JP6744523B2 - 半導体基板、並びにエピタキシャルウエハ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(結晶積層構造体の構成)
図1は、第1の実施の形態に係るエピタキシャルウエハ10の垂直断面図である。エピタキシャルウエハ10は、半導体基板11と、半導体基板11の主面12上にHVPE(Halide Vapor Phase Epitaxy)法によるエピタキシャル結晶成長により形成されたエピタキシャル層13を有する。
以下に、本実施の形態に係るエピタキシャル層13の成長に用いる気相成長装置の構造の一例について説明する。
以下に、本実施の形態に係るエピタキシャル層13の成長工程の一例について説明する。
以下に、主面12と半導体基板11を構成するβ−Ga2O3単結晶の(001)面とのなす角度θと、エピタキシャル層13の表面モフォロジーとの関係の評価結果を示す。
次の表3に、β−Ga2O3基板の主面の(001)面からの[100]軸方向及び[010]軸方向へのオフセット角度と、HVPE法によるβ−Ga2O3基板上のβ−Ga2O3層の成長レートとの関係を示す。
第2の実施の形態は、第1の実施の形態に係るエピタキシャルウエハ10を含む半導体素子についての形態である。この半導体素子の一例として、MESFET(Metal Semiconductor Field Effect Transistor)構造を有する横型トランジスタについて説明する。
図15は、第2の実施の形態に係る横型トランジスタ40の垂直断面図である。横型トランジスタ40は、半導体基板11上に形成されたエピタキシャル層13と、エピタキシャル層13上のゲート電極41、ソース電極42、及びドレイン電極43を含む。ゲート電極41は、ソース電極42とドレイン電極43との間に配置される。
上記実施の形態によれば、半導体基板11の角度θを0°以上30°以下、より好ましくは0.3°以上15°以下とすることにより、HVPE法によるエピタキシャル層13の成長レートをより高くすることができる。これにより、効率よくエピタキシャル層13を形成することができる。また、エピタキシャル層13を高い成長レートで成長させることにより、半導体基板11からの不純物の拡散を抑制し、品質を高めることができる。
Claims (7)
- HVPE法によるエピタキシャル結晶成長用の下地基板として用いられる半導体基板であって、
β−Ga2O3系単結晶からなり、β−Ga2O3系単結晶の[100]軸に平行な面を主面とし、
前記半導体基板の平均転位密度が1×10 4 /cm 2 以下であり、
a軸方向へ進む右ねじの回転方向を正の角度とする、前記主面と、β−Ga 2 O 3 系単結晶の(001)面とのなす角度θが、54.3°以上65.7°以下、又は−125.7°以上−114.3°以下である、
半導体基板。 - HVPE法によるエピタキシャル結晶成長用の下地基板として用いられる半導体基板であって、
β−Ga2O3系単結晶からなり、β−Ga2O3系単結晶の[100]軸に平行な面を主面とし、
前記半導体基板の平均転位密度が1×10 3 /cm 2 以下であり、
a軸方向へ進む右ねじの回転方向を正の角度とする、前記主面と、β−Ga 2 O 3 系単結晶の(001)面とのなす角度θが、41.6°以上78.4°以下、又は−138.4°以上−101.6°以下である、
半導体基板。 - HVPE法によるエピタキシャル結晶成長用の下地基板として用いられる半導体基板であって、
β−Ga2O3系単結晶からなり、β−Ga2O3系単結晶の[100]軸に平行な面を主面とし、
a軸方向へ進む右ねじの回転方向を正の角度とする、前記主面と、β−Ga 2 O 3 系単結晶の(001)面とのなす角度θが、0.3°以上15°以下又は−15°以上−0.3°以下である、
半導体基板。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の前記半導体基板と、
前記半導体基板の前記主面上にHVPE法によるエピタキシャル結晶成長により形成された、β−Ga2O3系単結晶からなるエピタキシャル層と、
を有するエピタキシャルウエハ。 - β−Ga2O3系単結晶からなり、β−Ga2O3系単結晶の[100]軸に平行な面を主面とする半導体基板上に、β−Ga2O3系単結晶からなるエピタキシャル層をHVPE法によりエピタキシャル成長させる工程を含み、
前記半導体基板の平均転位密度が1×10 4 /cm 2 以下であり、
a軸方向へ進む右ねじの回転方向を正の角度とする、前記主面と、β−Ga 2 O 3 系単結晶の(001)面とのなす角度θが、54.3°以上65.7°以下、又は−125.7°以上−114.3°以下である、
エピタキシャルウエハの製造方法。 - β−Ga2O3系単結晶からなり、β−Ga2O3系単結晶の[100]軸に平行な面を主面とする半導体基板上に、β−Ga2O3系単結晶からなるエピタキシャル層をHVPE法によりエピタキシャル成長させる工程を含み、
前記半導体基板の平均転位密度が1×10 3 /cm 2 以下であり、
a軸方向へ進む右ねじの回転方向を正の角度とする、前記主面と、β−Ga 2 O 3 系単結晶の(001)面とのなす角度θが、41.6°以上78.4°以下、又は−138.4°以上−101.6°以下である、
エピタキシャルウエハの製造方法。 - β−Ga2O3系単結晶からなり、β−Ga2O3系単結晶の[100]軸に平行な面を主面とする半導体基板上に、β−Ga2O3系単結晶からなるエピタキシャル層をHVPE法によりエピタキシャル成長させる工程を含み、
前記エピタキシャル層の成長レートが2.5μm/h以上であり、
a軸方向へ進む右ねじの回転方向を正の角度とする、前記主面と、β−Ga 2 O 3 系単結晶の(001)面とのなす角度θが、0.3°以上15°以下又は−15°以上−0.3°以下である、
エピタキシャルウエハの製造方法。
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