JP6759909B2 - 結晶相の質量比率の補正方法 - Google Patents

結晶相の質量比率の補正方法 Download PDF

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Description

本発明は、混合物試料に含まれる結晶相についてX線回折を用いて得られる当該結晶相の質量比率を補正する、結晶相の質量比率の補正方法に関する。
高炉の原料として用いられる焼結鉱は、主成分であるヘマタイト、マグネタイトおよびウスタイト等の鉄系酸化物の結晶相、並びにこれらの鉄系酸化物を接着するためのカルシウムフェライトおよびカルシウムシリケートなどの結晶相により形成される。また、焼結鉱の内部には結晶相間において微細気孔が含まれる。このような焼結鉱の品質には、強度、被還元性、および還元粉化性等の特性が要求される。特に還元に係る特性については、鉄系酸化物の価数の比率等が大きく関わる。これらの特性は、当該焼結鉱に含まれる各結晶相の組織形態、構成相および微細気孔の状態など、当該焼結鉱の構造によって決定される。焼結鉱の構造を定量的に評価することができれば、当該焼結鉱の特性を把握できるので、当該焼結鉱の歩留および強度の予測精度を向上させることが可能となる。
焼結鉱の構造を定量的に評価する技術として、例えば下記特許文献1には、X線回折により焼結鉱の回折パターンを測定し、当該回折パターンについてリートベルト解析を行うことにより、当該焼結鉱を形成する結晶相の質量比率を定量する手法が開示されている。
特開2013−122403号公報
G.W.Brindley,Philos.Mag.vol.36,pp.347−369(1945)
しかし、焼結鉱の粉末に対してX線を照射した場合、当該粉末から発生するX線量が、焼結鉱を形成する各結晶相の粒径分布および線吸収係数に応じて変化する、いわゆる微小吸収効果(microabsorption effect、以下MA効果と称する)が生じ得る。そのため、上記特許文献1に開示された手法では、MA効果の影響により、回折パターンから得られる結晶相の質量比率の精度が、実際の質量比率とは大きく異なる場合が存在する。
このようなMA効果に対して、例えば上記非特許文献1に開示されたBrindleyの補正式を用いた補正方法を用いることにより、結晶相の質量比率をより真の比率に近づけることは可能である。当該補正方法は、結晶相により構成される粒子の平均粒径および線吸収係数が予め判明していれば、上記質量比率に適用可能である。
しかしながら、焼結鉱のような、複数の結晶相により形成される混合物試料については、各結晶相により形成される粒子の平均粒径が明らかでないことが多い。そのため、上記非特許文献1に開示された補正方法を用いるには、上記混合物試料を形成する各結晶相からなる粒子の平均粒径を予め知得することが求められる。
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、混合物試料に含まれる複数の結晶相の質量比率をより精度高く定量することが可能な、新規かつ改良されたX線回折による結晶相の質量評価方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、複数の結晶相からなる混合物試料に対してX線回折することにより得られる回折パターンに基づいて、上記混合物試料に含まれる上記結晶相の質量比率を定量する質量比率定量ステップと、電子線またはX線を上記混合物試料を含む照射領域に対して照射し、上記照射領域から放出される特性X線を分析する元素マッピング分析を行い、上記元素マッピング分析の結果に基づいて上記結晶相を構成する粒子の平均粒径を上記結晶相ごとに算出する平均粒径算出ステップと、上記平均粒径算出ステップにおいて得られた上記各結晶相の上記平均粒径および上記各結晶相の線吸収係数を用いて、上記質量比率定量ステップにおいて得られた上記質量比率補正を補正する質量比率補正ステップと、を含む、結晶相の質量比率の補正方法が提供される。
上記元素マッピング分析は、電子線またはX線を照射することにより取得される観察像に対応する領域について行われてもよい。
上記観察像はSEM(Scanning Electron Microscopy)を用いて取得されてもよい。
上記特性X線の分析は、EDS(Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy)またはWDS(Wavelength Dispersive X-Ray Spectroscopy)のいずれかを用いて行われてもよい。
上記質量比率補正ステップでは、下記式(101)〜(103)を用いて上記結晶相の質量比率を補正してもよい。
ここで、各パラメータは以下のように定義される。
i,correct:補正後の結晶相iの質量比率
:補正前の結晶相iの質量比率
τ:結晶相iの補正係数
μ:結晶相iの線吸収係数
μ:上記混合物試料の線吸収係数
:結晶相iを構成する粒子の平均粒径
上記混合物試料の上記線吸収係数μは、上記混合物試料に照射されたX線の、上記混合物試料の透過前後における強度変化に基づいて算出されてもよい。
上記質量比率定量ステップでは、リートベルト解析を用いて上記結晶相の質量比率を定量してもよい。
上記X線回折に用いられるX線は、CuKα線であってもよい。
上記混合物試料は、焼結鉱であってもよい。
以上説明したように本発明によれば、混合物試料に含まれる複数の結晶相の質量比率をより精度高く定量することが可能である。
MA効果による結晶相の質量比率の算出への影響を示すための回折パターンの一例である。 実施例に係るX線回折により得られた回折パターン、並びにリートベルト解析において用いられる回折ピーク位置および回折ピーク位置に係るモデル関数に対応する回折強度の一例を示す図である。 SEM−EDSを用いて得られた鉄系酸化物(FeおよびFe)並びにSFCAの粒度分布を示すグラフである。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
<1.MA効果の影響と補正>
本発明の一実施形態に係る結晶相の質量比率の補正方法について説明する前に、当該質量評価方法に想到した背景、特にMA効果の影響およびその補正方法について説明する。なお、本明細書において混合物試料とは、複数の結晶相により形成される物質である。混合物試料には、例えば、焼結鉱だけではなく、セメント、スラグ、鉱石、および脈石等も含まれる。
粉末X線回折により得られる混合物試料の回折パターンから混合物試料を形成する各結晶相の質量比率を定量することについて、多くの公知技術が用いられている。このような定量手法を用いることにより、例えば、上記特許文献1(特開2013−122403号公報)に開示されているように、焼結鉱を形成する結晶相の質量比率を求め、得られた質量比率から焼結鉱の特性を予測することが可能となる。
しかし、粉末X線解析により得られる回折パターンから算出される結晶相の質量比率は、真の質量比率からずれることが少なくない。これは、上述したMA効果に起因する誤差が回折パターンから算出される結晶相の質量比率に含まれているためと考えられている。MA効果とは、結晶相を構成する粒子のサイズがX線の侵入深さと同程度またはそれより大きい場合、粒子のサイズがX線の侵入深さよりも十分小さい場合と比較して、結晶粒の内部でより多くのX線を吸収してしまい、回折強度が弱くなる効果である。このMA効果は、結晶間において、粒子のサイズの差異が大きい場合に顕著に生じ得る。
以下、MA効果による結晶相の質量比率の算出への影響に関する具体例を示す。まず、本発明者らは、Fe(図1中ではHematite:ヘマタイト)とZnO(酸化亜鉛)を混合して得られる混合物試料(混合比1:1)を2サンプル用意し、当該混合物試料についてX線回折により回折パターンを得た。この混合物試料に含まれるZnOの平均粒径は、いずれのサンプルにおいても0.6μmである。一方、Feの平均粒径は、第1のサンプルでは0.5μmであり、第2のサンプルでは20μmである。なお、回折パターンは、CuKα線を用いたX線回折により得られた。X線回折に用いられるX線がCuKα線である場合のFeおよびZnOの線吸収係数は、それぞれ1119cm−1および260cm−1である。
図1は、MA効果による結晶相の質量比率の算出への影響を示すための回折パターンの一例である。破線の回折パターンは上記の第1のサンプルに係る回折パターンであり、実線の回折パターンは上記の第2のサンプルに係る回折パターンである。また、●はFe(Hematite)の回折ピーク位置を示し、▼はZnOの回折ピーク位置を示す。
図1を参照すると、FeおよびZnOの回折ピーク位置について2つの回折パターンの間において大きなズレは見られない。しかし、第2のサンプルに係る回折パターンにおけるZnOの回折ピーク強度は、第1のサンプルに係る回折パターンと比較して、相対的に増加していることがわかる。一方、Feの回折ピーク強度は、2つの回折パターンの間において変化していない。
2つの回折パターンから得られたFeとZnOとの質量比率を表1に示す。サンプル1(粒径がほぼ同一)については、実際の混合比と同程度の質量比率を算出することができた。一方、サンプル2(粒径が大きく異なる)については、質量比率が35:65という算出結果が得られた。このように、結晶相を構成する粒子のサイズが大きくなることにより、当該粒子の内部においてより多くのX線を吸収してしまうため、当該結晶相の回折強度が弱くなる。その結果、当該結晶相の質量比率が小さく見積もられてしまう。
また、上記のようなMA効果が生じ得るサイズを有する粒子についてX線回折を行う場合、線吸収係数の値によっても回折強度が大きく異なる。例えば、MA効果が生じ得るサイズを有し、異なる結晶相からなる複数の粒子についてX線回折を行う場合、線吸収係数が大きい結晶相からなる粒子がその内部でより多くのX線を吸収しやすくなる。その結果、線吸収係数が大きい結晶相の回折強度がさらに弱くなる。すなわち、線吸収係数の差異により、MA効果がさらに助長される。
このようなMA効果による結晶相の質量比率の定量精度の影響を抑えるために、当該質量比率を補正する方法が提案されている。この補正方法は、例えば、上記非特許文献1に開示されている、いわゆるBrindleyの補正式を用いた補正方法が挙げられる。
上記非特許文献1によれば、下記式(1)および式(2)を質量比率に適用させることにより、MA効果による質量比率の定量値のズレを補正することができる。
ここで、上記式(1)において、τは結晶相iの補正係数であり、Vは結晶相iにより構成される粒子の平均体積であり、μは結晶相iの線吸収係数であり、μは焼結鉱の線吸収係数である。また、上記式(2)において、wi,correctは補正後の結晶相iの質量比率であり、wは補正前の結晶相iの質量比率である。
なお、結晶相の粒子が球形であると仮定することにより、上記式(1)は、下記式(3)に示すような式に変形することが可能である。
ここで、上記式(3)におけるXは、下記式(4)に示すR(結晶相iにより構成される粒子の平均粒径)の関数として表される値である。
以上、Brindleyの補正式を用いた補正方法の一例について説明した。実際に上記式(2)〜(4)に示す式を用いて、上述したサンプル2に係るFeとZnOの混合物試料の質量比率を補正した(μ=689.5cm−1)。この場合、補正係数は、τFe2O3=0.53、τZnO=1.02となり、補正後の質量比率は、表2に示すように、真の質量比率(1:1)とほぼ同一の比率を示した。このように、当該補正方法によって、回折パターンを用いて得られる質量比率をより精度高く算出することが可能となる。
ところで、質量比率の定量対象となる焼結鉱には、複数種類の鉱物等の結晶相が含まれている。また、当該結晶相の粒径および線吸収係数は、その結晶相の種類ごとに異なる。各結晶相の線吸収係数は既知であることが多いが、焼結鉱に含まれる結晶相の粒径は、混合物試料に含まれる結晶相が形成する粒子の大きさは、当該混合物試料の粉砕等により不明である場合が多い。
上述したFeおよびZnOの混合物試料に係る質量比率の定量例においては、それぞれの結晶相からなる粒子の粒径が既知であったため、上記の補正方法を適用することができた。しかし、焼結鉱など、混合物試料に含まれる結晶相が形成する粒子の大きさは、未知である場合が多い。そのため、実際に焼結鉱に含まれる結晶相の質量比率について、回折パターンから得られた定量比率を上記のBrindleyの補正式を用いて補正するにあたっては、各結晶相の粒径を知得する必要がある。
本発明者らが鋭意検討した結果、本発明者らは、X線回折により混合物試料の回折パターンを得るとともに、SEM−EDS(Scanning Electron Microscopy−Energy Dispersive Spectroscopy;走査型電子顕微鏡‐エネルギー分散分光法)を用いて当該混合物試料について分析することにより、結晶相ごとの平均粒径を算出することに想到した。SEM−EDSは、試料に対して電子ビームを照射し、当該試料から放出された二次電子または反射電子を検出することにより当該試料を観察しつつ、当該電子ビームの照射により当該試料から放出される特性X線を検出することにより当該試料の元素分析を行う装置である。このSEM−EDSを用いることにより、混合物試料に含まれる各結晶相の観察像上における元素マッピング分析を行うことができる。そして、得られた元素のマッピング結果を画像解析することにより、各結晶相の平均粒径を算出することができる。
なお、混合物試料に含まれる結晶相の粒度分布を測定する手法としては、例えば、レーザ回折散乱法、または電気的検知帯法(Electrical Sensing Zone Method;ESZ法)等が挙げられる。しかし、レーザ回折散乱法では、混合物試料の屈折率の算出が必要であり、また、結晶相の判別は困難である。また、ESZ法でも、結晶相の判別が困難である。そのため、本発明者らは、SEM−EDSを用いることにより、各結晶相の判別が可能であり、各結晶相の平均粒径を確実に算出することができると考えた。つまり、SEM−EDSを用いることにより、上述した補正方法を、先の回折パターンに基づいて得られる結晶相の質量比率に対して適用することができる。これにより、MA効果に起因する誤差を抑えることができ、より精度の高い質量比率を得ることができる。
以下、本発明の一実施形態に係る結晶相の質量比率の評価方法について説明する。
<2.本実施形態に係る評価方法>
本実施形態では、混合物試料の一例である焼結鉱の結晶相の質量比率の評価方法について適用する例について説明する。
まず、焼結鉱に由来する被測定試料粉末に対してX線回折を行うことにより、当該被測定試料粉末の回折パターンを取得する。当該被測定試料粉末の平均粒径は、一般的に粉末X線回折において要求される平均粒径以下であることが好ましい。要求される平均粒径よりも被測定試料粉末の平均粒径が大きい場合、適切な回折パターンが得られないためである。粉末X線回折において要求される平均粒径の上限は、例えば10μmであることが好ましい。当該被測定試料粉末は、被測定試料である焼結鉱を、メノウ乳鉢または振動ミル等の粉砕手段を用いて粉砕することにより得られる。
なお、本実施形態に係るX線回折に用いられるX線は、一般的に広く普及されているCuKα線であることが想定されるが、X線回折に用いられるX線の種類は特に限定されない。例えば、X線回折に用いられるX線はCoKα線であってもよい。ただし、酸化鉄系と脈石系との間における線吸収係数の差異については、CuKα線がCoKα線よりも大きい。そのため、本実施形態の主な測定対象である焼結鉱に含まれる結晶相の質量比率の定量精度を高めるという本発明の一実施形態に係る補正方法の効果は、CuKα線を用いる場合により顕著に示される。また、本実施形態に係るX線回折における2θの範囲は20°<2θ<80°としたが、本発明はかかる例に限定されない。2θの範囲は、混合物試料に含まれ得る結晶相の結晶方位等に応じて適宜設定され得る。
次に、取得した回折パターンから、被測定試料粉末に含まれる結晶相の質量比率を算出する。なお、回折パターンから結晶相の質量比率を算出する手法については特に限定されないが、複数の結晶相を精度高く識別するために、本実施形態では、リートベルト解析が用いられる。リートベルト解析とは、各結晶相について発現し得る回折ピーク位置に、当該回折ピーク位置における回折強度に対応するピーク形状モデル関数を配置し、その関数の重ねあわせを回折パターンにフィッティングすることにより最適化される各モデル関数のパラメータから、結晶相の質量比率を定量化する手法である。リートベルト解析により、例えばX線回折の際に被測定試料粉末に標準試料を混合する必要がなくなる。その結果、質量比率の定量が容易となり、また、標準試料による定量結果の精度のばらつきを考慮する必要がなくなる。
また、被測定試料粉末についてSEM−EDSによる分析を行い、当該SEM−EDSによる分析結果に基づいて、結晶相ごとの平均粒径を算出する。具体的には、SEM−EDSによる分析では、SEMにより当該被測定試料粉末の観察像が取得され、当該観察像に含まれる粒子の領域についての元素分析がEDSにより行われる。SEM−EDSにより、各粒子の結晶相が同定されるので、当該粒子ごとに粒径を算出することにより、結晶相ごとの平均粒径を得ることができる。
なお、EDSにより取得される情報は検出される元素の領域分布である。そのため、EDSは、上記の領域から検出された元素の種類を被測定試料粉末に含まれ得る結晶相の組成と比較することにより、当該領域に対応する結晶相を同定する。例えば、焼結鉱に由来する粉末に対してEDSを行った場合、EDSによりFeのみが検出された領域は、FeまたはFeの結晶相であると同定することができる。同様に、EDSによりCa、Fe、AlおよびSiを検出した領域は、多成分系カルシウムフェライト(SFCA:Silico-Ferrites of Calcium-Aluminum)の結晶相であると同定することができる。また、検出された元素の種類のみならず、当該領域から検出された元素の比率からも結晶相が同定されうる。
また、粒子の判別、粒径の算出および粒子の結晶相の同定は、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)およびRAM(Random Access Memory)等を備えるコンピュータ等の情報処理装置を用いて、画像解析等の手段により行われることが好ましい。粒子の平均粒径の算出においては、平均粒径の信頼性を高めるために、多数の粒子が用いられるからである。粒子の平均粒径の算出に用いられる粒子の数は特に限定されないが、1000以上であることが好ましい。
上記の情報処理装置を用いる場合、当該情報処理装置では、例えば、SEMにより得られた観察像について画像解析を行うことにより、粒子を示す領域が当該観察像中から自動的に判別され、判別された当該粒子の粒径が算出される。なお、粒子を示す領域の判別は、観察像の一例である反射電子像のコントラストの違いに基づいて行われてもよい。反射電子像は試料表面のトポグラフィの影響を受けにくく、また、試料の組成に応じたコントラストを示し、結晶相を構成する粒子の組成の違いが明確に表示されるためである。また、EDSにより得られた元素分析の結果を上記観察像にマッピングすることにより、先に領域が判別された各粒子の結晶相が同定される。このような自動測定機能に係る処理を行う情報処理装置は、例えば、SEM−EDS分析に係るプロセスを制御するためのコンピュータであってもよい。また、当該情報処理装置は、PCのような、SEM−EDS分析の結果を用いて別途上記の処理を行うためのプログラムを記憶するコンピュータであってもよい。
なお、上述した結晶相の質量比率の算出および結晶相ごとの平均粒径の算出について、これらの値を算出する順序については特に限定されない。
次に、算出された結晶相の質量比率に対して、結晶相ごとの平均粒径を用いた補正が行われる。具体的には、算出された結晶相iの質量比率をw、結晶相iの平均粒径をR、結晶相iの線吸収係数をμとして、上記式(3)および式(4)を用いて結晶相iの補正係数τを算出し、さらに上記式(2)を用いて、結晶相iの補正後の質量比率wi,correctを求めることが行われる。
なお、上記式(4)に含まれる混合物試料の線吸収係数μは、予めX線を用いて当該混合物試料の吸収特性を測定しておくことが好ましい。混合物試料の結晶相の質量比率に応じて、線吸収係数μが変化し得るためである。線吸収係数μは、例えば、X線透過法により得られる。より具体的には、線吸収係数μは、板状に圧粉成形された混合物試料にX線を照射し、当該混合物試料を透過したX線の強度を測定し、透過前後におけるX線の強度の変化率を得ることにより算出される。より具体的には、X線の照射時の強度をI、(X線の照射方向と平行な方向における)混合物試料のX線照射方向の厚さをx、当該混合物試料を透過したX線の強度をIとすると、下記式(5)を用いて、当該混合物試料の線吸収係数μが算出される。
また、混合物試料の線吸収係数μは、混合物試料に含まれる結晶相の線吸収係数に基づいて算出されてもよい。例えば、当該線吸収係数μは、混合物試料に含まれる結晶相の線吸収係数の平均値であってもよい。また、当該線吸収係数μは、結晶相のおおよその質量比率を重みとして、各結晶相の線吸収係数と重みを乗じて得られる値であってもよい。ここで、結晶相のおおよその質量比率とは、例えば、焼結鉱を形成する原料の組成から得られる質量比率等である。これにより、X線を用いて混合物試料の吸収特性を測定しなくても、容易に線吸収係数μを算出することができる。ただし、結晶相間における線吸収係数のばらつきが大きい場合等においては、線吸収係数μの精度が低下するため、最終的に得られる補正後の結晶相の質量比率wi,correctの精度も低下する可能性がある。
以上、本発明の一実施形態に係る結晶相の質量評価方法について説明した。
なお、上記の実施形態においては、混合物試料の結晶相ごとの平均粒径の算出はSEM−EDSによる元素マッピング分析を用いて行われたが、本発明はかかる例に限定されない。例えば、混合物試料の結晶相ごとの平均粒径の算出は、電子線またはX線を混合物試料を含む照射領域に対して照射し、照射領域から放出される特性X線を分析する元素マッピング分析を用いることによれば、特に限定されない。
例えば、特性X線の分析については、EDSの代わりに、WDS(Wavelength Dispersive X-Ray Spectroscopy:波長分散型X線分析)が用いられてもよい。
また、結晶相を構成する粒子の領域の判別については、必ずしもSEMを用いて行われなくてもよい。特性X線分析による元素同定により、粒子の領域の判別は可能だからである。ただし、SEMを用いて観察像を取得することにより粒子の領域が可視化されるため、平均粒径の算出の精度が向上する。そのため、平均粒径の算出において、SEMを用いることが好ましい。また、観察像は、X線を走査しながら照射領域に照射し、当該照射領域において当該X線により励起される二次電子を電子分光器等で取り込むことにより得られる二次電子像(SXI:Scanning X-ray Image)であってもよい。
また、元素マッピング分析として、EDSおよびWDS以外にも、他の手法が用いられてもよい。例えば、元素マッピング分析として、蛍光X線分析、XPS(X線光電子分光:X-ray Photoelectron Spectroscopy)、またはAES(オージェ電子分光分析:Auger Electron Spectroscopy)等が用いられてもよい。ただし、元素マッピング分析における検出領域の分解能の観点から、EDSまたはWDSが元素マッピング分析に用いられることが好ましい。
次に、本発明の実施例について説明する。本発明の効果を確認するために、本実施例では、上記実施形態に係る補正方法により補正される結晶相の質量比率の有効性について検証した。なお、以下の実施例は本発明の効果を検証するために行ったものに過ぎず、本発明が以下の実施例に限定されるものではない。
本実施例では、焼結鉱由来の被測定試料粉末の結晶相の質量比率をX線回折により得られる回折パターンを用いて算出しつつ、当該被測定試料粉末の各結晶相の平均粒径を算出し、当該平均粒径を用いて上記質量比率を補正した結果の一例についてその有効性を示す。
まず、被測定試料として、焼結鉱の粉末を用意した。当該被測定試料は、振動ミルを用いて焼結鉱を30分程度の時間をかけて粉砕することにより得られた。なお、当該焼結鉱は、Fe、Fe、SFCA(Ca2.8Fe8.7Al1.2Si0.820)、SFCA−I(Ca3.18Fe3+ 14.66Al1.34Fe2+ 0.8228)およびCaSiOの各結晶相を含む。ここで、SFCA−Iとは、シリコン成分を含まないカルシウムフェライト系の結晶相の一例である。また、CaSiOは、カルシウムシリケートの一例である。
その後、粉砕された被測定試料に対してX線回折を行い、回折パターンを取得した。本実施例では、工業的に広く普及しているが、焼結鉱に含まれる各結晶相間における線吸収係数の差異が大きくなる、CuKα線を用いたX線回折装置により回折パターンが取得された。
実施例に係るX線回折の測定条件は以下のとおりである。
検出器:1次元検出器D/tex(株式会社リガク製)
X線源(管球):CuKα(40kV 40mA)
回折範囲:20°<2θ<80°
回折ステップ:Δ2θ=0.02°
なお、参照例として、CoKα線を用いたX線回折により、被測定試料に係る回折パターンも取得した。CoKα線は、詳しくは後述するが、焼結鉱に含まれる各結晶相間における線吸収係数の差異が小さく、MA効果による定量誤差が生じにくい。そのため、CoKα線を用いたX線回折により得られる回折パターンを用いて算出される結晶相の質量比率は、CuKα線を用いた場合と比較して、真の質量比率に近い比率を示す。
得られた回折パターンについてリートベルト解析を行い、被測定試料に含まれる結晶相の質量比率を算出した。図2は、実施例に係るX線回折により得られた回折パターン、並びにリートベルト解析において用いられる回折ピーク位置および回折ピーク位置に係るモデル関数に対応する回折強度の一例を示す図である。本実施例では、図2に示す回折パターンについてリートベルト解析を行い、Fe、Fe、SFCA、SFCA−IおよびCaSiOの結晶相について質量比率を算出した。
リートベルト解析により得られた被測定試料に含まれる結晶相の質量比率(X線源:CuKα)を表3に示す。
次に、SEM−EDSを用いて被測定試料に含まれる各結晶相の平均粒径を算出した。まず、被測定試料の粉末をメタノール等の液中に分散させた。そして、カーボンテープを表面に接着したシリコン基板(以下、単に基板と称する)を用意し、当該分散液を当該基板に接着されたカーボンテープの表面にスポイトを用いて滴下した。その後当該基板をSEM−EDS装置にセットし、SEM−EDS装置の自動測定機能(粒子の領域の判別、粒子の粒径の算出、および粒子の結晶相の判別に係る機能を含む)を用いて当該被測定試料に含まれる各結晶相の平均粒径を算出した。
なお、SEM−EDSにおいて用いられた電子ビームの加速電圧は15kVとし、測定室の真空度は約10Paとした。特性X線の検出には、半導体検出器が用いられた。また、平均粒径の算出に用いられた粒子の数は、約8000〜10000である。
また、EDSによる粒子の結晶相の判別は、EDSにより検出された特定種類の元素を含むか否かに基づいて行われた。具体的には、粒子から検出された元素が表4の第2列目に記載された元素を含む場合、その粒子は表4の第1列目に記載された結晶相からなる粒子であると判別される。
SEM−EDSを用いて得られた各結晶相の平均粒径を表5に示す。
また、図3は、SEM−EDSを用いて得られた鉄系酸化物(FeおよびFe)並びにSFCAの粒度分布を示すグラフである。なお、EDSではFeおよびFeの判別はFeの検出のみに基づいているため、FeおよびFeをSEM−EDSにより厳密に判別することは困難である。しかし、図3に示す鉄系酸化物の粒度分布に2以上のピークが見られないことから、本実施例においては、FeおよびFeの平均粒径は同一であるとみなした。
次に、SEM−EDSを用いて得られた各結晶相の平均粒径、および上記実施形態に係る補正方法(上記式(2)〜(4))を用いて、上記のリートベルト解析により得られた結晶相の質量比率を補正した。ここで、上記式(2)〜(4)に代入される各結晶相の線吸収係数(X線源:CuKα)を表6に示す。また、参考として、X線源がCoKαであるX線を用いた場合の各結晶相の線吸収係数を表6に併せて示す。なお、CuKα線を用いた場合の被測定試料の線吸収係数μは950cm−1である。上述したように、CoKα線を用いた場合の線吸収係数の結晶相間の差異は、CuKα線を用いた場合よりも小さいため、MA効果の影響は小さいと想定される。
表7に、補正前および補正後の被測定試料の結晶相の質量比率を示す。また、参考として、CoKα線を用いた場合においてリートベルト解析により得られる各結晶相の質量比率を表7に併せて示す。
表7に示すように、上記実施形態に示した補正方法により、補正後の質量比率は補正前の質量比率と比較して、CoKα線を用いたX線回折により得られる質量比率に、全体的に近い比率を示している。特に、鉄系酸化物(FeおよびFe)、カルシウムフェライト(SFCAおよびSFCA−I)並びにカルシウムシリケート(CaSiO)間における質量比率について、補正後の質量比率は、補正前の質量比率よりも、CoKα線を用いたX線回折により得られた質量比率に近い比率を示している。
以上、本実施例に示したように、上記実施形態に示した補正方法を用いることにより、被測定試料に含まれる結晶相の質量比率をより精度高く定量することが可能となる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

Claims (8)

  1. 複数の結晶相からなる混合物試料に対してX線回折することにより得られる回折パターンに基づいて、前記混合物試料に含まれる前記結晶相の質量比率を定量する質量比率定量ステップと、
    電子線またはX線を前記混合物試料を含む照射領域に対して照射し、前記照射領域から放出される特性X線を分析する元素マッピング分析を行い、前記元素マッピング分析の結果に基づいて前記結晶相を構成する粒子の平均粒径を前記結晶相ごとに算出する平均粒径算出ステップと、
    前記平均粒径算出ステップにおいて得られた前記各結晶相の前記平均粒径および前記各結晶相の線吸収係数を用いて、前記質量比率定量ステップにおいて得られた前記質量比率を補正する質量比率補正ステップと、
    含み、
    前記質量比率補正ステップでは、下記式(101)〜(103)を用いて前記結晶相の質量比率を補正する、結晶相の質量比率の補正方法。



    ここで、各パラメータは以下のように定義される。
    i,correct :補正後の結晶相iの質量比率
    :補正前の結晶相iの質量比率
    τ :結晶相iの補正係数
    μ :結晶相iの線吸収係数
    μ :前記混合物試料の線吸収係数
    :結晶相iを構成する粒子の平均粒径
  2. 前記元素マッピング分析は、電子線またはX線を照射することにより取得される観察像に対応する領域について行われる、請求項1に記載の結晶相の質量比率の補正方法。
  3. 前記観察像はSEM(Scanning Electron Microscopy)を用いて取得される、請求項2に記載の結晶相の質量比率の補正方法。
  4. 前記特性X線の分析は、EDS(Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy)またはWDS(Wavelength Dispersive X-Ray Spectroscopy)のいずれかを用いて行われる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の結晶相の質量比率の補正方法。
  5. 前記混合物試料の前記線吸収係数μCは、前記混合物試料に照射されたX線の、前記混合物試料の透過前後における前記X線の強度の変化に基づいて算出される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の結晶相の質量比率の補正方法。
  6. 前記質量比率定量ステップでは、リートベルト解析を用いて前記結晶相の質量比率を定量する、請求項1〜のいずれか1項に記載の結晶相の質量比率の補正方法。
  7. 前記X線回折に用いられるX線は、CuKα線である、請求項1〜のいずれか1項に記載の結晶相の質量比率の補正方法。
  8. 前記混合物試料は、焼結鉱である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の結晶相の質量比率の補正方法。
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