JP6776764B2 - Manufacturing method of light emitting device - Google Patents
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Description
本発明は、発光装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting device.
近年、光源として発光ダイオード、レーザダイオード等の発光素子を搭載した発光装置は、各種の照明、表示装置に利用されている。例えば、このような発光装置として、透明絶縁基板とその下面に形成された半導体層とを有する半導体発光素子と、マザー基板との接続を取るための接続電極とを備え、半導体発光素子から出射する光の一部を波長変換する半導体発光装置が提案されている（特許文献１）。この半導体発光装置では、さらに、半導体発光素子の側部を覆う白色反射部材と、透明絶縁基板の半導体層とは反対側に配置され、透明絶縁基板及び白色反射部材を覆う蛍光体シートと、蛍光体シートと透明絶縁基板とを接着する接着層とを備えており、半導体発光素子は、突起電極を有する。 In recent years, light emitting devices equipped with light emitting elements such as light emitting diodes and laser diodes as light sources have been used in various lighting and display devices. For example, such a light emitting device includes a semiconductor light emitting element having a transparent insulating substrate and a semiconductor layer formed on the lower surface thereof, and a connection electrode for connecting to the mother substrate, and emits light from the semiconductor light emitting element. A semiconductor light emitting device that converts a part of light into wavelength has been proposed (Patent Document 1). In this semiconductor light emitting device, a white reflective member that covers the side portion of the semiconductor light emitting element, a phosphor sheet that is arranged on the side opposite to the semiconductor layer of the transparent insulating substrate and covers the transparent insulating substrate and the white reflective member, and fluorescence. It is provided with an adhesive layer for adhering the body sheet and the transparent insulating substrate, and the semiconductor light emitting device has a protruding electrode.
本発明の実施形態は、簡便な製造方法によって、発光装置からの発光の指向性を高め、発光装置の小型化又は薄型化を実現することができる、発光装置の製造方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a light emitting device, which can increase the directivity of light emitted from the light emitting device and realize miniaturization or thinning of the light emitting device by a simple manufacturing method. And.
本願は、以下の発明を含む。
（ａ）反射膜を準備し、
（ｂ）半導体積層体と、第１主面側に形成された電極とを有する発光素子を準備し、
（ｃ）前記発光素子の第１主面側で前記反射膜を押圧し、前記反射膜を変形させ、少なくとも前記発光素子の側面に前記反射膜を配置し、
（ｄ）前記発光素子の電極を前記反射膜から露出させる発光装置の製造方法。
The present application includes the following inventions.
(A) Prepare a reflective film and
(B) A light emitting device having a semiconductor laminate and an electrode formed on the first main surface side is prepared.
(C) The reflective film is pressed on the first main surface side of the light emitting element to deform the reflective film, and the reflective film is arranged at least on the side surface of the light emitting element.
(D) A method for manufacturing a light emitting device that exposes the electrodes of the light emitting element from the reflective film.
本願によれば、簡便な製造方法によって、発光装置からの発光の指向性を高め、発光装置の小型化又は薄型化を実現することができる、発光装置の製造方法を提供することができる。 According to the present application, it is possible to provide a manufacturing method of a light emitting device capable of increasing the directivity of light emission from the light emitting device and realizing miniaturization or thinning of the light emitting device by a simple manufacturing method.
以下、発明の実施の形態について適宜図面を参照して説明する。ただし、以下に説明する発光装置は、本開示の技術思想を具体化するためのものであって、特定的な記載がない限り、本開示を以下のものに限定しない。また、一の実施の形態、実施例において説明する内容は、他の実施の形態、実施例にも適用可能である。
各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明のため、誇張していることがある。
Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings as appropriate. However, the light emitting device described below is for embodying the technical idea of the present disclosure, and the present disclosure is not limited to the following unless otherwise specified. Further, the contents described in one embodiment and the embodiment can be applied to other embodiments and the embodiments.
The size and positional relationship of the members shown in each drawing may be exaggerated for the sake of explanation.
本発明の一実施形態の発光装置の製造方法は、例えば、図２に示すように、主として、
（ａ）反射膜を準備し（図２Ａ参照）、
（ｂ）発光素子を準備し（図２Ａ参照）、
（ｃ）少なくとも発光素子の側面に反射膜を配置し（図２Ｂ参照）、
（ｄ）発光素子の電極を反射膜から露出させる工程を含む（図２Ｃ参照）。
この製造方法では、さらに、
（ｅ）透光性部材を形成する工程（図２Ｄ参照）及び／又は
（ｆ）反射膜を分割する工程（図２Ｅ参照）を含んでいてもよい。
The method for manufacturing the light emitting device according to the embodiment of the present invention mainly includes, for example, as shown in FIG.
(A) Prepare a reflective film (see FIG. 2A) and
(B) Prepare a light emitting element (see FIG. 2A).
(C) A reflective film is placed at least on the side surface of the light emitting element (see FIG. 2B).
(D) The step of exposing the electrode of the light emitting element from the reflective film is included (see FIG. 2C).
In this manufacturing method,
It may include (e) a step of forming the translucent member (see FIG. 2D) and / or (f) a step of dividing the reflective film (see FIG. 2E).
（ａ：反射膜１５の準備）
反射膜１５を準備する。
反射膜は、用いる発光素子からの光に対し、透過率が１％以下の膜をさす。これにより、発光装置の側面から漏れ出す光を低減し、発光装置の発光の指向性を高めることができる。また、反射率が７０％以上、８０％以上又は９０％以上の材料の膜であることが好ましい。これにより、光取り出し効率を高めることができる。
具体的には、反射膜は、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｃｕ等の金属又はこれらの合金、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ａｌ等の酸化物又は窒化物を含む誘電体（例えば、ＳｉＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、Ｔａ2Ｏ5等）、セラミックス（窒化ホウ素等）の単層膜又は積層膜が挙げられる。なかでも、Ａｌ、Ａｇ、Ｃｕ等の金属又はこれらを含む合金の単層膜又は積層膜が好ましく、Ａｌ、Ａｇ等の単層膜が好ましい。反射膜は、基材の上に上述のような光反射性の材料が設けられたものであってもよい。基材としては、樹脂フィルム（例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂等）が挙げられる。樹脂フィルムのような可撓性を有する基材を用いることにより、反射膜に適切な柔軟性や強度を付与することができる。また、後述の押圧によって反射膜を変形させる工程において、反射膜が破損する恐れを低減することができる。さらに、基材として放熱性の高い材料を用いることにより、反射膜からの放熱性を高めることができる。
(A: Preparation of reflective film 15)
The reflective film 15 is prepared.
The reflective film refers to a film having a transmittance of 1% or less with respect to the light from the light emitting element used. As a result, the light leaking from the side surface of the light emitting device can be reduced, and the directivity of the light emission of the light emitting device can be improved. Further, it is preferable that the film is made of a material having a reflectance of 70% or more, 80% or more, or 90% or more. Thereby, the light extraction efficiency can be improved.
Specifically, the reflective film is a metal such as Al, Ag, Au, Pt, Pd, Rh, Ni, W, Mo, Cr, Ti, Cu or an alloy thereof, Si, Ti, Zr, Nb, Ta, Dioxide containing oxides or nitrides such as Al (for example, SiO 2 , Nb 2 O 5 , TiO 2 , ZrO 2 , Ta 2 O 5, etc.), ceramics (boron nitride, etc.) monolayer or laminated film Can be mentioned. Among them, a single-layer film or a laminated film of a metal such as Al, Ag, Cu or an alloy containing these is preferable, and a single-layer film such as Al, Ag is preferable. The reflective film may be one in which the above-mentioned light-reflecting material is provided on the base material. Examples of the base material include a resin film (for example, epoxy resin, silicone resin, acrylic resin, urethane resin, etc.). By using a flexible base material such as a resin film, it is possible to impart appropriate flexibility and strength to the reflective film. In addition, the risk of damage to the reflective film can be reduced in the step of deforming the reflective film by pressing, which will be described later. Further, by using a material having high heat dissipation as the base material, the heat dissipation from the reflective film can be enhanced.
反射膜の厚みは、用いる材料によって適宜調整することができ、例えば、５〜１００μｍ程度が挙げられ、２０〜５０μｍ程度が好ましい。このような膜厚の範囲とすることで、後の工程における押圧によって反射膜が破損するおそれを低減することができる。反射膜の大きさは、後述するように、準備する発光素子の数に応じて適宜調整することができる。 The thickness of the reflective film can be appropriately adjusted depending on the material used, for example, about 5 to 100 μm, and preferably about 20 to 50 μm. By setting the film thickness within such a range, it is possible to reduce the possibility that the reflective film will be damaged by pressing in a later step. As will be described later, the size of the reflective film can be appropriately adjusted according to the number of light emitting elements to be prepared.
反射膜は、当該分野で公知の方法によって形成することができ、また、市販されているものを用いることができる。このような反射膜を用いることにより、製造工程を簡略化することができる。 The reflective film can be formed by a method known in the art, or a commercially available one can be used. By using such a reflective film, the manufacturing process can be simplified.
反射膜は、例えば、支持部材の上に準備されることが好ましい。言い換えると、反射膜は、押圧工程において、支持部材をその下に備えることが好ましい。
支持部材は、例えば、少なくとも反射膜を押圧する工程時において、可塑性、弾性及び／又は柔軟性を有する材料によって形成されていることが好ましい。また、半導体分野で通常使用されるダイボンダー等による押圧によって変形し得る材料によって形成されていることが好ましく、その変形を維持し得る材料によって形成されていることがより好ましい。言い換えると、支持部材は、押圧によって支持部材に凹部を形成することができることが好ましく、形成された凹部の形状を維持し得るものが好ましい。あるいは、支持部材は、それを構成する材料にかかわらず、あらかじめその表面に発光素子を収容し得る凹部が設けられたもの又は１以上の段差を有する凹部が設けられたものであってもよい（図７参照）。これにより、反射膜を、この凹部の形状に沿って変形させることができ、製造のばらつきを低減することができる。
The reflective film is preferably prepared, for example, on a support member. In other words, the reflective film preferably has a support member under it in the pressing step.
The support member is preferably made of a material having plasticity, elasticity and / or flexibility, for example, at least during the step of pressing the reflective film. Further, it is preferably formed of a material that can be deformed by pressing with a die bonder or the like that is usually used in the semiconductor field, and more preferably that it is formed of a material that can maintain the deformation. In other words, it is preferable that the support member can form a recess in the support member by pressing, and it is preferable that the support member can maintain the shape of the formed recess. Alternatively, the support member may be one in which a recess capable of accommodating a light emitting element is provided in advance on the surface thereof, or one in which a recess having one or more steps is provided on the surface thereof, regardless of the material constituting the support member. (See FIG. 7). Thereby, the reflective film can be deformed along the shape of the concave portion, and the manufacturing variation can be reduced.
このような特性を実現する支持部材としては、例えば、粘土、セラミックス、金属、樹脂等を含有するもの、あるいはそれらによって形成されている冶具等が挙げられる。また、支持部材は、発光装置の一部として使用し得る材料で形成されていてもよい。この場合、支持部材は発光装置の支持部として、発光装置の一部を構成することができる。 Examples of the support member that realizes such characteristics include those containing clay, ceramics, metal, resin, and the like, and jigs formed by them. Further, the support member may be made of a material that can be used as a part of the light emitting device. In this case, the support member can form a part of the light emitting device as a support portion of the light emitting device.
発光装置に備えられた状態では、図１Ｂ，１Ｄに示すように、反射膜１５は発光素子の側面とほぼ平行な面を備えていてもよいが、図１Ｃ，１Ｅに示すように、反射膜１５Ａは発光素子の第２主面の方向に広がるように傾斜する面を備えることが好ましい。これにより、発光素子の側面からの光の取り出しを高め、発光装置の光取り出し効率を高めることができる。 In the state of being provided in the light emitting device, the reflective film 15 may have a surface substantially parallel to the side surface of the light emitting element as shown in FIGS. 1B and 1D, but as shown in FIGS. 1C and 1E, the reflective film 15 may be provided. It is preferable that the 15A is provided with a surface that is inclined so as to spread in the direction of the second main surface of the light emitting element. As a result, the light extraction from the side surface of the light emitting element can be enhanced, and the light extraction efficiency of the light emitting device can be enhanced.
（ｂ：発光素子１４の準備）
発光素子１４を準備する。発光素子は１つでもよいし、複数でもよい。
発光素子は、当該分野で用いられているもののいずれを利用することができる。
例えば、発光素子は、半導体積層体と、一対の電極とを有する。
半導体積層体は、窒化物半導体によって形成されたものが挙げられる。窒化物半導体としては、一般式がＩｎxＡｌyＧａ1-x-yＮ（０≦ｘ、０≦ｙ、ｘ＋ｙ≦１）、これらの半導体にＢ、Ｐ、Ａｓ等が混晶されたもの等が挙げられる。半導体積層体は、蛍光物質を効率的に励起できる短波長の可視光、紫外光が発光可能であるものが好ましい。具体的には、発光ピーク波長として、２４０ｎｍ〜５６０ｎｍ、好ましくは３８０ｎｍ〜４７０ｎｍが得られるものが好ましい。
(B: Preparation of light emitting element 14)
The light emitting element 14 is prepared. The number of light emitting elements may be one or a plurality.
As the light emitting element, any of those used in the art can be used.
For example, the light emitting device has a semiconductor laminate and a pair of electrodes.
Examples of the semiconductor laminate include those formed by nitride semiconductors. As the nitride semiconductor, the general formula In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x, 0 ≦ y, x + y ≦ 1), these semiconductor B, P, such as those such as As is mixed crystal Can be mentioned. The semiconductor laminate is preferably one capable of emitting short-wavelength visible light or ultraviolet light capable of efficiently exciting a fluorescent substance. Specifically, it is preferable that the emission peak wavelength is 240 nm to 560 nm, preferably 380 nm to 470 nm.
半導体積層体は、第１導電型（例えば、ｎ型）層、活性層及び第２導電型（例えば、ｐ型）層をこの順に有する構造が好ましい。ｎ型及びｐ型半導体層は、単層又は多層構造でもよい。活性層は多重量子井戸構造（ＭＱＷ）が好ましい。 The semiconductor laminate preferably has a structure having a first conductive type (for example, n type) layer, an active layer, and a second conductive type (for example, p type) layer in this order. The n-type and p-type semiconductor layers may have a single layer or a multilayer structure. The active layer preferably has a multiple quantum well structure (MQW).
半導体積層体は、通常、成長基板の上に上述した各層が積層されて形成される。成長基板としては、Ｃ面、Ｒ面及びＡ面のサファイアのような絶縁性基板、炭化珪素、Ｓｉ、ＺｎＯ、ＧａＮ、ＡｌＮ等の半導体の導電性基板が挙げられる。
成長基板は、半導体積層体の成長後に半導体積層体から除去されてもよい。さらに、半導体積層体に、支持基板、例えば導電性基板又は別の透光性の部材または基板を接着した構造としてもよい。
The semiconductor laminate is usually formed by laminating the above-mentioned layers on a growth substrate. Examples of the growth substrate include insulating substrates such as C-plane, R-plane and A-plane sapphire, and conductive substrates of semiconductors such as silicon carbide, Si, ZnO, GaN and AlN.
The growth substrate may be removed from the semiconductor laminate after the semiconductor laminate has grown. Further, a support substrate, for example, a conductive substrate or another translucent member or substrate may be adhered to the semiconductor laminate.
電極は、一つの面に第１導電型側、第２導電型側の両電極が設けられる同一面側電極構造が好ましい。電極は、例えば、厚みを付与するために、導電層をその表面に有していてもよい。
発光素子１４は、図２においては、第１導電型側、第２導電型側の両電極が設けられる同一面側電極構造であり、各導電側層と接続される電極１３はそれぞれ電極ポスト１３ａを有する。電極ポスト１３ａは、発光素子１４の電極１３の一部であり、発光素子１４を構成する部分及び電極１３の他の部分よりも突出する部分である。このような電極ポストを設けることにより、後述する発光素子の電極を反射膜からの露出させる工程において、除去の際に電極や発光素子が損傷する恐れを低減することができ、反射膜の除去を容易に行うことができる。
The electrode preferably has an electrode structure on the same surface side in which both the first conductive type side and the second conductive type side electrodes are provided on one surface. The electrode may have a conductive layer on its surface, for example, to impart thickness.
In FIG. 2, the light emitting element 14 has the same surface side electrode structure in which both the first conductive type side and the second conductive type side electrodes are provided, and the electrodes 13 connected to the respective conductive side layers are the electrode posts 13a, respectively. Has. The electrode post 13a is a part of the electrode 13 of the light emitting element 14, and is a portion constituting the light emitting element 14 and a portion protruding from other parts of the electrode 13. By providing such an electrode post, it is possible to reduce the risk of damage to the electrode and the light emitting element during removal in the step of exposing the electrode of the light emitting element described later from the reflective film, and the reflective film can be removed. It can be done easily.
発光素子はその内部に光反射構造を有していてもよい。例えば、半導体積層体の互いに対向する２つの主面の内、光取り出し側（出射面側）と対向する他方の主面を光反射側とし、この光反射側の半導体層内、電極などに光反射構造を設けることができる。光反射構造として、半導体層内に多層膜反射層を設ける構造又は半導体層の上にＡｇ、Ａｌ等の光反射性の高い金属膜、誘電体多層膜を有する電極、反射層を設ける構造が挙げられる。 The light emitting element may have a light reflecting structure inside. For example, of the two main surfaces of the semiconductor laminate facing each other, the other main surface facing the light extraction side (emission surface side) is the light reflection side, and light is emitted into the semiconductor layer, electrodes, etc. on the light reflection side. A reflective structure can be provided. Examples of the light reflecting structure include a structure in which a multilayer reflective layer is provided in the semiconductor layer, or a structure in which a metal film having high light reflectivity such as Ag and Al, an electrode having a dielectric multilayer film, and a reflective layer are provided on the semiconductor layer. Be done.
なお、後述する工程をより確実に行うため又は得られた発光装置における光漏れ又は電極と反射膜との接触等のおそれを低減するために、発光素子の一対の電極側に、樹脂等の絶縁性の保護部材を設けてもよい。保護部材は、特に、電極の外周から発光素子の外周部分を被覆することが好ましい。これにより、発光素子の電極側から発光が漏れるおそれや電極と反射膜との接触し短絡等を起こすおそれを低減することができる。保護部材は、透光性材料であってもよいが、光反射性材料を含有するなどして光反射性を有していることが好ましい。また、この保護部材として、後述する接着剤を代用してもよい。 Insulation of a resin or the like on the pair of electrode sides of the light emitting element in order to more reliably perform the steps described later or to reduce the risk of light leakage or contact between the electrodes and the reflective film in the obtained light emitting device. A sex protection member may be provided. It is particularly preferable that the protective member covers the outer peripheral portion of the light emitting element from the outer peripheral portion of the electrode. As a result, it is possible to reduce the risk of light emission leaking from the electrode side of the light emitting element and the risk of short circuit due to contact between the electrode and the reflective film. The protective member may be a light-transmitting material, but it is preferable that the protective member has a light-reflecting property such as containing a light-reflecting material. Further, as the protective member, an adhesive described later may be substituted.
この保護部材の樹脂の材料は、後述する透光性材料から選択することができる。
光反射性材料としては、例えば、二酸化チタン、二酸化ケイ素、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、酸化亜鉛などが挙げられる。例えば、二酸化チタンを用いる場合は、樹脂及び光反射性材料の合計重量に対して、１０〜９０重量％、光反射性を考慮して４０重量％以上、成形性を考慮して７０重量％以下の量で、光反射性材料を含有させることが好ましい。また、発光素子の光に対する透過率が３０％以下、１０％以下、１％以下が好ましい。発光素子からの光に対する反射率が７０％、８０％又は９０％以上とすることが好ましい。
The resin material of this protective member can be selected from the translucent materials described later.
Examples of the light-reflecting material include titanium dioxide, silicon dioxide, zirconium dioxide, potassium titanate, zinc oxide and the like. For example, when titanium dioxide is used, it is 10 to 90% by weight, 40% by weight or more in consideration of light reflectivity, and 70% by weight or less in consideration of moldability with respect to the total weight of the resin and the light-reflecting material. It is preferable to contain the light-reflecting material in the amount of. Further, the transmittance of the light emitting element with respect to light is preferably 30% or less, 10% or less, and 1% or less. It is preferable that the reflectance to the light from the light emitting element is 70%, 80% or 90% or more.
（ｃ：発光素子１４への反射膜１５の配置）
発光素子の第１主面を、反射膜に対面させ、発光素子の第２面側から反射膜に向かって押圧する。この押圧によって、反射膜を変形させ、発光素子の第１主面から側面にわたって反射膜を追従させて、発光素子の第１主面及び側面に反射膜を配置する。この場合、発光素子の側面に反射膜が追従する限り、押圧によって、反射膜が破断して、発光素子の第１主面の一部又は全部が反射膜から露出してもよい。なお、反射膜が追従して、被覆される発光素子の側面は、全部の側面の全体であることが好ましいが、一部の側面の全体及び／又は全部の側面の一部のみであってもよい。
(C: Arrangement of the reflective film 15 on the light emitting element 14)
The first main surface of the light emitting element is made to face the reflective film, and is pressed from the second surface side of the light emitting element toward the reflective film. By this pressing, the reflective film is deformed, the reflective film is made to follow from the first main surface of the light emitting element to the side surface, and the reflective film is arranged on the first main surface and the side surface of the light emitting element. In this case, as long as the reflective film follows the side surface of the light emitting element, the reflective film may be broken by pressing and a part or all of the first main surface of the light emitting element may be exposed from the reflective film. The side surface of the light emitting element covered by the reflective film is preferably the entire side surface, but may be the entire side surface and / or only a part of the entire side surface. Good.
押圧の前に、発光素子の第１主面が対面する反射膜に、接着剤１８を配置することが好ましい。接着剤は、少なくとも硬化後において透光性を有するものであってもよく、二酸化チタン等の光反射性材料を含有し、光反射性を有するものであってもよい。接着剤として透光性を有する材料を用いる場合には、発光素子からの発光を反射膜によって適切に反射することができる。また、接着剤が光反射性材料を含有する場合には、反射膜による光の反射や遮光を補助することができる。
接着剤は、当該分野で使用されているものを利用することができる。あるいは、発光素子の側面に接着剤を塗布してもよい。このように接着剤を配置することにより、発光素子の反射膜への押圧によって、接着剤が発光素子の第１主面及び側面に接着剤が配置される。
Prior to pressing, it is preferable to dispose the adhesive 18 on the reflective film facing the first main surface of the light emitting element. The adhesive may be a light-transmitting adhesive at least after curing, or may contain a light-reflecting material such as titanium dioxide and have a light-reflecting property. When a translucent material is used as the adhesive, the light emitted from the light emitting element can be appropriately reflected by the reflective film. Further, when the adhesive contains a light-reflecting material, it is possible to assist the reflection and shading of light by the reflective film.
As the adhesive, those used in the art can be used. Alternatively, an adhesive may be applied to the side surface of the light emitting element. By arranging the adhesive in this way, the adhesive is arranged on the first main surface and the side surface of the light emitting element by pressing the light emitting element against the reflective film.
接着剤の材料としては、例えば、発光層から出射される光の６０％以上を透過するもの、さらに、７０％、８０％又は９０％以上を透過するものや、発光層から出射される光の７０％以上、８０％以上、９０％を遮光する材料を用いることができる。例えば、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ＴＰＸ樹脂、ポリノルボルネン樹脂、又はこれらの樹脂を１種以上含むハイブリッド樹脂等の樹脂、ガラス等の透光性材料や、このような透光性材料に前述の光反射性材料を含有させたものが挙げられる。 As the material of the adhesive, for example, a material that transmits 60% or more of the light emitted from the light emitting layer, a material that transmits 70%, 80%, or 90% or more of the light, or a material that transmits light emitted from the light emitting layer. A material that shields 70% or more, 80% or more, and 90% of light can be used. For example, silicone resin, silicone modified resin, epoxy resin, phenol resin, polycarbonate resin, acrylic resin, TPX resin, polynorbornene resin, resin such as hybrid resin containing one or more of these resins, and translucent material such as glass. Alternatively, such a translucent material containing the above-mentioned light-reflecting material can be mentioned.
接着剤には蛍光体が含有されていてもよい。蛍光体は、当該分野で公知のものを使用することができる。例えば、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）系蛍光体、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット（ＬＡＧ）、ユウロピウム及び／又はクロムで賦活された窒素含有アルミノ珪酸カルシウム（ＣａＯ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2）系蛍光体、ユウロピウムで賦活されたシリケート（（Ｓｒ，Ｂａ）2ＳｉＯ4）系蛍光体、βサイアロン蛍光体、ＣＡＳＮ系又はＳＣＡＳＮ系蛍光体等の窒化物系蛍光体、ＫＳＦ系蛍光体（Ｋ2ＳｉＦ6：Ｍｎ）、硫化物系蛍光体などが挙げられる。蛍光体は、例えば、中心粒径が３０μｍ以下であるものが好ましい。中心粒径は、市販の粒子測定器又は粒度分布測定器等によって測定及び算出することができる。また、蛍光体は、例えば、いわゆる量子ドットと称される発光物質でもよい。 The adhesive may contain a phosphor. As the phosphor, those known in the art can be used. For example, a cerium-activated yttrium aluminum garnet (YAG) fluorofluorescent, a cerium-activated lutetium aluminum garnet (LAG), uropium and / or chromium-activated nitrogen-containing calcium aluminosilicate (CaO-). al 2 O 3 -SiO 2) based phosphor, europium-activated silicates ((Sr, Ba) 2 SiO 4) phosphor, beta sialon phosphor, a nitride-based fluorescent such CASN system or SCASN phosphor Examples thereof include a body, a KSF-based phosphor (K 2 SiF 6 : Mn), and a sulfide-based phosphor. The phosphor preferably has a central particle size of 30 μm or less, for example. The central particle size can be measured and calculated by a commercially available particle measuring device, a particle size distribution measuring device, or the like. Further, the phosphor may be, for example, a luminescent substance called a so-called quantum dot.
接着剤には充填材が含有されていてもよい。充填材としては、例えば、酸化ケイ素、二酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、蛍光体の結晶又は焼結体、蛍光体と無機物の結合材との焼結体等が挙げられる。
蛍光体及び／又は充填材は、例えば、透光性材料の全重量に対して１０〜８０重量％程度の量であることが好ましい。
The adhesive may contain a filler. Examples of the filler include silicon oxide, titanium dioxide, zirconium oxide, magnesium oxide, a crystal or sintered body of a fluorescent substance, and a sintered body of a fluorescent substance and an inorganic binder.
The amount of the phosphor and / or the filler is preferably, for example, about 10 to 80% by weight based on the total weight of the translucent material.
押圧の前に、反射膜をあらかじめ変形させておいてもよい。具体的には、発光素子の平面形状に相当する凹部を設けてもよい。この際、上述した支持基板を利用してもよい。例えば、発光素子の平面形状に対応する凹部を備えた支持基板に、反射膜を載置した後、放置して重力によって変形させる、反射膜を支持基板の凹凸に追従させる力を付与するなどして形成することができる。
また、反射膜は支持基板の上にスパッタまたはメッキ等の方法で成膜して形成してもよい。さらに、発光素子の平面形状に対応する凹部を備えた支持基板に、スパッタまたはメッキ等の方法で反射膜を形成することすることで、発光素子の第１主面から側面にわたって反射膜を追従する形状の反射膜を形成することができる。
The reflective film may be deformed in advance before pressing. Specifically, a recess corresponding to the planar shape of the light emitting element may be provided. At this time, the support substrate described above may be used. For example, after placing the reflective film on a support substrate provided with recesses corresponding to the planar shape of the light emitting element, the reflective film is left to be deformed by gravity, or a force is applied to make the reflective film follow the unevenness of the support substrate. Can be formed.
Further, the reflective film may be formed by forming a film on the support substrate by a method such as sputtering or plating. Further, by forming a reflective film on a support substrate provided with recesses corresponding to the planar shape of the light emitting element by a method such as sputtering or plating, the reflective film is followed from the first main surface to the side surface of the light emitting element. A reflective film having a shape can be formed.
ここでの発光素子の押圧は、発光素子の全面に均一に圧力が負荷するように行うことが好ましい。例えば、一般に使用されているダイボンダー等の半導体製造装置を利用して行うことができる。圧力の程度は、発光素子の大きさ、反射膜の材料及び厚み、支持部材の有無等によって、適宜調整することができる。 The pressing of the light emitting element here is preferably performed so that the pressure is uniformly applied to the entire surface of the light emitting element. For example, it can be carried out by using a semiconductor manufacturing apparatus such as a commonly used die bonder. The degree of pressure can be appropriately adjusted depending on the size of the light emitting element, the material and thickness of the reflective film, the presence or absence of a support member, and the like.
押圧の際、発光素子の第１主面の反対側の第２主面側に、発光素子を支持する第２の支持部材（例えば、図６中の４９）を介在させてもよい。第２の支持部材としては、耐熱、波長変換等の機能を備えるシート又は板状部材等が挙げられる。耐熱シート又は板を介在させることにより、熱及び応力を緩和することができ、発光素子のダメージを回避することができる。波長変換シート又は板を介在させ、その後の工程において波長変換シート又は板を除去せず、発光素子の第２主面側において波長変換部材として利用することができる。 At the time of pressing, a second support member (for example, 49 in FIG. 6) that supports the light emitting element may be interposed on the second main surface side opposite to the first main surface of the light emitting element. Examples of the second support member include a sheet or plate-shaped member having functions such as heat resistance and wavelength conversion. By interposing a heat-resistant sheet or plate, heat and stress can be relaxed, and damage to the light emitting element can be avoided. A wavelength conversion sheet or plate is interposed, and the wavelength conversion sheet or plate is not removed in the subsequent steps, and the wavelength conversion member or plate can be used as a wavelength conversion member on the second main surface side of the light emitting element.
第２の支持部材は、発光素子の位置を維持し得る程度の粘着性を有することが好ましい。耐熱シートは、一般に半導体プロセスにおいて、ダイシング等の保護シート又は保護テープ等として用いられているものを使用することができる。波長変換シートは、例えば、上述の透光性の材料に蛍光体、任意に充填材（例えば、拡散剤等）等を含有させたものを利用することができ、製造された発光装置の部材として用いられる。 The second support member preferably has sufficient adhesiveness to maintain the position of the light emitting element. As the heat-resistant sheet, one that is generally used as a protective sheet for dicing or the like, a protective tape, or the like can be used in a semiconductor process. As the wavelength conversion sheet, for example, the above-mentioned translucent material containing a phosphor, optionally a filler (for example, a diffusing agent, etc.) or the like can be used, and as a member of the manufactured light emitting device. Used.
例えば、複数の発光素子を準備した場合、第２の支持部材上に、複数の発光素子を互いに離間させて配列することが好ましい。これにより、複数の発光素子を一括して、反射膜に押圧することができ、製造効率を高めることができる。 For example, when a plurality of light emitting elements are prepared, it is preferable to arrange the plurality of light emitting elements on the second support member so as to be separated from each other. As a result, a plurality of light emitting elements can be collectively pressed against the reflective film, and the manufacturing efficiency can be improved.
（ｄ：発光素子１４の電極１３の反射膜１５からの露出）
発光素子１４の電極１３を反射膜１５から露出させる。そのために、発光素子の第１主面側に配置された反射膜側から反射膜を除去することが好ましい。
反射膜を支持する支持部材を用いる場合には、この支持部材を、発光装置の一部である支持部として用いることができ、支持部材面における発光素子が押圧された面と反対側の面側から、反射膜及び支持部材を除去することが好ましい。
図２に示す実施形態では、発光素子１４の電極１３のうち電極ポスト１３ａが露出するように反射膜を除去している。
(D: Exposure of the electrode 13 of the light emitting element 14 from the reflective film 15)
The electrode 13 of the light emitting element 14 is exposed from the reflective film 15. Therefore, it is preferable to remove the reflective film from the reflective film side arranged on the first main surface side of the light emitting element.
When a support member that supports the reflective film is used, this support member can be used as a support portion that is a part of the light emitting device, and the surface side of the support member surface opposite to the surface on which the light emitting element is pressed. It is preferable to remove the reflective film and the support member from the above.
In the embodiment shown in FIG. 2, the reflective film is removed so that the electrode post 13a of the electrodes 13 of the light emitting element 14 is exposed.
これらの除去は、例えば、ブラスト、切削、研削等によって行うことができる。ブラストでは、例えば、エアーブラスト及びウェットブラストのいずれでもよい。ブラストに用いる投射材は、金属粒子、アルミナ又は炭化珪素等のセラミック微粒子、ナイロン又はポリカーボネート等の樹脂、ガラス粉末、天然又は人工のダイヤモンド等が利用できる。具体的な条件、例えば、投射速度、投射角度、投射量等は、投射材の種類（粒径、組成、密度、硬度、強度）等により適宜調整することができる。 These removals can be performed, for example, by blasting, cutting, grinding or the like. The blast may be, for example, either air blast or wet blast. As the projection material used for blasting, metal particles, ceramic fine particles such as alumina or silicon carbide, resin such as nylon or polycarbonate, glass powder, natural or artificial diamond and the like can be used. Specific conditions such as projection speed, projection angle, projection amount and the like can be appropriately adjusted depending on the type of projection material (particle size, composition, density, hardness, strength) and the like.
研削用の装置は、例えば、砥石としては、反射膜及び支持基板よりも硬い材料から形成されたホイールを用いることができる。砥石とステージの回転数は同じ方向又は逆方向のいずれでもよい。ホイールとしては、具体的には、基板よりも硬い材料（粒子状又は粉砕物等）を樹脂等で固めたものを用いることができ、例えば、アルミナ、炭化ケイ素、天然又は人工のダイヤモンド等が挙げられる。 As the grinding device, for example, as the grindstone, a wheel made of a material harder than the reflective film and the support substrate can be used. The rotation speeds of the grindstone and the stage may be in the same direction or in opposite directions. Specifically, as the wheel, a material (particulate or pulverized material, etc.) harder than the substrate may be hardened with a resin or the like, and examples thereof include alumina, silicon carbide, natural or artificial diamond, and the like. Be done.
このように、一旦発光素子の第１主面及び側面の周囲にわたって反射膜を配置した後、発光素子の第１主面側の電極を反射膜から露出させることにより、発光素子の側面を反射膜で確実に被覆することができる。これにより、発光素子の側面に反射膜を有し、下面側に発光素子の電極が露出する発光装置を容易に形成することができる。これにより、発光素子の側面側および第１主面側に出射される光を効率よく反射し、発光素子の第２主面側に向かって、効率的に光取り出しを行うことができる。また、反射膜として導電性の材料を用いる場合でも、電極から反射膜を確実に分離することができ、電気的な短絡を生じさせるおそれが少ない。
さらに、反射膜を準備し、発光素子側面に配置し、電極を反射膜から露出させるという簡便な方法によって、反射膜を確実に発光素子の側面を被覆するように配置することができ、製造工程の簡略化、製造設備の簡素化を実現し、製造コストを低減することが可能となる。
In this way, after the reflective film is once arranged around the first main surface and the side surface of the light emitting element, the side surface of the light emitting element is exposed from the reflective film by exposing the electrode on the first main surface side of the light emitting element. Can be reliably covered with. As a result, it is possible to easily form a light emitting device having a reflective film on the side surface of the light emitting element and exposing the electrodes of the light emitting element on the lower surface side. As a result, the light emitted to the side surface side and the first main surface side of the light emitting element can be efficiently reflected, and the light can be efficiently taken out toward the second main surface side of the light emitting element. Further, even when a conductive material is used as the reflective film, the reflective film can be reliably separated from the electrodes, and there is little possibility of causing an electrical short circuit.
Further, by a simple method of preparing a reflective film, arranging it on the side surface of the light emitting element, and exposing the electrode from the reflective film, the reflective film can be surely arranged so as to cover the side surface of the light emitting element. It is possible to reduce the manufacturing cost by realizing the simplification of the manufacturing equipment and the simplification of the manufacturing equipment.
（ｅ：透光性部材１９の形成）
発光素子の電極の反射膜からの露出の後、さらに、発光素子の第１主面と反対面である第２主面側に透光性部材１９を設けてもよい。
上述したように、第２の支持部材を用いた場合には、これを発光素子の第１主面から除去した後、透光性部材を設けることができる。また、第２の支持部材として、波長変換シート又は板を用いた場合には、波長変換シートを除去せずに透光性部材として利用することができる。
(E: Formation of translucent member 19)
After the electrode of the light emitting element is exposed from the reflective film, the translucent member 19 may be further provided on the side of the second main surface opposite to the first main surface of the light emitting element.
As described above, when the second support member is used, the translucent member can be provided after removing the second support member from the first main surface of the light emitting element. Further, when a wavelength conversion sheet or plate is used as the second support member, it can be used as a translucent member without removing the wavelength conversion sheet.
透光性部材の形成は、塗布、スプレー、スピンコート、印刷、シート状部材の接着等の方法で行うことができる。 The translucent member can be formed by a method such as coating, spraying, spin coating, printing, or bonding of sheet-shaped members.
透光性部材は、上述した接着剤に用いることができる材料と同様のものを利用して形成することができる。透光性部材は、透光性材料のみから形成されていてもよいし、蛍光体、充填材等が含有されていてもよい。
透光性部材は、発光効率及び色度調整を考慮して、１０μｍ〜５００μｍが好ましく、５０μｍ〜３００μｍがより好ましい。
The translucent member can be formed by utilizing the same material as the material that can be used for the adhesive described above. The translucent member may be formed only from a translucent material, or may contain a phosphor, a filler, or the like.
The translucent member is preferably 10 μm to 500 μm, more preferably 50 μm to 300 μm, in consideration of luminous efficiency and chromaticity adjustment.
透光性部材は、１つの発光素子に対して１つの部材を載置してもよいし、複数の発光素子に対して１つの部材を載置してもよい。この場合には、後述する反射膜の分割を利用して、透光性部材もともに分割することが好ましい。これによって、１つ又は複数の発光素子に対して１つの透光性部材を、より簡便な方法で配置することができる。
ここでの透光性部材の厚み等は用いる材料等によって適宜調整することができる。透光性部材は、発光素子の第２主面側に、接着剤を利用して固定することができる。透光性部材自体の接着性を利用して、固定してもよい。ここで用いる接着剤は、上述した透光性部材と同等程度の透光性を有することが好ましい。
As the translucent member, one member may be mounted on one light emitting element, or one member may be mounted on a plurality of light emitting elements. In this case, it is preferable to divide the translucent member together by utilizing the division of the reflective film described later. Thereby, one translucent member can be arranged for one or a plurality of light emitting elements by a simpler method.
The thickness of the translucent member here can be appropriately adjusted depending on the material or the like used. The translucent member can be fixed to the second main surface side of the light emitting element by using an adhesive. It may be fixed by utilizing the adhesiveness of the translucent member itself. The adhesive used here preferably has a translucency equivalent to that of the translucent member described above.
なお、発光素子の電極の反射膜からの露出の前に、発光素子の第１主面と反対面である第２主面側に透光性部材１９を設けてもよい。例えば、発光素子１４への反射膜１５の配置の前に、発光素子１４のサファイア基板１１に透光性部材を形成することが挙げられる。これにより、透光性部材の側面にも反射膜１５を配置することができる。また、透光性部材の側面から取り出される光を反射膜で遮光することができるため、発光装置からの発光の指向性をより高めることができる。 A translucent member 19 may be provided on the side of the second main surface opposite to the first main surface of the light emitting element before the electrode of the light emitting element is exposed from the reflective film. For example, a translucent member may be formed on the sapphire substrate 11 of the light emitting element 14 before the reflecting film 15 is arranged on the light emitting element 14. As a result, the reflective film 15 can be arranged on the side surface of the translucent member. Further, since the light taken out from the side surface of the translucent member can be blocked by the reflective film, the directivity of the light emitted from the light emitting device can be further enhanced.
透光性部材は、波長変換部材を含有する層と、透光性材料のみからなる層との積層構造であってもよいし、波長変換部材を含有する層と、含有しない部分または波長変換部材の濃度が低い部分を含む層が積層された構造であってもよい。 The translucent member may have a laminated structure of a layer containing a wavelength conversion member and a layer made of only a translucent material, or a layer containing a wavelength conversion member and a portion not containing the wavelength conversion member or a wavelength conversion member. It may have a structure in which layers including a portion having a low concentration of
（ｆ：反射膜１５の分割）
さらに、反射膜１５を、少なくとも１つの発光素子又は複数の発光素子を含む発光素子群ごとに分割してもよい。この工程は、上述した工程（ｄ）の前に行ってもよいが、製造効率等を考慮すると、その後に行うことが好ましい。また、工程（ｅ）の前後のいずれに行ってもよいが、透光性部材を個々の発光素子ごとに配置する場合は、工程（ｅ）の後に行うことが好ましい。
(F: Division of reflective film 15)
Further, the reflective film 15 may be divided into light emitting element groups including at least one light emitting element or a plurality of light emitting elements. This step may be performed before the above-mentioned step (d), but is preferably performed after that in consideration of manufacturing efficiency and the like. Further, it may be performed before or after the step (e), but when the translucent member is arranged for each individual light emitting element, it is preferably performed after the step (e).
反射膜の分割は、例えば、１つの発光素子の外周に沿って、切断する方法が挙げられる。切断は、ブレードダイシング、レーザダイシング、カッティング金型等を利用するなど、公知の方法によって行うことができる。 Examples of the division of the reflective film include a method of cutting along the outer circumference of one light emitting element. Cutting can be performed by a known method such as using blade dicing, laser dicing, a cutting die, or the like.
切断は、発光素子の第１主面側から行われてもよく、第２主面側から行われてもよい。また、第１主面側及び第２主面側から行われてもよい。
例えば、第２主面側から切断する場合には、発光素子の第１主面側において、支持部材に予め溝を形成しておいてもよい。これにより、発光素子の第２主面側から上述のような方法で切断する又は全体の厚みを減らすようにブラスト、切削、研削等することによって、第１主面側から形成した溝が貫通し、発光素子ごと又は発光素子群ごとに、反射膜を分割することができる。反射膜と支持部材とを一つの工程で分割することができ、反射膜のみならず、支持部を備える発光装置を簡便に製造することができる。
The cutting may be performed from the first main surface side of the light emitting element, or may be performed from the second main surface side. Further, it may be performed from the first main surface side and the second main surface side.
For example, when cutting from the second main surface side, a groove may be formed in advance in the support member on the first main surface side of the light emitting element. As a result, the groove formed from the first main surface side penetrates by cutting from the second main surface side of the light emitting element by the method as described above, or by blasting, cutting, grinding, etc. so as to reduce the overall thickness. , The reflective film can be divided for each light emitting element or each light emitting element group. The reflective film and the support member can be divided in one step, and a light emitting device including not only the reflective film but also the support portion can be easily manufactured.
発光装置の支持部としては、上述の反射膜を押圧する際に反射膜を支持する支持部材を分割したもの以外を用いてもよい。例えば、上記工程（ａ）〜（ｆ）のいずれかの工程の間において、反射膜の外側に支持部を設けてもよい。この支持部形成工程は、例えば、工程（ｃ）の後であって工程（ｄ）の前に行われることが好ましい。工程（ｄ）において、支持部を除去することにより、容易に発光装置を製造することができる。また、工程（ｄ）の後に支持部を形成する場合には、工程（ｄ）において露出させた発光素子の電極を第３の支持部材（例えば、粘着シート）で被覆した後、第３の支持部材と反射膜との間に支持部の材料を充填することにより、形成することができる。 As the support portion of the light emitting device, a support member other than the divided support member that supports the reflective film when the above-mentioned reflective film is pressed may be used. For example, a support portion may be provided on the outside of the reflective film during any of the steps (a) to (f). This support portion forming step is preferably performed, for example, after the step (c) and before the step (d). By removing the support portion in the step (d), the light emitting device can be easily manufactured. When the support portion is formed after the step (d), the electrode of the light emitting element exposed in the step (d) is covered with a third support member (for example, an adhesive sheet), and then the third support is formed. It can be formed by filling the material of the support portion between the member and the reflective film.
支持部は、スプレー、塗布、トランスファーモールド、印刷等の方法で形成することができる。支持部の材料は、例えば、上述の接着剤や支持部材と同様のものを用いることができる。本実施形態の発光装置においては、支持部と発光素子の間に反射膜が存在するため、支持部には発光素子からの発光が直接照射されない。そのため支持部の材料としては、通常の発光装置に用いられる材料よりも耐光性の低いものを用いることができる。 The support portion can be formed by a method such as spraying, coating, transfer molding, or printing. As the material of the support portion, for example, the same material as the above-mentioned adhesive or support member can be used. In the light emitting device of the present embodiment, since the reflective film exists between the support portion and the light emitting element, the support portion is not directly irradiated with the light emitted from the light emitting element. Therefore, as the material of the support portion, a material having a lower light resistance than the material used for a normal light emitting device can be used.
（実施の形態１）
本発明の実施形態１の発光装置の製造方法により製造される発光装置１０は、図１Ａ及び１Ｂに示すように、主に、発光素子１４と、反射膜１５とを備える。
発光素子１４は、透光性のサファイア基板１１上に積層された半導体積層体１２と、その第１主面１４ａに一対の電極１３を備える。本実施形態の一対の電極１３は、半導体積層体の第１導電型半導体層に接触する第１導電型側電極と、第２導電型半導体層に接触する第２導電型側電極と、それぞれの半導体積層体１２と反対側に延伸し、第１導電型側電極と第２導電型側電極とそれぞれ接続される銅の一対の電極ポスト１３ａを含んでいてもよい。これら一対の電極１３間には、接着剤１８が配置されている。
(Embodiment 1)
As shown in FIGS. 1A and 1B, the light emitting device 10 manufactured by the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment of the present invention mainly includes a light emitting element 14 and a reflective film 15.
The light emitting element 14 includes a semiconductor laminate 12 laminated on a translucent sapphire substrate 11 and a pair of electrodes 13 on its first main surface 14a. The pair of electrodes 13 of the present embodiment includes a first conductive type side electrode that contacts the first conductive semiconductor layer of the semiconductor laminate and a second conductive type side electrode that contacts the second conductive semiconductor layer, respectively. A pair of copper electrode posts 13a extending to the opposite side of the semiconductor laminate 12 and connected to the first conductive type side electrode and the second conductive type side electrode, respectively, may be included. An adhesive 18 is arranged between the pair of electrodes 13.
発光素子１４は、その側面の略全周が、厚み３０μｍのＡｌ膜からなる反射膜１５によって被覆されている。反射膜１５は、発光素子１４の側面に接着剤１８によって固定されている。
このような発光装置では、発光素子の側面に薄膜状の反射膜が形成されるという簡便な構成により、発光素子の側面に設ける反射材料の厚みを薄くすることができるため、発光装置をより小型化することができる。また、発光素子の側面からの光漏れを抑制することができ、指向性が高い発光装置を得ることができる。
A substantially entire circumference of the side surface of the light emitting element 14 is covered with a reflective film 15 made of an Al film having a thickness of 30 μm. The reflective film 15 is fixed to the side surface of the light emitting element 14 by an adhesive 18.
In such a light emitting device, the thickness of the reflective material provided on the side surface of the light emitting element can be reduced by a simple configuration in which a thin film-like reflective film is formed on the side surface of the light emitting element, so that the light emitting device can be made smaller. Can be transformed into. Further, it is possible to suppress light leakage from the side surface of the light emitting element, and it is possible to obtain a light emitting device having high directivity.
このような発光装置は、以下の方法によって製造することができる。
まず、図２Ａに示すように、反射膜１５を準備する。また、サファイア基板１１上に形成された半導体積層体１２と、第１主面１４ａ側に形成された電極ポスト１３ａを含んでいてもよい一対の電極１３とを有する発光素子１４を準備する。
そして、反射膜１５の発光素子１４の第１主面１４ａが対面する領域に、硬化前の液状の接着剤１８を配置する。この接着剤１８は、少なくとも硬化後の状態において透光性を有する材料である。
Such a light emitting device can be manufactured by the following method.
First, as shown in FIG. 2A, the reflective film 15 is prepared. Further, a light emitting device 14 having a semiconductor laminate 12 formed on the sapphire substrate 11 and a pair of electrodes 13 which may include an electrode post 13a formed on the first main surface 14a side is prepared.
Then, the liquid adhesive 18 before curing is arranged in the region where the first main surface 14a of the light emitting element 14 of the reflective film 15 faces. The adhesive 18 is a material having translucency at least in a state after curing.
次に、図２Ｂに示すように、発光素子１４の第１主面１４ａ側で反射膜１５を発光素子１４に対して押圧する。これによって、反射膜１５を変形させ、例えば、発光素子１４の側面と、発光素子１４の第１主面１４ａ側の全体に連続して反射膜１５を配置する。この押圧によって、液状の接着剤１８は、一対の電極１３間、電極１３と反射膜１５の間、発光素子１４の側面と反射膜１５の間に配置される。その後、接着剤１８を硬化させる。 Next, as shown in FIG. 2B, the reflective film 15 is pressed against the light emitting element 14 on the first main surface 14a side of the light emitting element 14. As a result, the reflective film 15 is deformed, and for example, the reflective film 15 is continuously arranged on the side surface of the light emitting element 14 and the entire side of the first main surface 14a of the light emitting element 14. By this pressing, the liquid adhesive 18 is arranged between the pair of electrodes 13, between the electrodes 13 and the reflective film 15, and between the side surface of the light emitting element 14 and the reflective film 15. After that, the adhesive 18 is cured.
反射膜１５を発光素子１４に対して押圧する際、第１主面１４ａ側においてその外周を狭め、第２面側に近づくにつれてその外周を広げるように、発光素子１４の厚み方向において、反射膜１５との距離を変更させてもよい。これにより、図１Ｃに示すように、反射膜１５に傾斜面を設定することができ、発光素子の側面からの光の取り出しを高め、発光装置の光取り出し効率を高めることができる。 When the reflective film 15 is pressed against the light emitting element 14, the outer circumference is narrowed on the first main surface 14a side and the outer circumference is widened as it approaches the second surface side, so that the reflective film is widened in the thickness direction of the light emitting element 14. The distance from 15 may be changed. As a result, as shown in FIG. 1C, an inclined surface can be set on the reflective film 15, the light extraction from the side surface of the light emitting element can be enhanced, and the light extraction efficiency of the light emitting device can be enhanced.
図２Ｃに示すように、発光素子１４の電極ポスト１３ａを反射膜１５から露出させる。ここでの露出は、切削装置を用いて、発光素子１４の第１主面１４ａ側から電極ポスト１３ａの端面と略同一平面の破線Ｘまで切削して、発光素子１４の第１主面１４ａに配置された反射膜１５および接着剤１８を除去して、電極ポスト１３ａの表面を露出させる。この場合、接着剤１８によって反射膜１５を発光素子１４に密着させるとともに、一対の電極１３間及び電極１３と反射膜１５間で、切削に対する自立性を付与して、切削を精度よく、確実に行うことができる。また、接着剤１８によって、電極１３又は電極ポスト１３ａと反射膜１５とを確実に離間させることができる。 As shown in FIG. 2C, the electrode post 13a of the light emitting element 14 is exposed from the reflective film 15. The exposure here is made by cutting from the first main surface 14a side of the light emitting element 14 to the broken line X substantially the same plane as the end surface of the electrode post 13a using a cutting device to reach the first main surface 14a of the light emitting element 14. The arranged reflective film 15 and the adhesive 18 are removed to expose the surface of the electrode post 13a. In this case, the reflective film 15 is brought into close contact with the light emitting element 14 by the adhesive 18, and independence to cutting is imparted between the pair of electrodes 13 and between the electrodes 13 and the reflective film 15, so that cutting can be performed accurately and reliably. It can be carried out. Further, the adhesive 18 can surely separate the electrode 13 or the electrode post 13a from the reflective film 15.
このように、発光素子と反射膜とを準備するのみの簡便な工程により、反射膜を発光素子の側面に確実に配置することができる。これによって、発光素子の側方への光漏れを簡便な手法により低減することができ、指向性の高い発光装置１０、１０Ａを容易に製造することができる。 As described above, the reflective film can be reliably arranged on the side surface of the light emitting element by a simple step of preparing the light emitting element and the reflective film. As a result, light leakage to the side of the light emitting element can be reduced by a simple method, and the light emitting devices 10 and 10A having high directivity can be easily manufactured.
（変形例１）
図２Ｃに示すように、発光素子１４の電極ポスト１３ａを反射膜１５から露出させた後、図２Ｄに示すように、発光素子１４の第１主面と反対面である第２主面側に透光性部材１９を形成する。透光性部材１９は、シート状部材を接着等によって接着することにより形成する。
(Modification example 1)
As shown in FIG. 2C, after the electrode post 13a of the light emitting element 14 is exposed from the reflective film 15, as shown in FIG. 2D, on the second main surface side opposite to the first main surface of the light emitting element 14. The translucent member 19 is formed. The translucent member 19 is formed by adhering a sheet-shaped member by adhesion or the like.
その後、図２Ｅに示すように、反射膜１５とともに、透光性部材１９を、１つの発光素子ごとにブレードダイシングによって分割する。
この変形例の製造方法によれば、図２Ｆに示すように、透光性部材１９を備えた発光装置１０Ｄを簡便に製造することができる。
Then, as shown in FIG. 2E, the translucent member 19 together with the reflective film 15 is divided into each light emitting element by blade dicing.
According to the manufacturing method of this modification, as shown in FIG. 2F, the light emitting device 10D provided with the translucent member 19 can be easily manufactured.
（変形例２）
発光素子１４の電極１３を反射膜１５から露出させた後、図１Ｄ又は図１Ｅに示すように、発光素子１４の一対の電極１３に対して、電極１３よりも大きな金属膜１３ｂを、それぞれ一対の電極１３の表面に形成してもよい。これによって、発光装置１０Ｂ、１０Ｃの実装を容易にすることができる。
(Modification 2)
After the electrodes 13 of the light emitting element 14 are exposed from the reflective film 15, as shown in FIG. 1D or FIG. 1E, a pair of metal films 13b larger than the electrodes 13 are formed on the pair of electrodes 13 of the light emitting element 14, respectively. It may be formed on the surface of the electrode 13. This makes it possible to facilitate the mounting of the light emitting devices 10B and 10C.
（実施の形態２）
本発明の実施形態２の発光装置の製造方法により製造される発光装置２０は、図３Ａ及び３Ｂに示すように、発光素子１４及び反射膜１５を取り囲む支持部２１ａと、発光素子１４上に配置されたＹＡＧ蛍光体を含有するガラスからなる透光性部材２９を備える以外、実施形態１の発光装置１０と実質的に同様の構成を有する。
この発光装置２０は、主に、発光素子１４と、反射膜１５と、支持部２１ａと、透光性部材２９とを備える。
支持部２１ａは、例えば、シリコーン樹脂によって形成されている。支持部２１ａは、反射膜１５を取り囲むように、例えば、５〜５００μｍ程度の幅で配置されている。
また、この発光装置２０では、接着剤２８として、二酸化チタンを５０重量％含むシリコーン樹脂からなる樹脂を用いている。そのために、電極１３間及び電極１３と反射膜１５との間が、光反射性を有する接着剤２８で被覆されている。
このような発光装置では、実施形態１の発光装置と同様の効果を有する。また、支持部によって、発光素子及び反射膜を保護することができるため、発光装置の強度を向上させることができる。また、電極側に出射される光が光反射性を有する接着剤で反射されるために、より光の取り出し効率を向上させることができる。さらに、発光素子から出射された光を、波長変換することができる。
(Embodiment 2)
As shown in FIGS. 3A and 3B, the light emitting device 20 manufactured by the method for manufacturing the light emitting device according to the second embodiment of the present invention is arranged on the light emitting element 14 and the support portion 21a surrounding the light emitting element 14 and the reflective film 15. It has substantially the same configuration as the light emitting device 10 of the first embodiment except that it includes a translucent member 29 made of glass containing the YAG phosphor.
The light emitting device 20 mainly includes a light emitting element 14, a reflective film 15, a support portion 21a, and a translucent member 29.
The support portion 21a is formed of, for example, a silicone resin. The support portion 21a is arranged with a width of, for example, about 5 to 500 μm so as to surround the reflective film 15.
Further, in this light emitting device 20, a resin made of a silicone resin containing 50% by weight of titanium dioxide is used as the adhesive 28. Therefore, the space between the electrodes 13 and the space between the electrodes 13 and the reflective film 15 are coated with an adhesive 28 having light reflectivity.
Such a light emitting device has the same effect as the light emitting device of the first embodiment. Further, since the light emitting element and the reflective film can be protected by the support portion, the strength of the light emitting device can be improved. Further, since the light emitted to the electrode side is reflected by the adhesive having light reflectivity, the light extraction efficiency can be further improved. Further, the light emitted from the light emitting element can be wavelength-converted.
このような発光装置は、以下の方法によって製造することができる。
まず、図４Ａに示すように、後述する押圧により変形可能な材料、例えば、半硬化状態のシリコーン樹脂で構成された支持部材２１の上に配置した反射膜１５を準備する。また、サファイア基板１１上に半導体積層体１２と、第１主面１４ａ側に形成された電極１３とを有する発光素子１４を準備する。
反射膜１５の発光素子１４の第１主面１４ａが対面する領域に、二酸化チタンを含有した液状のシリコーン樹脂である接着剤２８を配置する。
Such a light emitting device can be manufactured by the following method.
First, as shown in FIG. 4A, a reflective film 15 arranged on a support member 21 made of a material that can be deformed by pressing, for example, a semi-cured silicone resin, which will be described later, is prepared. Further, a light emitting element 14 having a semiconductor laminate 12 and an electrode 13 formed on the first main surface 14a side is prepared on the sapphire substrate 11.
An adhesive 28, which is a liquid silicone resin containing titanium dioxide, is arranged in a region of the reflective film 15 where the first main surface 14a of the light emitting element 14 faces.
次に、図４Ｂに示すように、発光素子１４を、その第１主面１４ａと反対側の第２主面１４ｂ側からダイボンダー装置を用いて押圧して、反射膜１５とともに発光素子１４を、支持部材２１に埋め込む。これによって、反射膜１５を変形させ、発光素子１４の側面と、発光素子１４の第１主面１４ａ全体に反射膜１５を配置する。また、支持部材２１が変形し、それらを密着するように、反射膜１５の外周に配置される。この際、支持部材２１による押圧によって、発光素子１４と反射膜１５との間に配置する接着剤２８は、その余剰分２８ａが支持部材２１側に漏出することがある。その後、接着剤２８と支持部材２１を本硬化させる。 Next, as shown in FIG. 4B, the light emitting element 14 is pressed from the second main surface 14b side opposite to the first main surface 14a using a die bonder device, and the light emitting element 14 is pressed together with the reflective film 15. It is embedded in the support member 21. As a result, the reflective film 15 is deformed, and the reflective film 15 is arranged on the side surface of the light emitting element 14 and the entire first main surface 14a of the light emitting element 14. Further, the support member 21 is deformed and arranged on the outer periphery of the reflective film 15 so as to be in close contact with the support member 21. At this time, due to the pressing by the support member 21, the surplus 28a of the adhesive 28 arranged between the light emitting element 14 and the reflective film 15 may leak to the support member 21 side. After that, the adhesive 28 and the support member 21 are finally cured.
次いで、図４Ｃに示すように、発光素子１４の電極ポスト１３ａを反射膜１５から露出させる。切削装置を用いて、発光素子１４の第１主面１４ａ側から電極ポスト１３ａの端面とほぼ同一平面上にある破線Ｘまで反射膜１５および接着剤２８を切削して、電極ポスト１３ａを反射膜１５及び接着剤２８から露出させる。 Next, as shown in FIG. 4C, the electrode post 13a of the light emitting element 14 is exposed from the reflective film 15. Using a cutting device, the reflective film 15 and the adhesive 28 are cut from the first main surface 14a side of the light emitting element 14 to the broken line X which is substantially in the same plane as the end surface of the electrode post 13a, and the electrode post 13a is cut into the reflective film. Expose from 15 and adhesive 28.
続いて、図４Ｄに示すように、発光素子１４の第２主面１４ｂ側も、切削装置を用いて、サファイア基板１１の厚みを減らすように、サファイア基板１１と反射膜１５と支持部材２１を図中の破線Ｙの位置まで切削する。この切削によって、接着剤２８の余剰分２８ａを除去することができるとともに、発光素子１４を構成するサファイア基板１１を薄膜化することができる。従って、接着剤２８の余剰分２８ａやサファイア基板１１による光吸収を低減し、発光装置の光取り出し効率を高めることができる。 Subsequently, as shown in FIG. 4D, the sapphire substrate 11, the reflective film 15, and the support member 21 are also attached to the second main surface 14b side of the light emitting element 14 by using a cutting device so as to reduce the thickness of the sapphire substrate 11. Cut to the position of the broken line Y in the figure. By this cutting, the excess 28a of the adhesive 28 can be removed, and the sapphire substrate 11 constituting the light emitting element 14 can be thinned. Therefore, the excess amount 28a of the adhesive 28 and the light absorption by the sapphire substrate 11 can be reduced, and the light extraction efficiency of the light emitting device can be improved.
その後、図４Ｅに示すように、発光素子１４の切削した第２主面１４ｂ上に、透光性部材２９を接着させる。本実施形態において透光性部材２９はＹＡＧ蛍光体を２０重量％で含有するガラス板である。透光性部材２９は、透光性の接着剤により固定されている。 After that, as shown in FIG. 4E, the translucent member 29 is adhered onto the cut second main surface 14b of the light emitting element 14. In the present embodiment, the translucent member 29 is a glass plate containing 20% by weight of a YAG phosphor. The translucent member 29 is fixed by a translucent adhesive.
このように、発光素子と反射膜とを準備するのみの簡便な工程により、上記と同様に、反射膜を発光素子の側面に確実に配置することができる。
また、この実施形態では、発光素子の半導体積層体の成長基板を除去することで、発光装置の薄型化を実現することができる。また、支持部による発光装置の補強を行うことができ、さらに、発光装置の底面側と側面側に光反射性を有する部材を配置することにより、発光装置から発せられる光の指向性の向上と、発光装置の強度の向上との双方を、簡便な製造方法によって実現することができる。
（変形例３）
例えば、発光素子１４として、一対の電極１３を備え、電極ポスト１３ａを備えないものを用いた場合、発光素子１４の電極１３を反射膜１５から露出させた後、図３Ｃに示すように、発光素子１４の一対の電極１３に対して、電極１３よりも大きな金属膜１３ｂを、それぞれ一対の電極１３の表面に形成してもよい。これによって、発光装置２０Ａの実装を容易にすることができる。
As described above, the reflective film can be reliably arranged on the side surface of the light emitting element by a simple step of simply preparing the light emitting element and the reflective film.
Further, in this embodiment, the light emitting device can be made thinner by removing the growth substrate of the semiconductor laminate of the light emitting element. In addition, the light emitting device can be reinforced by the support portion, and further, by arranging members having light reflectivity on the bottom surface side and the side surface side of the light emitting device, the directivity of the light emitted from the light emitting device can be improved. , Both the improvement of the strength of the light emitting device can be realized by a simple manufacturing method.
(Modification 3)
For example, when a light emitting element 14 having a pair of electrodes 13 and not having an electrode post 13a is used, after the electrodes 13 of the light emitting element 14 are exposed from the reflective film 15, light is emitted as shown in FIG. 3C. A metal film 13b larger than the electrodes 13 may be formed on the surfaces of the pair of electrodes 13 with respect to the pair of electrodes 13 of the element 14. This makes it possible to facilitate the mounting of the light emitting device 20A.
（実施の形態３）
本発明の実施形態３の発光装置３０の製造方法では、まず、図５Ａに示すように、樹脂からなる保護シートである支持部材３１の上に配置したＡｇからなる反射膜１５を準備する。
また、サファイア基板１１上に半導体積層体１２と、第１主面１４ａ側に形成された電極１３とを有する発光素子１４を複数準備する。これらの発光素子１４には、例えば、二酸化チタンを光反射性材料として３０重量％で含有するシリコーン樹脂である光反射性部材３２が、発光素子１４の第１主面１４ａ側に形成されている。この時、光反射性部材３２は、電極ポスト１３ａを含む電極１３を完全に埋め込むように、配置する。光反射性部材３２は、図５Ａに示すように、次工程の押圧の際に反射膜１５に接触する先端部が丸みを帯びた形状とすることにより、反射膜１５を押圧の際に破れにくくすることができる。
複数の発光素子１４を、例えば、支持部材３４上に、それぞれ離間するように複数配置し、接着する。
また、反射膜１５の発光素子１４の第１主面１４ａが対面する領域に、液状の接着剤１８を配置する。この接着剤１８は、少なくとも硬化後に透光性を有する。
(Embodiment 3)
In the method for manufacturing the light emitting device 30 according to the third embodiment of the present invention, first, as shown in FIG. 5A, a reflective film 15 made of Ag is prepared on a support member 31 which is a protective sheet made of resin.
Further, a plurality of light emitting elements 14 having a semiconductor laminate 12 and an electrode 13 formed on the first main surface 14a side are prepared on the sapphire substrate 11. In these light emitting elements 14, for example, a light reflecting member 32 which is a silicone resin containing titanium dioxide as a light reflecting material in an amount of 30% by weight is formed on the first main surface 14a side of the light emitting element 14. .. At this time, the light reflective member 32 is arranged so that the electrode 13 including the electrode post 13a is completely embedded. As shown in FIG. 5A, the light-reflecting member 32 has a rounded tip that contacts the reflective film 15 when pressed in the next step, so that the reflective film 15 is not easily torn when pressed. can do.
A plurality of light emitting elements 14 are arranged on the support member 34 so as to be separated from each other and adhered to each other.
Further, the liquid adhesive 18 is arranged in the region where the first main surface 14a of the light emitting element 14 of the reflective film 15 faces. The adhesive 18 is translucent at least after curing.
発光素子１４を、支持部材３４を介して支持部材３４側からダイボンダー装置を用いて押圧して、図５Ｂに示すように、反射膜１５とともに複数の発光素子１４を、支持部材３１に埋め込む。これによって、反射膜１５を変形させ、発光素子１４の側面と、発光素子１４の電極１３を被覆する光反射性部材３２全体に反射膜１５を配置し、それらを密着するように、支持部材３１がそれらの外周に配置される。この際、支持部材３１による押圧によって、発光素子１４と反射膜１５との間に配置する接着剤１８は、その余剰分１８ａが支持部材３１側に漏出することがある。
なお、支持部材３１は、そのまま発光素子１４に貼り付けていてもよいが、押圧の後に剥離する。
The light emitting element 14 is pressed from the support member 34 side via the support member 34 using a die bonder device, and as shown in FIG. 5B, a plurality of light emitting elements 14 are embedded in the support member 31 together with the reflective film 15. As a result, the reflective film 15 is deformed, the reflective film 15 is arranged on the side surface of the light emitting element 14 and the entire light reflecting member 32 covering the electrode 13 of the light emitting element 14, and the support member 31 is brought into close contact with them. Are placed around them. At this time, due to the pressing by the support member 31, the excess portion 18a of the adhesive 18 arranged between the light emitting element 14 and the reflective film 15 may leak to the support member 31 side.
The support member 31 may be attached to the light emitting element 14 as it is, but it is peeled off after being pressed.
図５Ｃに示すように、発光素子１４の電極１３の電極ポスト１３ａを反射膜１５から露出させる。ここでの露出は、切削装置を用いて、発光素子１４の第１主面１４ａ側から破線Ｘまで切削して、電極ポスト１３ａの表面を露出させる。この場合、接着剤１８及び支持部材３１が適度に硬化するため、反射膜１５を発光素子１４に密着させるとともに、電極１３間を樹脂である光反射性部材３２が被覆するため、電極１３間及び電極１３と反射膜１５間で、切削に対する自立性が付与されて、切削を精度よく、確実に行うことができる。また、光反射性部材３２によって、電極１３又は電極ポスト１３ａと反射膜１５とを電気的、物理的に確実に離間させることができる。 As shown in FIG. 5C, the electrode post 13a of the electrode 13 of the light emitting element 14 is exposed from the reflective film 15. For the exposure here, the surface of the electrode post 13a is exposed by cutting from the first main surface 14a side of the light emitting element 14 to the broken line X using a cutting device. In this case, since the adhesive 18 and the support member 31 are appropriately cured, the reflective film 15 is brought into close contact with the light emitting element 14, and the electrodes 13 are covered with the light reflective member 32, which is a resin. Independence to cutting is imparted between the electrode 13 and the reflective film 15, so that cutting can be performed accurately and reliably. Further, the light reflecting member 32 can electrically and physically separate the electrode 13 or the electrode post 13a from the reflective film 15.
図５Ｄに示すように、発光素子１４の第１主面１４ａ側から、発光素子１４間の支持部材３１に、ダイシングソー又はブレード等によって、溝３３を形成する。ここでの溝３３は、発光素子の第２主面１４ｂ側の反射膜１５を維持し、支持部材の厚み方向の一部を残すように形成する。これによって、複数の発光素子１４を一体的に保持したまま、次工程を行うことができるため、発光装置の製造の効率を高めることができる。溝３３の深さは、例えば支持部材の厚みの０．３〜０．９倍程度とすることができる。 As shown in FIG. 5D, a groove 33 is formed in the support member 31 between the light emitting elements 14 from the first main surface 14a side of the light emitting element 14 by a dicing saw, a blade, or the like. The groove 33 here is formed so as to maintain the reflective film 15 on the second main surface 14b side of the light emitting element and leave a part of the support member in the thickness direction. As a result, the next step can be performed while holding the plurality of light emitting elements 14 integrally, so that the efficiency of manufacturing the light emitting device can be improved. The depth of the groove 33 can be, for example, about 0.3 to 0.9 times the thickness of the support member.
次いで、発光素子１４の第２主面１４ｂ側から、切削装置を用いて破線Ｙまで、つまり、先の工程で形成した溝３３の底面に至るまで、支持部材３１、発光素子１４のサファイア基板１１、反射膜１５、接着剤１８を切削する。これによって、支持部３１ａが外周に配置した状態で、発光素子１４ごとに分割することができる。また、接着剤の余剰分１８ａを除去することができるとともに、発光素子１４を構成するサファイア基板１１を薄膜化することができる。従って、これに起因する光吸収を低減することができる。 Next, from the second main surface 14b side of the light emitting element 14 to the broken line Y using the cutting device, that is, to the bottom surface of the groove 33 formed in the previous step, the support member 31 and the sapphire substrate 11 of the light emitting element 14 , The reflective film 15 and the adhesive 18 are cut. As a result, each light emitting element 14 can be divided while the support portion 31a is arranged on the outer periphery. In addition, the excess adhesive 18a can be removed, and the sapphire substrate 11 constituting the light emitting element 14 can be thinned. Therefore, the light absorption caused by this can be reduced.
このように、簡便な工程により、上記と同様に、反射膜を発光素子の側面に確実に配置することができる。
また、この実施形態では、発光素子の半導体層の成長基板を除去して薄型を実現しながら、支持部３１ａによる補強を行うことができ、発光装置の強度の向上と、発光の指向性の向上の双方を簡便な製造方法によって、実現することができる。
As described above, the reflective film can be reliably arranged on the side surface of the light emitting element by a simple step as described above.
Further, in this embodiment, the growth substrate of the semiconductor layer of the light emitting element is removed to realize a thin shape, and the support portion 31a can be used for reinforcement, thereby improving the strength of the light emitting device and improving the directivity of light emission. Both of these can be realized by a simple manufacturing method.
（実施の形態４）
本発明の実施形態４の発光装置４０の製造方法では、図６Ａに示すように、支持部材２１の上に配置した反射膜１５、発光素子１４を準備する。
発光素子１４は、図５Ａと同様に、例えば、二酸化チタンを光反射性材料として３０重量％で含有するシリコーン樹脂である保護部材４８が、発光素子１４の第１主面１４ａ側に配置されている。また、発光素子１４の側面のほぼ全面を被覆するように、第２の透光性部材５０が配置されている。さらに、発光素子１４は、第１主面１４ａとは反対側において透光性部材４９が接着剤によって接着されている。この第２の透光性部材５０を設けることにより、発光素子１４の側面から効率よく取り出すことができる。
反射膜１５の発光素子１４の第１主面１４ａが対面する領域に、硬化後に透光性となる液状の接着剤２８を配置する。
(Embodiment 4)
In the method for manufacturing the light emitting device 40 according to the fourth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 6A, the reflective film 15 and the light emitting element 14 arranged on the support member 21 are prepared.
Similar to FIG. 5A, in the light emitting element 14, for example, a protective member 48 which is a silicone resin containing titanium dioxide as a light reflective material in an amount of 30% by weight is arranged on the first main surface 14a side of the light emitting element 14. There is. Further, the second translucent member 50 is arranged so as to cover almost the entire side surface of the light emitting element 14. Further, in the light emitting element 14, the translucent member 49 is adhered by an adhesive on the side opposite to the first main surface 14a. By providing the second translucent member 50, it can be efficiently taken out from the side surface of the light emitting element 14.
A liquid adhesive 28 that becomes translucent after curing is placed in a region of the reflective film 15 where the first main surface 14a of the light emitting element 14 faces.
このような発光素子１４を、支持部材３１を介して支持部材２１側からダイボンダー装置を用いて押圧して、図６Ｂに示すように、反射膜１５とともに発光素子１４を、支持部材２１に埋め込む。これによって、反射膜１５を変形させ、発光素子１４の側面（つまり、第２の透光性部材５０の側面）と、発光素子１４の電極１３とを被覆する保護部材４８の外面に、一部領域では接着剤２８を介して、反射膜１５を配置する。そして、それらと密着するように、支持部材２１がそれらの外周に配置される。 Such a light emitting element 14 is pressed from the support member 21 side via a support member 31 using a die bonder device, and as shown in FIG. 6B, the light emitting element 14 is embedded in the support member 21 together with the reflective film 15. As a result, the reflective film 15 is deformed to partially cover the side surface of the light emitting element 14 (that is, the side surface of the second translucent member 50) and the outer surface of the protective member 48 that covers the electrode 13 of the light emitting element 14. In the region, the reflective film 15 is placed via the adhesive 28. Then, the support members 21 are arranged on the outer periphery of them so as to be in close contact with them.
その後、図６ＢのＸ線に沿って、発光素子１４の電極の上の電極ポスト１３ａを、図６Ｃに示すように反射膜１５から露出させる。ここでの露出は、実施の形態３と同様に、例えば、研削等で行うことができる。
このように、簡便な方法により、上記と同様に、反射膜を発光素子の側面に確実に配置することができる。
Then, along the X-ray of FIG. 6B, the electrode post 13a on the electrode of the light emitting element 14 is exposed from the reflective film 15 as shown in FIG. 6C. The exposure here can be performed by, for example, grinding, as in the third embodiment.
As described above, the reflective film can be reliably arranged on the side surface of the light emitting element by a simple method as described above.
（実施の形態５）
実施形態５の発光装置６０の製造方法では、図７Ａに示すように、まず、側面に１つの段差を備える凹部４１ｃを有する支持部材４１を準備する。この段差は、上面視において、凹部の内面が、凹部の開口部に近い側である段差の上部において大きく、段差の下側において小さくなるように設けられている。ダイボンダーのコレット４２の大きさは、上面視において凹部の内面の段差の上側の部分の外形より小さく、下側の部分の外形より大きいことが好ましい。これにより、凹部の段差の部分をダイボンダーのコレット４２によって塞ぐことができるため、接着剤４３の漏れを低減することができる。接着剤４３が熱により硬化する材料を用いる場合は、支持部材４１を、加熱部を備える実装支持部４５上に配置することが好ましい。この支持部材４１の上に、反射膜１５を配置し、その上に接着剤４３を塗布する。ここでの接着剤４３は、光反射性材料が含まれていてもよく、透光性のものであってもよい。
次に、一対の電極１３を備える発光素子１４を準備し、ダイボンダーのコレット４２にセットする。本実施形態においてダイボンダーのコレット４２の先端の大きさは、上面視において発光素子４１より一回り大きい。
図７Ｂに示すように、発光素子１４を、支持部材４１に対して、ダイボンダーを用いて押圧して、反射膜１５とともに発光素子１４を、支持部材４１の凹部４１ｃに埋め込む。また、ダイボンダーのコレット４２により、支持部材４１の段差に沿って、反射膜１５を変形させる。これによって、発光素子１４の側面と、発光素子１４の電極１３と、支持部材４１の凹部および段差を、反射膜１５で被覆させることができる。この際、支持部材４１を実装支持部４５により加熱し、押圧された形状で接着剤４３を硬化させることが好ましい。
(Embodiment 5)
In the method of manufacturing the light emitting device 60 of the fifth embodiment, as shown in FIG. 7A, first, a support member 41 having a recess 41c having one step on the side surface is prepared. This step is provided so that the inner surface of the recess is large at the upper part of the step on the side close to the opening of the recess and is small at the lower side of the step in the top view. The size of the collet 42 of the die bonder is preferably smaller than the outer shape of the upper portion of the step on the inner surface of the recess and larger than the outer shape of the lower portion in the top view. As a result, the stepped portion of the recess can be closed by the collet 42 of the die bonder, so that the leakage of the adhesive 43 can be reduced. When a material in which the adhesive 43 is cured by heat is used, it is preferable to arrange the support member 41 on the mounting support portion 45 provided with the heating portion. A reflective film 15 is placed on the support member 41, and an adhesive 43 is applied onto the reflective film 15. The adhesive 43 here may contain a light-reflecting material or may be translucent.
Next, a light emitting element 14 having a pair of electrodes 13 is prepared and set in a collet 42 of a die bonder. In the present embodiment, the size of the tip of the collet 42 of the die bonder is one size larger than that of the light emitting element 41 in top view.
As shown in FIG. 7B, the light emitting element 14 is pressed against the support member 41 using a die bonder, and the light emitting element 14 is embedded in the recess 41c of the support member 41 together with the reflective film 15. Further, the collet 42 of the die bonder deforms the reflective film 15 along the step of the support member 41. As a result, the side surface of the light emitting element 14, the electrode 13 of the light emitting element 14, and the recesses and steps of the support member 41 can be covered with the reflective film 15. At this time, it is preferable that the support member 41 is heated by the mounting support portion 45 and the adhesive 43 is cured in the pressed shape.
図７Ｃに示すように、反射膜１５で被覆された支持部材４１の段差部分に、発光素子１４に近い側から波長変換層と透光性の層との積層構造からなる透光性部材４９を配置する。これにより、透光性部材４９の側面を反射膜１５と支持部材４１で被覆する。
その後、切削装置を用いて、破線Ｘ１に沿って発光素子１４の電極１３を反射膜１５から露出させ、破線Ｘ２に沿って透光性部材４９の透光性の層の部分の一部と支持部材４１の一部を切削する。
続いて、発光素子１４の第１主面１４ａ側から、発光素子１４間の支持部材４１に、ダイシングソー又はブレード等によって溝を形成し、その溝に沿って、発光素子１４の第２主面１４ｂ側から、切削装置を用いて破線Ｙで溝の底面に至るまで、支持部材４１を切削する。これによって、図７Ｄに示すように、支持部４１ａが外周に配置した状態で、発光素子１４ごとに分割することができる。
次に、反射膜１５から露出した発光素子１４の電極１３に対して、電極１３よりも大きな金属膜１３ｂを、それぞれ一対の電極１３の表面に形成する。これによって、図７Ｅに示す発光装置６０を製造することができる。
なお、複数の発光素子を、複数の凹部を有する支持部材に設ける場合には、シート等に複数の発光素子を貼り付けた状態で、複数の発光素子を支持部材と対向させた後、シート側から治具等で押圧することで、複数の発光素子を一括して支持部材に設けてもよい。
このように、簡便な方法により、上記と同様に、反射膜を発光素子の側面に確実に配置することができる。また、透光性部材の側面にも反射膜を配置することができ、上方への配光性の高い発光装置を簡便に製造することができる。また、発光部と非発光部のコントラストが良好な発光装置を製造することができる。
As shown in FIG. 7C, a translucent member 49 having a laminated structure of a wavelength conversion layer and a translucent layer is provided on a stepped portion of the support member 41 coated with the reflective film 15 from the side close to the light emitting element 14. Deploy. As a result, the side surface of the translucent member 49 is covered with the reflective film 15 and the support member 41.
Then, using a cutting device, the electrode 13 of the light emitting element 14 is exposed from the reflective film 15 along the broken line X1, and is supported by a part of the translucent layer portion of the translucent member 49 along the broken line X2. A part of the member 41 is cut.
Subsequently, a groove is formed in the support member 41 between the light emitting elements 14 from the first main surface 14a side of the light emitting element 14 by a dicing saw, a blade, or the like, and the second main surface of the light emitting element 14 is formed along the groove. The support member 41 is cut from the 14b side to the bottom surface of the groove along the broken line Y using a cutting device. As a result, as shown in FIG. 7D, it is possible to divide each light emitting element 14 in a state where the support portion 41a is arranged on the outer periphery.
Next, with respect to the electrodes 13 of the light emitting element 14 exposed from the reflective film 15, a metal film 13b larger than the electrodes 13 is formed on the surfaces of the pair of electrodes 13. As a result, the light emitting device 60 shown in FIG. 7E can be manufactured.
When a plurality of light emitting elements are provided on a support member having a plurality of recesses, the sheet side is after the plurality of light emitting elements are opposed to the support member in a state where the plurality of light emitting elements are attached to a sheet or the like. A plurality of light emitting elements may be collectively provided on the support member by pressing with a jig or the like.
As described above, the reflective film can be reliably arranged on the side surface of the light emitting element by a simple method as described above. Further, the reflective film can be arranged on the side surface of the translucent member, and a light emitting device having high light distribution upward can be easily manufactured. Further, it is possible to manufacture a light emitting device having a good contrast between the light emitting portion and the non-light emitting portion.
本発明の発光装置の製造方法は、照明用光源、ＬＥＤディスプレイ、液晶表示装置などのバックライト光源、信号機、照明式スイッチ、各種センサ及び各種インジケータ等に使用される発光装置の製造方法に好適に利用できる。 The method for manufacturing a light emitting device of the present invention is suitable for a method for manufacturing a light emitting device used for a light source for lighting, an LED display, a backlight source such as a liquid crystal display device, a traffic light, an illuminated switch, various sensors, and various indicators. Available.
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、２０、２０Ａ、３０、４０、６０ 発光装置
１１ サファイア基板
１２ 半導体積層体
１３ 電極
１３ａ 電極ポスト
１３ｂ 金属膜
１４ 発光素子
１４ａ 第１主面
１４ｂ 第２主面
１５、１５Ａ 反射膜
１８、１８Ａ、２８、４３ 接着剤
１８ａ、２８ａ 接着剤の余剰分
２１、３１、４１ 支持部材
２１ａ、３１ａ、４１ａ 支持部
１９、２９、４９ 透光性部材（第２の支持部材）
３２ 光反射性部材
３３ 溝
３４ 支持部材
４１ｃ 凹部
４２ ダイボンダーのコレット
４３ 透光性接着剤
４５ 実装支持部
４８ 保護部材
５０ 第２の透光性部材
10, 10A, 10B, 10C, 10D, 20, 20A, 30, 40, 60 Light emitting device 11 Sapphire substrate 12 Semiconductor laminate 13 Electrode 13a Electrode post 13b Metal film 14 Light emitting element 14a First main surface 14b Second main surface 15 , 15A Reflective film 18, 18A, 28, 43 Adhesive 18a, 28a Adhesive surplus 21, 31, 41 Support member 21a, 31a, 41a Support part 19, 29, 49 Translucent member (second support member) )
32 Light-reflecting member 33 Groove 34 Support member 41c Recess 42 Die bonder collet 43 Translucent adhesive 45 Mounting support 48 Protective member 50 Second translucent member
Claims (8)
（ｂ）半導体積層体と、第１主面側に形成された電極とを有する発光素子を準備し、
（ｃ）前記反射膜において前記発光素子の第１主面が対面する領域に、硬化前の液状の接着剤を配置し、前記発光素子の第１主面側で前記反射膜を押圧し、前記反射膜を変形させ、前記発光素子の少なくとも側面にわたって前記反射膜を追従させて、少なくとも前記発光素子の側面に前記反射膜を配置するとともに前記反射膜と前記発光素子の側面に前記接着剤を配置し、その後、前記接着剤を硬化させ、
（ｄ）前記発光素子の電極を前記反射膜から露出させる発光装置の製造方法。 (A) Prepare a reflective film and
(B) A light emitting device having a semiconductor laminate and an electrode formed on the first main surface side is prepared.
(C) A liquid adhesive before curing is placed in a region of the reflective film where the first main surface of the light emitting element faces, and the reflective film is pressed by the first main surface side of the light emitting element. The reflective film is deformed so that the reflective film is made to follow at least the side surface of the light emitting element, the reflective film is arranged at least on the side surface of the light emitting element, and the adhesive is arranged on the reflective film and the side surface of the light emitting element. And then the adhesive is cured
(D) A method for manufacturing a light emitting device that exposes the electrodes of the light emitting element from the reflective film.
工程（ｃ）において、前記反射膜に前記複数の発光素子を一括して押圧する請求項１から７のいずれか１項に記載の発光装置の製造方法。 In the step (b), a plurality of the light emitting elements are arranged on the second support member so as to be separated from each other.
The method for manufacturing a light emitting device according to any one of claims 1 to 7, wherein in the step (c), the plurality of light emitting elements are collectively pressed against the reflective film.
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