JP6255191B2 - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Description
前記パターンの重要度情報が入力されるインターフェース部と、
前記光学画像を基準画像と比較し、これらの差異が、前記重要度情報を用いて決定された閾値を超えた場合に欠陥と判定する比較部とを有し、
前記重要度情報は、前記パターンを描画する描画装置に入力される描画データ、前記描画データまたは前記描画データの基になる設計データへのリサイズ処理、前記描画データまたは前記設計データへの補助パターンの付加、前記描画データに設定された前記描画装置の描画条件への補正処理、および前記描画装置のログのうちの少なくとも1つの情報であることを特徴とする検査装置に関する。
前記パターンの光学画像を得る工程と、
前記描画装置に入力される描画データ、前記描画データまたは前記描画データの基になる設計データへのリサイズ処理、前記描画データまたは前記設計データへの補助パターンの付加、前記描画データに設定された前記描画装置の描画条件への補正処理、および前記描画装置のログのうちの少なくとも1つの重要度情報を取得する工程と、
前記光学画像を基準画像と比較し、これらの差異が、前記重要度情報を用いて決定された閾値を超えた場合に欠陥と判定する工程とを有することを特徴とするものである。
以下に、本願出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1]
パターンが設けられた検査対象に光を照射して、前記パターンの光学画像を得る光学画像取得部と、
前記パターンの重要度情報が入力されるインターフェース部と、
前記光学画像を基準画像と比較し、これらの差異が、前記重要度情報を用いて決定された閾値を超えた場合に欠陥と判定する比較部とを有し、
前記重要度情報は、前記パターンを描画する描画装置に入力される描画データ、前記描画データまたは前記描画データの基になる設計データへのリサイズ処理、前記描画データまたは前記設計データへの補助パターンの付加、前記描画データに設定された前記描画装置の描画条件への補正処理、および前記描画装置のログのうちの少なくとも1つの情報であることを特徴とする検査装置。
[C2]
前記描画データまたは前記描画データの基になる設計データへのリサイズ処理の情報、前記描画データまたは前記設計データへの補助パターンの付加の情報、および前記描画データに設定された前記描画装置の描画条件への補正処理の情報は、前記インターフェース部にLAN回線を介して接続するサーバ、または、前記描画装置に格納されていることを特徴とする[C1]に記載の検査装置。
[C3]
前記描画装置と互換性のあるフォーマットデータを取り扱い可能とすることを特徴とする[C1]または[C2]に記載の検査装置。
[C4]
前記描画条件は、前記描画装置に用いられる荷電粒子ビームの照射量、照射回数および照射位置の少なくとも1つであることを特徴とする[C1]に記載の検査装置。
[C5]
前記ログ情報は、前記描画データに設定された前記描画装置の描画条件への補正処理の情報を含むことを特徴とする[C1]に記載の検査装置。
[C6]
描画装置によって描画されたパターンの欠陥を検査する検査方法において、
前記パターンの光学画像を得る工程と、
前記描画装置に入力される描画データ、前記描画データまたは前記描画データの基になる設計データへのリサイズ処理、前記描画データまたは前記設計データへの補助パターンの付加、前記描画データに設定された前記描画装置の描画条件への補正処理、および前記描画装置のログのうちの少なくとも1つの重要度情報を取得する工程と、
前記光学画像を基準画像と比較し、これらの差異が、前記重要度情報を用いて決定された閾値を超えた場合に欠陥と判定する工程とを有することを特徴とする検査方法。
101 マスク
102 XYθテーブル
103 光源
104 拡大光学系
105 フォトダイオードアレイ
106 センサ回路
107 位置回路
108 比較回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
111、140 展開回路
112 参照回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 フレキシブルディスク装置
117 CRT
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
130 オートローダ
170 照明光学系
10 CADデータ
12、14 設計中間データ
16 設計データ
17 描画データ
18 MDR情報
200 修正装置
301 第1の描画装置
302 第2の描画装置
400 共通サーバ
500 レビュー装置
Claims (4)
- パターンが設けられた検査対象に光を照射して、前記パターンの光学画像を得る光学画像取得部と、
前記パターンの重要度情報が入力されるインターフェース部と、
前記光学画像を基準画像と比較し、これらの差異が、前記重要度情報を用いて決定された閾値を超えた場合に欠陥と判定する比較部とを有し、
前記重要度情報は、前記パターンを描画する描画装置に対して設定される前記描画装置の描画条件への補正処理の情報を少なくとも含み、
前記描画条件は、前記描画装置に用いられる荷電粒子ビームの照射量、照射回数および照射位置の少なくとも1つであることを特徴とする検査装置。 - パターンが設けられた検査対象に光を照射して、前記パターンの光学画像を得る光学画像取得部と、
前記パターンの重要度情報が入力されるインターフェース部と、
前記光学画像を基準画像と比較し、これらの差異が、前記重要度情報を用いて決定された閾値を超えた場合に欠陥と判定する比較部とを有し、
前記重要度情報は、前記パターンを描画する描画装置のログ情報を少なくとも含み、
前記ログ情報は、前記描画装置の描画データに設定された前記描画装置の描画条件への補正処理の情報を含むことを特徴とする検査装置。 - 描画装置によって描画されるパターンの欠陥を検査する検査方法において、
前記パターンの光学画像を得る工程と、
前記パターンの各部分の重要度情報を取得する工程と、
前記重要度情報を用いて前記欠陥を判定する閾値を決定する工程と、
前記光学画像を基準画像と比較し、これらの差異が、前記閾値を超えた場合に欠陥と判定する工程とを有し、
前記重要度情報は、前記パターンを描画する描画装置に対して設定される前記描画装置の描画条件への補正処理の情報を少なくとも含み、
前記描画条件は、前記描画装置に用いられる荷電粒子ビームの照射量、照射回数および照射位置の少なくとも1つであることを特徴とする検査方法。 - 描画装置によって描画されるパターンの欠陥を検査する検査方法において、
前記パターンの光学画像を得る工程と、
前記パターンの各部分の重要度情報を取得する工程と、
前記重要度情報を用いて前記欠陥を判定する閾値を決定する工程と、
前記光学画像を基準画像と比較し、これらの差異が、前記閾値を超えた場合に欠陥と判定する工程とを有し、
前記重要度情報は、前記パターンを描画する描画装置のログ情報を少なくとも含み、
前記ログ情報は、前記描画装置の描画データに設定された前記描画装置の描画条件への補正処理の情報を含むことを特徴とする検査方法。
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