JP2023134060A - 検査ロジック調整装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査ロジックの適切な調整作業を短時間で実現する。【解決手段】モデル画像とモデル判定結果とを関連付けたモデル画像データと、被検査物の画像情報に基づいて良否を判定する検査ロジックと、検査パラメータと、を記憶した記憶部と、検査ロジックの性能テストを実行するテスト処理部と、モデル判定結果と、テスト判定結果とに基づいて、検査ロジックの選択又検査パラメータの設定により調整する自動調整処理部と、モデル画像に対する、自動調整処理部によって調整された検査ロジックによるテスト判定結果と、モデル判定結果とを含む画面を生成する結果確認画面生成部と、表示部と、を備え、画面は、モデル画像ごとの、モデル画像に関連付けられたモデル判定結果と、性能テストの対象となった複数の検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる検査パラメータとに関連付けられた、テスト判定結果と、を含む検査ロジック調整装置。【選択図】図２

Description

本発明は、検査ロジックを調整する検査ロジック調整装置に関する。

ＳＭＴ（Surface Mount Technology）におけるリフロー後検査工程に用いられる検査装置では、見過ぎや見逃しを抑制するためにチューニングと呼ばれる各検査ロジックの閾値調整を実施することが一般的である（例えば、特許文献１を参照）。
このようなチューニングでは主として以下の２つの手順で行われる。
（１）検査工程で発生した良品画像、実不良画像をモデル画像として登録する。
（２）モデル画像に対して各検査ロジックを仮想的に適用し（モデルテストという。）、良品画像をＯＫ、実不良画像をＮＧとして検出できるようにロジックを調整する。
特に、ロジック調整の工程において最適な設定を行えなかった場合には、歩留まりの低下や実不良の見逃しにつながる可能性があるため、閾値等を、可能な限り最適な設定に近い値に落とし込む必要がある。

特開２０１８－７７１４７号公報

しかしながら、ロジックのオン・オフの切り替えや、閾値、特徴パラメータの組み合わせが膨大である各ロジックに対し、最適な設定を行うことは難しい。検査装置の検出力を最大化し、見逃しを最小化するためには、それぞれの実不良画像から生成されたＮＧモデル画像の不良種に対し適切なロジックで検出すべきであるが、チューニング担当者はＮＧモデル画像の見逃しがないように設定することに終始し、適切なロジックで検出しようとすることまで意識できない場合が多い。

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、検査ロジックの適切な調整を短時間で実現することを目的とする。

上記の課題を解決するための本発明は、
被検査物を撮像したモデル画像と、該被検査物の良否を判定したモデル判定結果とを関連付けたモデル画像データと、前記被検査物を撮像した画像情報に基づいて該被検査物を検査して良否を判定する検査ロジックと、前記検査ロジックを実行する際に用いられる検査パラメータと、を記憶した記憶部と、
所定の前記検査パラメータを用いた前記検査ロジックに基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定する該検査ロジックのロジック性能テストを実行し、該良否をテスト判定結果として出力するテスト処理部と、
前記モデル判定結果と、前記テスト判定結果とに基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方により該検査ロジックを調整する自動調整処理部と、
前記テスト処理部による、前記モデル画像に対する、前記自動調整処理部によって調整された前記検査ロジックによる前記テスト判定結果と、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果とを含む結果確認画面を生成する結果確認画面生成部と、
前記結果確認画面を表示する表示部と、
を備え、
前記結果確認画面は、
前記モデル画像ごとの、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記ロジック性能テストの対象となった複数の前記検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる前記検査パラメータとに関連付けられた、該ロジック性能テストによる前記テスト判定結果と、
を含むことを特徴とする検査ロジック調整装置である。

これによれば、自動調整処理部により、検査ロジックの選択及び検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方により検査ロジックが調整され、モデル画像ごとの、該モデル画像に関連付けられたモデル判定結果と、ロジック性能テストの対象となった複数の検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる検査パラメータとに関連付けられた、該ロジック性能テストによるテスト判定結果が表示された結果確認画面により、検査ロジックごとのテスト判定結果と、モデル判定結果とを対照することにより、調整された検査ロジックの性能を一覧で把握することができ、調整の適否を端的に確認することができるので、検査ロジックの適切な調整を短時間で実現できる。ここでは、ＡＩモデルを含め被検査物の検査に用いるアルゴリズムを検査ロジックという。

また、本発明において、
前記自動調整処理部において、前記検査ロジックを調整する際の、複数の前記検査ロジックにおける優先度又は良否判定の余裕度の設定を受け付ける調整設定受付部を備え、
前記自動調整処理部は、設定された前記優先度又は前記余裕度に基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方を調整するようにしてもよい。

これによれば、検査ロジックを調整する際の、複数の検査ロジックにおける優先度又は良否判定の余裕度を、ユーザが設定することができ、その設定に基づいて、検査ロジックの選択及び検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方が調整されるので、よりユーザの検査目的に沿った検査ロジックの調整を短時間で実現することができる。

また、本発明において、
前記テスト処理部は、複数の前記検査ロジックによる前記テスト判定結果に基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定し、該良否をテスト総合判定結果として出力するようにしてもよい。

これによれば、複数の検査ロジックのそれぞれに応じたテスト判定結果のみならず、複数の検査ロジックのテスト判定結果に基づくテスト総合判定結果が表示されるので、調整の適否をより的確に判断できる。

また、本発明において、
テスト総合判定結果は、複数の前記検査ロジックによる前記テスト判定結果の論理計算によって導出されるようにしてもよい。

これによれば、論理計算のための論理式を適切に構築することで、複数の検査ロジックの特性に基づいて、所望の特性を有するテスト総合判定結果を得ることができる。

また、本発明において、
前記モデル画像データは、前記被検査物の不良の種別に関する不良種情報を含み、
前記結果確認画面は、前記モデル画像ごとの、前記不良種情報を含むようにしてもよい。

これによれば、モデル画像の良否の判定結果のみならず、不良種情報も確認結果画面に表示され、検査ロジックの性能を詳細に判断することができるので、検査ロジックのより的確な調整が可能となる。

また、本発明において、
前記記憶部は、前記検査ロジックと該検査ロジックが検出すべき対象とする不良種である対象不良種とを対応付けた対象不良種情報を記憶し、
前記自動調整処理部は、前記モデル画像データに含まれる前記不良種情報と、前記対象不良種情報とに基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方を調整するようにしてもよい。

これによれば、記憶部に記憶された対象不良種情報に含まれる、検査ロジックと対象不良種とを対応付けた対象不良種情報に基づいて、対象不良種と同じ不良種情報を含むモデル画像データについては見逃しを抑制し、モデル判定結果が良であるモデル画像データについては見過ぎを少なくするように検査パラメータを最適化する検査ロジックの調整が可能となる。

また、本発明において、
前記結果確認画面は、前記ロジック性能テストによる見逃し及び見過ぎの少なくともいずれか一方に関する件数を含むようにしてもよい。

これによれば、ロジック性能テストによる見逃し及び見過ぎの少なくともいずれか一方に関する件数が結果確認画面に表示されるので、検査ロジックの調整の適否をより的確に評価することができる。なお、見逃しとはモデル判定結果はＮＧ（不良）だが、テスト判定結果はＯＫ（良）になることをいい、見過ぎとはモデル判定結果はＯＫ（良）だが、テスト判定結果はＮＧ（不良）になることをいう。

また、本発明において、
前記結果確認画面は、前記検査ロジック及び該検査ロジックの前記調整された前記検査パラメータに基づく判定結果に応じて該判定結果を異なる態様で表示される前記テスト判定結果を含むようにしてもよい。

これによれば、結果確認画面によって、判定結果に応じて、判定結果が異なる態様で表示されるので、調整の適否の判断に参照できる各判定結果の意義を視覚的に把握することができるので、より的確に検査ロジックの調整の適否を評価できる。

また、本発明において、
前記結果確認画面生成部は、前記モデル判定結果及び前記テスト判定結果に基づいて、前記モデル画像ごとの表示態様を変更するようにしてもよい。

これによれば、結果確認画面生成部は、モデル判定結果及びテスト判定結果に基づいて、モデル画像ごとの表示態様を変更するので、検査ロジックの性能の評価に必要な判定結果となったモデル画像に関する情報のみを表示させ、他のモデル画像に関する情報は簡略表示にしたり、展開によって表示させたりするというように表示態様を変更することができる。これによって、結果確認画面を通じて必要な情報を効率的に取得することができるので、検査ロジックの調整の適否を短時間で判断できる。

また、本発明において、
前記テスト処理部は、前記モデル画像データに基づいて生成された補助モデル画像と補
助モデル判定結果を含む補助モデル画像データを含めて、前記ロジック性能テストを実行するようにしてもよい。

これによれば、モデル画像データが少ない場合にも、補助モデル画像も加えてロジック性能テストを実行できるので、検査ロジックを適切に調整できる。

本発明によれば、検査ロジックの適切な調整作業を短時間で実現することが可能となる。

本発明の実施例に係る検査システムの概略構成図である。 本発明の実施例に係る検査システムの機能ブロック図である。 本発明の実施例に係るデータベース及び優先度・余裕度記憶部のデータ構成を示す図である。 本発明の実施例に係る自動調整処理の手順を説明するフローチャートである。 本発明の実施例に係るロジック性能確認画面の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック性能確認画面の他の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係る優先度・余裕度設定画面の表示例を示す図である。 本発明の実施例に係るロジック性能確認画面の他の表示例を示す図である。

〔適用例〕
以下、本発明の適用例について、図面を参照しつつ説明する。

本発明が適用される対象の一例である生産ライン１００は、図１に示すように、はんだ印刷装置１００ａ、はんだ印刷後検査装置１００ｂ、マウンタ１００ｃ、マウント後検査装置１００ｄ、リフロー炉１００ｅ、リフロー後検査装置１００ｆを含む。生産ライン１００における各装置は、ＬＡＮなどのネットワークを介してティーチング端末１０に接続されている。各検査装置１００ｂ、１００ｄ、１００ｆは各工程の出口でプリント基板の状態を検査し、不良あるいは不良のおそれを自動的に検出する。

なお、生産ライン１００の各検査装置における検査は、所定の検査ロジックや、予め学習されたＡＩモデルを用いて行われる。検査ロジックは、ティーチング端末１０を用いて、事前にチューニングと呼ばれる閾値等のパラメータの調整が行われる。ＡＩモデルは、ティーチング端末１０を用いて、事前に学習データを用いて学習される。

このとき、検査ロジックやＡＩモデルのオン・オフの切り替え、閾値、特徴パラメータの組み合わせが膨大であるため、各検査ロジックやＡＩモデルに対して最適な設定を行うことは難しい。それに対し、本適用例は、ユーザが設定した優先度及び余裕度に基づいてモデル画像データ等を適切な検査ロジックで検出できるように、自動的に閾値、特徴パラメータ、検査ロジックのオン・オフやＡＩモデルの選択を含むチューニングを自動で行うことにより、短時間で最適なチューニングを実現できるようにしたものである。

〔実施例１〕
以下、図面を参照して本発明の実施例１に係る検査システム１の構成について説明する。ただし、この実施例に記載されている装置の構成は各種条件により適宜変更されるべきものである。すなわち、この発明の範囲を以下の実施例に限定する趣旨のものではない。

本実施例に係る生産ライン１００を図１に示す。上述のように、生産ライン１００は、例えばはんだ印刷装置１００ａ、はんだ印刷後検査装置１００ｂ、マウンタ１００ｃ、マウント後検査装置１００ｄ、リフロー炉１００ｅ、リフロー後検査装置１００ｆを含む。はんだ印刷装置１００ａは、プリント基板上の電極部はんだペーストを印刷する装置である。マウンタ１００ｃは、プリント基板に実装すべき多数の電子部品をはんだペーストの上に載置するための装置である。また、リフロー炉１００ｅは、プリント基板上に載置された電子部品を基板上のプリント配線にはんだ接合するための加熱装置である。そして、各検査装置１００ｂ、１００ｄ、１００ｆは各工程の出口でプリント基板の状態を検査し、不良あるいは不良のおそれを自動的に検出する。

上述したはんだ印刷後検査装置１００ｂ、マウント後検査装置１００ｄ、リフロー後検査装置１００ｆ（以下、これらをまとめて検査装置３０ともいう。）は、ＬＡＮなどのネットワークを介してティーチング端末１０及び、データベース２０（以下、簡単にＤＢ２０ともいう。）に接続されている。ティーチング端末１０は、ＣＰＵ（プロセッサ）、主記憶装置（メモリ）、補助記憶装置（ハードディスクなど）、入力装置（キーボード、マウス、コントローラ、タッチパネルなど）、出力装置（ディスプレイ、プリンタ、スピーカなど）などを具備する汎用的なコンピュータシステムにより構成されてもよい。あるいは、タブレット端末など可搬性を有するコンピュータシステムにより構成されてもよい。

なお、生産ライン１００の検査装置３０における検査は、所定の検査ロジックや、予め学習された学習済ＡＩモデル（以下、単にＡＩモデルともいう。）を用いて行われる。検査ロジックやＡＩモデルは、ＤＢ２０に格納されており、適宜選択されて検査装置３０における検査に使用される。また、検査ロジックは、ティーチング端末１０を用いて、事前にモデルデータに基づいて、検査装置３０においてプリント基板の良不良を判定可能なように閾値や特徴量等のパラメータが調整されている。また、ＡＩモデルは、ティーチング端末１０を用いて、事前に学習データに基づいて検査装置３０においてプリント基板の良不良を判定可能なように学習される。

図２に、検査システム１の機能ブロック構成を示す。
ティーチング端末１０は、調整された閾値等を用いた検査ロジックによってテストサンプルに対して検査を行い、テスト判定結果を出力する機能部である性能テスト処理部１０ａと、性能テスト処理部によるテスト結果と、ユーザが設定した優先度及び余裕度を記憶する優先度・余裕度記憶部１０ｂと、優先度・余裕度記憶部１０ｂに記憶された優先度及び余裕度とテストサンプルデータとに基づいて、閾値等の検査パラメータ（ＡＩモデルも含む）を調整する自動調整処理部１０ｃと、テスト判定結果、テストサンプルデータ等を含むロジック性能確認画面を生成し、表示部１０ｅに出力する画面生成部１０ｄと、ロジック性能確認画面等を表示する表示部１０ｅと、ユーザが閾値等の変更等を入力する入力部１０ｆを含む。性能テスト処理部１０ａ、自動調整処理部１０ｃ、画面生成部１０ｄは、例えば、主記憶装置等に記憶された所定のプログラムを実行するＣＰＵを含んで構成され、優先度・余裕度記憶部１０ｂはメモリ等によって構成され、表示部１０ｅはディスプレイやタッチパネルによって構成され、入力部１０ｆは、入力装置によって構成される。ここでは、プリント基板の画像（モデル画像）に対して目視等により良不良を判定し、その判定結果と不良の場合には該当する不良種をモデル画像に関連付けたモデル画像データに対して、ロジック性能テストの対象となったモデル画像をテストサンプルといい、テストサンプルに関連付けられたモデル画像データをテストサンプルデータといい、以下の説明でもこのように区別する。性能テスト処理部１０ａ、自動調整処理部１０ｃ、画面生成部１０ｄ、表示部１０ｅは、それぞれ本発明のテスト処理部、自動調整処理部、結果確認画面生成部、表示部に相当する。また、ロジック性能確認画面が本発明の結果確認画面に相当する。本発明の検査ロジック調整装置は、ティーチング端末１０及びデータベース２０を含んで構成される。

データベース２０は、ライブラリ記憶部２０ａ及びロジック記憶部２０ｂを含む。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に、ライブラリ記憶部２０ａ及びロジック記憶部２０ｂに記憶されたデータ構成を模式的に示す。ライブラリ記憶部２０ａには、図３（Ａ）に示すように、プリント基板の画像（モデル画像）と、判定結果がＮＧである場合のぬれ、電極ズレ、電極浮き等の不良の種別である不良種とが関連付けられたモデル画像データが記憶されている。ロジック性能テストが行われた場合には、それぞれの検査ロジックによる計測値もモデル画像と関連付けて、ライブラリ記憶部２０ａに記憶される。図３（Ｂ）に示すように、検査ロジック及びＡＩモデルやそれらに用いる閾値等の検査パラメータが、計測検査、色検査、ＡＩ検査等の検査タイプごとに、電極ズレ、ぬれ等のロジック名と、閾値と、ＤＬＬ（Dynamic Link Library）と関連付けられてロジック記憶部２０ｂに記憶されている。また、ロジック記憶部２０ｂには、図３（Ｃ）に示すように、計測検査、色検査、ＡＩ検査等の検査タイプごとに、検査ロジックと不良種とが対応付けられて記憶されている。例えば、計測検査である電極高さの検査ロジックには不良種として電極浮きが対応付けられている。また、計測検査である電極ズレの検査ロジックには不良種として電極ズレが対応付けられている。同様に、色検査であるぬれ及びランド露出の各検査ロジックには、不良種としてぬれ及びランド露出が対応付けられている。また、ＡＩ検査であるぬれ（Ｉ）の検査ロジックには、不良種としてぬれが対応付けられている。ここで、各検査ロジックに対応付けられている不良種は、各検査ロジックが検出すべき対象とする不良種である。図３（Ｃ）に示されるような、検査ロジックと検出すべき不良種との対応関係を対象不良種情報という。これらの各記憶部２０ａ、２０ｂは、ティーチング端末１０の補助記憶装置に構成されてもよいし、独立したデータベースとして構成されてもよい。データベース２０は、本発明の記憶部に相当する。また、ぬれ、電極ズレ、電極浮き等の不良種が本発明の不良種情報に相当する。

検査装置３０は、調整された閾値等の検査パラメータを適用したＡＩモデルや検査ロジックによって、量産時に取得された画像データに対して検査を行う量産検査部３０ａを有する。

次に、本実施例に係る検査システム１を用いた処理の手順を、図４に示す。

まず、ライブラリ記憶部２０ａからモデル画像データを取得し、ロジック記憶部２０ｂから検査ロジックの設定を取得し、現状の検査ロジックによって、モデル画像に対して性能テスト処理部１０ａが、ロジック性能テストを実行する（ステップＳ１）。
そして、画面生成部１０ｄによってロジック性能テストの結果を含むロジック性能確認画面が生成され、表示部１０ｅに表示され、ユーザは自動調整を行うか否かを選択することができる（ステップＳ２）。ここで、ユーザが自動調整を選択する場合には、ステップＳ３に進み、自動調整を選択しない場合にはステップＳ１０に進む。（ステップＳ２）。ユーザが自動調整する際には、ロジック性能確認画面から、検査ロジックによる検査の優先度及び余裕度（詳細は後述する）を設定することができる。設定された優先度及び余裕度は、例えば、図３（Ｄ）に模式的に示すような構成のデータとして、優先度・余裕度記憶部１０ｂに記憶され、自動調整の際に利用される。

ステップＳ３～Ｓ８では、自動調整処理部１０ｃにおいて、計測検査、色検査、ＡＩ検査の各検査ロジックについて閾値等の自動調整が行われる。自動調整の際には、自動調整処理部１０ｃは、まず、ライブラリ記憶部２０ａから、モデル画像の真値、不良種、計測値を取得し、ロジック記憶部２０ｂから、検査ロジックの閾値、色パラメータ、ＡＩモデル、対象不良種情報を取得する。自動調整処理部１０ｃは、次に、優先度、余裕度が設定されている場合には設定値を優先度・余裕度記憶部１０ｂから取得し、以下の手順で自動調整を行う。

まず、検査パラメータが閾値のみか、検査パラメータが閾値及び色パラメータか、検査パラメータが閾値及びＡＩモデルかに応じて処理が分岐する（ステップＳ４）。検査パラメータが閾値のみである場合には、閾値を自動調整する（ステップＳ５）。検査パラメータが閾値及び色パラメータである場合には、閾値と色パラメータを自動調整する（ステップＳ６）。そして、検査パラメータが閾値及びＡＩモデルである場合には、閾値を自動調整するとともに、ＡＩモデルを自動選択する（ステップＳ６）。

ステップＳ５～Ｓ７の自動調整処理を、所定パターンにわたって繰り返して実行し、設定された優先度及び余裕度に基づいて、最適な検査パラメータを選択する（ステップＳ８）。このとき、例えば、検出力優先や直行率優先等のユーザの設定に従って、各検査ロジックが検出すべき対象とする不良種のサンプルデータの見逃しを抑えつつ、良品の見過ぎを最小限にするように検査パラメータを選択することができる。自動調整処理を繰り返すパターンは全てのパターンであってもよいし、ベイズ最適化等の機械学習アルゴリズムにより探索パターンを削減してもよい。このようにして、調整された検査パラメータに基づくロジック性能テストによる判定結果を含むロジック性能確認画面を画面生成部１０ｄが生成し、表示部１０ｅに表示する（ステップＳ９）。

ユーザは、表示部１０ｅに表示されたロジック性能確認画面を確認し、手動で閾値等を調整することができる（ステップＳ１０）。
さらに、ユーザは、手動で調整した閾値等に基づいてロジック性能テストを実行することができる（ステップＳ１１）。

ユーザが自動調整された検査パラメータを用いた検査ロジックの性能が十分であると判断する場合には（ステップＳ１２）、自動調整された閾値等及び対象となった検査ロジック、ＡＩモデルがデータベース２０のロジック記憶部２０ｂに記憶され、量産に適用され（ステップＳ１３）、検査装置３０の量産検査部３０ａにおいて、当該検査ロジック及びＡＩモデルと自動調整された閾値等を用いて量産検査が行われる（ステップＳ１４）。
ユーザが自動調整された検査パラメータを用いた検査ロジックの性能が十分でないと判断する場合には（ステップＳ１２）ステップＳ２に戻って、さらに検査パラメータの自動調整を行うことができる。

（ロジック性能確認画面の構成）
以下、上述した処理を、画面の表示例を用いて説明する。
図５は、表示装置に表示されるロジック性能確認ツールと題されたロジック性能確認画面１１の基本的な表示例を示す。
ロジック性能確認画面１１は、主として、品番グループ欄１１１、見過ぎ数欄１１２、見逃し数欄１１３、判定結果詳細表示１１４、各種ボタン１１５～１１９を含む。

品番グループ欄１１１には、評価に用いられているテストサンプルの対象となっているプリント基板の品番グループが、「ＱＦＰ＿４０３２１」と表示される。そして、見過ぎ数欄１１２及び見逃し数欄１１３には、この段階ではまだ数値は表示されていない。

判定結果詳細表示１１４は、テストサンプルごとに、各検査ロジックによる判定結果が横方向に並列して配置される表形式で表示される。判定結果詳細表示１１４の左端は、テストサンプルに付された番号が表示される番号欄１１４ａである。この番号欄１１４ａの右側には、対応するテストサンプルの画像が簡略表示されるテストサンプル画像表示欄１１４ｂが配置されている。テストサンプル画像表示欄１１４ｂの右側には、テストサンプルとなったモデル画像を目視して良否を判定した結果が真値として表示される真値（目視）欄１１４ｃが配置されている。真値（目視）欄１１４ｃには、ＯＫ、ＮＧにより良否の
判定結果が表示されるともに、不良品については判定結果を示すＮＧととともに不良種に関する情報も表示される。これらの情報により、いずれの検査ロジックによって検出すべきかを判断することもできる。真値（目視）欄１１４ｃの三角マーク１１４ｃ１は、真値（目視）欄１１４ｃの判定結果ごとにテストサンプルに関する情報をソートするためのものである。真値（目視）欄１１４ｃの右側には、現在評価の対象となっている検査ロジックによる判定結果を表示する判定結果欄１１４ｄが配置されている。判定結果欄１１４ｄの三角マーク１１４ｄ１は、判定結果欄１１４ｄの判定結果ごとにテストサンプルに関する情報をソートするためのものである。

判定結果欄１１４ｄに表示する判定結果としては、後述する電極高さ等の個別の検査ロジックによる判定結果に基づく総合的判定結果を表示する。例えば、図６に示すように、判定結果欄１１４ｄには、ＮＧのように判定結果が表示される。総合的判定は、特定の検査ロジックによる判定結果でもよいし、例えば、検査ロジックＡの判定結果がＮＧ又は検査ロジックＢの判定結果がＮＧのときに総合的判定をＮＧとするというように、複数の検査ロジックの判定結果の論理計算によって導出されるものであってもよい。以下に説明する例では、電極高さ、電極ズレ、ぬれ、ランド露出、ぬれ（ＡＩ）の５つの検査ロジックの判定結果のＯＲによって総合的判定結果を導出している。ここでは、総合的判定結果が、本発明のテスト総合判定結果に相当する。

判定結果詳細表示１１４では、これらの欄の右側には、タイプごとの検査ロジックによる判定結果が表示される。左から順に、計測検査ロジックによる判定結果を表示する計測検査欄１１４ｅ、色検査ロジックによる判定結果を表示する色検査欄１１４ｆ、ＡＩモデル検査による判定結果を表示するＡＩ検査欄１１４ｇが配置されている。また、計測検査欄１１４ｅは、さらに、電極高さ検査欄１１４ｈと電極ズレ検査欄１１４ｉと、より詳細（具体的）な検査ロジックごとの判定結果表示欄に区分されている。同様に、色検査欄１１４ｆは、ぬれ検査欄１１４ｊ、ランド露出検査欄１１４ｋに区分されている。また、ＡＩ検査欄１１４ｇは、ＡＩモデルによるぬれ検査としてぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍが配置されている。検査ロジックによる判定結果が、本発明のテスト判定結果に相当する。

これらのタイトル行とテストサンプルごとの判定結果表示との間には、各検査ロジックの閾値行１１４ｎが配置されている。各検査ロジックの欄における、この閾値行１１４ｎには、各検査ロジックについて設定されている閾値が表示されている。ユーザは、入力装置から適宜の数値を入力することにより、この閾値行１１４ｎに表示された閾値を変更することができる。ロジック性能確認画面１１では、電極高さ０－２００、電極ズレ０－１００、ぬれ０－４０、ランド露出０－１０、ぬれ（ＡＩ）０－５０の各閾値が表示されている。ここでは、各閾値が本発明の検査パラメータに相当する。また、このロジック性能確認画面１１における閾値行１１４ｎの、各検査ロジックに対応する列の表示に関連付けて、閾値の変更・設定の情報が入力される入力部１０ｆが本発明のパラメータ設定受付部に相当する。

判定結果詳細表示１１４の閾値行１１４ｎの下には、テストサンプルごとの判定結果が、上述した各欄について表示される。ここには、Ｎｏ．１からＮｏ．７までの７件のテストサンプルについて、判定結果が表示される。例えば、図６に示すように、Ｎｏ．１のテストサンプルについては、真値（目視）欄１１４ｃにＯＫ、判定結果欄１１４ｄにＮＧと表示される。なお、Ｎｏ．３のテストサンプルの真値（目視）欄１１４ｃには、許容品との判定結果が表示されている。また、Ｎｏ．６及びＮｏ．７のテストサンプルの真値（目視）欄１１４ｃにはそれぞれＮＧ（ぬれ・電極ズレ）及びＮＧ（電極浮き）と判定結果とともに不良種も表示されている。このように、真値（目視）欄１１４ｃには、テストサンプルデータに良否以外の情報も関連付けて記憶されている場合には、それらも表示される。

テストサンプルごとの判定結果表示の下の行には、単独見過ぎ数行１１４ｏが配置されている。この単独見過ぎ数行１１４ｏには、検査ロジックごとの見過ぎ数が表示され、許容品についてはかっこ内に表示される。このように検査ロジックごとの見過ぎ数を表示することにより、見過ぎの原因となっている検査ロジックを視覚的に確認することができる。

単独見過ぎ数行１１４ｏの下の行には、対象不良の見逃し数行１１４ｐが配置されている。この対象不良の見逃し数行１１４ｐには、検査ロジックごとに、当該検査ロジックが対象としている不良の見逃し数が表示される。

対象不良の見逃し数行１１４ｐの下の行には、ロジックＯＮ／ＯＦＦ行１１４ｑが配置されている。このロジックＯＮ／ＯＦＦ行１１４ｑには、各欄の検査ロジックが実行されているか否か、すなわち、オンされているかオフされているかが表示される。この欄に表示された各検査ロジックのオン・オフは、ユーザが入力装置を通じて切り替えることができる。このロジック性能確認画面１１におけるロジックＯＮ／ＯＦＦ行１１４ｑの、各検査ロジックに対応する列の表示に関連付けて、オン・オフの選択の情報が入力される入力部１０ｆが本発明の対象ロジック選択受付部に相当する。

色検査欄１１４ｆのぬれ検査欄１１４ｊとランド露出検査欄１１４ｋの下段の欄外には色パラ調整ボタン１１４ｒ、１１４ｓが配置されている。これは、後述する色検査ロジックの調整の際に、この色パラ調整ボタン１１４ｒ、１１４ｓを押下（クリック）することにより、閾値以外に、色パラメータを調整することができる。なお、画面上のボタンについては、タッチパネルに触れる場合、カーソルをボタンまで移動させてクリックする等を含むが以下では単に押下という。この色パラメータは本発明の検査パラメータに相当する。

ＡＩ検査欄１１４ｇの下段の欄外には、モデル変更ボタン１１４ｔが配置されている。これは、後述するＡＩモデル調整の際に、このモデル変更ボタン１１４ｔを押下することにより、閾値調整以外に、ＡＩモデルを変更することができる。

ロジック性能確認画面１１の判定結果詳細表示１１４の右側には、設定ボタン１１５が配置されている。この設定ボタン１１５は、後述するように、検査パラメータを自動調整する際の余裕度及び優先度を設定するためのボタンであり、この設定ボタン１１５を押下することにより、余裕度及び優先度を設定する設定画面に遷移する。

ロジック性能確認画面１１の最下段には、左から順に、ロジック性能テストボタン１１６、自動調整ボタン１１７、画像水増しボタン１１８、量産検査へ適用ボタン１１９が配置されている。

ロジック性能テストボタン１１６を押下ことにより、図４に示すフローチャートで説明したステップＳ１及びＳ１１におけるロジック性能テストが実行される。

自動調整ボタン１１７については、図４に示すフローチャートで説明したステップＳ２において、ユーザが自動調整を選択する場合には、この自動調整ボタン１１７を押下する。

画像水増しボタン１１８は、テストサンプルの数が少ない場合に、既存のモデル画像データを用いてテストサンプルデータの数を増やす処理を指示するためのボタンである。ここでデータ数を増やすためにモデル画像データから生成された画像及び判定結果が、本発
明の補助モデル画像及び補助モデル判定結果に相当し、これらを含んで本発明の補助モデル画像データが構成される。

量産検査へ適用ボタン１１９は、図４に示すフローチャートで説明したステップＳ１３において、検査ロジックの性能評価が終了し、検査装置での量産検査に適用しようとする場合に押下する。これにより、ステップＳ３～Ｓ１０による調整を通じて設定された閾値等がデータベースに記憶され、対応する検査ロジックにより検査装置３０で量産検査を行う際に利用されることになる。

（ロジック性能確認画面の遷移）
以下、ロジック性能確認画面を用いたロジック調整の手順と、ロジック性能確認画面の遷移とを図４に示したフローチャートを参照しながら説明する。図５に示すロジック性能確認画面１１は、例えば、データベースから取得した、モデル画像データと、調整対象となる検査ロジックと、当該検査ロジックの所定の閾値等の検査パラメータが表示された状態である。ここで、所定の閾値等とは、過去に調整され、記憶部に記憶されていたものでもよいし、デフォルト値として用意されたものでもよい。

図５に示すロジック性能確認画面１１において、ユーザがロジック性能テストボタン１１６を押下することにより、所定の閾値等に基づいて、調整対象である検査ロジックについてロジック性能テストを実行して得られた、調整の基礎となる判定結果が表示部１０ｅに表示された状態で表示される画面が図６に示すロジック性能確認画面１２である。これは、図４に示すフローチャートにおけるステップＳ１に対応する。

図６に示すように、ロジック性能確認画面１２には、ロジック性能テストによる判定結果が表示される。見過ぎ数欄１１２には４（１）／５、見逃し数欄１１３には、１／２と表示されている。見過ぎ数欄１１２のかっこ内の数値は、許容品に対する結果を示す（見逃し数欄１１３についても同様である。）。

判定結果詳細表示１１４は、テストサンプルごとに、左から順に、電極高さ検査欄１１４ｈ、電極ズレ検査欄１１４ｉ、ぬれ検査欄１１４ｊ、ランド露出検査欄１１４ｋ、ぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍの各検査ロジックによる判定結果が横方向に表示される。例えば、Ｎｏ．１のテストサンプルについては、閾値１－２００としたときの電極高さ検査ロジックによる判定結果として、電極高さ検査欄１１４ｈにはＯＫ［１０］との判定結果表示１２１がなされている。ここで、ＯＫは良否の判定結果であり、角かっこ内の数値は計測値である。

各テストサンプルに対する、各検査ロジックによる判定結果の表示には、Ｎｏ．１のテストサンプルの電極高さ検査欄１１４ｈによる判定結果表示１２１のＯＫ［１０］のような通常表示以外に、特別の表示態様で表示される判定結果も含まれる。例えば、Ｎｏ．６のテストサンプルのぬれ検査欄１１４ｊにおける判定結果表示１２２のように灰色の太字で通常表示に比べて大きいフォントによる第１種判定結果表示と、ぬれ（ＡＩ）検査欄１２３における黒色の太字で通常表示に比べて大きいフォントによる第２種判定結果表示がある。この第１種判定結果表示と第２種判定結果表示は、検出の余裕度を示しており、第１種判定結果表示は余裕度１０％未満で検出されたことを示し、第２種判定結果表示は余裕度１０％以上で検出できたことを示す。また、Ｎｏ．７のテストサンプルの電極高さ検査欄１１４ｈの判定結果表示１２４のように黒色の斜体太字で通常表示に比べて大きいフォントによる第３種判定結果表示がある。この第３種判定結果表示は、見逃しを示している。さらに、Ｎｏ．１のテストサンプルのぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍの判定結果表示１２５のように灰色の斜体太字で通常表示に比べて大きいフォントによる第４種判定結果表示がある。この第４種判定結果表示は、見過ぎを示している。ここでは、図面の表記の都
合上、上述のような態様で表記しているが、実際には、例えば、第１種判定結果表示は黄色、第２種判定結果表示は緑色、第３種判定結果表示は赤色、第４種結果表示は青色というように通常表示とは表示色を種類ごとに変更してもよく、特別の表示態様はこれらに限られない。このように、判定結果の余裕度、見過ぎ、見逃しを通常表示とは異なる表示態様で表示することにより、各検査ロジックの性能を視覚的に端的に把握することができる。

次に、図６に示すロジック性能確認画面１２が表示部１０ｅに表示された状態で、ユーザが設定ボタン１１５を押下した場合について説明する。ユーザが設定ボタン１１５を押下すると、図７（Ａ）～（Ｄ）に示す優先度・余裕度設定画面１１５１～１１５４に遷移する。優先度・余裕度設定画面１１５１を例に説明する。優先度・余裕度設定画面１１５１は、不良種指定部１１５ａと優先度・余裕度設定欄１１５１ｂを含む。優先度及び余裕度は、不良種ごとに設定することができ、プルダウンメニューにより不良種を表示する不良種指定部１１５ａにより、不良種をぬれ、ランド露出、電極浮き等のように、設定したい不良種を指定する。優先度・余裕度設定画面１１５２、１１５３、１１５４はそれぞれ不良種指定部１１５ａにより、ぬれ、ランド露出、電極浮きを指定した場合を示す。図７（Ａ）に示すように、不良種指定部１１５ａにより、不良種を一括して指定することもできる。このロジック性能確認画面１１における設定ボタン１１５及び優先度・余裕度設定画面１１５１～１１５４に関連付けて、優先度及び余裕度が入力される入力部１０ｆが本発明の調整設定受付部に相当する。

優先度・余裕度設定欄１１５１ｂでは、検査タイプごとに、優先度と余裕度をそれぞれ設定することができる。優先度・余裕度設定欄１１５１ｂの優先度行１１５ｃ及び余裕度行１１５ｄには、計測検査欄１１５１ｅ、色検査欄１１５１ｆ、ＡＩ検査欄１１５１ｇが設けられている。

優先度とは、計測検査、色検査、ＡＩ検査の検査タイプそれぞれに対し、検出力と直行率のいずれを優先するかを示す指標である。
優先度として、検出力優先を選択した場合には、対象となる不良種のテストサンプルに対し、指定の余裕度を満足した上で、その検査タイプで必ず検出するように自動調整が行われる。
優先度として、直行率優先を選択した場合には、モデル判定結果がＯＫのテストサンプルに対し、その検査タイプでの見過ぎを最小にした上で、対象不良種のテストサンプルに対し見逃しが最小になるように自動調整が行われる。

余裕度とは、対象とする不良をＮＧとするのに閾値にどの程度の余裕を持たせるかを示す指標である。余裕度は基本的にはＮＧ判定の結果に対する数値であり、以下の式で表される。
余裕度＝１００×｜計測値－上限閾値又は下限閾値の計測値に近い方｜／計測値
余裕度は、優先度として、検出力優先を選択した場合に設定することができる。

優先度・余裕度設定画面１１５２～１１５４に示されるように、対応なしと表示され、優先度及び余裕度の設定を受け付けない検査タイプがある。これらは、指定された不良種に対して検査タイプが存在しない場合である。例えば、ランド露出には、計測検査、ＡＩ検査に該当する検査ロジックがないので、対応なしとしている。

優先度・余裕度設定画面１１５１等において、優先度及び余裕度を設定したのち、優先度・余裕度設定画面１１５１を閉じると、図６のロジック性能確認画面１１に戻る。設定された優先度及び余裕度は優先度・余裕度記憶部１０ｂに記憶される。

図６に示すロジック性能確認画面１２において、ユーザが、自動調整を選択する場合には、自動調整ボタン１１７を押下する。これは図４に示すフローチャートのステップＳ２に対応する。

上述の優先度及び余裕度に基づいて、自動調整処理部１０ｃが検査パラメータの自動調整を行う。そして、自動調整された検査パラメータに基づいてテストサンプルに対してロジック性能テストを実行して出力された判定結果を含むロジック性能確認画面１３を図８に示す。ここでは、図７（Ａ）に示すように、計測検査の優先度を検出力優先、色検査の優先度を検出力優先、ＡＩ検査の優先度を直行率優先とし、余裕度については、計測検査、色検査ともに１％と設定して自動調整した場合を例として説明する。これは、図４に示すフローチャートのステップＳ３～Ｓ８を経たステップＳ９に対応する。

図８に示すロジック性能確認画面１３では、見過ぎ数欄１１２の数値が、図６に示すロジック性能確認画面１２における４（１）／５から、０（１）／５に変化している。また、見逃し数欄１１３の数値も１／２から０／２に変化している。

また、図８に示すロジック性能確認画面１３では、電極高さ検査欄１１４ｈの閾値表示１３１が０－１８９となっており、図６に示すロジック性能確認画面１２における対応する閾値０－２００から変化している。これは、電極高さ検査（計測検査）に関する優先度及び余裕度の設定がそれぞれ検出力優先及び１％であり、対象とするＮＧ（電極浮き）のテストサンプルＮｏ.７の計測値が１９０であるため、上限閾値が１８８に変化したもの
である。閾値表示１３１の１８８のように自動調整により変化した数値は太字で表示されるので、自動調整による閾値の変化を明確に認識することができる。また、図８に示すロジック性能確認画面１３では、電極ズレ検査欄１１４ｉの閾値表示１３２が０－１１８に変化している。これは電極ズレ検査（計測検査）に関する優先度及び余裕度の設定がそれぞれ検出力優先及び１％であり、対象とするＮＧ（電極ズレ）のテストサンプルＮｏ.６
の計測値が１２０であるため、上限閾値が１１８に変化したものである。図８に示すロジック性能確認画面１３では、同様に、ぬれ検査欄１１４ｊの閾値表示１３３が０－７３に変化し、ぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍの閾値表示１３４も０－８９に変化していることがわかる。ランド露出については、ランド露出を対象とする不良種のテストサンプル含まれていないので、直行率優先の閾値や色パラメータに自動で調整される。

また、図８に示すロジック性能確認画面１３では、Ｎｏ．６のテストサンプルぬれ（ＡＩ）検査欄１１４ｍの判定結果１３５は、第３種判定結果表示のＯＫ［４０］となっており、ぬれ（ＡＩ）検査では見逃していることを示している。これは、色検査欄１１４ｆのぬれ検査欄１１４ｊの判定結果１３６は、ＮＧ［７４］となっており、上述の優先度の設定において、優先度が直交率優先と設定されたＡＩ検査に対して、優先度が検出力優先と設定された色検査のぬれ検査では検出できているためである。

このように、ユーザが設定した優先度及び余裕度に基づいて、検査ロジックの検査パラメータを自動調整することにより、短時間で適切な検査ロジックの調整を実現することができる。

検査ロジックの自動調整においては、上述のように閾値の変更に限らず、色検査における色パラメータを変更してもよいし、ＡＩ検査におけるＡＩモデルを変更してもよい。また、検査ロジックの自動調整においては、各検査ロジックのオン・オフを切り替えてもよい。

図６に示すロジック性能確認画面１２及び図８に示すロジック性能確認画面１３では、判定結果に関わらず、対象となっている品番グループに含まれる全てのテストサンプルに
関する判定結果を示す行が表示されているが、テストサンプルの判定結果の表示態様はこれに限られない。例えば、調整の対象となっている検査ロジックによって検出すべき不良に関連するテストサンプルのみを表示を表示するようにしてもよいし、見逃し又は見過ぎ、若しくはその両方の判定結果を示すテストサンプルに関する判定結果のみを表示し、ユーザが選択した場合に、他のテストサンプルに関する判定結果が展開して表示されるようにしてもよい。このようなテストサンプルごとの表示態様はこれに限られない。

＜付記１＞
被検査物を撮像したモデル画像と、該被検査物の良否を判定したモデル判定結果とを関連付けたモデル画像データと、前記被検査物を撮像した画像情報に基づいて該被検査物を検査して良否を判定する検査ロジックと、前記検査ロジックを実行する際に用いられる検査パラメータと、を記憶した記憶部（２０）と、
所定の前記検査パラメータを用いた前記検査ロジックに基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定する該検査ロジックのロジック性能テストを実行し、該良否をテスト判定結果として出力するテスト処理部（１０ａ）と、
前記モデル判定結果と、前記テスト判定結果とに基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方により該検査ロジックを調整する自動調整処理部（１０ｃ）と、
前記テスト処理部（１０ａ）による、前記モデル画像に対する、前記自動調整処理部（１０ｃ）によって調整された前記検査ロジックによる前記テスト判定結果と、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果とを含む結果確認画面（１１～１３）を生成する結果確認画面生成部（１０ｄ）と、
前記結果確認画面（１１～１３）を表示する表示部（１０ｅ）と、
を備え、
前記結果確認画面（１１～１３）は、
前記モデル画像ごとの、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記ロジック性能テストの対象となった複数の前記検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる前記検査パラメータとに関連付けられた、該ロジック性能テストによる前記テスト判定結果と、
を含むことを特徴とする検査ロジック調整装置。

１０ ：ティーチング端末
１０ａ ：性能テスト処理部
１０ｂ ：優先度・余裕度記憶部
１０ｃ ：自動調整処理部
１０ｄ ：画面生成部
１０ｅ ：表示部
１０ｆ ：入力部
１１～１３ ：ロジック調整画面
２０ ：データベース

Claims (10)

1. 被検査物を撮像したモデル画像と、該被検査物の良否を判定したモデル判定結果とを関連付けたモデル画像データと、前記被検査物を撮像した画像情報に基づいて該被検査物を検査して良否を判定する検査ロジックと、前記検査ロジックを実行する際に用いられる検査パラメータと、を記憶した記憶部と、
   所定の前記検査パラメータを用いた前記検査ロジックに基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定する該検査ロジックのロジック性能テストを実行し、該良否をテスト判定結果として出力するテスト処理部と、
   前記モデル判定結果と、前記テスト判定結果とに基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方により該検査ロジックを調整する自動調整処理部と、
   前記テスト処理部による、前記モデル画像に対する、前記自動調整処理部によって調整された前記検査ロジックによる前記テスト判定結果と、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果とを含む結果確認画面を生成する結果確認画面生成部と、
   前記結果確認画面を表示する表示部と、
   を備え、
   前記結果確認画面は、
   前記モデル画像ごとの、該モデル画像に関連付けられた前記モデル判定結果と、前記ロジック性能テストの対象となった複数の前記検査ロジック及び該検査ロジックに用いられる前記検査パラメータとに関連付けられた、該ロジック性能テストによる前記テスト判定結果と、
   を含むことを特徴とする検査ロジック調整装置。
2. 前記自動調整処理部において、前記検査ロジックを調整する際の、複数の前記検査ロジックにおける優先度又は良否判定の余裕度の設定を受け付ける調整設定受付部を備え、
   前記自動調整処理部は、設定された前記優先度又は前記余裕度に基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方を調整することを特徴とする請求項１に記載の検査ロジック調整装置。
3. 前記テスト処理部は、複数の前記検査ロジックによる前記テスト判定結果に基づいて、前記モデル画像に撮像された被検査物の良否を判定し、該良否をテスト総合判定結果として出力することを特徴とする請求項１又は２に記載の検査ロジック調整装置。
4. テスト総合判定結果は、複数の前記検査ロジックによる前記テスト判定結果の論理計算によって導出されることを特徴とする請求項３に記載の検査ロジック調整装置。
5. 前記モデル画像データは、前記被検査物の不良の種別に関する不良種情報を含み、
   前記結果確認画面は、前記モデル画像ごとの、前記不良種情報を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の検査ロジック調整装置。
6. 前記記憶部は、前記検査ロジックと該検査ロジックが検出すべき対象とする不良種である対象不良種とを対応付けた対象不良種情報を記憶し、
   前記自動調整処理部は、前記モデル画像データに含まれる前記不良種情報と、前記対象不良種情報とに基づいて、前記検査ロジックの選択及び前記検査パラメータの設定の少なくともいずれか一方を調整することを特徴とする請求項５に記載の検査ロジック調整装置。
7. 前記結果確認画面は、前記ロジック性能テストによる見逃し及び見過ぎの少なくともいずれか一方に関する件数を含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の
   検査ロジック調整装置。
8. 前記結果確認画面は、前記検査ロジック及び該検査ロジックの前記調整された前記検査パラメータに基づく判定結果に応じて該判定結果を異なる態様で表示される前記テスト判定結果を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査ロジック調整装置。
9. 前記結果確認画面生成部は、前記モデル判定結果及び前記テスト判定結果に基づいて、前記モデル画像ごとの表示態様を変更することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の検査ロジック調整装置。
10. 前記テスト処理部は、前記モデル画像データに基づいて生成された補助モデル画像と補助モデル判定結果を含む補助モデル画像データを含めて、前記ロジック性能テストを実行することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の検査ロジック調整装置。
    

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