JP6771810B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
パルスレーザビームを出力するレーザダイオードと、
加工対象物を保持するステージと、
前記レーザダイオードから前記ステージに保持された加工対象物に前記パルスレーザビームを導く伝搬光学系と、
前記加工対象物に入射させる前記パルスレーザビームのパルス幅、パルスの繰り返し周波数、及びパルスエネルギ密度を規定する加工レシピと、前記レーザダイオードの駆動電流及び駆動電圧との関係を定義する関係定義データを記憶している制御装置と、
入力装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記入力装置を通して前記加工レシピが入力されると、入力された前記加工レシピと、前記関係定義データとに基づいて、前記レーザダイオードの駆動電流及び駆動電圧を決定し、
決定された駆動電流及び駆動電圧で前記レーザダイオードを駆動するレーザ加工装置が提供される。
11 記憶装置
12 入力装置
13 関係定義データ
21 レーザダイオード
22 ドライバ回路
23 エネルギ計測器
25 伝搬光学系
26 部分反射鏡
27 可変減衰器
28 ビームエキスパンダ
29 ホモジナイザ
31 固体レーザ発振器
32 ドライバ回路
37 可変減衰器
38 ビームエキスパンダ
39 ホモジナイザ
40 ステージ
50 加工対象物
60 折り返しミラー
61 ダイクロイックミラー
62 レンズ
Claims (3)
- パルスレーザビームを出力するレーザダイオードと、
加工対象物を保持するステージと、
前記レーザダイオードから前記ステージに保持された加工対象物に前記パルスレーザビームを導く伝搬光学系と、
前記加工対象物に入射させる前記パルスレーザビームのパルス幅、パルスの繰り返し周波数、及びパルスエネルギ密度を規定する加工レシピと、前記レーザダイオードの駆動電流及び駆動電圧との関係を定義する関係定義データを記憶している制御装置と、
入力装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記入力装置を通して前記加工レシピが入力されると、入力された前記加工レシピと、前記関係定義データとに基づいて、前記レーザダイオードの駆動電流及び駆動電圧を決定し、
決定された駆動電流及び駆動電圧で前記レーザダイオードを駆動するレーザ加工装置。 - さらに、前記レーザダイオードから出力された前記パルスレーザビームのパルスエネルギを計測するエネルギ計測器を有し、
前記伝搬光学系は、前記パルスレーザビームを減衰させる可変減衰器を含み、
前記制御装置は、前記エネルギ計測器による計測結果、及び前記入力装置を通して入力された前記パルスエネルギ密度の第1目標値に基づいて、前記可変減衰器を制御する請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記制御装置は、
前記入力装置を通して入力された前記パルスエネルギ密度の第1目標値、及び前記加工対象物の表面における前記パルスレーザビームのビーム断面の面積に基づいて、前記パルスエネルギの第1目標値を算出し、
前記パルスエネルギの第1目標値に、補正値を加算することにより、前記パルスエネルギの第2目標値を算出し、
前記パルスエネルギの前記第2目標値に基づいて、前記レーザダイオードの駆動電流及び駆動電圧を決定する請求項2に記載のレーザ加工装置。
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