JP6739967B2 - 測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法 - Google Patents

Description

本発明は、被検査基板に設けられた複数の導体路についての測定結果を視覚的に報知する測定結果報知装置および測定結果報知方法、並びに、そのような測定結果報知装置を備えて構成された測定システムに関するものである。

例えば、下記の特許文献には、被検査基板についての検査を実行して検査結果を表示または印刷可能に構成されたインサーキットテスタ（インサーキットテスタによる不良データの出力表示方法）の発明が開示されている。

このインサーキットテスタでは、まず、被検査基板上に規定されている複数の測定ポイントにプローブピンをプロービングさせた状態で各測定ポイント間についての測定処理を実行して測定データを得る。次いで、良品基板の対応箇所から吸収した基準データの値（以下、「基準値」ともいう）と、上記の測定データの値（以下、「測定値」ともいう）とを比較することにより、各測定ポイント間の良否を検査する。この場合、このインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率についての許容範囲が各測定ポイント間（各測定ステップ）毎に設定されており、測定処理と並行して充足率が許容範囲内であるか否が判別され、充足率が許容範囲を外れているときには、その測定ポイント間に不良が生じているとして検査データに追記される構成が採用されている。

また、このインサーキットテスタでは、測定処理のステップ数を示す「測定ステップ数表示欄」、測定処理に使用したプローブピンの番号を示す「ピン番号表示欄」、測定値を示す「測定値表示欄」、充足率を示す「充足率表示欄」、規定された許容範囲を示す「許容範囲表示欄」、および測定値と基準値との格差（両値の差）を示す「格差表示欄」が各測定ポイント間（各測定ステップ）毎に設けられた一覧表を上記の検査データに基づいて表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。これにより、このインサーキットテスタでは、表示または印刷された一覧表内の数値を参照することにより、いずれの測定ポイント間（いずれの測定ステップ）に不良が生じているかを特定させることが可能となっている。

特開平３−１９７８８０号公報（第２−４頁、第１−３図）

ところが、上記の特許文献に開示されているインサーキットテスタには、以下のような解決すべき課題が存在する。すなわち、上記のインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率が許容範囲を外れている測定ポイント間（測定ステップ）を不良と判別して検査データを生成し、検査データに基づく一覧表を表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。

この場合、上記のインサーキットテスタでは、一例として、「格差表示欄」内の数値（基準値と測定値との格差）が大きい順で一覧表内の各行をソートして表示・印刷する構成が採用されている。このため、上記のインサーキットテスタでは、表示・印刷された一覧表を参照させることで、被検査基板の各測定ポイント間（導体パターンやビア等：以下、「導体路」ともいう）のなかで、基準値と測定値との格差が大きい導体路が何番の測定ステップ数の導体路であるか、および何番のプローブピンを使用して測定した導体路であるかを特定させることができる。

しかしながら、格差が大きい導体路の測定ステップ数などを特定できたとしても、特定した測定ステップ数の導体路が、被検査基板におけるいずれの位置に設けられている導体路であるかを特定するには、被検査基板における導体路と測定ステップ数との対応関係を示す別の図面等を参照する必要がある。このため、特にこの種の装置を使用した検査に不慣れな者にとっては、不良と検査された導体路が被検査基板上のいずれの位置に設けられた導体路であるかの特定が困難となっている。したがって、被検査基板のいずれの部位にどの程度の不良が生じているかを把握するのが非常に困難となっている。

また、上記のインサーキットテスタでは、多数の導体路が設けられた被検査基板の検査結果の報知に際して、不良と検査された導体路の数が多いときに、「測定ステップ数表示欄」、「ピン番号表示欄」、「測定値表示欄」、「充足率表示欄」、「許容範囲表示欄」および「格差表示欄」からなる「行」が連続して多数表示・印刷されることとなる。したがって、上記のインサーキットテスタでは、多数行に亘る数値の比較が困難であることに起因して、被検査基板にどの程度の不良が生じているかを特定するのが困難となっている。

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、被検査基板におけるいずれの位置の導体路にどの程度の不良が生じているかを容易に把握させ得る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定結果報知装置は、複数の導体路が設けられた被検査基板における当該各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および当該被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、前記各導体路の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、前記処理部は、前記各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記基準値および前記測定値に基づいて演算すると共に、前記被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路についての測定結果を報知すると共に、前記導体路を構成するビアについての測定結果を報知する前記報知用画像データを生成するときに、前記導体路像としてのビア像における前記予め規定された１つを前記特定用の値に対応させて変更しつつ、その中心を変化させることなく当該ビア像を予め規定された拡大率で拡大する。

請求項２記載の測定結果報知装置は、請求項１記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記予め規定された１つと前記特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを前記被検査基板像と並べて描画して前記報知用画像データを生成する。

請求項３記載の測定システムは、請求項１または２記載の測定結果報知装置と、前記各導体路についての測定処理を実行して前記測定値を記録した前記測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。

請求項４記載の測定結果報知方法は、複数の導体路が設けられた被検査基板における当該各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および当該被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、前記各導体路の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、前記各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記基準値および前記測定値に基づいて演算すると共に、前記被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路についての測定結果を報知すると共に、前記導体路を構成するビアについての測定結果を報知する前記報知用画像データを生成するときに、前記導体路像としてのビア像における前記予め規定された１つを前記特定用の値に対応させて変更しつつ、その中心を変化させることなく当該ビア像を予め規定された拡大率で拡大する。

請求項１記載の測定結果報知装置、および請求項４記載の測定結果報知方法では、基準値と測定値とに基づいて各導体路毎にその良否の程度を特定可能な特定用の値を演算すると共に、被検査基板像における各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した報知用画像データに基づいて各導体路についての検査結果を視覚的に報知すると共に、導体路を構成するビアについての測定結果を報知する報知用画像データを生成するときに、導体路像としてのビア像における上記の予め規定された１つを特定用の値に対応させて変更しつつ、その中心を変化させることなくビア像を予め規定された拡大率で拡大する。また、請求項３記載の測定システムでは、上記の測定結果報知装置と、各導体路についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。

したがって、請求項１記載の測定結果報知装置、請求項３記載の測定システム、および請求項４記載の測定結果報知方法によれば、各導体路についての測定値等が一覧表形式で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像の被検査基板像を参照させることで、被検査基板のいずれの位置に形成された導体路が良好で、いずれの位置に形成された導体路が不良であるかを直感的に把握させることができ、しかも、各導体路像の「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」の相違によって各導体路の不良度合い（良好度合い）についても直感的に把握させることができる。これにより、この種の装置を使用した検査に不慣れな者であっても、被検査基板に生じている不良の原因等を容易に特定することができる。また、小径のビアを示すビア像（すなわち、小径のビアの良否）を容易に視認させることができる。

さらに、請求項２記載の測定結果報知装置、およびそのような測定結果報知装置を備えた測定システムや、そのような測定結果報知装置において実施される測定結果報知方法によれば、色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つと特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを被検査基板像と並べて描画して報知用画像データを生成することにより、被検査基板におけるいずれの位置の導体路にどの程度の不良が生じているかを一層容易に把握させることができる。

基板検査システム１００（測定装置１およびデータ処理装置２）の構成を示す構成図である。 被検査基板Ｘ（導体パターンＬ１，Ｌ２・・およびビアＶ１，Ｖ２・・）の一例について説明するための説明図である。 図２に示す被検査基板Ｘについての被検査基板像Ｇ１（パターン像Ｇｌ１，Ｇｌ２・・）の一例について説明するための説明図である。 被検査基板像Ｇ１の一例について説明するための説明図である。 被検査基板像Ｇ２の一例について説明するための説明図である。 検査結果を報知する報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ３）の一例について説明するための説明図である。 検査結果を報知する報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａおよびカラーバーＧ３）の一例について説明するための説明図である。

以下、本発明に係る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

図１に示す基板検査システム１００は、「測定システム」の一例であって、測定装置１およびデータ処理装置２を備え、測定装置１による被検査基板Ｘについての測定結果に基づき、データ処理装置２において被検査基板Ｘの良否を特定可能に報知する構成が採用されている。この場合、被検査基板Ｘは、「被検査基板」の一例であって、図２に示すように、導体パターンＬ１，Ｌ２・・やビアＶ１，Ｖ２・・（以下、区別しないときには「導体パターンＬ」および「ビアＶ」ともいう）などで構成された複数の「導体路」が設けられている。

測定装置１は、「測定装置」の一例であって、図１に示すように、測定用治具１１、スキャナ１２、測定部１３、記憶部１４および処理部１５を備えて被検査基板Ｘ等を対象とする測定処理を実行可能に構成されている。測定用治具１１は、被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬやビアＶについての測定処理のために規定された複数のプロービングポイントＰａ，Ｐｂ・・（図２参照：以下、区別しないときには「プロービングポイントＰ」ともいう）に対してプロービング可能に植設された複数の測定用プローブ１１ａを備えている。

スキャナ１２は、処理部１５の制御に従い、測定用治具１１における任意の測定用プローブ１１ａを測定部１３に接続させる。測定部１３は、処理部１５の制御に従い、スキャナ１２によって接続される測定用プローブ１１ａを介して被検査基板Ｘの任意のプロービングポイントＰ，Ｐ間の電気的パラメータ（一例として、抵抗値）を測定する。

記憶部１４は、被検査基板Ｘについての測定手順（検査手順）が記録された測定手順データＤａや、処理部１５の演算結果などを一時的に記憶する。処理部１５は、測定装置１を総括的に制御する。具体的には、処理部１５は、測定手順データＤａに従ってスキャナ１２を制御して任意の測定用プローブ１１ａを測定部１３に接続させると共に、測定部１３を制御して抵抗値の測定処理を実行させる。また、処理部１５は、測定部１３から出力される測定値を記録して測定値データＤ１（「測定値データ」の一例）を生成すると共に、生成した測定値データＤ１をデータ処理装置２に出力する。

一方、データ処理装置２は、「測定結果報知装置」に相当し、一例として、データ処理用のプログラムがインストールされた汎用のパーソナルコンピュータで構成されている。具体的には、データ処理装置２は、操作部２１、表示部２２、印刷部２３、記憶部２４および処理部２５を備えて構成されている。操作部２１は、マウスやタッチパッド等のポインティングデバイスおよびキーボードなどで構成され、使用者による操作に応じた操作信号を処理部２５に出力する。表示部２２は、処理部２５の制御に従い、後述するように測定結果の表示画面などを表示する。印刷部２３は、処理部２５の制御に従い、後述する測定結果などを印刷する。

記憶部２４は、上記のデータ処理用のプログラム、および測定装置１から出力される測定値データＤ１や、基準値データＤ０、基板画像データＤ２、カラーバー画像データＤ３および報知用画像データＤ４などを記憶する。この場合、基準値データＤ０は、「基準値データ」の一例であって、被検査基板Ｘにおける上記の各導体パターンＬやビアＶ（各導体路）毎に予め規定された基準値が記録されている。この基準値データＤ０は、一例として、被検査基板Ｘの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置２の記憶部２４に記憶させられる。

また、基板画像データＤ２は、「基板画像データ」の一例であって、被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬの位置に応じてパターン像Ｇｌ１，Ｇｌ２・・（以下、区別しないときには「パターン像Ｇｌ」ともいう）が配置された被検査基板像Ｇ１（図３，４参照：「各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像」の一例）や、被検査基板Ｘにおける各ビアＶの位置に応じてビア像Ｇｖ，Ｇｖ・・が配置された被検査基板像Ｇ２（図５参照：「各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像」の他の一例）などの画像データで構成されている。

具体的には、被検査基板像Ｇ１は、例えば、被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬのうちの図２に示す導体パターンＬ１〜Ｌ４については、図３に示すように、それらの形状や位置に応じてパターン像Ｇｌ１〜Ｇｌ４が描画されている。また、被検査基板像Ｇ２は、被検査基板Ｘにおける各ビアＶの直径や位置に応じてビア像Ｇｖ，Ｇｖが描画されている。これらの被検査基板像Ｇ１，Ｇ２の基板画像データＤ２は、一例として、被検査基板Ｘの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置２の記憶部２４に記憶させられる。

カラーバー画像データＤ３は、後述するように被検査基板像Ｇ１内の各パターン像Ｇｌや被検査基板像Ｇ２内の各ビア像Ｇｖに対して規定される明度の範囲を特定可能なカラーバーＧ３（図６，７参照）の画像データ構成されている。なお、このカラーバー画像データＤ３のカラーバーＧ３と、各パターン像Ｇｌや各ビア像Ｇｖの明度との関係については、後に詳細に説明する。報知用画像データＤ４は、「報知用画像データ」の一例であって、後述するように処理部２５によって実行されるデータ処理によって生成される。

処理部２５は、データ処理装置２を総括的に制御する。この処理部２５は、「処理部」の一例であって、上記のデータ処理用のプログラムに従い、基準値データＤ０、測定値データＤ１および基板画像データＤ２に基づいて報知用画像データＤ４を生成し、生成した報知用画像データＤ４を使用して被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬや各ビアＶについての測定結果を表示部２２に表示させたり印刷部２３に印刷させたりする（「視覚的に報知する」との処理の一例）。なお、処理部２５による測定結果の報知処理については、後に具体的な例を挙げて詳細に説明する。

この基板検査システム１００による被検査基板Ｘについての測定処理、およびその測定結果の報知に際しては、まず、測定装置１に被検査基板Ｘをセットして各導体パターンＬや各ビアＶなどの導体路についての抵抗値の測定処理を実行させる。なお、実際の測定装置１では、図示しない基板保持部による被検査基板Ｘの保持や、図示しない移動機構による測定用治具１１の移動（各プロービングポイントＰに対する各測定用プローブ１１ａのプロービング）などが行われるが、これらの動作については公知のため、これらの処理についての説明を省略する。これにより、各導体路（各導体パターンＬや各ビアＶ）毎の測定値が記録された測定値データＤ１が生成される。

次いで、測定装置１において生成された測定値データＤ１をデータ処理装置２に転送して測定結果を表示または印刷させる。具体的には、処理部２５は、まず、記憶部２４に記憶されている基準値データＤ０の値と、測定装置１から転送された測定値データＤ１の値とに基づき、各導体路（各導体パターンＬや各ビアＶ）の良否の程度を特定可能な「特定用の値」を被検査基板Ｘの各導体路毎に演算する。より具体的には、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、一例として、測定値データＤ１に記録されている測定値から基準値データＤ０に記録されている基準値を差し引いた値を基準値で除した値（以下、この値を「相違率」ともいう）を「特定用の値」として各導体路毎にそれぞれ演算する。なお、上記の「相違率」に代えて、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値に「１００」を乗じた値を「相違率」としてもよい。

この場合、被検査基板Ｘが、表面層および裏面層の２層からなる両面基板や片面基板の場合（内層の導体パターンが存在しない場合）には、測定装置１による上記の測定処理に際して、測定対象（検査対象）の導体パターンＬやビアＶ毎に測定用プローブ１１ａを直接プロービングして測定値を得ることができる。しかしながら、被検査基板Ｘが多層基板の場合には、例えば、内層の導体パターンＬや、両端部のうちの少なくとも一方が内層の導体パターンＬに接続されているビアＶについては、それら単独の測定値を得ることができない。

したがって、本例の基板検査システム１００では、多層基板の被検査基板Ｘにおける内層の導体パターンＬや、少なくとも一方の端部が内層の導体パターンＬに接続されているビアＶについては、測定装置１による測定処理に際して、それらを通過する「導体路」（上記のような導体パターンＬやビアＶと、その他の導体パターンＬからなる導体路）についての抵抗値を測定しておき、その測定値を記録した測定値データＤ１に基づいてデータ処理装置２によって測定結果を報知する構成が採用されている。

例えば、内層の導体パターンＬについて、その導体パターンＬを通過する複数の「導体路」が存在する場合には、各「導体路」についての相違率の平均値を、その導体パターンＬの相違率とし、その導体パターンＬを通過する「導体路」が１つだけの場合には、その「導体路」についての相違率を、その導体パターンＬの相違率とする。また、少なくとも一方の端部（一方の端部のみ、または両方の端部）が内層の導体パターンＬに接続されているビアＶについて、そのビアＶを通過する複数の「導体路」が存在する場合には、各「導体路」についての相違率の平均値を、そのビアＶの相違率とし、そのビアＶを通過する「導体路」が１つだけの場合には、その「導体路」についての相違率を、そのビアＶの相違率とする。

次いで、処理部２５は、基板画像データＤ２の被検査基板像Ｇ１，Ｇ２における各パターン像Ｇｌや各ビア像Ｇｖの明度（「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」が「明度」である処理の一例）を、演算した相違率に対応させて変更する。

具体的には、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、一例として、図４に示す被検査基板像Ｇ１に関して、上記の相違率が高い導体パターンＬのパターン像Ｇｌほど明度を低く規定すると共に、相違率が低い導体パターンＬのパターン像Ｇｌほど明度を高く規定することにより、図６に示すように、グレースケール画像の被検査基板像Ｇ１ａとして再描画する。これにより、各パターン像Ｇｌの明度が、対応する導体パターンＬの良否の程度（本例では、相違率）に応じて相違する基板画像データＤ２が生成される。

また、図５に示す被検査基板像Ｇ２に関して、上記の相違率が高いビアＶのビア像Ｇｖほど明度を低く規定すると共に、相違率が低いビアＶのビア像Ｇｖほど明度を高く規定して各ビア像Ｇｖを再描画する。この場合、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、小径のビアＶを示すビア像Ｇｖの視認を容易とするために、上記の明度の変更と並行して、各ビア像Ｇｖを拡大して描画する構成が採用されている。具体的には、一例として、図５に示す被検査基板像Ｇ２における各ビア像Ｇｖを、それぞれの中心を変化させることなく、例えば２倍から１０倍の範囲内で予め規定された拡大率で拡大する。これにより、一例として、図７に示すようなグレースケールの被検査基板像Ｇ２ａが描画されて、各ビア像Ｇｖの明度が、対応するビアＶの良否の程度（本例では、相違率）に応じて相違する基板画像データＤ２が生成される。

続いて、処理部２５は、図６に示すように、各パターン像Ｇｌの明度を変更した上記の被検査基板像Ｇ１ａと、記憶部２４から読み出したカラーバー画像データＤ３のカラーバーＧ３とを並べて描画する。これにより、被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬについての測定結果を示す報知用画像Ｇ４の報知用画像データＤ４が生成される。また、処理部２５は、図７に示すように、各ビア像Ｇｖの明度を変更した上記の被検査基板像Ｇ２ａとカラーバーＧ３とを並べて描画する。これにより、被検査基板Ｘにおける各ビアＶについての測定結果を示す報知用画像Ｇ４の報知用画像データＤ４が生成される。

この場合、上記のカラーバー画像データＤ３のカラーバーＧ３は、「カラーバー」の一例であって、被検査基板Ｘについての基準値データＤ０や測定値データＤ１に基づいて算出され得る「相違率」の範囲と、各パターン像Ｇｌや各ビア像Ｇｖに規定する明度の範囲（この例では、白色から黒色の範囲）との対応関係を特定可能に構成されている。具体的には、本例のカラーバーＧ３では、相違率が高いほど、低い明度（黒色寄りの明度）が対応付けられ、相違率が低いほど、高い明度（白色寄りの明度）が対応付けられていることを特定可能に構成されている。つまり、相違率が高いほど明度が漸減し、かつ相違率が低いほど明度が漸増する。

次いで、処理部２５は、生成した報知用画像データＤ４に基づき、図６に示すように、報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ３）を表示部２２に表示させる。これにより、被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬについての測定結果を示す被検査基板像Ｇ１ａがカラーバーＧ３と並んで表示される（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例）。

この報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａ）では、各導体パターンＬ毎の基準値データＤ０および測定値データＤ１に基づいて演算された相違率に応じて、対応するパターン像Ｇｌの明度が相違させられている。また、この報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａ）では、各導体パターンＬのパターン像Ｇｌが、被検査基板Ｘ上の実際の導体パターンＬの位置に対応して描画されている。したがって、表示部２２に表示された被検査基板像Ｇ１ａをカラーバーＧ３と共に参照することにより、被検査基板Ｘの各部に形成された導体パターンＬの良否を把握することができる。

なお、表示部２２への表示に代えて、報知用画像データＤ４を印刷部２３に出力することで上記の報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ３）を紙面に印刷させることもできる（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の他の一例）。これにより、表示部２２に表示された報知用画像Ｇ４を参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像Ｇ４を参照することで、被検査基板Ｘの各部に形成された導体パターンＬの良否を把握することができる。

また、処理部２５は、操作部２１による表示画面の切り替え操作に応じて、他の報知用画像データＤ４に基づき、図７に示すように、他の報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａおよびカラーバーＧ３）を表示部２２に表示させる。これにより、被検査基板Ｘにおける各ビアＶについての測定結果を示す被検査基板像Ｇ２ａがカラーバーＧ３と並んで表示される（「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例）。

この報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａ）では、各ビアＶ毎の基準値データＤ０および測定値データＤ１に基づいて演算された相違率に応じて、対応するビア像Ｇｖの明度が相違させられている。また、この報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａ）では、各ビアＶのビア像Ｇｖが、被検査基板Ｘ上の実際のビアＶの位置に対応して描画されている。したがって、表示部２２に表示された被検査基板像Ｇ２ａをカラーバーＧ３と共に参照することにより、被検査基板Ｘの各部に形成されたビアＶの良否を把握することができる。

なお、表示部２２への表示に代えて、報知用画像データＤ４を印刷部２３に出力することで上記の報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａおよびカラーバーＧ３）を紙面に印刷させることもできる（「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例）。これにより、表示部２２に表示された報知用画像Ｇ４を参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像Ｇ４を参照することで、被検査基板Ｘの各部に形成されたビアＶの良否を把握することができる。

このように、このデータ処理装置２、よびデータ処理装置２における測定結果報知方法では、基準値（基準値データＤ０に記録されている値）と測定値（測定値データＤ１に記録されている値）とに基づいて各導体路（各導体パターンＬや各ビアＶ）毎にその良否の程度を特定可能な「特定用の値」を演算すると共に、基板画像データＤ２の被検査基板像Ｇ１，Ｇ２における各導体路像（パターン像Ｇｌやビア像Ｇｖ）の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを「特定用の値」に対応させて変更することで報知用画像データＤ４を生成し、生成した報知用画像データＤ４に基づいて各導体路についての測定結果を視覚的に報知（表示またや印刷）すると共に、ビアＶについての測定結果を報知する報知用画像データＤ４を生成するときに、ビア像Ｇｖにおける上記の「予め規定された１つ」を「特定用の値」に対応させて変更しつつ、その中心を変化させることなくビア像Ｇｖを予め規定された拡大率で拡大する。また、この基板検査システム１００では、上記のデータ処理装置２と、各導体路についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データＤ１を生成する測定装置１とを備えて構成されている。

したがって、このデータ処理装置２、基板検査システム１００、およびデータ処理装置２における測定結果報知方法によれば、各導体パターンＬやビアＶについての測定値等が一覧表形式で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像Ｇ４の被検査基板像Ｇ１ａ，Ｇ２ａを参照させることで、被検査基板Ｘのいずれの位置に形成された導体パターンＬやビアＶが良好な導体パターンＬやビアＶで、いずれの位置に形成された導体パターンＬやビアＶが不良のビアＶであるかを直感的に把握させることができ、しかも、各パターン像Ｇｌやビア像Ｇｖの明度の相違によって各導体パターンＬやビアＶの不良度合い（良好度合い）についても直感的に把握させることができる。これにより、この種の装置を使用した検査に不慣れな者であっても、被検査基板Ｘに生じている不良の原因等を容易に特定することができる。また、小径のビアＶを示すビア像Ｇｖ（すなわち、小径のビアＶの良否）を容易に視認させることができる。

さらに、このデータ処理装置２、基板検査システム１００、およびデータ処理装置２における測定結果報知方法によれば、「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ（本例では、明度）」と「特定用の値」との対応関係を特定可能なカラーバーＧ３を被検査基板像Ｇ１ａ，Ｇ２ａと並べて描画して報知用画像データＤ４を生成することにより、被検査基板Ｘにおけるいずれの位置の導体パターンＬやビアＶにどの程度の不良が生じているかを一層容易に把握させることができる。

なお、「測定結果報知装置」および「測定システム」の構成や、「測定結果報知方法」の処理内容については、上記の例に限定されない。例えば、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値、または、その値に「１００」を乗じた値（相違率）を「特定用の値」として演算して報知用画像データＤ４を生成する例について説明したが、「特定用の値」は、上記の「相違率」に限定されない。また、「測定値を基準値で除した値（上記特許文献に開示のインサーキットテスタにおいて演算される「充足率」と同様の値）」、または、その値に「１００」を乗じた値を「特定用の値」として演算して使用することができる。

また、「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」の一例として、黒色の「導体路像（パターン像Ｇｌやビア像Ｇｖ）の「明度」を「特定用の値（上記の例では、相違率）」に応じて異ならせて報知用画像データＤ４を生成する処理を例に挙げて説明したが、黒色以外の任意の色の「導体路像」の「明度」を「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。さらに、「明度」を異ならせる処理に代えて、「導体路像」の色の「色相」または「彩度」を「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。

また、１つの導体パターンＬや、１つのビアＶを１つの「導体路」として測定して測定結果を報知する例について説明したが、連続する複数の導体パターンＬを１つの「導体路」としたり、連続する１つまたは複数の導体パターンＬとビアＶとを１つの「導体路」としたりして、これを測定して測定結果を報知する構成、方法を採用することもできる。さらに、「導体路」としての導体パターンＬについての測定結果だけを報知したり、「導体路」としてのビアＶについての測定結果だけを報知したりする構成および方法を採用することもできる。

加えて、測定用治具１１およびスキャナ１２を介して被検査基板Ｘについての測定処理を実行する測定装置１を例に挙げて説明したが、「測定システム」における「測定装置」の構成はこれに限定されず、プローブ移動機構によって各測定用プローブを別個独立して移動させて任意のプロービングポイントにプロービングさせて「被検査基板」についての測定処理を実行可能な「測定装置」を備えて構成することもできる。

１００ 基板検査システム
１ 測定装置
２ データ処理装置
１１ 測定用治具
２２ 表示部
２３ 印刷部
２４ 処理部
２５ 記憶部
Ｄ０ 基準値データ
Ｄ１ 測定値データ
Ｄ２ 基板画像データ
Ｄ３ カラーバー画像データ
Ｄ４ 報知用画像データ
Ｇ１，Ｇ１ａ，Ｇ２，Ｇ２ａ 被検査基板像
Ｇ３ カラーバー
Ｇ４ 報知用画像
Ｇｌ，Ｇｌ１，Ｇｌ２・・ パターン像
Ｇｖ ビア像
Ｌ１，Ｌ２・・ 導体パターン
Ｖ１，Ｖ２・・ ビア
Ｘ 被検査基板

Claims (4)

1. 複数の導体路が設けられた被検査基板における当該各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および当該被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、前記各導体路の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、
   前記処理部は、前記各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記基準値および前記測定値に基づいて演算すると共に、前記被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路についての測定結果を報知すると共に、前記導体路を構成するビアについての測定結果を報知する前記報知用画像データを生成するときに、前記導体路像としてのビア像における前記予め規定された１つを前記特定用の値に対応させて変更しつつ、その中心を変化させることなく当該ビア像を予め規定された拡大率で拡大する測定結果報知装置。
2. 前記処理部は、前記予め規定された１つと前記特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを前記被検査基板像と並べて描画して前記報知用画像データを生成する請求項１記載の測定結果報知装置。
3. 請求項１または２記載の測定結果報知装置と、前記各導体路についての測定処理を実行して前記測定値を記録した前記測定値データを生成する測定装置とを備えて構成された測定システム。
4. 複数の導体路が設けられた被検査基板における当該各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および当該被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、前記各導体路の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、
   前記各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記基準値および前記測定値に基づいて演算すると共に、前記被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路についての測定結果を報知すると共に、前記導体路を構成するビアについての測定結果を報知する前記報知用画像データを生成するときに、前記導体路像としてのビア像における前記予め規定された１つを前記特定用の値に対応させて変更しつつ、その中心を変化させることなく当該ビア像を予め規定された拡大率で拡大する測定結果報知方法。