JP6775768B2 - Composition for forming a release layer - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス基板直上に設ける剥離層を形成するための組成物に関する。 The present invention relates to a composition for forming a release layer provided directly above a glass substrate.

近年、電子デバイスには曲げるという機能付与や薄型化および軽量化といった性能が求められている。このことから、従来の重く脆弱で曲げることができないガラス基板に代わって、軽量なフレキシブルプラスチック基板を用いることが求められる。また、新世代ディスプレイでは、軽量なフレキシブルプラスチック基板を用いる、アクティブフルカラー(active full-color)TFTディスプレイパネルの開発が求められている。
そこで、樹脂フィルムを基板とした電子デバイスの製造方法が各種検討され始めており、新世代ディスプレイでは、既存のTFT設備を転用可能なプロセスで製造検討が進められている。
In recent years, electronic devices are required to have a function of bending, and to be thinner and lighter. For this reason, it is required to use a lightweight flexible plastic substrate instead of the conventional heavy, fragile and inflexible glass substrate. Further, in the new generation display, development of an active full-color TFT display panel using a lightweight flexible plastic substrate is required.
Therefore, various methods for manufacturing electronic devices using a resin film as a substrate have begun to be studied, and for new-generation displays, manufacturing studies are being carried out by a process in which existing TFT equipment can be diverted.

特許文献1、2及び3は、ガラス基板上にアモルファスシリコン薄膜層を形成し、その薄膜層上にプラスチック基板を形成した後に、ガラス面側からレーザーを照射して、アモルファスシリコンの結晶化に伴い発生する水素ガスによりプラスチック基板をガラス基板から剥離する方法を開示する。
また、特許文献4は、特許文献1〜3開示の技術を用いて被剥離層(特許文献4において「被転写層」と記載される)をプラスチックフィルムに貼りつけて液晶表示装置を完成させる方法を開示する。
In Patent Documents 1, 2 and 3, an amorphous silicon thin film layer is formed on a glass substrate, a plastic substrate is formed on the thin film layer, and then a laser is irradiated from the glass surface side to accompany the crystallization of amorphous silicon. A method of peeling a plastic substrate from a glass substrate by the generated hydrogen gas is disclosed.
Further, Patent Document 4 is a method of completing a liquid crystal display device by attaching a peelable layer (described as a “transfer layer” in Patent Document 4) to a plastic film using the techniques disclosed in Patent Documents 1 to 3. To disclose.

しかし、特許文献1〜4開示の方法、特に特許文献4開示の方法は、透光性の高い基板を使用することが必須であり、基板を通過させ、さらに非晶質シリコンに含まれる水素を放出させるのに十分なエネルギーを与えるため、比較的大きなレーザー光の照射が必要とされ、被剥離層に損傷を与えてしまうという問題がある。また、レーザー処理に長時間を要し、大きな面積を有する被剥離層を剥離するのは困難であるため、デバイス作製の生産性を挙げることは難しい、という問題もある。 However, in the methods disclosed in Patent Documents 1 to 4, particularly in the method disclosed in Patent Document 4, it is essential to use a substrate having high translucency, and hydrogen contained in amorphous silicon is further passed through the substrate. In order to give sufficient energy to emit it, it is necessary to irradiate a relatively large laser beam, and there is a problem that the layer to be peeled is damaged. Further, since the laser treatment requires a long time and it is difficult to peel off the layer to be peeled off having a large area, there is also a problem that it is difficult to increase the productivity of device fabrication.

特開平10−125929号公報。Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-125929. 特開平10−125931号公報。Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-125931. WO2005/050754号パンフレット。WO2005 / 050754 pamphlet. 特開平10−125930号公報。Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-125930.

そこで、本発明の目的は、上記課題を解決することにある。
具体的には、本発明の目的は、フレキシブル電子デバイスに適用される基板に損傷を与えることなく剥離させるための剥離層を形成するための組成物を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above problems.
Specifically, an object of the present invention is to provide a composition for forming a release layer for peeling without damaging a substrate applied to a flexible electronic device.

また、本発明の目的は、上記目的に加えて、又は上記目的以外に、剥離層が設けられるガラス基板との密着性が維持されガラス基板との界面での剥離が生じない一方、剥離層より上部に形成される層又は層群を剥離層から簡易に剥離することができる、該剥離層を形成するための組成物を提供することにある。 Further, an object of the present invention is, in addition to or other than the above-mentioned object, to maintain adhesion to a glass substrate provided with a release layer and prevent peeling at an interface with the glass substrate, while being more than a release layer. It is an object of the present invention to provide a composition for forming the peeling layer, which can easily peel the layer or group formed on the upper part from the peeling layer.

本発明者は今般、以下のような発明を見出した。すなわち、本発明者は、特定の構造のモノマー単位を50モル%以上含み、重量平均分子量が一定の値以上であるポリアミック酸と、有機溶媒とを含む組成物を用いて剥離層を形成すると、その層は、フレキシブル電子デバイス等に適用される基板に損傷を与えることなく剥離させることができる好適な特性を有していることを、予想外にも見出した。この層は、剥離層が設けられるガラス基板との密着性が維持されガラス基板との界面での剥離が生じ難い一方で、ガラス基板とは反対側の剥離層より上部に形成される層又は層群については、剥離層から簡易に剥離することができるものであった。本発明はかかる知見に基づくものである。 The present inventor has recently found the following inventions. That is, the present inventor forms a release layer using a composition containing a polyamic acid containing 50 mol% or more of monomer units having a specific structure and a weight average molecular weight of a certain value or more, and an organic solvent. It was unexpectedly found that the layer has suitable properties that can be peeled off without damaging the substrate applied to flexible electronic devices and the like. This layer maintains adhesion to the glass substrate on which the release layer is provided and is unlikely to peel off at the interface with the glass substrate, while the layer or layer formed above the release layer on the opposite side of the glass substrate. For the group, it was possible to easily peel off from the peeling layer. The present invention is based on such findings.

<1> 下記の式(1)で表されるモノマー単位を50モル%以上含み、重量平均分子量が10,000以上であるポリアミック酸と、有機溶媒とを含む、剥離層形成用組成物。

Figure 0006775768

[式中、Xは、4価の有機基を表し、Yは、下記の式(P)で表される2価の基を表す:
Figure 0006775768

(式中、Rは、F、Cl、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、mは、0〜4の整数を表し、かつ、rは1〜4の整数を表す)]。 <1> A composition for forming a release layer, which comprises a polyamic acid having a weight average molecular weight of 10,000 or more and containing 50 mol% or more of the monomer units represented by the following formula (1), and an organic solvent.
Figure 0006775768

[In the formula, X 1 represents a tetravalent organic group, and Y 1 represents a divalent group represented by the following formula (P):
Figure 0006775768

(In the formula, R represents F, Cl, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group, m represents an integer of 0 to 4, and r represents an integer of 1 to 4)] ..

<2> 前記<1>において、前記Yが、下記の式(P1)〜(P3)のいずれかで表される2価の基であるのがよい。

Figure 0006775768

(式中、
、R、R、R、R及びRは、同一であっても異なっていてもよく、F、Cl、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、
m1、m2、m3、m4、m5及びm6は、同一であっても異なっていてもよく、0〜4の整数を表す)。 <2> In the above <1>, the Y 1 is preferably a divalent group represented by any of the following formulas (P1) to (P3).
Figure 0006775768

(During the ceremony,
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 may be the same or different, representing F, Cl, an alkyl group having 1-3 carbon atoms, or a phenyl group.
m1, m2, m3, m4, m5 and m6 may be the same or different and represent an integer of 0-4).

<3> 前記<2>前記Yが、少なくとも式(P1)で表される2価の基を含むのがよい。
<3> the <2> wherein Y 1 is better to include a divalent group represented by the least expression (P1).

<4> 前記<1>〜<3>のいずれかにおいて、ポリアミック酸が、下記の式(2)で表されるモノマー単位をさらに含むのがよい。

Figure 0006775768

[式中、
は、前記<1>で定義されたとおりであり、Yは、下記の式(P4)で表される基を表す:
Figure 0006775768

(式中、
、及びRは、同一であっても異なっていてもよく、F、Cl、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、
R’は、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、 lは0〜4の整数を表し、かつ
mは、前記<1>で定義されたとおりである)]。 <4> In any of the above <1> to <3>, the polyamic acid may further contain a monomer unit represented by the following formula (2).
Figure 0006775768

[During the ceremony,
X 1 is as defined in <1> above, and Y 2 represents a group represented by the following formula (P4):
Figure 0006775768

(During the ceremony,
R 7 and R 8 may be the same or different, and represent F, Cl, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group.
R'represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group, l represents an integer of 0 to 4, and m is as defined in <1> above)].

<5> 前記<1>〜<4>のいずれかにおいて、Xが、4価の芳香族基であるのがよい。 <5> In any of the above <1> to <4>, X 1 is preferably a tetravalent aromatic group.

<6> 前記<5>において、前記4価の芳香族基が、ベンゼン骨格、ナフタレン骨格及びビフェニル骨格から選ばれる少なくとも1種を有するものであるのがよい。 <6> In <5>, the tetravalent aromatic group preferably has at least one selected from a benzene skeleton, a naphthalene skeleton, and a biphenyl skeleton.

<7> 前記<1>〜<6>のいずれかにおいて、前記有機溶媒が、下記式(A)又は(B)で表される溶媒であるのがよい。

Figure 0006775768

(式中、R及びRは同一であっても異なっていてもよく、炭素数1〜4のアルキル基を表し、hは自然数を表す)。 <7> In any of the above <1> to <6>, the organic solvent is preferably a solvent represented by the following formula (A) or (B).
Figure 0006775768

(In the formula, Ra and R b may be the same or different, and represent an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and h represents a natural number).

<8> 前記<1>〜<7>のいずれかにおいて、前記ポリアミック酸中の前記式(1)で表されるモノマー単位の含有量が60モル%以上であるのがよい。 <8> In any of the above <1> to <7>, the content of the monomer unit represented by the formula (1) in the polyamic acid is preferably 60 mol% or more.

<9> 前記<1>〜<8>のいずれかにおいて、本発明による剥離層形成用組成物は、ガラス基板直上に設ける剥離層を形成するためのものであるのがよい。 <9> In any of the above <1> to <8>, the composition for forming a release layer according to the present invention is preferably for forming a release layer provided directly above the glass substrate.

<10> フレキシブル電子デバイスに適用されるフレキシブル基板と、ベース基板との間に形成される剥離層であって、前記<1>〜<9>のいずれかの剥離層形成用組成物を用いて作製される剥離層。 <10> A release layer formed between a flexible substrate applied to a flexible electronic device and a base substrate, using the release layer forming composition according to any one of <1> to <9>. The peeling layer to be produced.

<11> フレキシブル電子デバイスに適用される基板構造であって、
ベース基板と、
1又は2以上の領域で、前記ベース基体を覆う剥離層であって、前記<1>〜<9>のいずれかの剥離層形成用組成物により形成された剥離層と、
前記ベース基板と、前記剥離層を覆う、フレキシブル基板
とを含み、
前記フレキシブル基板と前記剥離層との密着力が、前記剥離層と前記ベース基体との密着力より大きいことを特徴とする、基板構造。
<11> A substrate structure applied to flexible electronic devices.
With the base board
A release layer that covers the base substrate in one or more regions and is formed by the release layer forming composition according to any one of <1> to <9>.
A flexible substrate that covers the base substrate and the release layer.
A substrate structure characterized in that the adhesion between the flexible substrate and the release layer is larger than the adhesion between the release layer and the base substrate.

<12> 前記<11>において、ベース基板が、ガラスを含むのがよい。 <12> In the above <11>, the base substrate preferably contains glass.

<13> 前記<1>〜<9>のいずれかの剥離層形成用組成物を用いることを特徴とする、剥離層の製造方法。一つの好ましい態様において、前記剥離層の製造方法は、前記剥離層形成用樹脂組成物を基板へ塗布し、加熱する工程を含む。 <13> A method for producing a release layer, which comprises using the composition for forming a release layer according to any one of <1> to <9>. In one preferred embodiment, the method for producing the release layer includes a step of applying the resin composition for forming the release layer to a substrate and heating the substrate.

<14> フレキシブル電子デバイスに適用される基板構造の作製方法であって、
ベース基板を準備する工程、
1又は2以上の領域で、前記ベース基体を覆う剥離層を、前記<1>〜<9>のいずれかの剥離層形成用組成物を用いて作製する工程、
前記ベース基板と、前記剥離層上に、フレキシブル基板を形成する工程
を含み、
前記フレキシブル基板と前記剥離層との密着力が、前記剥離層と前記ベース基体との密着力より大きいことを特徴とする、作製方法。
<14> A method for manufacturing a substrate structure applied to a flexible electronic device.
The process of preparing the base board,
A step of preparing a release layer covering the base substrate in one or more regions using the composition for forming a release layer according to any one of <1> to <9>.
A step of forming a flexible substrate on the base substrate and the release layer is included.
A production method, wherein the adhesion between the flexible substrate and the release layer is larger than the adhesion between the release layer and the base substrate.

本発明により、上記課題を解決することができる。
具体的には、本発明により、フレキシブル電子デバイスに適用される基板に損傷を与えることなく剥離させるための剥離層を形成するための組成物を提供することができる。
また、本発明により、上記効果に加えて、又は上記効果以外に、剥離層が設けられるガラス基板との密着性が維持されガラス基板との界面での剥離が生じない一方、剥離層より上部に形成される層又は層群を剥離層から簡易に剥離することができる、該剥離層を形成するための組成物を提供することにある。
According to the present invention, the above problems can be solved.
Specifically, the present invention can provide a composition for forming a release layer for peeling a substrate applied to a flexible electronic device without damaging it.
Further, according to the present invention, in addition to or other than the above effects, the adhesion to the glass substrate on which the release layer is provided is maintained and peeling does not occur at the interface with the glass substrate, while above the release layer. It is an object of the present invention to provide a composition for forming the peeling layer, which can easily peel the layer or group to be formed from the peeling layer.

以下、本発明について詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

剥離層形成用組成物
本発明の剥離層形成用組成物は、前記したように、式(1)で表されるモノマー単位を50モル%以上含むポリアミック酸であって、その重量平均分子量が10,000以上であるポリアミック酸と、有機溶媒とを含むものである。
Composition for forming a release layer As described above, the composition for forming a release layer of the present invention is a polyamic acid containing 50 mol% or more of the monomer units represented by the formula (1), and the weight average molecular weight thereof is 10. It contains 000 or more polyamic acids and an organic solvent.

Figure 0006775768
Figure 0006775768

また前記したように、式(1)において、Xは、4価の有機基を表し、Yは、下記の式(P)で表される2価の基を表す。 Further, as described above, in the formula (1), X 1 represents a tetravalent organic group, and Y 1 represents a divalent group represented by the following formula (P).

Figure 0006775768
Figure 0006775768

また式(P)において、Rは、F、Cl、または炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、好ましくは、F、Clを表す。同様に前記の式(P)において、mは、0〜4の整数を表し、好ましくは0〜2を表し、より好ましくは0〜1を表し、特に好ましくは0を表す。また前記の式(P)において、rは1〜3の整数を表す。
なお、炭素数1〜3のアルキル基には、メチル、エチル、n−プロピル、およびi−プロピルが包含され、好ましくは、炭素数1〜3のアルキル基は、メチルであり、より好ましくは、メチルである。
Further, in the formula (P), R represents F, Cl, or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms or a phenyl group, and preferably represents F, Cl. Similarly, in the above formula (P), m represents an integer of 0 to 4, preferably 0 to 2, more preferably 0 to 1, and particularly preferably 0. Further, in the above equation (P), r represents an integer of 1 to 3.
The alkyl group having 1 to 3 carbon atoms includes methyl, ethyl, n-propyl, and i-propyl, and the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is preferably methyl, and more preferably. It is methyl.

本発明で用いる式(1)で表されるモノマー単位を有するポリアミック酸の重量平均分子量は、10,000以上である必要があり、好ましくは15,000以上、より好ましくは20,000以上、より一層好ましくは30,000以上である。一方、本発明で用いるポリアミック酸の重量平均分子量の上限値は、通常2,000,000以下であるが、樹脂組成物の粘度が過度に高くなることを抑制することや柔軟性の高い樹脂薄膜を再現性よく得ること等を考慮すると、好ましくは1,000,000以下、より好ましくは200,000以下である。 The weight average molecular weight of the polyamic acid having the monomer unit represented by the formula (1) used in the present invention needs to be 10,000 or more, preferably 15,000 or more, more preferably 20,000 or more, and more. More preferably, it is 30,000 or more. On the other hand, the upper limit of the weight average molecular weight of the polyamic acid used in the present invention is usually 2,000,000 or less, but it is possible to prevent the viscosity of the resin composition from becoming excessively high and to have a highly flexible resin thin film. It is preferably 1,000,000 or less, more preferably 200,000 or less, in consideration of obtaining good reproducibility.

本発明で用いるポリアミック酸は、式(1)で表されるモノマー単位を、50モル%以上、好ましくは60モル%以上、より好ましくは70モル%以上、より一層好ましくは80モル%以上、さらに好ましくは90モル%以上、含有する。このようなモノマー単位の含有量であるポリアミック酸を用いることで、剥離膜に適した特性を持つ樹脂薄膜を再現性よく得ることができる。 The polyamic acid used in the present invention contains the monomer unit represented by the formula (1) in an amount of 50 mol% or more, preferably 60 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, still more preferably 80 mol% or more, and further. It is preferably contained in an amount of 90 mol% or more. By using a polyamic acid having such a monomer unit content, a resin thin film having properties suitable for a release film can be obtained with good reproducibility.

本発明の好ましい態様によれば、本発明の剥離層形成用組成物が含むポリアミック酸は、式(1)で表されるモノマー単位のみからなるポリマー、すなわち、式(1)で表されるモノマー単位が100モル%で含有されるポリマーである。このとき、このようなポリアミック酸におけるモノマー単位は、それが式(1)で表される限り、特定の1種のみであってもよく、2種以上であってもよい。後者の場合、ポリアミック酸が含む式(1)のモノマー単位の数は、好ましくは2〜4であり、より好ましくは2〜3である。 According to a preferred embodiment of the present invention, the polyamic acid contained in the composition for forming a release layer of the present invention is a polymer consisting only of a monomer unit represented by the formula (1), that is, a monomer represented by the formula (1). It is a polymer contained in 100 mol% of units. At this time, the monomer unit in such a polyamic acid may be only one specific type or two or more types as long as it is represented by the formula (1). In the latter case, the number of monomer units of the formula (1) contained in the polyamic acid is preferably 2 to 4, more preferably 2 to 3.

本発明においては、式(P)で表される基は、好ましくは式(P1)〜(P3)のいずれかで表される2価の基を含み、より好ましくは式(P1)または(P3)で表される2価の基を含み、より一層好ましくは式(P3)で表される2価の基を含む。 In the present invention, the group represented by the formula (P) preferably contains a divalent group represented by any of the formulas (P1) to (P3), and more preferably the formula (P1) or (P3). ) Is included, and even more preferably, a divalent group represented by the formula (P3) is contained.

Figure 0006775768
Figure 0006775768

前記した式(P1)、式(P2)および式(P3)において、R、R、R、R、R及びRは、同一であっても異なっていてもよく、F、Cl、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、好ましくは、F、又はClを表す。
同様にこれら式において、m1、m2、m3、m4、m5及びm6は、同一であっても異なっていてもよく、0〜4の整数を表し、好ましくは0〜2を表し、より好ましくは0〜1を表し、特に好ましくは0を表す。
Wherein the formula (P1), in the formula (P2) and the formula (P3), R 1, R 2, R 3, R 4, R 5 and R 6, which may be independently identical or different, F, It represents Cl, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group, and preferably F or Cl.
Similarly, in these equations, m1, m2, m3, m4, m5 and m6 may be the same or different, representing an integer of 0-4, preferably 0-2, more preferably 0. It represents ~ 1, and particularly preferably 0.

本発明で用いるポリアミック酸は、式(1)で表されるモノマー単位以外にも、他のモノマー単位を含んでもよい。このような他のモノマー単位の含有量は、50モル%未満である必要があり、40モル%未満であることが好ましく、30モル%未満であることがより好ましく、20モル%未満であることがより一層好ましく、10モル%未満であることがさらに好ましい。 The polyamic acid used in the present invention may contain other monomer units in addition to the monomer unit represented by the formula (1). The content of such other monomer units should be less than 50 mol%, preferably less than 40 mol%, more preferably less than 30 mol%, less than 20 mol%. Is even more preferable, and less than 10 mol% is further preferable.

このような他のモノマー単位としては、例えば式(2)のモノマー単位が挙げられる。 Examples of such other monomer units include the monomer unit of the formula (2).

Figure 0006775768
Figure 0006775768

式(2)において、Xは、4価の有機基を表し、Yは、前記した式(P4)で表される基を表す。 In the formula (2), X 1 represents a tetravalent organic group, and Y 2 represents a group represented by the above formula (P4).

Figure 0006775768
Figure 0006775768

式(P4)において、R、及びRは、同一であっても異なっていてもよく、F、Cl、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表す。Rは、好ましくはF、又はClを表す。Rは、好ましくは、F、又はClを表す。
R’は、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、好ましくは、水素原子、又は炭素数1〜3のアルキル基を表し、より好ましくは、水素原子を表す。
さらに、l及びmは、同一であっても異なっていてもよく、0〜4の整数を表し、好ましくは0〜2を表し、より好ましくは0〜1を表し、特に好ましくは0を表す。
In formula (P4), R 7 and R 8 may be the same or different, and represent F, Cl, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group. R 7 preferably represents F or Cl. R 8 preferably represents F, or Cl.
R'represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group, preferably a hydrogen atom, or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom.
Further, l and m may be the same or different, and represent an integer of 0 to 4, preferably 0 to 2, more preferably 0 to 1, and particularly preferably 0.

このような他のモノマー単位としては、前記した式(2)のモノマー単位以外にも、o−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、2−メチル−1,4−フェニレンジアミン、5−メチル−1,3−フェニレンジアミン、4−メチル−1,3−フェニレンジアミン、2−(トリフルオロメチル)−1,4−フェニレンジアミン、2−(トリフルオロメチル)−1,3−フェニレンジアミン及び4−(トリフルオロメチル)−1,3−フェニレンジアミン、ベンジジン、2,2’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン、2,3’−ジメチルベンジジン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、2,3’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、4,4’−ジフェニルエーテル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ジアミノベンズアニリド、5−アミノ−2−(3−アミノフェニル)−1H−ベンゾイミダゾール、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレンといったジアミンと、ピロメリット酸無水物(PMDA)、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’、4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物といった酸二無水物とから誘導される構造などが挙げられる。 As such other monomer units, in addition to the monomer unit of the above formula (2), o-phenylenediamine, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 2-methyl-1,4-phenylenediamine, 5 -Methyl-1,3-phenylenediamine, 4-methyl-1,3-phenylenediamine, 2- (trifluoromethyl) -1,4-phenylenediamine, 2- (trifluoromethyl) -1,3-phenylenediamine And 4- (trifluoromethyl) -1,3-phenylenediamine, benzidine, 2,2'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethylbenzidine, 2,3'-dimethylbenzidine, 2,2'-bis (tri) Fluoromethyl) benzidine, 3,3'-bis (trifluoromethyl) benzidine, 2,3'-bis (trifluoromethyl) benzidine, 4,4'-diphenyl ether, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) Diamines such as biphenyl, 4,4'-diaminobenzidine, 5-amino-2- (3-aminophenyl) -1H-benzoimidazole, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, and pyromellitic anhydride (PMDA), 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic acid anhydride, 3,3', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, etc. Examples include structures derived from objects.

式(1)及び式(2)において、前記したように、Xは、4価の有機基であるが、好ましくは、4価の芳香族基である。 In the formulas (1) and (2), as described above, X 1 is a tetravalent organic group, preferably a tetravalent aromatic group.

がとりうる4価の芳香族基は、本発明で用いるポリアミック酸を作成する際に、以下のような芳香族テトラカルボン酸二無水物を使用することで作成が可能である。
すなわち、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、4,4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、パラフェニレンジフタル酸二無水物、2,2−ビス―((3,4−ジカルボキシフェニル)−ヘキサフルオロプロパン二無水物、9,9−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、9,9‘−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]フルオレン二無水物、3,3′,4,4′−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、4,4′−スルホニルジフタル酸二無水物、パラテルフェニル−3,4,3’,4’−テトラカルボン酸二無水物、メタテルフェニル−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン二無水物、1−(2,3−ジカルボキシフェニル)−3−(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン二無水物、3,3’,4,4’−ハイドロキノンジベンゾエートテトラカルボン酸二無水物、2,2’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸等が挙げられる。
The tetravalent aromatic group that X 1 can take can be prepared by using the following aromatic tetracarboxylic dianhydride when preparing the polyamic acid used in the present invention.
That is, pyromellitic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic acid dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 1, 2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic acid anhydride, 3,3', 4,4'-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic acid dianhydride, 3,3', 4 , 4'-Tetraphenylsilane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2,3,4-frantetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride , 4,4'-Hexafluoroisopropyridendiphthalic anhydride, paraphenylenediphthalic hydride, 2,2-bis-((3,4-dicarboxyphenyl) -hexafluoropropane dianhydride, 9) , 9-bis (3,4-dicarboxyphenyl) fluorene dianhydride, 9,9'-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] fluorene hydride, 3,3', 4, 4'-biphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,5,6-pyridinetetracarboxylic acid dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-sulfonyl Diphthalic acid dianhydride, paraterphenyl-3,4,3', 4'-tetracarboxylic acid dianhydride, metaterphenyl-3,3', 4,4'-tetracarboxylic acid dianhydride, 3 , 3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane dianhydride, 1- (2,3-dicarboxyphenyl) -3- (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane dianhydride, 3,3', 4,4'-hydroquinonedi Examples thereof include benzoate tetracarboxylic dianhydride, 2,2'-bis (4-hydroxyphenyl) propandibenzoate-3,3', 4,4'-tetracarboxylic acid and the like.

好ましくは、ここで望ましい芳香族テトラカルボン酸二無水物は、下記の化合物群から選択されるものである。

Figure 0006775768

(式中、Rは、芳香環を少なくとも1つ有する2価の有機基であり、好ましくは、フェニル、ビフェニル、ナフタレン骨格を有する基である)。 Preferably, the aromatic tetracarboxylic dianhydride desired here is selected from the following compound group.
Figure 0006775768

(In the formula, R 3 is a divalent organic group having at least one aromatic ring, preferably a group having a phenyl, biphenyl, naphthalene skeleton).

よって、本発明の好ましい態様によれば、Xがとりうる4価の芳香族基は、ベンゼン骨格、ナフタレン骨格、ビフェニル骨格、ターフェニル骨格のいずれかを有するものであり、より好ましくは、ベンゼン骨格、ナフタレン骨格、ビフェニル骨格のいずれかを有するものであり、さらに好ましくは、ベンゼン骨格、ビフェニル骨格のいずれかを有するものである。 Therefore, according to a preferred embodiment of the present invention, the tetravalent aromatic group that X 1 can take has any one of a benzene skeleton, a naphthalene skeleton, a biphenyl skeleton, and a terphenyl skeleton, and more preferably benzene. It has any of a skeleton, a naphthalene skeleton, and a biphenyl skeleton, and more preferably, it has any of a benzene skeleton and a biphenyl skeleton.

本発明の好ましい態様によれば、本発明で用いるポリアミック酸は、酸二無水物としての3,3’、4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)(式(4))と、ジアミンとしての、p−フェニレンジアミン(pPDA)(式(5))及び4,4”−ジアミノ−p−ターフェニル(DATP)(式(6))、または酸二無水物としてのピロメリット酸二無水物(PMDA)(式(7))と、ジアミンとしてのpPDA(式(5))とを反応させることで得ることができる。 According to a preferred embodiment of the present invention, the polyamic acid used in the present invention includes 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) (formula (4)) as an acid dianhydride. , P-phenylenediamine (pPDA) as a diamine (formula (5)) and 4,4 "-diamino-p-terphenyl (DATP) (formula (6)), or pyromellitic acid as an acid dianhydride. It can be obtained by reacting a dianhydride (PMDA) (formula (7)) with pPDA (formula (5)) as a diamine.

Figure 0006775768
Figure 0006775768

上記反応において、3,3’、4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)と、p−フェニレンジアミン(pPDA)及び4,4”−ジアミノ−p−ターフェニル(DATP)からなるジアミン、またはピロメリット酸二無水物(PMDA)と、pPDAの仕込み比(モル比)は、所望するポリアミック酸の分子量やモノマー単位の割合等を勘案して適宜設定することができるが、アミン成分1に対して、通常、酸無水物成分が0.7〜1.3程度とすることができ、好ましく0.8〜1.2程度である。 In the above reaction, it consists of 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), p-phenylenediamine (pPDA) and 4,4 "-diamino-p-terphenyl (DATP). The charging ratio (molar ratio) of diamine or pyromellitic dianhydride (PMDA) and pPDA can be appropriately set in consideration of the desired molecular weight of polyamic acid, the ratio of monomer units, etc., but the amine component Generally, the acid anhydride component can be about 0.7 to 1.3, preferably about 0.8 to 1.2 with respect to 1.

一方、ジアミンであるpPDAとDATPの仕込み比は、DATPの物質量(m2)を1とした場合に、pPDAの物質量(m1)を、通常1.7〜20程度とすることができるが、好ましくは2.1〜20、より好ましくは2.2〜20、より一層好ましくは2.3〜19、さらに好ましくは2.3〜18である。すなわち、m1とm2は、通常、m1/m2=1.7〜20であり、好ましくは2.1〜20であり、より好ましくは2.2〜20であり、より一層好ましくは2.3〜19であり、さらに好ましくは2.3〜18である。 On the other hand, the charging ratio of the diamines pPDA and DATP can be such that the amount of substance (m 1 ) of pPDA is usually about 1.7 to 20 when the amount of substance (m 2 ) of DATP is 1. However, it is preferably 2.1 to 20, more preferably 2.2 to 20, even more preferably 2.3 to 19, and even more preferably 2.3 to 18. That is, m 1 and m 2 are usually m 1 / m 2 = 1.7 to 20, preferably 2.1 to 20, more preferably 2.2 to 20, and even more preferably. It is 2.3 to 19, and more preferably 2.3 to 18.

上記した反応は有機溶媒中で行う。すなわち、本発明による剥離層形成用組成物は、かかる有機溶媒を含む。ここで使用可能な有機溶媒は、前記反応に悪影響を及ぼさないものであれば、各種溶剤を用いることができる。
具体例としては、m−クレゾール、2−ピロリドン、N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、3−メトキシ−N,N−ジメチルプロピルアミド、3−エトキシ−N,N−ジメチルプロピルアミド、3−プロポキシ−N,N−ジメチルプロピルアミド、3−イソプロポキシ−N,N−ジメチルプロピルアミド、3−ブトキシ−N,N−ジメチルプロピルアミド、3−sec−ブトキシ−N,N−ジメチルプロピルアミド、3−tert−ブトキシ−N,N−ジメチルプロピルアミド、γ−ブチロラクトン等のプロトン性溶剤等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。
The above reaction is carried out in an organic solvent. That is, the composition for forming a release layer according to the present invention contains such an organic solvent. As the organic solvent that can be used here, various solvents can be used as long as they do not adversely affect the reaction.
Specific examples include m-cresol, 2-pyrrolidone, N-methyl-2-pyrrolidone, N-ethyl-2-pyrrolidone, N-vinyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide. , 3-methoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-ethoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-propoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-isopropoxy-N, N-dimethylpropylamide, Protonic solvents such as 3-butoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-sec-butoxy-N, N-dimethylpropylamide, 3-tert-butoxy-N, N-dimethylpropylamide, γ-butyrolactone, etc. Can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の好ましい態様によれば、有機溶媒は、式(A)又は(B)で表される溶媒である。 According to a preferred embodiment of the present invention, the organic solvent is a solvent represented by the formula (A) or (B).

Figure 0006775768
Figure 0006775768

式(A)及び式(B)において、R及びRは同一であっても異なっていてもよく、炭素数1〜4のアルキル基を表し、好ましくは、炭素数1〜3である。またここで、hは、自然数を表し、好ましくは、1〜3である。 In the formulas (A) and (B), Ra and R b may be the same or different, and represent an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, preferably 1 to 3 carbon atoms. Further, here, h represents a natural number, and is preferably 1 to 3.

反応温度は、用いる溶媒の融点から沸点までの範囲で適宜設定すればよく、通常0〜100℃程度であるが、得られるポリアミック酸のイミド化を防いでポリアミック酸単位の高含有量を維持するためには、好ましくは0〜70℃程度であり、より好ましくは0〜60℃程度であり、より一層好ましくは0〜50℃程度である。
反応時間は、反応温度や原料物質の反応性に依存するため一概に規定できないが、通常1〜100時間程度である。
The reaction temperature may be appropriately set in the range from the melting point to the boiling point of the solvent to be used, and is usually about 0 to 100 ° C., but imidization of the obtained polyamic acid is prevented and a high content of the polyamic acid unit is maintained. For this purpose, the temperature is preferably about 0 to 70 ° C, more preferably about 0 to 60 ° C, and even more preferably about 0 to 50 ° C.
The reaction time cannot be unconditionally defined because it depends on the reaction temperature and the reactivity of the raw material, but it is usually about 1 to 100 hours.

以上説明した方法によって、目的とするポリアミック酸を含む反応溶液を得ることができる。 By the method described above, a reaction solution containing the desired polyamic acid can be obtained.

本発明においては、通常、上記反応溶液をろ過した後、そのろ液をそのまま、又は、希釈若しくは濃縮し、剥離層形成用組成物として用いる。このようにすることで、得られる樹脂薄膜の耐熱性、柔軟性あるいは線膨張係数特性の悪化の原因となり得る不純物の混入を低減できるだけでなく、効率よく組成物を得ることができる。
希釈や濃縮に用いる溶媒は、特に限定されるものではなく、例えば、上記反応の反応溶媒の具体例と同様のものが挙げられ、それらは単独で又は2種以上を組み合わせて使用してもよい。
In the present invention, usually, after filtering the above reaction solution, the filtrate is used as it is, or diluted or concentrated and used as a composition for forming a release layer. By doing so, it is possible not only to reduce the mixing of impurities that may cause deterioration of the heat resistance, flexibility or linear expansion coefficient characteristics of the obtained resin thin film, but also to efficiently obtain the composition.
The solvent used for dilution or concentration is not particularly limited, and examples thereof include the same ones as the specific examples of the reaction solvent for the above reaction, and they may be used alone or in combination of two or more. ..

これらの中でも、平坦性の高い樹脂薄膜を再現性よく得ることを考慮すると、用いる溶剤としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N−エチル−2−ピロリドン、γ−ブチロラクトンが好ましい。 Among these, considering that a highly flat resin thin film can be obtained with good reproducibility, the solvents used are N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, 1,3. -Dimethyl-2-imidazolidinone, N-ethyl-2-pyrrolidone, γ-butyrolactone are preferred.

ポリアミック酸の剥離層形成用組成物総質量に対する濃度は、作製する薄膜(剥離層)の厚みや組成物粘度等を勘案して適宜設定するものではあるが、通常0.5〜30質量%程度、好ましくは5〜25質量%程度である。 The concentration of the polyamic acid with respect to the total mass of the composition for forming the release layer is appropriately set in consideration of the thickness of the thin film (release layer) to be produced, the viscosity of the composition, etc., but is usually about 0.5 to 30% by mass. It is preferably about 5 to 25% by mass.

また、剥離層形成用組成物の粘度も、作製する薄膜の厚み等勘案し適宜設定するものではあるが、特に0.05〜5μm程度の厚さの樹脂薄膜を再現性よく得ること目的とする場合、通常、25℃で10〜10,000mPa・s程度、好ましくは20〜1000mPa・s程度、より好ましくは、20〜200mPa・s程度である。
ここで、剥離層形成用組成物の粘度は、市販の液体の粘度測定用粘度計を使用して、例えば、JIS K7117−2に記載の手順を参照して、剥離層形成用組成物の温度25℃の条件にて測定することができる。好ましくは、粘度計としては、円錐平板型(コーンプレート型)回転粘度計を使用し、好ましくは同型の粘度計で標準コーンロータとして1°34‘×R24を使用して、剥離層形成用組成物の温度25℃の条件にて測定することができる。このような回転粘度計としては、例えば、東機産業株式会社製TVE−25Hが挙げられる。
The viscosity of the composition for forming a release layer is also appropriately set in consideration of the thickness of the thin film to be produced, but the purpose is to obtain a resin thin film having a thickness of about 0.05 to 5 μm with good reproducibility. In this case, it is usually about 10 to 10,000 mPa · s at 25 ° C., preferably about 20 to 1000 mPa · s, and more preferably about 20 to 200 mPa · s.
Here, the viscosity of the release layer forming composition is determined by using a commercially available liquid viscosity measuring viscometer, for example, referring to the procedure described in JIS K7117-2, and the temperature of the release layer forming composition. It can be measured under the condition of 25 ° C. Preferably, a conical flat plate type (cone plate type) rotational viscometer is used as the viscometer, and 1 ° 34'x R24 is preferably used as the standard cone rotor in the same type of viscometer to form a release layer. It can be measured under the condition that the temperature of the object is 25 ° C. Examples of such a rotational viscometer include TVE-25H manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.

なお、本発明の組成物は、ポリアミック酸と有機溶媒の他に、種々の成分を有してもよい。例えば、架橋剤(以下、架橋性化合物ともいう。)を挙げることができるがこれらに限定されない。 The composition of the present invention may contain various components in addition to the polyamic acid and the organic solvent. For example, a cross-linking agent (hereinafter, also referred to as a cross-linking compound) can be mentioned, but the present invention is not limited thereto.

前記架橋性化合物としては、例えばエポキシ基を2個以上含有する化合物、アミノ基の水素原子がメチロール基、アルコキシメチル基又はその両方で置換された基を有する、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体又はグリコールウリルなどが挙げられるが、これらに限定されない。 Examples of the crosslinkable compound include a compound containing two or more epoxy groups, a melamine derivative, a benzoguanamine derivative or glycoluryl having a group in which the hydrogen atom of the amino group is substituted with a methylol group, an alkoxymethyl group or both. However, the present invention is not limited to these.

以下に、架橋性化合物の具体例を挙げるが、これに限定されない。
エポキシ基を2個以上含有する化合物としては、エポリードGT−401、エポリードGT−403、エポリードGT−301、エポリードGT−302、セロキサイド2021、セロキサイド3000(以上、株式会社ダイセル製)等のシクロヘキセン構造を有するエポキシ化合物;エピコート1001、エピコート1002、エピコート1003、エピコート1004、エピコート1007、エピコート1009、エピコート1010、エピコート828(以上、ジャパンエポキシレジン株式会社製(現:三菱化学株式会社製、jER(登録商標)シリーズ))等のビスフェノールA型エポキシ化合物;エピコート807(ジャパンエポキシレジン株式会社製)等のビスフェノールF型エポキシ化合物;エピコート152、エピコート154(以上、ジャパンエポキシレジン株式会社製(現:三菱化学株式会社製、jER(登録商標)シリーズ))、EPPN201、EPPN202(以上、日本化薬株式会社製)等のフェノールノボラック型エポキシ化合物;ECON−102、ECON−103S、ECON−104S、ECON−1020、ECON−1025、ECON−1027(以上、日本化薬株式会社製)、エピコート180S75(ジャパンエポキシレジン株式会社(現:三菱化学株式会社製、jER(登録商標)シリーズ)製)等のクレゾールノボラック型エポキシ化合物;V8000−C7(DIC株式会社製)等のナフタレン型エポキシ化合物;デナコールEX−252(ナガセケムテックス株式会社製)、CY175、CY177、CY179、アラルダイトCY−182、アラルダイトCY−192、アラルダイトCY−184(以上、BASF社製)、エピクロン200、エピクロン400(以上、DIC株式会社製)、エピコート871、エピコート872(以上、ジャパンエポキシレジン株式会社製(現:三菱化学株式会社製、jER(登録商標)シリーズ))、ED−5661、ED−5662(以上、セラニーズコーティング株式会社製)等の脂環式エポキシ化合物;デナコールEX−611、デナコールEX−612、デナコールEX−614、デナコールEX−622、デナコールEX−411、デナコールEX−512、デナコールEX−522、デナコールEX−421、デナコールEX−313、デナコールEX−314、デナコールEX−312(以上、ナガセケムテックス株式会社製)等の脂肪族ポリグリシジルエーテル化合物が挙げられる。
Specific examples of the crosslinkable compound are given below, but the present invention is not limited thereto.
Examples of the compound containing two or more epoxy groups include cyclohexene structures such as Epolide GT-401, Epolide GT-403, Epolide GT-301, Epolide GT-302, Celoxide 2021, and Celoxide 3000 (all manufactured by Daicel Co., Ltd.). Epoxy compounds possessed; Epicoat 1001, Epicoat 1002, Epicoat 1003, Epicoat 1004, Epicoat 1007, Epicoat 1009, Epicoat 1010, Epicoat 828 (above, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. (currently manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., jER®) Bisphenol A type epoxy compound such as (series)); Bisphenol F type epoxy compound such as Epicoat 807 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.); Epicoat 152, Epicoat 154 (all manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. (currently: Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) , JER (registered trademark) series)), EPPN201, EPPN202 (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and other phenol novolac type epoxy compounds; ECON-102, ECON-103S, ECON-104S, ECON-1020, ECON- Cresol novolac type epoxy compounds such as 1025, ECON-1027 (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Epicoat 180S75 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. (currently Mitsubishi Chemical Co., Ltd., jER (registered trademark) series)); Naphthalene type epoxy compounds such as V8000-C7 (manufactured by DIC Co., Ltd.); Denacol EX-252 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation), CY175, CY177, CY179, Araldite CY-182, Araldite CY-192, Araldite CY-184 ( Above, BASF), Epicron 200, Epicron 400 (above, DIC Co., Ltd.), Epicoat 871, Epicoat 872 (above, Japan Epoxy Resin Co., Ltd. (currently: Mitsubishi Chemical Co., Ltd., jER (registered trademark) series) )), ED-5661, ED-5662 (all manufactured by Ceranies Coating Co., Ltd.) and other alicyclic epoxy compounds; Denacol EX-611, Denacol EX-612, Denacol EX-614, Denacol EX-622, Denacol EX -411, Denacol EX-512, Denacol EX-522, Denacol EX-421, Denacol EX-313, Denacol EX-314, Denacol EX-312 (above, Nagasechem) Examples thereof include aliphatic polyglycidyl ether compounds (manufactured by TEX Co., Ltd.).

アミノ基の水素原子がメチロール基、アルコキシメチル基又はその両方で置換された基を有する、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体又はグリコールウリルとしては、トリアジン環1個当たりメトキシメチル基が平均3.7個置換されているMX−750、トリアジン環1個当たりメトキシメチル基が平均5.8個置換されているMW−30(以上、株式会社三和ケミカル製);サイメル300、サイメル301、サイメル303、サイメル350、サイメル370、サイメル771、サイメル325、サイメル327、サイメル703、サイメル712等のメトキシメチル化メラミン;サイメル235、サイメル236、サイメル238、サイメル212、サイメル253、サイメル254等のメトキシメチル化ブトキシメチル化メラミン;サイメル506、サイメル508等のブトキシメチル化メラミン;サイメル1141のようなカルボキシ基含有メトキシメチル化イソブトキシメチル化メラミン;サイメル1123のようなメトキシメチル化エトキシメチル化ベンゾグアナミン;サイメル1123−10のようなメトキシメチル化ブトキシメチル化ベンゾグアナミン;サイメル1128のようなブトキシメチル化ベンゾグアナミン;サイメル1125−80のようなカルボキシ基含有メトキシメチル化エトキシメチル化ベンゾグアナミン;サイメル1170のようなブトキシメチル化グリコールウリル;サイメル1172のようなメチロール化グリコールウリル(以上、三井サイアナミッド株式会社製(現:日本サイテックインダストリーズ株式会社)等が挙げられる。 As a melamine derivative, a benzoguanamine derivative or glycoluryl having a group in which the hydrogen atom of the amino group is substituted with a methylol group, an alkoxymethyl group or both, an average of 3.7 methoxymethyl groups are substituted per triazine ring. MX-750, MW-30 in which an average of 5.8 methoxymethyl groups are substituted per triazine ring (all manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.); Cymel 300, Cymel 301, Cymel 303, Cymel 350, Methyl methmethylated melamines such as Cymel 370, Cymel 771, Cymel 325, Cymel 327, Cymel 703, Cymel 712; Butoxymethylated melamines such as Cymel 506, Cymel 508; carboxy group-containing methoxymethylated isobutoxymethylated melamines such as Cymel 1141; methoxymethylated ethoxymethylated benzoguanamines such as Cymel 1123; Methyl methoxymethylated butoxymethylated benzoguanamine; butoxymethylated benzoguanamine such as Cymel 1128; carboxy group-containing methoxymethylated ethoxymethylated benzoguanamine such as Cymel 1125-80; butoxymethylated glycol uryl such as Cymel 1170; Examples thereof include methylolated glycol uryl (above, manufactured by Mitsui Sianamid Co., Ltd. (currently Nippon Cytec Industries Co., Ltd.)).

以上説明した本発明の剥離層形成用組成物を基体に塗布して加熱することで、高い耐熱性と、適度な柔軟性と、適度な線膨張係数とを有するポリイミドからなる薄膜(剥離層)を得ることができる。 By applying the composition for forming a release layer of the present invention described above to a substrate and heating it, a thin film (release layer) made of polyimide having high heat resistance, appropriate flexibility, and an appropriate coefficient of linear expansion. Can be obtained.

ベース基体(基材)としては、例えば、ガラス、プラスチック(ポリカーボネート、ポリメタクリレート、ポリスチレン、ポリエステル、ポリオレフィン、エポキシ、メラミン、トリアセチルセルロース、ABS、AS、ノルボルネン系樹脂等)、金属(シリコンウエハ等)、木材、紙、スレート等が挙げられる。 Examples of the base substrate (base material) include glass, plastic (polycarbonate, polymethacrylate, polystyrene, polyester, polyolefin, epoxy, melamine, triacetyl cellulose, ABS, AS, norbornene resin, etc.), metal (silicon wafer, etc.). , Wood, paper, slate, etc.

塗布する方法は、特に限定されるものではないが、例えば、キャストコート法、スピンコート法、ブレードコート法、ディップコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法、インクジェット法、印刷法(凸版、凹版、平版、スクリーン印刷等)等が挙げられる。 The method of coating is not particularly limited, but for example, a cast coating method, a spin coating method, a blade coating method, a dip coating method, a roll coating method, a bar coating method, a die coating method, an inkjet method, and a printing method (projection printing method). , Intaglio, lithographic, screen printing, etc.).

また本発明の剥離層形成用組成物中に含むポリアミック酸をイミド化させる方法としては、基板上に塗布した組成物をそのまま加熱する熱イミド化、及び、組成物中に触媒を添加し加熱する触媒イミド化が挙げられる。 Further, as a method for imidizing the polyamic acid contained in the composition for forming a release layer of the present invention, thermal imidization in which the composition applied on the substrate is heated as it is, and heating by adding a catalyst to the composition are performed. Catalytic imidization can be mentioned.

ポリアミック酸の触媒イミド化は、本発明の剥離層形成用組成物中に触媒を添加し、攪拌することにより触媒添加組成物を調整した後、基板へ塗布、加熱することで樹脂薄膜(剥離層)が得られる。触媒の量はアミド酸基の0.1から30モル倍、好ましくは1から20モル倍である。また触媒添加組成物中に脱水剤として無水酢酸 等を加えることもでき、その量はアミド酸基の1から50モル倍、好ましくは3から30モル倍である。 In the catalytic imidization of polyamic acid, a catalyst is added to the composition for forming a release layer of the present invention, the catalyst-added composition is prepared by stirring, and then applied to a substrate and heated to form a resin thin film (release layer). ) Is obtained. The amount of catalyst is 0.1 to 30 mol times, preferably 1 to 20 mol times, of the amic acid group. Further, acetic anhydride or the like can be added as a dehydrating agent to the catalyst-added composition, and the amount thereof is 1 to 50 mol times, preferably 3 to 30 mol times, that of the amic acid group.

イミド化触媒としては三級アミンを用いることが好ましい。三級アミンとしては、ピリジン、置換ピリジン類、イミダゾール、置換イミダゾール類、ピコリン、キノリン、イソキノリンなどが好ましい。 It is preferable to use a tertiary amine as the imidization catalyst. As the tertiary amine, pyridine, substituted pyridines, imidazole, substituted imidazoles, picoline, quinoline, isoquinoline and the like are preferable.

熱イミド化、及び触媒イミド化時の加熱温度は、450℃以下が好ましい。450℃を超えると、得られる樹脂薄膜が脆くなり、目的の用途に適した樹脂薄膜を得ることができない場合がある。
また、得られる樹脂薄膜の耐熱性と線膨張係数特性を考慮すると、塗布した組成物を50℃〜100℃で5分間〜2時間加熱した後に、そのまま段階的に加熱温度を上昇させて最終的に375℃超〜450℃で30分〜4時間加熱することが望ましい。
特に、塗布した組成物は、50℃〜100℃で5分間〜2時間加熱した後に、100℃超〜200℃で5分間〜2時間、次いで、200℃超〜375℃で5分間〜2時間、最後に375℃超〜450℃で30分〜4時間加熱することが好ましい。
加熱に用いる器具は、例えばホットプレート、オーブン等が挙げられる。加熱雰囲気は、空気下であっても不活性ガス下であってもよく、また、常圧下であっても減圧下であってもよい。
The heating temperature during thermal imidization and catalytic imidization is preferably 450 ° C. or lower. If the temperature exceeds 450 ° C., the obtained resin thin film becomes brittle, and it may not be possible to obtain a resin thin film suitable for the intended use.
Further, considering the heat resistance and the coefficient of linear expansion characteristics of the obtained resin thin film, the applied composition is heated at 50 ° C. to 100 ° C. for 5 minutes to 2 hours, and then the heating temperature is gradually increased as it is to finalize. It is desirable to heat at more than 375 ° C. to 450 ° C. for 30 minutes to 4 hours.
In particular, the applied composition is heated at 50 ° C. to 100 ° C. for 5 minutes to 2 hours, then over 100 ° C. to 200 ° C. for 5 minutes to 2 hours, and then at over 200 ° C. to 375 ° C. for 5 minutes to 2 hours. Finally, it is preferable to heat at 375 ° C. to 450 ° C. for 30 minutes to 4 hours.
Examples of the appliance used for heating include a hot plate and an oven. The heating atmosphere may be under air or an inert gas, and may be under normal pressure or reduced pressure.

樹脂薄膜の厚さは、特に剥離層として用いる場合、通常0.01〜10μm程度、好ましくは0.05〜5μm程度であり、加熱前の塗膜の厚さを調整して所望の厚さの樹脂薄膜を形成する。 The thickness of the resin thin film is usually about 0.01 to 10 μm, preferably about 0.05 to 5 μm, particularly when used as a release layer, and the thickness of the coating film before heating is adjusted to obtain a desired thickness. Form a resin thin film.

以上説明した薄膜は、フレキシブル電子デバイスに適用される基板に損傷を与えることなく剥離させるための剥離層として使用するのに最適である。 The thin film described above is most suitable for use as a release layer for peeling a substrate applied to a flexible electronic device without damaging it.

本願の組成物により、フレキシブル電子デバイスに適用されるフレキシブル基板と、ベース基板との間に設けられる剥離層を形成することができる。ベース基板としては、ガラス又はシリコーンウェハを含むものが好ましく、より好ましくはガラスを含む。 The composition of the present application can form a release layer provided between a flexible substrate applied to a flexible electronic device and a base substrate. The base substrate preferably contains glass or a silicon wafer, and more preferably contains glass.

例えば、ガラス基板に本願の組成物を従来公知の手法により塗布し、得られた塗布膜を所定の温度で加熱することにより剥離層を形成することができる。
また、被剥離体層は、剥離層上に形成することができる。被剥離体層は、一層であっても複数層であってもよい。種々のデバイスを作製するには、複数層であるのが現実的である。
被剥離体層のうち剥離層直上の層は、用いる剥離層に依存するが、該剥離層との剥離性を良いもの、換言すると用いる剥離層との密着性が良くないもの、を用いるのがよい。
For example, a release layer can be formed by applying the composition of the present application to a glass substrate by a conventionally known method and heating the obtained coating film at a predetermined temperature.
In addition, the body layer to be peeled can be formed on the peeled layer. The peeled body layer may be one layer or a plurality of layers. In order to fabricate various devices, it is realistic to have a plurality of layers.
Of the layers to be peeled, the layer directly above the peeling layer depends on the peeling layer to be used, but it is preferable to use one having good peelability with the peeling layer, in other words, one having poor adhesion with the peeling layer to be used. Good.

本願の他の面として、被剥離体の製造方法を提供する。
該方法は、
a)本願の組成物をガラス基板上に塗布した後、剥離層を形成する工程;
b)該剥離層上に、被剥離体を形成する工程;及び
c)剥離層と被剥離体との界面において、被剥離体を剥離する工程;
を有することにより、被剥離体を得ることができる。
b)工程において、「被剥離体」は一層であっても複数層であってもよい。なお、「被剥離体」のうち剥離層直上の層は、用いる剥離層に依存するが、該剥離層との剥離性を良いもの、換言すると用いる剥離層との密着性が良くないもの、であるのがよい。
As another aspect of the present application, a method for producing a material to be peeled is provided.
The method is
a) A step of forming a release layer after applying the composition of the present application on a glass substrate;
b) A step of forming a body to be peeled on the peeled layer; and c) A step of peeling the body to be peeled at the interface between the peeled layer and the body to be peeled;
By having the above, a stripped body can be obtained.
b) In the step, the "exfoliated body" may be one layer or a plurality of layers. The layer immediately above the peeling layer of the "exfoliated body" depends on the peeling layer used, but has good peelability with the peeling layer, in other words, has poor adhesion with the peeling layer used. It is good to have it.

本発明の別の好ましい態様によれば、フレキシブル電子デバイスに適用される基板構造であって、
ベース基板と、
1又は2以上の領域で、前記ベース基体を覆う剥離層であって、本発明による剥離層形成用組成物により形成された剥離層と、
前記ベース基板と、前記剥離層を覆う、フレキシブル基板
とを含み、
前記フレキシブル基板と前記剥離層との密着力が、前記剥離層と前記ベース基体との密着力より大きいことを特徴とする、基板構造が提供される。ここでいう密着力の大きさは、例えば、本願の実施例で示したクロスカット試験により確認することができる。
According to another preferred embodiment of the present invention, the substrate structure is applied to a flexible electronic device.
With the base board
A release layer that covers the base substrate in one or more regions and is formed by the release layer forming composition according to the present invention.
A flexible substrate that covers the base substrate and the release layer.
Provided is a substrate structure characterized in that the adhesion between the flexible substrate and the release layer is larger than the adhesion between the release layer and the base substrate. The magnitude of the adhesion force referred to here can be confirmed by, for example, the cross-cut test shown in the examples of the present application.

以下、本発明を実施例に沿って説明するが、本発明は該実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

本実施例に用いる略語について、以下に列挙し、説明する。
<溶媒>
NMP:N−メチルピロリドン。
<アミン類>
p−PDA:p-フェニレンジアミン。
APAB:2−(3−アミノフェニル)−5−アミノベンズイミダゾール。
DATP:4,4’−ジアミノ−p−ターフェニル。
6FAP:2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン。
The abbreviations used in this embodiment are listed and described below.
<Solvent>
NMP: N-methylpyrrolidone.
<Amines>
p-PDA: p-phenylenediamine.
APAB: 2- (3-aminophenyl) -5-aminobenzimidazole.
DATP: 4,4'-diamino-p-terphenyl.
6FAP: 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane.

<酸二無水物>
BPDA:3,3’−4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物。
BA−TME:4,4-ビフェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)。
PMDA:ピロメリット酸二無水物。
<アルデヒド>
IPHA:イソフタルアルデヒド。
<Acid dianhydride>
BPDA: 3,3'-4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride.
BA-TME: 4,4-biphenylene bis (trimellitic acid monoesteric anhydride).
PMDA: Pyromellitic acid dianhydride.
<Aldehyde>
IPHA: Isophthalaldehyde.

[数平均分子量及び重量平均分子量の測定]
ポリマーの重量平均分子量(以下「Mw」と略す)と分子量分布は、日本分光株式会社製GPC装置(Shodex(登録商標)カラムKF803LおよびKF805L)を用い溶出溶媒としてジメチルホルムアミドを流量1ml/分、カラム温度50℃の条件で測定した。なお、Mwはポリスチレン換算値とした。
[Measurement of number average molecular weight and weight average molecular weight]
The weight average molecular weight (hereinafter abbreviated as "Mw") and the molecular weight distribution of the polymer were determined by using a GPC apparatus (Shodex (registered trademark) columns KF803L and KF805L) manufactured by Nippon Kogaku Co., Ltd. The measurement was carried out under the condition of a temperature of 50 ° C. In addition, Mw was a polystyrene conversion value.

<合成例>
<合成例1 ポリイミド前駆体P1の合成>
BPDA(98)//p−PDA(90)/DATP(10)
p−PDA 17.8g(0.164モル)、DATP 2.38g(0.009モル)、およびAPAB 2.05g(0.009モル)をNMP 425gに溶解させ、BPDA 52.8g(0.179モル)を同時に添加した後、再度NMP 7.4gを添加し、窒素雰囲気下中23℃、24時間反応させた。得られたポリイミド前駆体P1のMwは63000、分子量分布9.9であった。
<Synthesis example>
<Synthesis Example 1 Synthesis of Polyimide Precursor P1>
BPDA (98) // p-PDA (90) / DATP (10)
17.8 g (0.164 mol) of p-PDA, 2.38 g (0.009 mol) of DATP, and 2.05 g (0.009 mol) of APAB were dissolved in 425 g of NMP, and 52.8 g (0.179 mol) of BPDA. After adding moles) at the same time, 7.4 g of NMP was added again, and the mixture was reacted at 23 ° C. for 24 hours in a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polyimide precursor P1 was 63000 and the molecular weight distribution was 9.9.

<合成例2 ポリイミド前駆体P2の合成>
BPDA(98)/ DATP(100)
DATP 30.8g(0.118モル)をNMP 425gに溶解させ、BPDA 34.1g(0.116モル)を同時に添加した後、再度NMP 10gを添加し、窒素雰囲気下中23℃、24時間反応させた。得られたポリイミド前駆体P2のMwは70700、分子量分布9.7であった。
<Synthesis Example 2 Synthesis of Polyimide Precursor P2>
BPDA (98) / DATP (100)
30.8 g (0.118 mol) of DATP was dissolved in 425 g of NMP, 34.1 g (0.116 mol) of BPDA was added at the same time, 10 g of NMP was added again, and the reaction was carried out in a nitrogen atmosphere at 23 ° C. for 24 hours. I let you. The Mw of the obtained polyimide precursor P2 was 70,700 and the molecular weight distribution was 9.7.

<合成例3 ポリイミド前駆体P3の合成>
PMDA(98)/p−PDA(80)/DATP(20)
p−PDA 20.261g(0.1875モル)とTPDA 12.206g(0.0469モル)をNMP 617.4gに溶解し、15℃に冷却後、PMDA 50.112g(0.2298モル)を添加し、窒素雰囲気下、50℃で48時間反応させた。得られたポリイミド前駆体P3のMwは82,100、分子量分布は2.7であった。
<Synthesis Example 3 Synthesis of Polyimide Precursor P3>
PMDA (98) / p-PDA (80) / DATP (20)
20.261 g (0.1875 mol) of p-PDA and 12.206 g (0.0469 mol) of TPDA were dissolved in 617.4 g of NMP, cooled to 15 ° C., and then 50.112 g (0.2298 mol) of PMDA was added. Then, the reaction was carried out at 50 ° C. for 48 hours in a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polyimide precursor P3 was 82,100, and the molecular weight distribution was 2.7.

<合成例4 ポリイミド前駆体P4の合成>
BP−TME(98)//p−PDA(95)/APAB(5)
p−PDA 9.66g(0.089モル)とAPAB 1.05g(0.005モル)をNMP 440gに溶解し、BP−TME 49.2g(0.092モル)を添加し、窒素雰囲気下、室温で24時間反応させた。得られたポリイミド前駆体P4のMwは57000、分子量分布は9.3であった。
<Synthesis Example 4 Synthesis of Polyimide Precursor P4>
BP-TME (98) // p-PDA (95) / APAB (5)
9.66 g (0.089 mol) of p-PDA and 1.05 g (0.005 mol) of APAB were dissolved in 440 g of NMP, 49.2 g (0.092 mol) of BP-TME was added, and under a nitrogen atmosphere, The reaction was carried out at room temperature for 24 hours. The Mw of the obtained polyimide precursor P4 was 57,000, and the molecular weight distribution was 9.3.

<合成例5 ポリイミド前駆体P5の合成>
BPDA(98)//p−PDA(100)
p−PDA 3.176g(0.02937モル)をNMP 88.2gに溶解し、BPDA 8.624g(0.02931モル)を添加した後、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリイミド前駆体P5のMwは107,300、分子量分布4.6であった。
<Synthesis Example 5 Synthesis of Polyimide Precursor P5>
BPDA (98) // p-PDA (100)
3.176 g (0.02937 mol) of p-PDA was dissolved in 88.2 g of NMP, 8.624 g (0.02931 mol) of BPDA was added, and the mixture was reacted at 23 ° C. for 24 hours under a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polyimide precursor P5 was 107,300 and the molecular weight distribution was 4.6.

<合成例6 ポリベンゾオキサゾール前駆体(P6)の合成>
IHPA(98)//6FAP(100)
6FAP 3.18g(0.059モル)をNMP 70gに溶解し、IPHA 7.92g(0.060モル)を添加した後、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは107,300、分子量分布4.6であった。
<Synthesis Example 6 Synthesis of Polybenzoxazole Precursor (P6)>
IHPA (98) // 6FAP (100)
3.18 g (0.059 mol) of 6FAP was dissolved in 70 g of NMP, 7.92 g (0.060 mol) of IPHA was added, and the mixture was reacted at 23 ° C. for 24 hours under a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polymer was 107,300 and the molecular weight distribution was 4.6.

<合成例7 ポリイミド前駆体P7の合成>
PMDA(98)//p−PDA(100)
p−PDA 10.078g(93mmol)をNMP 220.0gに溶解させた。得られた溶液に、PMDA 19.922g(91mmol)を加え、窒素雰囲気下、23℃で24時間反応させた。得られたポリマーのMwは55,900、分子量分布3.1であった。
<Synthesis Example 7 Synthesis of Polyimide Precursor P7>
PMDA (98) // p-PDA (100)
10.078 g (93 mmol) of p-PDA was dissolved in 220.0 g of NMP. To the obtained solution, 19.922 g (91 mmol) of PMDA was added, and the mixture was reacted at 23 ° C. for 24 hours under a nitrogen atmosphere. The Mw of the obtained polymer was 55,900 and the molecular weight distribution was 3.1.

<剥離層基板の作製>
上記合成例1〜7で得たP1〜P7をNMPにて4wt%に希釈し、100mm×100mmガラス基板(OA−10G無アルカリガラス)又はシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、キュア条件A〜Cで、オーブンで焼成し剥離層を作製した。
キュア条件A: 120℃で30分維持→昇温→300℃で60分維持→昇温→400℃で60分維持。なお、昇温速度は10℃/分であった。
キュア条件B: 120℃で30分維持→昇温→180℃で20分維持→昇温→240℃で20分維持→昇温→300℃で20分維持→昇温→400℃で20分維持→昇温→450℃で60分維持。なお、昇温速度は10℃/分であった。
キュア条件C: 80℃で10分維持→昇温→300℃で30分維持→昇温→400℃で30分維持。なお、昇温速度は10℃/分であった。
<Preparation of release layer substrate>
P1 to P7 obtained in Synthesis Examples 1 to 7 above are diluted to 4 wt% with NMP, applied on a 100 mm × 100 mm glass substrate (OA-10G non-alkali glass) or a silicon wafer using a spin coater, and then cured. Under conditions A to C, a release layer was prepared by firing in an oven.
Cure condition A : Maintain at 120 ° C for 30 minutes → temperature rise → maintain at 300 ° C for 60 minutes → temperature rise → maintain at 400 ° C for 60 minutes. The rate of temperature rise was 10 ° C./min.
Cure condition B : Maintain at 120 ° C for 30 minutes → Temperature rise → Maintain at 180 ° C for 20 minutes → Temperature rise → Maintain at 240 ° C for 20 minutes → Temperature rise → Maintain at 300 ° C for 20 minutes → Temperature rise → Maintain at 400 ° C for 20 minutes → Temperature rise → Maintain at 450 ° C for 60 minutes. The rate of temperature rise was 10 ° C./min.
Cure condition C : Maintain at 80 ° C for 10 minutes → Temperature rise → Maintain at 300 ° C for 30 minutes → Temperature temperature → Maintain at 400 ° C for 30 minutes. The rate of temperature rise was 10 ° C./min.

得られた塗布膜の膜厚は、接触式膜厚測定器(株式会社ULVAC製Dektak 3ST)を使用し、測定した。
表1に、使用したP1〜P7の前駆体、塗布基板、キュア条件、および作製した剥離層の膜厚を示す。
The film thickness of the obtained coating film was measured using a contact-type film thickness measuring device (Dektak 3ST manufactured by ULVAC, Inc.).
Table 1 shows the precursors of P1 to P7 used, the coating substrate, the curing conditions, and the film thickness of the prepared release layer.

Figure 0006775768
Figure 0006775768

<クロスカット試験I>
表1で示す実施例1〜5及び比較例1〜3の、剥離層を備えた基板について、クロスカット試験Iで、基板(ガラス又はシリコンウエハ)/剥離層の密着力を確認した。
クロスカット試験Iは、次のように行った。
(1)フィルム上に、1mm角の正方形を100個作製した。
(2)その後、粘着テープ(セロテープ(登録商標))で上記の正方形をはりつけ、剥離工程を行った。
(3)剥離工程後、基板に残存する、上記の正方形を数えた。
<Crosscut test I>
With respect to the substrates provided with the release layers of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3 shown in Table 1, the adhesion of the substrate (glass or silicon wafer) / release layer was confirmed by the cross-cut test I.
The cross-cut test I was performed as follows.
(1) 100 1 mm square squares were prepared on the film.
(2) After that, the above square was attached with an adhesive tape (cellotape (registered trademark)), and a peeling step was performed.
(3) The above squares remaining on the substrate after the peeling step were counted.

<クロスカット試験Iの結果の指標>
クロスカット試験の結果、剥離の程度を以下の指標で示す。
5B:剥離せず。
4B:5%以下の剥離。
3B:5〜15%の剥離。
2B:15〜35%の剥離。
1B:35〜65%の剥離。
0B:65%〜80%の剥離。
B:80%〜95%の剥離。
A:95%〜100%未満の剥離。
AA:100%の剥離。
<Indicator of the result of cross-cut test I>
As a result of the cross-cut test, the degree of peeling is shown by the following index.
5B: No peeling.
4B: Peeling of 5% or less.
3B: 5 to 15% peeling.
2B: 15-35% peeling.
1B: 35-65% peeling.
0B: 65% to 80% peeling.
B: 80% to 95% peeling.
A: 95% to less than 100% peeling.
AA: 100% peeling.

上記クロスカット試験Iとは別に、表1で示す実施例1〜5及び比較例1〜3の、剥離層を備えた基板について、該剥離層を構成する成分の特性、即ち(1)加熱時の重量変化における1%重量減少を示す温度、(2)波長1000nmでの屈折率、(3)波長1000nmでの複屈折、及び(4)表面エネルギー、を測定した。なお、各特性の測定条件などを以下に示す。 Apart from the cross-cut test I, with respect to the substrates provided with the release layer of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3 shown in Table 1, the characteristics of the components constituting the release layer, that is, (1) when heated. The temperature showing a 1% weight loss in the weight change, (2) the refractive index at a wavelength of 1000 nm, (3) birefringence at a wavelength of 1000 nm, and (4) surface energy were measured. The measurement conditions for each characteristic are shown below.

<(1)加熱時の重量変化における1%重量減少を示す温度>
ブルカー株式会社製 TD−DTA2000STを用いて、窒素雰囲気下で熱重量(TG)測定を行い、重量が1%減少する温度を求めた。
<(1) Temperature showing 1% weight loss due to weight change during heating>
Thermogravimetric (TG) measurement was performed in a nitrogen atmosphere using a TD-DTA2000ST manufactured by Bruker Co., Ltd. to determine a temperature at which the weight was reduced by 1%.

<(2)波長1000nmでの屈折率及び(3)複屈折率>
高速分光エリプソメーターM−2000(ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社製)を用いて、屈折率及び復屈折率を測定した。なお、屈折率は、1000nmの値の面内屈折率とし、複屈折率は、面内屈折率と面外屈折率の差とした。
<(2) Refractive index at wavelength 1000 nm and (3) Birefringence>
The refractive index and birefringence were measured using a high-speed spectroscopic ellipsometer M-2000 (manufactured by JA Woolam Japan Co., Ltd.). The refractive index was defined as an in-plane refractive index with a value of 1000 nm, and the birefringence was defined as the difference between the in-plane refractive index and the out-of-plane refractive index.

<(4)表面エネルギー>
全自動接触角計 DM−701(共和界面科学株式会社製)を用いて、各部材の表面エネルギーを測定した。なお、測定に用いた溶媒は、水とヨウ化メチレンであり、これらの溶媒の接触角から算出した。
<(4) Surface energy>
The surface energy of each member was measured using a fully automatic contact angle meter DM-701 (manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.). The solvents used for the measurement were water and methylene iodide, which were calculated from the contact angles of these solvents.

<被剥離体の形成とその剥離試験(クロスカット試験II)>
実施例1〜5及び比較例1〜3の、剥離層を備えた基板上に被剥離体を形成し、その剥離の程度をクロスカット試験IIで確認した。
<Formation of the material to be peeled and its peeling test (cross-cut test II)>
The material to be peeled was formed on the substrate provided with the peeling layer of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3, and the degree of peeling was confirmed by the cross-cut test II.

<<被剥離体層の作製>>
剥離層を備えた基板の該剥離層上に、被剥離体としてポリイミド層を形成した。
具体的には、表1に示す、実施例1〜5及び比較例1〜3の、剥離層を備える基板の、剥離層上に、上記合成例5又は合成例1で得られた前駆体P5又はP1をバーコーターで塗布した。その後、オーブンにて120℃で30分維持→昇温→180℃で20分維持→昇温→240℃/20分維持→昇温→300℃で20分維持→昇温→400℃で20分維持→昇温→450℃で60分維持(いずれの昇温においてもその速度は10℃/分であった)でキュアを行い、ポリイミドからなる膜厚15μmの被剥離体層を作製した。
<< Preparation of layer to be peeled >>
A polyimide layer was formed as a material to be peeled off on the peeled layer of the substrate provided with the peeled layer.
Specifically, the precursor P5 obtained in the above Synthesis Example 5 or Synthesis Example 1 is placed on the release layer of the substrate provided with the release layer of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3 shown in Table 1. Alternatively, P1 was applied with a bar coater. After that, maintain at 120 ° C for 30 minutes in the oven → temperature rise → maintain at 180 ° C for 20 minutes → temperature rise → maintain at 240 ° C / 20 minutes → temperature rise → maintain at 300 ° C for 20 minutes → temperature rise → maintain at 400 ° C for 20 minutes Curing was performed at maintenance → temperature rise → maintenance at 450 ° C. for 60 minutes (the rate was 10 ° C./min at any temperature rise) to prepare a body layer to be peeled with a thickness of 15 μm made of polyimide.

<<クロスカット試験II>>
上記で得られた、被剥離体層及び剥離層を備える基板について、被剥離体層/剥離層間の密着力をクロスカット試験IIで確認した。
クロスカット試験IIは、クロスカット試験Iと同様に行った。
表2に、(1)加熱時の重量変化における1%重量減少を示す温度(表2中、「(1)」で表記する)、(2)波長1000nmでの屈折率(表2中、「(2)」で表記する)、(3)該(2)の屈折率と複屈折との差(表2中、「(3)」で表記する)、(4)表面エネルギー(表2中、「(4)」で表記する。ただし、単位はdyne/cmである)、被剥離体層で用いたポリイミド前駆体、並びにクロスカット試験I及びIIの結果を示す。
<< Crosscut Test II >>
With respect to the substrate provided with the peeled body layer and the peeled layer obtained above, the adhesion between the peeled body layer / the peeled layer was confirmed by the cross-cut test II.
The cross-cut test II was performed in the same manner as the cross-cut test I.
Table 2 shows (1) a temperature indicating a 1% weight loss due to a weight change during heating (indicated by "(1)" in Table 2), and (2) a refractive index at a wavelength of 1000 nm (in Table 2, " (2) ”), (3) Difference between the refractive index and birefringence of (2) (indicated by“ (3) ”in Table 2), (4) Surface energy (in Table 2, It is expressed by "(4)". However, the unit is dyne / cm), the polyimide precursor used in the layer to be stripped, and the results of the cross-cut tests I and II are shown.

Figure 0006775768
Figure 0006775768

*: 比較例2の複屈折は測定できなかった。
**: 比較例1及び比較例3のクロスカット試験IIは、剥離層および基板との密着性が低いため、測定できなかった。
*: The birefringence of Comparative Example 2 could not be measured.
**: The cross-cut test II of Comparative Example 1 and Comparative Example 3 could not be measured because the adhesion between the release layer and the substrate was low.

表2から次のことがわかる。実施例1〜5の剥離層は、試験Iの結果が5Bであることから、基板から剥離層が剥がれることがない一方、試験IIの結果がAAであることから、剥離層から被剥離体層のみが剥離することがわかる。要するに、本発明の剥離層用組成物から形成された剥離層は、所望の剥離結果をもたらすことがわかる。
一方、比較例1及び比較例3は、試験Iの結果がAAであるため、剥離層が基板から剥離することがわかる。要するに、比較例1及び比較例3は、所望の剥離結果を得ることができないことがわかる。また、比較例2は、試験I及び試験IIが共に5Bであることから、剥離層と基板との界面においても、剥離層と被剥離体層との界面においても剥離せず、所望の剥離結果を得ることができないことがわかる。
The following can be seen from Table 2. In the peeling layers of Examples 1 to 5, since the result of Test I was 5B, the peeling layer did not peel off from the substrate, while the result of Test II was AA, so that the peeling layer was separated from the peeled body layer. It can be seen that only peels off. In short, it can be seen that the release layer formed from the release layer composition of the present invention provides the desired release result.
On the other hand, in Comparative Example 1 and Comparative Example 3, since the result of Test I is AA, it can be seen that the peeling layer is peeled from the substrate. In short, it can be seen that Comparative Example 1 and Comparative Example 3 cannot obtain the desired peeling result. Further, in Comparative Example 2, since both Test I and Test II were 5B, the peeling did not occur at the interface between the peeling layer and the substrate and at the interface between the peeling layer and the material layer to be peeled, and the desired peeling result was obtained. It turns out that you cannot get.

Claims (11)

下記の式(1)で表されるモノマー単位を50モル%以上含み、重量平均分子量が10,000以上であるポリアミック酸と、有機溶媒とを含む、剥離層形成用組成物であって、
前記ポリアミック酸が、下記の式(2)で表されるモノマー単位をさらに含む、剥離層形成用組成物。
Figure 0006775768

[式中、Xは、4価の有機基を表し、Yは、下記の式(P)で表される2価の基を表す:
Figure 0006775768
(式中、Rは、F、Cl、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、mは、0〜4の整数を表し、かつ、rは1〜4の整数を表す)]
Figure 0006775768
[式中、
は、上記で定義されたとおりであり、Yは、下記の式(P4)で表される基を表す:
Figure 0006775768
(式中、
、及びRは、同一であっても異なっていてもよく、F、Cl、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、
R’は、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基、又はフェニル基を表し、
lは、0〜4の整数を表し、かつ
mは、上記で定義されたとおりである)]。
A composition for forming a release layer, which comprises a polyamic acid having a weight average molecular weight of 10,000 or more and a monomer unit represented by the following formula (1) in an amount of 50 mol% or more and an organic solvent.
A composition for forming a release layer, wherein the polyamic acid further contains a monomer unit represented by the following formula (2).
Figure 0006775768

[In the formula, X 1 represents a tetravalent organic group, and Y 1 represents a divalent group represented by the following formula (P):
Figure 0006775768
(In the formula, R represents F, Cl, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group, m represents an integer of 0 to 4, and r represents an integer of 1 to 4)]
Figure 0006775768
[During the ceremony,
X 1 is as defined above and Y 2 represents the group represented by the following equation (P4):
Figure 0006775768
(During the ceremony,
R 7 and R 8 may be the same or different, and represent F, Cl, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group.
R'represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or a phenyl group.
l represents an integer from 0 to 4, and m is as defined above)].
前記Xが、4価の芳香族基である、請求項に記載の剥離層形成用組成物。 The composition for forming a release layer according to claim 1 , wherein X 1 is a tetravalent aromatic group. 前記4価の芳香族基が、ベンゼン骨格、ナフタレン骨格及びビフェニル骨格から選ばれる少なくとも1種を有する、請求項に記載の組成物。 The composition according to claim 2 , wherein the tetravalent aromatic group has at least one selected from a benzene skeleton, a naphthalene skeleton and a biphenyl skeleton. 前記有機溶媒が、下記式(A)又は(B)で表される溶媒である、請求項1〜のいずれか一項に記載の組成物。
Figure 0006775768
(式中、R及びRは同一であっても異なっていてもよく、炭素数1〜4のアルキル基を表し、hは自然数を表す)。
The composition according to any one of claims 1 to 3 , wherein the organic solvent is a solvent represented by the following formula (A) or (B).
Figure 0006775768
(In the formula, Ra and R b may be the same or different, and represent an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and h represents a natural number).
前記ポリアミック酸中の前記式(1)で表されるモノマー単位の含有量が60モル%以上である、請求項1〜のいずれか一項に記載の剥離層形成用組成物。 The composition for forming a release layer according to any one of claims 1 to 4 , wherein the content of the monomer unit represented by the formula (1) in the polyamic acid is 60 mol% or more. ガラス基板直上に設ける剥離層を形成するため、請求項1〜のいずれか一項に記載の剥離層形成用組成物。 The composition for forming a release layer according to any one of claims 1 to 5 , in order to form a release layer provided directly above the glass substrate. フレキシブル電子デバイスに適用されるフレキシブル基板と、ベース基板との間に形成される剥離層であって、
請求項1〜のいずれか一項に記載の剥離層形成用組成物を用いて作製される、剥離層。
A release layer formed between a flexible substrate applied to a flexible electronic device and a base substrate.
A release layer prepared by using the composition for forming a release layer according to any one of claims 1 to 6 .
フレキシブル電子デバイスに適用される基板構造であって、
ベース基板と、
1又は2以上の領域で、前記ベース基板を覆う剥離層であって、請求項1〜のいずれか一項に記載の剥離層形成用組成物により形成された剥離層と、
前記ベース基板と、前記剥離層を覆う、フレキシブル基板
とを含み、
前記剥離層と前記ベース基板との密着力が、前記フレキシブル基板と前記剥離層との密着力より大きいことを特徴とする、基板構造。
A board structure applied to flexible electronic devices.
With the base board
A release layer that covers the base substrate in one or more regions and is formed by the release layer forming composition according to any one of claims 1 to 6 .
A flexible substrate that covers the base substrate and the release layer.
A substrate structure characterized in that the adhesion between the release layer and the base substrate is larger than the adhesion between the flexible substrate and the release layer.
ベース基板が、ガラスを含む、請求項に記載の基板構造。 The substrate structure according to claim 8 , wherein the base substrate includes glass. 請求項1〜のいずれか一項に記載の剥離層形成用組成物を用いることを特徴とする、剥離層の製造方法。 A method for producing a release layer, which comprises using the composition for forming a release layer according to any one of claims 1 to 6 . フレキシブル電子デバイスに適用される基板構造の作製方法であって、
ベース基板を準備する工程、
1又は2以上の領域で、前記ベース基板を覆う剥離層を、請求項1〜のいずれか一項に記載の剥離層形成用組成物を用いて作製する工程、
前記ベース基板と、前記剥離層上に、フレキシブル基板を形成する工程
を含み、
前記剥離層と前記ベース基板との密着力が、前記フレキシブル基板と前記剥離層との密着力より大きいことを特徴とする、作製方法。
A method for manufacturing a substrate structure applied to flexible electronic devices.
The process of preparing the base board,
A step of producing a release layer covering the base substrate in one or more regions using the release layer forming composition according to any one of claims 1 to 6 .
A step of forming a flexible substrate on the base substrate and the release layer is included.
A manufacturing method, characterized in that the adhesion between the release layer and the base substrate is greater than the adhesion between the flexible substrate and the release layer.
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