JP6788839B2 - 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画システムおよび描画データ生成方法 - Google Patents
荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画システムおよび描画データ生成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6788839B2 JP6788839B2 JP2017011653A JP2017011653A JP6788839B2 JP 6788839 B2 JP6788839 B2 JP 6788839B2 JP 2017011653 A JP2017011653 A JP 2017011653A JP 2017011653 A JP2017011653 A JP 2017011653A JP 6788839 B2 JP6788839 B2 JP 6788839B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drawing data
- unit
- data
- charged particle
- particle beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
複数の開口部を有し、これら開口部に前記荷電粒子ビームを通過させて、複数の微小ビームを含むマルチビームを生成するアパーチャ部と、
前記マルチビームを描画対象物に縮小投影する投影系と、
前記アパーチャ部と前記投影系との間に介在され、前記複数の微小ビームを前記投影系に向けるか、前記投影系とは異なる方向に向けるかを制御するブランキング部と、
前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御する制御部と、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得する取得部と、
前記第1描画データをラスタ形式の第2描画データに変換する第1画像変換部と、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成する画像補正部と、
前記第3描画データをベクトル形式の第4描画データに変換する第2画像変換部と、
前記第4描画データを第1描画データ記憶部に保存する制御を行う第1記憶制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第3描画データに基づいて、前記ビーム生成部、記投影系および前記ブランキング部を制御して、前記描画対象物に描画パターンを描画する荷電粒子ビーム描画装置が提供される。
前記第3描画データを2値化した2値データを生成する2値化部と、
前記2値データの輪郭を抽出して、前記第4描画データを生成する輪郭抽出部と、を有してもよい。
前記検査部により不具合があると判断されると、不具合がある箇所周辺の前記第4描画データを前記第1描画データ記憶部から読み出す第1記憶制御部と、
前記第1記憶制御部にて読み出した前記第4描画データを前記第1描画データと比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果に基づいて、前記第1画像変換部が前記第1描画データを前記第2描画データに変換する処理に不具合があったか否かを判断する補正不具合判断部と、を備えてもよい。
前記第2画像変換部は、
前記第3描画データ内の同一のピクセル値を有する隣接したピクセル範囲を一つの分割領域にまとめる領域分割を行う領域分割部と、
前記領域分割された分割領域をベクトル化した前記第4描画データを生成するベクトル変換部と、を有してもよい。
前記第2画像変換部は、
前記第3描画データに基づいて、前記荷電粒子ビームの前方散乱および後方散乱を考慮した描画シミュレーションを行って、蓄積ドーズ量分布を取得する蓄積ドーズ量分布取得部と、
前記蓄積ドーズ量分布をベクトルデータに変換する蓄積ドーズ量変換部と、
前記蓄積ドーズ量変換部にて変換されたベクトルデータの頂点数を削減して、前記第4描画データを生成する頂点数削減部と、を有してもよい。
前記検査部により不具合があると判断されると、不具合がある箇所周辺の前記第4描画データを前記第1描画データ記憶部から読み出す第1記憶制御部と、
前記第1記憶制御部にて読み出した前記第4描画データを前記第1描画データと比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果に基づいて、前記第2描画データを補正して前記第3描画データを生成する前記画像補正部が行う処理に不具合があったか否かを判断する補正不具合判断部と、を備えてもよい。
前記制御部は、前記第5描画データに基づいて、前記ビーム生成部、記投影系および前記ブランキング部を制御して、前記描画対象物に描画パターンを再描画してもよい。
前記画像補正部は、前記第2描画データに含まれる描画パターンの角部のピクセルのピクセル値を、より大きい値に補正して前記第3描画データを生成してもよい。
複数の開口部を有し、これら開口部に前記荷電粒子ビームを通過させて、複数の微小ビームを含むマルチビームを生成するアパーチャ部と、
前記マルチビームを描画対象物に縮小投影する投影系と、
前記アパーチャ部と前記投影系との間に介在され、前記複数の微小ビームを前記投影系に向けるか、前記投影系とは異なる方向に向けるかを制御するブランキング部と、
前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御する制御部と、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得する取得部と、
前記第1描画データをラスタ形式の第2描画データに変換する第1画像変換部と、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成する画像補正部と、
前記第3描画データをベクトル形式の第4描画データに変換する第2画像変換部と、
前記第4描画データを保存する第1描画データ記憶部と、
前記描画対象物への描画後に、前記描画対象物の描画パターンの外観検査を行って、外観上の不具合があるか否かを判断する検査部と、
前記検査部により、不具合があると判断されると、前記画像補正部における補正処理に不具合があるか否かを判断する補正不具合判断部と、を備える、荷電粒子ビーム描画システムが提供される。
複数の開口部を有し、これら開口部に前記荷電粒子ビームを通過させて、複数の微小ビームを含むマルチビームを生成するアパーチャ部と、
前記マルチビームを描画対象物に縮小投影する投影系と、
前記アパーチャ部と前記投影系との間に介在され、前記複数の微小ビームを前記投影系に向けるか、前記投影系とは異なる方向に向けるかを制御するブランキング部と、
前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御する制御部と、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得する取得部と、
前記第1描画データをラスタ形式の第2描画データに変換する第1画像変換部と、
前記第2描画データに対してピクセル単位で補正処理を行って、ラスタ形式の第3描画データを生成する画像補正部と、
前記第3描画データをベクトル形式の第4描画データに変換する第2画像変換部と、
前記第4描画データを保存する第1描画データ記憶部と、
前記第3描画データに基づいて、前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御して、前記描画対象物に描画パターンを描画する制御部と、
前記描画対象物への描画後に、前記描画対象物の描画パターンの外観検査を行って、外観上の不具合があるか否かを判断する検査部と、
前記検査部により、不具合があると判断されると、前記第4描画データを再生成する第1再生成部と、
前記再生成された第4描画データを用いて、ラスタ形式の前記第3描画データを再生成する第2再生成部と、を備え、
前記制御部は、前記再生成された前記第3描画データに基づいて、前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御して、前記描画対象物に描画パターンを再描画し、
前記第2画像変換部は、前記再生成された第3描画データを前記第4描画データに再変換し、
前記第1描画データ記憶部は、前記再変換された第4描画データを保存する荷電粒子ビーム描画システムが提供される。
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得するステップと、
前記第1描画データを、ラスタ形式の第2描画データに変換するステップと、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成するステップと、
前記第3描画データを、ベクトル形式の第4描画データに変換するステップと、
前記第4描画データを第1描画データ記憶部に保存するステップと、を備える描画データ生成方法が提供される。
前記第3描画データを2値化して2値化データを生成し、
前記2値データの輪郭を抽出して、前記第4描画データを生成してもよい。
前記不具合があると判断されると、不具合がある箇所周辺の前記第4描画データを前記第1描画データ記憶部から読み出し、
前記読み出した前記第4描画データを前記第1描画データと比較し、
前記比較した結果に基づいて、前記第1描画データを前記第2描画データに変換する処理に不具合があったか否かを判断してもよい。
前記第4画像に変換するステップは、
前記第3描画データ内の同一のピクセル値を有する隣接したピクセル範囲を一つの分割領域にまとめる領域分割を行い、
前記領域分割された分割領域をベクトル化した前記第4描画データを生成してもよい。
前記第3描画データに基づいて、前記荷電粒子ビームの前方散乱および後方散乱を考慮した描画シミュレーションを行って、蓄積ドーズ量分布を取得し、
前記蓄積ドーズ量分布をベクトルデータに変換し、
前記変換されたベクトルデータの頂点数を削減して、前記第4描画データを生成してもよい。
前記不具合があると判断されると、不具合がある箇所周辺の前記第4描画データを前記第1描画データ記憶部から読み出し、
前記読み出した前記第4描画データを前記第1描画データと比較し、
前記比較した結果に基づいて、前記第2描画データを補正して前記第3描画データを生成する処理に不具合があったか否かを判断してもよい。
ステージ、6a 第1電磁レンズ、6b 第2電磁レンズ、6c 第3電磁レンズ、7
電子銃、8 抽出系、9 照明レンズ、9a ブランキング偏向器、10 アパーチャ部材、11 第1偏向器、12 第2偏向器、13 描画対象物、16 アパーチャプレート、17 ブランキングプレート、18 接地電極、19 偏向電極、40 描画パターン、41 制御部、42 取得部、43 第1画像変換部、44 画像補正部、45 第2画像変換部、47 第1描画データ記憶部、49 第2描画データ記憶部、50 検査部、51 補正不具合判断部、52 第3画像変換部、53 第1再生成部、54 第2再生成部
Claims (15)
- 荷電粒子ビームを生成するビーム生成部と、
複数の開口部を有し、これら開口部に前記荷電粒子ビームを通過させて、複数の微小ビームを含むマルチビームを生成するアパーチャ部と、
前記マルチビームを描画対象物に縮小投影する投影系と、
前記アパーチャ部と前記投影系との間に介在され、前記複数の微小ビームを前記投影系に向けるか、前記投影系とは異なる方向に向けるかを制御するブランキング部と、
前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御する制御部と、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得する取得部と、
前記第1描画データをラスタ形式の第2描画データに変換する第1画像変換部と、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成する画像補正部と、
前記第3描画データをベクトル形式の第4描画データに変換する第2画像変換部と、
前記第4描画データを第1描画データ記憶部に保存する制御を行う第1記憶制御部と、
前記描画対象物への描画後に、前記描画対象物の描画パターンの外観検査を行って、外観上の不具合があるか否かを判断する検査部と、
前記検査部により不具合があると判断されると、不具合がある箇所周辺の前記第4描画データを前記第1描画データ記憶部から読み出す第1記憶制御部と、
前記第1記憶制御部にて読み出した前記第4描画データを前記第1描画データと比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果に基づいて、前記第1画像変換部が前記第1描画データを前記第2描画データに変換する処理に不具合があったか否かを判断する補正不具合判断部と、を備え、
前記制御部は、前記第3描画データに基づいて、前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御して、前記描画対象物に描画パターンを描画し、
前記第2画像変換部は、
前記第3描画データを2値化した2値データを生成する2値化部と、
前記2値データの輪郭を抽出して、前記第4描画データを生成する輪郭抽出部とを有する荷電粒子ビーム描画装置。 - 荷電粒子ビームを生成するビーム生成部と、
複数の開口部を有し、これら開口部に前記荷電粒子ビームを通過させて、複数の微小ビームを含むマルチビームを生成するアパーチャ部と、
前記マルチビームを描画対象物に縮小投影する投影系と、
前記アパーチャ部と前記投影系との間に介在され、前記複数の微小ビームを前記投影系に向けるか、前記投影系とは異なる方向に向けるかを制御するブランキング部と、
前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御する制御部と、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得する取得部と、
前記第1描画データをラスタ形式の第2描画データに変換する第1画像変換部と、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成する画像補正部と、
前記第3描画データをベクトル形式の第4描画データに変換する第2画像変換部と、
前記第4描画データを第1描画データ記憶部に保存する制御を行う第1記憶制御部と、を備え、
前記第3描画データは、複数のピクセルのそれぞれについてのピクセル値を含んでおり、
前記第2画像変換部は、
前記第3描画データ内の同一のピクセル値を有する隣接したピクセル範囲を一つの分割領域にまとめる領域分割を行う領域分割部と、
前記領域分割された分割領域をベクトル化した前記第4描画データを生成するベクトル変換部と、を有する、荷電粒子ビーム描画装置。 - 荷電粒子ビームを生成するビーム生成部と、
複数の開口部を有し、これら開口部に前記荷電粒子ビームを通過させて、複数の微小ビームを含むマルチビームを生成するアパーチャ部と、
前記マルチビームを描画対象物に縮小投影する投影系と、
前記アパーチャ部と前記投影系との間に介在され、前記複数の微小ビームを前記投影系に向けるか、前記投影系とは異なる方向に向けるかを制御するブランキング部と、
前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御する制御部と、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得する取得部と、
前記第1描画データをラスタ形式の第2描画データに変換する第1画像変換部と、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成する画像補正部と、
前記第3描画データをベクトル形式の第4描画データに変換する第2画像変換部と、
前記第4描画データを第1描画データ記憶部に保存する制御を行う第1記憶制御部と、を備え、
前記第3描画データは、複数のピクセルのそれぞれについてのピクセル値を含んでおり、
前記第2画像変換部は、
前記第3描画データに基づいて、前記荷電粒子ビームの前方散乱および後方散乱を考慮した描画シミュレーションを行って、蓄積ドーズ量分布を取得する蓄積ドーズ量分布取得部と、
前記蓄積ドーズ量分布をベクトルデータに変換する蓄積ドーズ量変換部と、
前記蓄積ドーズ量変換部にて変換されたベクトルデータの頂点数を削減して、前記第4描画データを生成する頂点数削減部と、を有する、荷電粒子ビーム描画装置。 - 前記描画対象物への描画後に、前記描画対象物の描画パターンの外観検査を行って、外観上の不具合があるか否かを判断する検査部と、
前記検査部により不具合があると判断されると、不具合がある箇所周辺の前記第4描画データを前記第1描画データ記憶部から読み出す第1記憶制御部と、
前記第1記憶制御部にて読み出した前記第4描画データを前記第1描画データと比較する比較手段と、
前記比較手段による比較結果に基づいて、前記第2描画データを補正して前記第3描画データを生成する前記画像補正部が行う処理に不具合があったか否かを判断する補正不具合判断部と、を備える、請求項2または3に記載の荷電粒子ビーム描画装置。 - 前記第1描画データ記憶部に保存された前記第4描画データをラスタ形式の第5描画データに変換する第3画像変換部を備え、
前記制御部は、前記第5描画データに基づいて、前記ビーム生成部、記投影系および前記ブランキング部を制御して、前記描画対象物に描画パターンを再描画する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム描画装置。 - 前記画像補正部は、前記第2描画データに含まれる描画パターンの角部のピクセルのピクセル値を補正して前記第3描画データを生成する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 前記描画パターンに重なるピクセルは、前記描画パターンに重ならないピクセルよりも、ピクセル値が大きく設定されており、
前記画像補正部は、前記第2描画データに含まれる描画パターンの角部のピクセルのピクセル値を、より大きい値に補正して前記第3描画データを生成する請求項6に記載の荷電粒子ビーム描画装置。 - 前記画像補正部は、前記第2描画データに含まれる描画パターンの境界線が位置する複数のピクセルのピクセル値を補正して前記第3描画データを生成する請求項1乃至6のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 前記第1描画データを第2描画データ記憶部に保存する制御を行う第2記憶制御部を備える請求項1乃至8のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 荷電粒子ビームを生成するビーム生成部と、
複数の開口部を有し、これら開口部に前記荷電粒子ビームを通過させて、複数の微小ビームを含むマルチビームを生成するアパーチャ部と、
前記マルチビームを描画対象物に縮小投影する投影系と、
前記アパーチャ部と前記投影系との間に介在され、前記複数の微小ビームを前記投影系に向けるか、前記投影系とは異なる方向に向けるかを制御するブランキング部と、
前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御する制御部と、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得する取得部と、
前記第1描画データをラスタ形式の第2描画データに変換する第1画像変換部と、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成する画像補正部と、
前記第3描画データをベクトル形式の第4描画データに変換する第2画像変換部と、
前記第4描画データを保存する第1描画データ記憶部と、
前記描画対象物への描画後に、前記描画対象物の描画パターンの外観検査を行って、外観上の不具合があるか否かを判断する検査部と、
前記検査部により、不具合があると判断されると、前記画像補正部における補正処理に不具合があるか否かを判断する補正不具合判断部と、を備える、荷電粒子ビーム描画システム。 - 荷電粒子ビームを生成するビーム生成部と、
複数の開口部を有し、これら開口部に前記荷電粒子ビームを通過させて、複数の微小ビームを含むマルチビームを生成するアパーチャ部と、
前記マルチビームを描画対象物に縮小投影する投影系と、
前記アパーチャ部と前記投影系との間に介在され、前記複数の微小ビームを前記投影系に向けるか、前記投影系とは異なる方向に向けるかを制御するブランキング部と、
前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御する制御部と、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得する取得部と、
前記第1描画データをラスタ形式の第2描画データに変換する第1画像変換部と、
前記第2描画データに対してピクセル単位で補正処理を行って、ラスタ形式の第3描画データを生成する画像補正部と、
前記第3描画データをベクトル形式の第4描画データに変換する第2画像変換部と、
前記第4描画データを保存する第1描画データ記憶部と、
前記第3描画データに基づいて、前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御して、前記描画対象物に描画パターンを描画する制御部と、
前記描画対象物への描画後に、前記描画対象物の描画パターンの外観検査を行って、外観上の不具合があるか否かを判断する検査部と、
前記検査部により、不具合があると判断されると、前記第4描画データを再生成する第1再生成部と、
前記再生成された第4描画データを用いて、ラスタ形式の前記第3描画データを再生成する第2再生成部と、を備え、
前記制御部は、前記再生成された前記第3描画データに基づいて、前記ビーム生成部、前記投影系および前記ブランキング部を制御して、前記描画対象物に描画パターンを再描画し、
前記第2画像変換部は、前記再生成された第3描画データを前記第4描画データに再変換し、
前記第1描画データ記憶部は、前記再変換された第4描画データを保存する荷電粒子ビーム描画システム。 - 荷電粒子ビームに基づいて生成した複数の微小ビームを含むマルチビームを用いて、描画対象物の描画を行う荷電粒子ビーム描画装置にて用いられる描画データの生成方法において、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得するステップと、
前記第1描画データを、ラスタ形式の第2描画データに変換するステップと、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成するステップと、
前記第3描画データを、ベクトル形式の第4描画データに変換するステップと、
前記第4描画データを第1描画データ記憶部に保存するステップと、
前記描画対象物への描画後に、前記描画対象物の描画パターンの外観検査を行って、外観上の不具合があるか否かを判断するステップと、
前記不具合があると判断されると、不具合がある箇所周辺の前記第4描画データを前記第1描画データ記憶部から読み出すステップと、
前記読み出した前記第4描画データを前記第1描画データと比較するステップと、
前記比較した結果に基づいて、前記第1描画データを前記第2描画データに変換する処理に不具合があったか否かを判断するステップと、を備え、
前記第4描画データに変換するステップは、
前記第3描画データを2値化して2値データを生成し、
前記2値データの輪郭を抽出して、前記第4描画データを生成する、描画データ生成方法。 - 荷電粒子ビームに基づいて生成した複数の微小ビームを含むマルチビームを用いて、描画対象物の描画を行う荷電粒子ビーム描画装置にて用いられる描画データの生成方法において、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得するステップと、
前記第1描画データを、ラスタ形式の第2描画データに変換するステップと、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成するステップと、
前記第3描画データを、ベクトル形式の第4描画データに変換するステップと、
前記第4描画データを第1描画データ記憶部に保存するステップと、
前記第3描画データは、複数のピクセルのそれぞれについてのピクセル値を含んでおり、
前記第4描画データに変換するステップは、
前記第3描画データ内の同一のピクセル値を有する隣接したピクセル範囲を一つの分割領域にまとめる領域分割を行い、
前記領域分割された分割領域をベクトル化した前記第4描画データを生成する、描画データ生成方法。 - 荷電粒子ビームに基づいて生成した複数の微小ビームを含むマルチビームを用いて、描画対象物の描画を行う荷電粒子ビーム描画装置にて用いられる描画データの生成方法において、
前記描画対象物に描画するためのベクトル形式の第1描画データを取得するステップと、
前記第1描画データを、ラスタ形式の第2描画データに変換するステップと、
ピクセル単位で前記第2描画データを補正して、ラスタ形式の第3描画データを生成するステップと、
前記第3描画データを、ベクトル形式の第4描画データに変換するステップと、
前記第4描画データを第1描画データ記憶部に保存するステップと、
前記第3描画データは、複数のピクセルのそれぞれについてのピクセル値を含んでおり、
前記第3描画データに基づいて、前記荷電粒子ビームの前方散乱および後方散乱を考慮した描画シミュレーションを行って、蓄積ドーズ量分布を取得し、
前記蓄積ドーズ量分布をベクトルデータに変換し、
前記変換されたベクトルデータの頂点数を削減して、前記第4描画データを生成する、描画データ生成方法。 - 前記描画対象物への描画後に、前記描画対象物の描画パターンの外観検査を行って、外観上の不具合があるか否かを判断し、
前記不具合があると判断されると、不具合がある箇所周辺の前記第4描画データを前記第1描画データ記憶部から読み出し、
前記読み出した前記第4描画データを前記第1描画データと比較し、
前記比較した結果に基づいて、前記第2描画データを補正して前記第3描画データを生成する処理に不具合があったか否かを判断する、請求項13または14に記載の描画データ生成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2017/002815 WO2017131119A1 (ja) | 2016-01-28 | 2017-01-26 | 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画システムおよび描画データ生成方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016014509 | 2016-01-28 | ||
JP2016014509 | 2016-01-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017139458A JP2017139458A (ja) | 2017-08-10 |
JP6788839B2 true JP6788839B2 (ja) | 2020-11-25 |
Family
ID=59566388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017011653A Active JP6788839B2 (ja) | 2016-01-28 | 2017-01-25 | 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画システムおよび描画データ生成方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6788839B2 (ja) |
TW (1) | TWI696897B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7073668B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2022-05-24 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
JP7126367B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2022-08-26 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
JP7159970B2 (ja) * | 2019-05-08 | 2022-10-25 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
JP7234052B2 (ja) | 2019-06-28 | 2023-03-07 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6274290B1 (en) * | 1997-01-28 | 2001-08-14 | Etec Systems, Inc. | Raster scan gaussian beam writing strategy and method for pattern generation |
JP2006251160A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 描画方法および装置 |
US7916284B2 (en) * | 2006-07-18 | 2011-03-29 | Asml Netherlands B.V. | Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method |
JP4733065B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2011-07-27 | 富士フイルム株式会社 | 描画データ検査方法および描画データ検査装置 |
NL2002962A1 (nl) * | 2008-06-11 | 2009-12-14 | Asml Netherlands Bv | Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method. |
JP2014049467A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-17 | Canon Inc | 描画装置、それを用いた物品の製造方法 |
WO2015090841A1 (en) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9460260B2 (en) * | 2014-02-21 | 2016-10-04 | Mapper Lithography Ip B.V. | Enhanced stitching by overlap dose and feature reduction |
JP6337511B2 (ja) * | 2014-02-26 | 2018-06-06 | 大日本印刷株式会社 | マルチビーム電子線描画装置を用いたパターニング方法 |
-
2017
- 2017-01-25 JP JP2017011653A patent/JP6788839B2/ja active Active
- 2017-02-02 TW TW106103504A patent/TWI696897B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017139458A (ja) | 2017-08-10 |
TWI696897B (zh) | 2020-06-21 |
TW201743140A (zh) | 2017-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6788839B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画システムおよび描画データ生成方法 | |
US10762383B2 (en) | Pattern inspection apparatus and pattern inspection method | |
US9671686B2 (en) | Exposure methods using e-beams and methods of manufacturing masks and semiconductor devices therefrom | |
JP5559957B2 (ja) | パターン測定方法及びパターン測定装置 | |
KR102380475B1 (ko) | 다중 빔 라이터의 단거리 변위의 보정 | |
JP6750966B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
TWI813618B (zh) | 掃描電子顯微鏡的自動對焦方法 | |
KR102415589B1 (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
US11789372B2 (en) | Writing data generating method and multi charged particle beam writing apparatus | |
TW202139233A (zh) | 多電子束照射裝置 | |
KR20160041765A (ko) | 묘화 데이터 생성 방법, 멀티 하전 입자빔 묘화 장치 및 패턴 검사 장치 | |
JP7106299B2 (ja) | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム走査のスキャン順序取得方法 | |
JP7514677B2 (ja) | パターン検査装置及びパターンの輪郭位置取得方法 | |
JP7171378B2 (ja) | マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 | |
CN113242956A (zh) | 图像匹配方法以及用于执行图像匹配处理的运算系统 | |
US9989860B2 (en) | Method of generating a pattern on a photomask using a plurality of beams and pattern generator for performing the same | |
WO2017131119A1 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画システムおよび描画データ生成方法 | |
JP7326480B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
WO2021024648A1 (ja) | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 | |
JP6255191B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
KR101487113B1 (ko) | 패턴의 판정 장치 및 기록 매체 | |
JP2020085837A (ja) | 電子ビーム画像取得装置および電子ビーム画像取得方法 | |
KR101753196B1 (ko) | 묘화 데이터 검증 방법 및 멀티 하전 입자빔 묘화 장치 | |
JP2020085838A (ja) | 電子ビーム検査装置 | |
JP7547179B2 (ja) | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200630 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200828 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201015 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6788839 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |