のサンプル」と等しくした。「比較例のサンプル」における各構成要素の詳細は、上述の通りである。
≪評価≫
「実施例のサンプル」及び「比較例のサンプル」における評価結果を、図11に示す。
ブラスト処理においてマスク40を使用する場合、図11Aに示すように、接合部Xには、全くボイドが発生していないことが確認できる。つまり、接合部Xにおいて、リード電極3と基板200とは、はんだ150を介して強固に接合できており、リード電極3と基板200との間の接合強度は低下していないことが確認できる。
従って、ブラスト処理工程において、マスク40を使用することで、リードフレーム30の表面30aにはブラスト処理が施されず、発光装置100における樹脂成形体2の表面(遮光性部材4の表面4a)及び透光性部材5の表面5aのみにブラスト処理が施されることがわかった。
一方で、ブラスト処理においてマスク40を使用しない場合、図11Bの矢印に示すように、接合部Xには、多くのボイドが発生していることが確認できる。つまり、接合部Xにおいて、リード電極3と基板200とは、はんだ150を介して接合できていない箇所が複数あり、リード電極3と基板200との間の接合強度は極めて低いことが確認できる。
従って、ブラスト処理工程において、マスク40を使用しないことで、発光装置100における樹脂成形体2の表面(遮光性部材4の表面4a)及び透光性部材5の表面5aのみならず、リードフレーム30の表面30aにもブラスト処理が施されてしまうことがわかった。
以上の実験結果から、ブラスト処理工程においてマスクを使用することで、外光反射の影響を抑えつつ、リード電極と基板との間の接合強度を低下させない発光装置を実現できることが明らかになった。
本開示の実施形態に係る発光装置は、液晶ディスプレイのバックライト光源、各種照明器具、大型ディスプレイ、広告や行き先案内などの各種表示装置、更には、デジタルビデオカメラ、ファクシミリ、コピー機、スキャナなどにおける画像読取装置、プロジェクタ装置などに利用することができる。
1 発光素子
11,12,13 発光素子
2 樹脂成形体
2a 凹部
2b 底面
3,31,32,33,34,35,36 リード電極
30 リードフレーム
30a リードフレームの表面
35a 凸部
4 遮光性部材
4a 遮光性部材の表面
5 透光性部材
5a 透光性部材の表面
6 ワイヤ
40 マスク
41 母材
42 第2充填剤
45 貫通孔
46 隙間
50 搬送用キャリア
51 母材
52 第1充填剤
71 ディスペンサ
72 加熱装置
73 ノズル
73a 投射角度
74 研磨剤
75 ブラスト処理装置
81 第1洗浄装置
82 第2洗浄装置
83 第3洗浄装置
90 水切り装置
100 発光装置
150 はんだ
200 基板

Claims (10)

  1. 発光素子と、前記発光素子が載置されるリード電極と、前記リード電極を保持し前記発光素子を収納する凹部を有する樹脂成形体と、前記凹部に配置される透光性部材と、を有する発光装置が複数形成されたリードフレームを準備する工程と、
    複数の貫通孔を有するマスクを準備し、前記樹脂成形体及び前記透光性部材が前記貫通孔から露出し、かつ前記マスクと前記樹脂成形体と接触しないように前記マスクを前記リードフレームに重ねる工程と、
    前記樹脂成形体及び前記透光性部材の表面に、前記マスクの貫通孔を介して粒体材料を吹き付けるブラスト処理を施す工程と、を含み、
    前記リードフレームは、前記発光装置を形成する第1領域と前記第1領域に隣り合う位置に形成した凸部とを備え、
    前記マスクは、前記凸部に保持される発光装置の製造方法。
  2. 前記ブラスト処理は、
    水と前記粒体材料である研磨剤とを含有するスラリーを吹き付けるウェットブラスト法である請求項1に記載の発光装置の製造方法。
  3. 前記ブラスト処理は、
    前記樹脂成形体の表面に対して、80°以上100°以下の角度で、前記スラリーを吹き付ける請求項2に記載の発光装置の製造方法。
  4. 前記ブラスト処理を施す工程の後に、
    前記樹脂成形体の外側面から露出するリード電極を、前記樹脂成形体の外表面に沿って折り曲げる工程と、を更に含む請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
  5. 前記樹脂成形体の外側面は、
    光取り出し面から底面に向かって広がる傾斜を有する請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
  6. 前記樹脂成形体の外側面と前記マスクの貫通孔の内側面との間には、前記ブラスト処理で用いる前記粒体材料を洗い流すための隙間が形成されている請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
  7. 前記樹脂成形体の表面にブラスト処理を施す工程と、前記リード電極を折り曲げる工程との間に、
    前記隙間を通過できる流体で、前記リードフレームを洗浄する工程を更に含む請求項6に記載の発光装置の製造方法。
  8. 前記マスクは、
    前記マスクの貫通孔の内側面に緩衝材を備える請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
  9. 前記マスクの上面は、前記樹脂成形体の上面より高い位置に設置される請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
  10. 前記粒体材料の粒径は、
    1μm以上30μm以下である請求項2乃至請求項9の何れか一項に記載の発光装置の製造方法。
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