JP6754501B2 - 電磁波検出装置 - Google Patents
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Description
11、41 支持体
11A 被照射面
20、20A、71 電磁波検出素子
31、31A、31B、51 導波路構造
AP1 開口部
WG 導波路
Claims (9)
- 電磁波が照射される1の面を有する支持体と、
前記支持体に設けられた少なくとも1つの電磁波検出素子と、
各々が、前記支持体に支持され、前記支持体の前記1の面側に開いた第1の開口部を有しかつ前記1の面から離れる方向に窄んだ導波路を形成する複数の導波路構造と、
を有し、
前記複数の導波路構造は、前記支持体の前記1の面に垂直な方向から見たときに前記少なくとも1つの電磁波検出素子を挟むように配置され、
前記複数の導波路構造の各々の前記第1の開口部間の距離L1は、前記1の面に照射される電磁波の波長をλとした場合、L1<(λ/2)の関係を満たすことを特徴とする電磁波検出装置。 - 前記複数の導波路構造の各々の前記第1の開口部は、前記支持体の前記1の面に垂直な方向から見たときに前記少なくとも1つの電磁波検出素子の各々を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電磁波検出装置。
- 前記支持体は、前記1の面とは反対側の他の面を有する平板形状を有し、
前記少なくとも1つの電磁波検出素子の各々は、前記支持体の前記1の面上に設けられ、
前記複数の導波路構造の各々は、前記支持体の前記他の面上に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁波検出装置。 - 前記支持体は、前記1の面とは反対側の他の面を有する平板形状を有し、
前記少なくとも1つの電磁波検出素子の各々及び前記複数の導波路構造の各々は、前記支持体の前記他の面上に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁波検出装置。 - 前記支持体は、前記1の面とは反対側の他の面を有する平板形状を有し、
前記複数の導波路構造は2つの導波路構造を有し、
前記支持体は、前記1の面に垂直な方向から見たときに前記少なくとも1つの電磁波検出素子を挟むように配置され、かつ各々が前記1の面から前記他の面に向かって前記支持体内を貫通する2つの貫通孔を有し、
前記2つの導波路構造は、前記2つの貫通孔の内壁面上に設けられた金属膜を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の電磁波検出装置。 - 前記複数の導波路構造の各々の前記導波路には、透光性部材が充填されており、
前記支持体の前記1の面上における前記2つの貫通孔間の距離L1は、前記1の面に照射される電磁波の波長をλとし、前記支持体の屈折率をn1とした場合、L1<(λ/(2・n1))の関係を満たし、
前記支持体の前記他の面上における前記金属膜の開口幅D1は、前記1の面に照射される電磁波の波長をλとし、前記透光性部材の屈折率をn2とした場合、D1≧(λ/(2・n2))の関係を満たすことを特徴とする請求項5に記載の電磁波検出装置。 - 前記複数の導波路構造の各々は、前記導波路における前記第1の開口部とは
反対側の端部に第2の開口部を有し、
前記第2の開口部の開口幅D1は、前記1の面に照射される電磁波の波長をλとし、前記導波路内の屈折率をnとした場合、D1≧(λ/(2n))の関係を満たすことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の電磁波検出装置。 - 前記複数の導波路構造の各々の前記導波路は、前記第1の開口部とは反対側
の端部において閉塞されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載の電磁波検出装置。 - 前記1の面に垂直な方向から見たときにマトリクス状に配列された複数の電磁波検出素子を有し、
前記複数の導波路構造は、前記支持体の前記1の面に垂直な方向から見たときに前記複数の電磁波検出素子の素子間領域にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1つに記載の電磁波検出装置。
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