JP6732047B2 - Method for manufacturing insulating layer and method for manufacturing multilayer printed circuit board - Google Patents

Method for manufacturing insulating layer and method for manufacturing multilayer printed circuit board Download PDF

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Description

関連出願との相互参照
本出願は、2016年10月24日付の韓国特許出願第10−2016−0138673号および2017年10月20日付の韓国特許出願第10−2017−0136513号に基づく優先権の利益を主張し、当該韓国特許出願の文献に開示されたすべての内容は本明細書の一部として含まれる。
Cross-reference with Related Applications This application has priority based on Korean Patent Application No. 10-2016-0138673 of October 24, 2016 and Korean Patent Application No. 10-2017-0136513 of October 20, 2017. All contents disclosed in the literature of the Korean patent application claiming benefit are included as part of this specification.

本発明は、絶縁層の製造方法および多層印刷回路基板の製造方法に関する。より詳しくは、より速やかでかつ簡単な方法で製造可能で工程の効率性が向上でき、絶縁層の物理的損傷を防止でき、厚さ調節が容易な絶縁層の製造方法および前記絶縁層の製造方法から得られる絶縁層を用いた多層印刷回路基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a method of manufacturing an insulating layer and a method of manufacturing a multilayer printed circuit board. More specifically, it can be manufactured by a quicker and simpler method, the efficiency of the process can be improved, physical damage to the insulating layer can be prevented, and the thickness of the insulating layer can be easily adjusted. The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed circuit board using an insulating layer obtained by the method.

最近の電子機器は、ますます小型化、軽量化、高機能化されている。このために、小型機器を中心にビルド−アップPCB(Build−up Printed Circuit Board)の応用分野が急速に拡大するにつれ、多層印刷回路基板の使用が急速に増加している。 Recent electronic devices are becoming smaller, lighter and more sophisticated. For this reason, as the application field of build-up printed circuit boards (PCBs) is rapidly expanding, centering on small devices, the use of multilayer printed circuit boards is rapidly increasing.

多層印刷回路基板は、平面的配線から立体的な配線が可能であり、特に、産業用電子分野では、IC(integrated circuit)、LSI(large scale integration)などの機能素子の集積度向上と共に、電子機器の小型化、軽量化、高機能化、構造的な電気的機能統合、組立時間の短縮およびコスト低減などに有利な製品である。 The multi-layer printed circuit board is capable of three-dimensional wiring from planar wiring. Particularly, in the field of industrial electronics, the integration of functional elements such as ICs (integrated circuits) and LSIs (large scale integration) is improved, and This product is advantageous for downsizing, weight reduction, high functionality, structural electrical function integration, shortening of assembly time and cost reduction.

このような応用領域に使用されるビルド−アップPCBは、必ず各層間の連結が要求され、このために、多層印刷回路基板の層間の電気的連結通路に相当するビアホール(via hole)を形成する方式を使用してきたが、ビアホールの直径を低減するのに限界があり、高密度化を達成しにくい限界があった。 In the build-up PCB used in such an application area, connection between layers is always required, and thus a via hole corresponding to an electrical connection path between layers of a multilayer printed circuit board is formed. Although the method has been used, there is a limit in reducing the diameter of the via hole, and there is a limit in achieving high density.

そこで、ビアホールより小さい直径を有する微細突起を用いて多層印刷回路基板の層間の電気的連結通路として活用する方策が提案された。しかし、従来使用される方式は、単一回路上に金属成分の微細突起を形成した後、絶縁層で微細突起を覆い、微細突起が表面に露出するまで絶縁層を物理的に除去する方式がほとんどであり、これにより、物理的な除去過程で絶縁層が割れやすかったり、所望の厚さを容易に合わせにくい限界があった。 Therefore, a method has been proposed in which fine protrusions having a diameter smaller than that of a via hole are used as an electrical connection path between layers of a multilayer printed circuit board. However, the conventional method is to form fine protrusions of a metal component on a single circuit, cover the fine protrusions with an insulating layer, and physically remove the insulating layer until the fine protrusions are exposed on the surface. In most cases, the insulating layer is liable to crack during the physical removal process, and it is difficult to adjust the desired thickness easily.

本発明は、より速やかでかつ簡単な方法で製造可能で工程の効率性が向上でき、絶縁層の物理的損傷を防止でき、厚さ調節が容易な絶縁層の製造方法を提供する。 The present invention provides a method for manufacturing an insulating layer, which can be manufactured by a quicker and simpler method, can improve process efficiency, prevent physical damage to the insulating layer, and can easily adjust the thickness.

また、本発明は、前記絶縁層の製造方法から得られる絶縁層を用いた多層印刷回路基板の製造方法を提供する。 The present invention also provides a method for manufacturing a multilayer printed circuit board using an insulating layer obtained from the method for manufacturing an insulating layer.

本明細書では、表面に金属突起が形成された導体配線を、アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーを含む高分子樹脂層で密封する段階と、前記高分子樹脂層を1次硬化させる段階と、前記硬化した高分子樹脂層の表面をアルカリ水溶液でエッチングして金属突起を露出させる段階と、前記金属突起が露出した状態で、高分子樹脂層を2次硬化させる段階とを含む、絶縁層の製造方法が提供される。 In the present specification, a step of sealing a conductor wiring having a metal protrusion formed on a surface thereof with a polymer resin layer containing an alkali-soluble resin and a thermosetting binder, and a step of primary curing the polymer resin layer, The insulating layer of the insulating layer includes the steps of etching the surface of the cured polymer resin layer with an alkaline aqueous solution to expose the metal protrusions, and secondly curing the polymer resin layer with the metal protrusions exposed. A manufacturing method is provided.

本明細書ではまた、前記絶縁層の製造方法により製造された絶縁層上に金属パターン層を形成する段階を含む、多層印刷回路基板の製造方法が提供される。 The present specification also provides a method of manufacturing a multilayer printed circuit board, which includes the step of forming a metal pattern layer on the insulating layer manufactured by the method of manufacturing an insulating layer.

以下、発明の具体的な実施形態に係る絶縁層の製造方法および多層印刷回路基板の製造方法についてより詳細に説明する。 Hereinafter, a method of manufacturing an insulating layer and a method of manufacturing a multilayer printed circuit board according to specific embodiments of the present invention will be described in more detail.

発明の一実施形態によれば、表面に金属突起が形成された導体配線を、アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーを含む高分子樹脂層で密封する段階と、前記高分子樹脂層を1次硬化させる段階と、前記硬化した高分子樹脂層の表面をアルカリ水溶液でエッチングして金属突起を露出させる段階と、前記金属突起が露出した状態で、高分子樹脂層を2次硬化させる段階とを含む、絶縁層の製造方法が提供される。 According to one embodiment of the present invention, a step of sealing a conductor wiring having a metal protrusion formed on a surface thereof with a polymer resin layer containing an alkali-soluble resin and a thermosetting binder, and first curing the polymer resin layer. A step of etching the surface of the cured polymer resin layer with an alkaline aqueous solution to expose the metal protrusions, and a step of secondarily curing the polymer resin layer with the metal protrusions exposed. A method of manufacturing an insulating layer is provided.

本発明者らは、前記一実施形態の絶縁層の製造方法を利用すれば、高分子樹脂層によって密封された金属突起をアルカリ水溶液による化学的エッチングにより露出させることによって、絶縁層の物理的損傷を防止でき、絶縁層の厚さを容易に所望の範囲に調節できるだけでなく、より速い時間内により容易な工程により絶縁層を製造可能で工程の効率性が向上することを、実験を通して確認して、発明を完成した。 According to the method of manufacturing an insulating layer of the embodiment, the present inventors expose the metal protrusions sealed by the polymer resin layer by chemical etching with an alkaline aqueous solution to thereby physically damage the insulating layer. It was confirmed through experiments that not only can the insulation layer be prevented and the thickness of the insulation layer can be easily adjusted to a desired range, but also that the insulation layer can be manufactured by an easier process in a shorter time and the process efficiency can be improved. And completed the invention.

特に、前記一実施形態の絶縁層の製造方法では、特定のアルカリ水溶液によって適正水準の安定したエッチングが進行できる新規な成分の高分子樹脂を適用して絶縁層の表面に容易に金属突起を露出させることができて、露出した金属突起を介して容易に多層回路基板を製造できるという利点がある。 Particularly, in the method for manufacturing an insulating layer of the one embodiment, a polymer resin of a novel component capable of advancing stable etching at a proper level by a specific alkaline aqueous solution is applied to easily expose metal projections on the surface of the insulating layer. Therefore, there is an advantage that the multilayer circuit board can be easily manufactured through the exposed metal protrusion.

より具体的には、前記一実施形態の絶縁層の製造方法は、表面に金属突起が形成された導体配線を、アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーを含む高分子樹脂層で密封する段階と、前記高分子樹脂層を1次硬化させる段階と、前記硬化した高分子樹脂層の表面をアルカリ水溶液でエッチングして金属突起を露出させる段階と、前記金属突起が露出した状態で、高分子樹脂層を2次硬化させる段階とを含むことができる。 More specifically, the method for producing an insulating layer according to the one embodiment includes a step of sealing a conductor wiring having a metal protrusion formed on a surface thereof with a polymer resin layer containing an alkali-soluble resin and a thermosetting binder, A step of first curing the polymer resin layer; a step of etching the surface of the cured polymer resin layer with an alkaline aqueous solution to expose the metal protrusions; and a step of exposing the metal protrusions to the polymer resin layer. Secondary curing.

まず、表面に金属突起が形成された導体配線を、アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーを含む高分子樹脂層で密封する段階で、前記導体配線は、表面に金属突起が形成される。前記導体配線の表面に金属突起を形成する方法の例が大きく限定されるものではなく、例えば、感光性樹脂層パターンの開口部に対するメッキ工程、または接着剤を用いた接着工程などを使用することができる。 First, at the stage of sealing the conductor wiring having the metal protrusion formed on the surface with the polymer resin layer containing the alkali-soluble resin and the thermosetting binder, the conductor wiring has the metal protrusion formed on the surface. The example of the method of forming the metal protrusion on the surface of the conductor wiring is not particularly limited, and, for example, a plating process for the opening of the photosensitive resin layer pattern or a bonding process using an adhesive agent may be used. You can

前記感光性樹脂層パターンの開口部に対するメッキ工程の具体例を挙げると、導体配線上に感光性樹脂層を積層する段階と、前記感光性樹脂層にパターンを形成する段階と、電気メッキする段階とを含む金属突起の形成方法を使用することができる。 Specific examples of the plating process for the openings of the photosensitive resin layer pattern include a step of laminating a photosensitive resin layer on a conductor wiring, a step of forming a pattern on the photosensitive resin layer, and a step of electroplating. Any method of forming metal protrusions including and can be used.

より具体的には、前記感光性樹脂層は、感光性およびアルカリ可溶性を示すことができる。これにより、前記感光性樹脂層に光を照射する露光工程によって分子構造の変形が進行でき、アルカリ性の現像液を接触させる現像工程によって樹脂層のエッチングまたは除去が可能である。 More specifically, the photosensitive resin layer can exhibit photosensitivity and alkali solubility. Accordingly, the deformation of the molecular structure can be promoted by the exposure step of irradiating the photosensitive resin layer with light, and the resin layer can be etched or removed by the developing step of contacting with an alkaline developing solution.

したがって、前記感光性樹脂層に対して選択的に一部分を露光させた後、アルカリ現像すると、露光した部分は現像されず、露光しない部分のみ選択的にエッチング、除去できる。このように、露光によってアルカリ現像されずそのまま残っている感光性樹脂層の一部分を感光性樹脂パターンという。 Therefore, if the photosensitive resin layer is selectively exposed to light and then alkali-developed, the exposed portion is not developed and only the unexposed portion can be selectively etched and removed. Thus, a part of the photosensitive resin layer which is left as it is without being alkali-developed by exposure is called a photosensitive resin pattern.

つまり、前記感光性樹脂層を露光する方法の例を挙げると、前記感光性樹脂層上に所定のパターンの形成されたフォトマスクを接触し紫外線を照射したり、マスクに含まれている所定のパターンをプロジェクション対物レンズを通してイメージングした後に紫外線を照射したり、レーザダイオード(Laser Diode)を光源として用いて直接イメージングした後に紫外線を照射するなどの方式などにより選択的に露光できる。この時、紫外線照射条件の例としては、5mJ/cm〜600mJ/cmの光量で照射することが挙げられる。 That is, to give an example of a method of exposing the photosensitive resin layer, a photomask having a predetermined pattern formed on the photosensitive resin layer is brought into contact with the photomask to irradiate ultraviolet rays, or a predetermined pattern contained in the mask. The pattern can be selectively exposed by, for example, irradiating with ultraviolet rays after imaging through a projection objective lens, or directly irradiating with ultraviolet rays after directly imaging using a laser diode as a light source. At this time, examples of the ultraviolet irradiation conditions include irradiation with a light amount of 5 mJ/cm 2 to 600 mJ/cm 2 .

また、前記感光性樹脂層に対する露光後にアルカリ現像する方法の例としては、アルカリ現像液を処理する方法が挙げられる。前記アルカリ現像液の例が大きく限定されるものではないが、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、アミン類などのアルカリ水溶液の濃度と温度を調節して使用することができ、商品として販売するアルカリ現像液も使用可能である。前記アルカリ現像液の具体的な使用量は大きく制限されないが、前記感光性樹脂パターンを損傷しない濃度と温度への調節が必要であり、例えば、25℃〜35℃の炭酸ナトリウム0.5%〜3%水溶液を使用することができる。 Moreover, as an example of the method of carrying out alkali development after exposing the said photosensitive resin layer, the method of processing an alkali developing solution is mentioned. Examples of the alkaline developer are not particularly limited, and examples thereof include potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, tetramethylammonium hydroxide, amines. It is possible to adjust the concentration and temperature of the alkaline aqueous solution such as the above, and it is also possible to use the alkaline developer sold as a product. Although the specific amount of the alkaline developer used is not particularly limited, it is necessary to adjust the concentration and temperature so as not to damage the photosensitive resin pattern. For example, sodium carbonate 0.5% at 25°C to 35°C may be used. A 3% aqueous solution can be used.

一方、前記電気メッキ段階で、メッキ方法の例としては、乾式蒸着工程または湿式蒸着工程が挙げられ、具体的な前記乾式蒸着工程の例としては、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング方法などが挙げられる。 On the other hand, in the electroplating step, examples of the plating method include a dry deposition process or a wet deposition process, and specific examples of the dry deposition process include vacuum deposition, ion plating, and a sputtering method. To be

一方、具体的な湿式蒸着工程の例としては、多様な金属の無電解メッキなどがあり、無電解銅メッキが一般的であり、蒸着前または後に粗化処理工程をさらに含んでもよい。 On the other hand, as a specific example of the wet deposition process, there are electroless plating of various metals, etc., and electroless copper plating is generally used, and a roughening process process may be further included before or after the deposition.

前記粗化処理工程にも、条件に応じて乾式および湿式方法があり、前記乾式方法の例としては、真空、常圧、気体別プラズマ処理、気体別Excimer UV処理などが挙げられ、前記湿式方法の例としては、デスミア処理を使用することができる。このような粗化処理工程により、前記金属薄膜の表面粗さを高めて金属薄膜上に蒸着される金属との密着力を向上させることができる。 The roughening treatment step also includes a dry method and a wet method depending on the conditions. Examples of the dry method include vacuum, atmospheric pressure, plasma treatment by gas, and Excimer UV treatment by gas. As an example, a desmear process can be used. By such a roughening treatment step, it is possible to increase the surface roughness of the metal thin film and improve the adhesion to the metal deposited on the metal thin film.

また、金属突起のみを残すために、電気メッキする段階の後に、感光性樹脂層を除去する段階をさらに含んでもよい。前記感光性樹脂パターンの除去時には、下部の導体配線と金属突起はなるべく除去しない一方で、感光性樹脂層のみを除去できる方法を使用することが好ましい。 Further, a step of removing the photosensitive resin layer may be further included after the step of electroplating so as to leave only the metal protrusion. At the time of removing the photosensitive resin pattern, it is preferable to use a method in which only the photosensitive resin layer can be removed while the lower conductor wiring and the metal protrusion are not removed as much as possible.

前記感光性樹脂パターンの剥離方法の具体的な例を挙げると、フォトレジスト剥離液を処理したり、デスミア(desmear)工程またはプラズマエッチングなどを進行させることができ、前記の方法を混用することもできる。 As a specific example of the method for removing the photosensitive resin pattern, a photoresist removing solution can be treated, a desmear step or plasma etching can be performed, and the above methods can be mixed. it can.

一方、前記接着剤を用いた接着工程の具体例を挙げると、miccのような受動素子や半導体チップのような能動素子の表面に金属突起を形成した後、形成された金属突起の反対側を絶縁接着剤などを用いて導体配線の表面に接着する方法を使用することができる。この時、前記受動素子または能動素子の表面に金属突起を形成する方法は、上述した感光性樹脂層パターンの開口部に対するメッキ工程の方法をそのまま使用することができる。例えば、受動素子または能動素子の表面に感光性樹脂層パターンを形成した後、パターンの開口部に金属をメッキする方法を使用することができる。 On the other hand, to give a specific example of the bonding process using the adhesive, after forming a metal protrusion on the surface of a passive element such as micc or an active element such as a semiconductor chip, the opposite side of the formed metal protrusion is used. A method of adhering to the surface of the conductor wiring with an insulating adhesive or the like can be used. At this time, as the method of forming the metal protrusion on the surface of the passive element or the active element, the method of the plating process for the opening of the photosensitive resin layer pattern can be used as it is. For example, a method of forming a photosensitive resin layer pattern on the surface of a passive element or an active element and then plating a metal on the opening of the pattern can be used.

前記高分子樹脂層の厚さは、1μm〜500μm、または3μm〜500μm、または3μm〜200μm、または1μm〜60μm、または5μm〜30μmであってもよく、前記金属突起は、1μm〜20μmの高さおよび5μm〜30μmの断面直径を有することができる。前記断面直径とは、前記金属突起の高さ方向に垂直な方向に前記金属突起を切断した断面の直径、または最大直径を意味することができる。例えば、前記金属突起の形状としては、円柱、円錐台、多角柱、多角錐台、逆円錐台、または逆多角錐台などが挙げられる。前記金属突起に含まれている金属成分の例も大きく限定されるものではなく、例えば、銅、アルミニウムなどの導電性金属を使用することができる。 The polymer resin layer may have a thickness of 1 μm to 500 μm, or 3 μm to 500 μm, or 3 μm to 200 μm, or 1 μm to 60 μm, or 5 μm to 30 μm, and the metal protrusion has a height of 1 μm to 20 μm. And can have a cross-sectional diameter of 5 μm to 30 μm. The cross-sectional diameter may mean a diameter of a cross section of the metal protrusion cut in a direction perpendicular to the height direction of the metal protrusion, or a maximum diameter. For example, the shape of the metal protrusion may be a cylinder, a truncated cone, a polygonal prism, a polygonal truncated cone, an inverted truncated cone, an inverted polygonal truncated cone, or the like. The example of the metal component contained in the metal protrusion is not particularly limited, and for example, a conductive metal such as copper or aluminum can be used.

前記表面に金属突起が形成された導体配線は、高分子樹脂層で密封できる。より具体的には、前記導体配線は、下部に回路基板、シート、多層プリント配線板などの半導体材料を含む基材上に形成された状態で存在できる。このように基材上に導体配線が存在する状態で、基材上に高分子樹脂層を形成する方法により前記導体配線が密封できる。 The conductor wiring having the metal protrusion formed on the surface may be sealed with a polymer resin layer. More specifically, the conductor wiring can be present in a state of being formed on a base material containing a semiconductor material such as a circuit board, a sheet, and a multilayer printed wiring board at the bottom. With the conductor wiring present on the base material in this manner, the conductor wiring can be sealed by the method of forming the polymer resin layer on the base material.

高分子樹脂層を基材上に形成する方法の例が大きく限定されるものではないが、例えば、前記高分子樹脂層を形成するための高分子樹脂組成物を基材上に直接コーティングしたり、キャリアフィルム上に高分子樹脂組成物を塗布して高分子樹脂層を形成した後、基材と高分子樹脂層をラミネートする方法などを使用することができる。 The example of the method for forming the polymer resin layer on the substrate is not particularly limited, but for example, a polymer resin composition for forming the polymer resin layer may be directly coated on the substrate. Alternatively, a method of applying a polymer resin composition on a carrier film to form a polymer resin layer, and then laminating a base material and the polymer resin layer can be used.

前記表面に金属突起が形成された導体配線が高分子樹脂層で密封されることによって、前記導体配線は、下部に形成された基材と接触する部分および金属突起と接触する部分を除いたすべての表面が高分子樹脂層と接触できる。また、前記導体配線の表面に形成された金属突起のすべての表面も高分子樹脂層によって密封されて高分子樹脂層と接触できる。 By sealing the conductor wiring having the metal protrusion formed on the surface with the polymer resin layer, the conductor wiring is formed in all parts except the portion contacting the base material formed below and the portion contacting the metal protrusion. The surface of the can contact the polymer resin layer. Further, all the surfaces of the metal protrusions formed on the surface of the conductor wiring may be sealed with the polymer resin layer and contact the polymer resin layer.

前記高分子樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーを含む高分子樹脂組成物の乾燥により形成されたフィルムを意味する。前記高分子樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、熱硬化性バインダー1重量部〜150重量部、または10重量部〜100重量部、または20重量部〜50重量部を含むことができる。前記熱硬化性バインダーの含有量が多すぎると、前記高分子樹脂層の現像性が低下し、強度が低下しうる。逆に、熱硬化性バインダーの含有量が過度に低くなると、前記高分子樹脂層が過度に現像されるだけでなく、コーティング時の均一性が低下しうる。 The polymer resin layer means a film formed by drying a polymer resin composition containing an alkali-soluble resin and a thermosetting binder. The polymer resin layer may include 1 part by weight to 150 parts by weight, or 10 parts by weight to 100 parts by weight, or 20 parts by weight to 50 parts by weight of 100 parts by weight of the alkali-soluble resin. it can. When the content of the thermosetting binder is too large, the developability of the polymer resin layer may be deteriorated and the strength may be decreased. On the other hand, if the content of the thermosetting binder is too low, not only the polymer resin layer is excessively developed but also the uniformity during coating may be deteriorated.

前記熱硬化性バインダーは、熱硬化可能な官能基、オキセタニル基、環状エーテル基、環状チオエーテル基、シアニド基、マレイミド基、およびベンゾキサジン基からなる群より選択された1種以上の官能基、並びにエポキシ基を含むことができる。つまり、前記熱硬化性バインダーは、エポキシ基を必ず含み、エポキシ基のほか、オキセタニル基、環状エーテル基、環状チオエーテル基、シアニド(cyanide)基、マレイミド(maleimide)基、ベンゾキサジン(benzoxazine)基、またはこれらの2種以上を混合して含むことができる。このような熱硬化性バインダーは、熱硬化によってアルカリ可溶性樹脂などと架橋結合を形成して、絶縁層の耐熱性または機械的物性を担保できる。 The thermosetting binder is one or more functional groups selected from the group consisting of a thermosetting functional group, an oxetanyl group, a cyclic ether group, a cyclic thioether group, a cyanide group, a maleimide group, and a benzoxazine group, and an epoxy. A group can be included. That is, the thermosetting binder always contains an epoxy group, and in addition to the epoxy group, an oxetanyl group, a cyclic ether group, a cyclic thioether group, a cyanide group, a maleimide group, a benzoxazine group, or Two or more of these may be mixed and included. Such a thermosetting binder forms a cross-linking bond with an alkali-soluble resin or the like by thermosetting, and can ensure the heat resistance or mechanical properties of the insulating layer.

より具体的には、前記熱硬化性バインダーとしては、分子内に上述した官能基を2以上含む多官能性樹脂化合物を使用することができる。 More specifically, as the thermosetting binder, a polyfunctional resin compound containing two or more of the above-described functional groups in the molecule can be used.

前記多官能性樹脂化合物は、分子中に2個以上の環状エーテル基および/または環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基という)を含む樹脂を含むことができる。 The polyfunctional resin compound may include a resin containing two or more cyclic ether groups and/or cyclic thioether groups (hereinafter referred to as cyclic (thio)ether groups) in the molecule.

前記分子中に2個以上の環状(チオ)エーテル基を含む熱硬化性バインダーは、分子中に3、4または5員環の環状エーテル基、または環状チオエーテル基のうちのいずれか一方または2種の基を少なくとも2個以上有する化合物を含むことができる。 The thermosetting binder containing two or more cyclic (thio)ether groups in the molecule is a cyclic ether group having a 3-, 4-, or 5-membered ring in the molecule, or a cyclic thioether group, or two kinds thereof. It is possible to include a compound having at least two groups of the above.

前記分子中に2個以上の環状チオエーテル基を有する化合物としては、例えば、ジャパンエポキシレジン社製のビスフェノールA型エピスルフィド樹脂YL7000などが挙げられる。 Examples of the compound having two or more cyclic thioether groups in the molecule include bisphenol A type episulfide resin YL7000 manufactured by Japan Epoxy Resins.

また、前記多官能性樹脂化合物は、分子中に少なくとも2個以上のエポキシ基を含む多官能エポキシ化合物、分子中に少なくとも2個以上のオキセタニル基を含む多官能オキセタン化合物、または分子中に2個以上のチオエーテル基を含むエピスルフィド樹脂、分子中に少なくとも2個以上のシアニド基を含む多官能シアネートエステル化合物、または分子中に少なくとも2個以上のベンゾキサジン基を含む多官能ベンゾキサジン化合物などを含むことができる。 The polyfunctional resin compound is a polyfunctional epoxy compound containing at least two epoxy groups in the molecule, a polyfunctional oxetane compound containing at least two oxetanyl groups in the molecule, or two molecules in the molecule. An episulfide resin containing the above thioether group, a polyfunctional cyanate ester compound containing at least two or more cyanide groups in the molecule, or a polyfunctional benzoxazine compound containing at least two or more benzoxazine groups in the molecule can be contained. ..

前記多官能エポキシ化合物の具体例としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水素添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、N−グリシジル型エポキシ樹脂、ビスフェノールAのノボラック型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、キレート型エポキシ樹脂、グリオキサール型エポキシ樹脂、アミノ基含有エポキシ樹脂、ゴム変性エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンフェノリック型エポキシ樹脂、ジグリシジルフタレート樹脂、ヘテロサイクリックエポキシ樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、ε−カプロラクトン変性エポキシ樹脂などが挙げられる。また、難燃性付与のために、リンなどの原子がその構造中に導入されたものを使用することもできる。これらエポキシ樹脂は熱硬化することによって、硬化被膜の密着性、ハンダ耐熱性、無電解メッキ耐性などの特性を向上させる。 Specific examples of the polyfunctional epoxy compound include, for example, bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, novolac type epoxy resin. Resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, N-glycidyl type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, chelate type epoxy resin, glyoxal type epoxy resin, Amino group-containing epoxy resin, rubber modified epoxy resin, dicyclopentadiene phenolic epoxy resin, diglycidyl phthalate resin, heterocyclic epoxy resin, tetraglycidyl xylenoylethane resin, silicone modified epoxy resin, ε-caprolactone modified epoxy resin, etc. Are listed. Further, for the purpose of imparting flame retardancy, it is possible to use one in which an atom such as phosphorus is introduced into the structure. By heat-curing these epoxy resins, the properties of the cured coating such as adhesion, solder heat resistance and electroless plating resistance are improved.

前記多官能オキセタン化合物としては、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやこれらのオリゴマーまたは共重合体などの多官能オキセタン類のほか、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、またはシルセスキオキサンなどのヒドロキシ基を有する樹脂とのエーテル化物などが挙げられる。その他の、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。 Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis[(3-methyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ether, bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ether, 1,4-bis[(3-methyl -3-Oxetanylmethoxy)methyl]benzene, 1,4-bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]benzene, (3-methyl-3-oxetanyl)methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) ) Methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl)methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl)methyl methacrylate, and other polyfunctional oxetanes such as oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolac resin, Examples thereof include poly(p-hydroxystyrene), cardo type bisphenols, calixarenes, calixresorcinarenes, and etherified products with a resin having a hydroxy group such as silsesquioxane. Other examples include a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth)acrylate.

前記多官能シアネートエステル化合物の例としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールF型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールS型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールM型シアネートエステル樹脂、ノボラック型シアネートエステル樹脂、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂、クレゾールノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールAのノボラック型シアネートエステル樹脂、ビフェノール型シアネートエステル樹脂やこれらのオリゴマーまたは共重合体などが挙げられる。 Examples of the polyfunctional cyanate ester compound include bisphenol A type cyanate ester resin, bisphenol E type cyanate ester resin, bisphenol F type cyanate ester resin, bisphenol S type cyanate ester resin, bisphenol M type cyanate ester resin, novolac type cyanate ester. Examples thereof include resins, phenol novolac type cyanate ester resins, cresol novolac type cyanate ester resins, bisphenol A novolac type cyanate ester resins, biphenol type cyanate ester resins, and oligomers or copolymers thereof.

前記多官能マレイミド化合物の例としては、4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド(4,4’−diphenylmethane bismaleimide)、フェニルメタンビスマレイミド(phenylmethane bismaleimide)、m−フェニルメタンビスマレイミド(m−phenylmethane bismaleimide)、ビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド(bisphenol A diphenyl ether bismaleimide)、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド(3,3’−dimethyl−5,5’−diethyl−4,4’−diphenylmethane bismaleimide)、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド(4−methyl−1,3−phenylene bismaleimide)、1,6’−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン(1,6’−bismaleimide−(2,2,4−trimethyl)hexane)などが挙げられる。 Examples of the polyfunctional maleimide compound include 4,4′-diphenylmethane bismaleimide (4,4′-diphenylmethane bismaleimide), phenylmethane bismaleimide, m-phenylmethane bismaleimide, Bisphenol A diphenyl ether bismaleimide, 3,3'-dimethyl-5,5'-diethyl-4,4'-diphenylmethane bismaleimide (3,3'-dimethyl-5,5'-diethyl- 4,4′-diphenymethane bismaleimide), 4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide (4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide), 1,6′-bismaleimide-(2,2,4-trimethyl) Hexane (1,6'-bismaleimide-(2,2,4-trimethyl)hexane) and the like can be mentioned.

前記多官能ベンゾキサジン化合物の例としては、ビスフェノールA型ベンゾキサジン樹脂、ビスフェノールF型ベンゾキサジン樹脂、フェノールフタレイン型ベンゾキサジン樹脂、チオジフェノール型ベンゾキサジン樹脂、ジシクロペンタジエン型ベンゾキサジン樹脂、3,3’−(メチレン−1,4−ジフェニレン)ビス(3,4−ジヒドロ−2H−1,3−ベンゾキサジン(3,3’−(methylene−1,4−diphenylene)bis(3,4−dihydro−2H−1,3−benzoxazine)樹脂などが挙げられる。 Examples of the polyfunctional benzoxazine compound include bisphenol A type benzoxazine resin, bisphenol F type benzoxazine resin, phenolphthalein type benzoxazine resin, thiodiphenol type benzoxazine resin, dicyclopentadiene type benzoxazine resin, 3,3′-(methylene -1,4-Diphenylene)bis(3,4-dihydro-2H-1,3-benzoxazine (3,3'-(methylene-1,4-diphenylene)bis(3,4-dihydro-2H-1,3) -Benzoxazine) resin and the like.

前記多官能性樹脂化合物のより具体的な例としては、Kukdo化学社のYDCN−500−80P、ロンザ社のフェノールノボラック型シアネートエステル樹脂PT−30S、大和社のフェニルメタン型マレイミド樹脂BMI−2300、四国社のP−d型ベンゾキサジン樹脂などが挙げられる。 More specific examples of the polyfunctional resin compound include YDCN-500-80P manufactured by Kukdo Chemical Co., phenol novolac type cyanate ester resin PT-30S manufactured by Lonza, and phenylmethane type maleimide resin BMI-2300 manufactured by Daiwa. Pd type benzoxazine resin of Shikokusha etc. are mentioned.

一方、前記アルカリ可溶性樹脂は、酸性官能基;およびアミノ基で置換された環状イミド官能基をそれぞれ少なくとも2以上含むことができる。前記酸性官能基の例が大きく限定されるものではないが、例えば、カルボキシ基またはフェノール基を含むことができる。前記アルカリ可溶性樹脂は、酸性官能基を少なくとも2以上含むことで前記高分子樹脂層がより高いアルカリ現像性を示すようにし、高分子樹脂層の現像速度を調節することができる。 On the other hand, the alkali-soluble resin may include at least two acidic functional groups and at least two cyclic imide functional groups substituted with amino groups. Examples of the acidic functional group are not particularly limited, but may include, for example, a carboxy group or a phenol group. The alkali-soluble resin contains at least two acidic functional groups so that the polymer resin layer exhibits higher alkali developability, and the developing rate of the polymer resin layer can be adjusted.

前記アミノ基で置換された環状イミド官能基は、官能基構造内にアミノ基と環状イミド基を含んでおり、少なくとも2以上含まれる。前記アルカリ可溶性樹脂が前記アミノ基で置換された環状イミド官能基を少なくとも2以上含有することによって、前記アルカリ可溶性樹脂は、アミノ基に含まれている活性水素が複数存在する構造を有し、硬化時、熱硬化性バインダーとの反応性が向上するにつれ、硬化密度を高めて耐熱信頼性および機械的性質を高めることができる。 The cyclic imide functional group substituted with the amino group contains an amino group and a cyclic imide group in the functional group structure, and is contained in at least two or more. When the alkali-soluble resin contains at least two or more cyclic imide functional groups substituted with the amino group, the alkali-soluble resin has a structure in which a plurality of active hydrogens contained in the amino group are present, and curing At this time, as the reactivity with the thermosetting binder is improved, the curing density can be increased to improve heat resistance reliability and mechanical properties.

また、前記環状イミド官能基がアルカリ可溶性樹脂内に複数存在することによって、環状イミド官能基に含まれているカルボニル基と3級アミン基によって極性が高まり、前記アルカリ可溶性樹脂の界面接着力を高めることができる。これにより、前記アルカリ可溶性樹脂が含有された高分子樹脂層は、上部に積層される金属層との界面接着力が高まる。 In addition, the presence of a plurality of the cyclic imide functional groups in the alkali-soluble resin increases the polarity by the carbonyl group and the tertiary amine group contained in the cyclic imide functional group, and enhances the interfacial adhesion of the alkali-soluble resin. be able to. As a result, the polymer resin layer containing the alkali-soluble resin has an increased interfacial adhesion with the metal layer laminated on top.

より具体的には、前記アミノ基で置換された環状イミド官能基は、下記化学式1で表される官能基を含むことができる。 More specifically, the cyclic imide functional group substituted with an amino group may include a functional group represented by Chemical Formula 1 below.

前記化学式1において、Rは、炭素数1〜10、または1〜5、または1〜3のアルキレン基またはアルケニル基であり、「*」は、結合地点を意味する。前記アルキレン基は、アルカン(alkane)に由来する2価の官能基で、例えば、直鎖状、分枝状または環状であって、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソブチレン基、sec−ブチレン基、tert−ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基などになってもよい。前記アルキレン基に含まれている1つ以上の水素原子は他の置換基で置換されていてもよく、前記置換基の例としては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数2〜12のヘテロアリール基、炭素数6〜12のアリールアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基、アミノ基、アミジノ基、ニトロ基、アミド基、カルボニル基、ヒドロキシ基、スルホニル基、カルバメート基、炭素数1〜10のアルコキシ基などが挙げられる。 In Chemical Formula 1, R 1 is an alkylene group or an alkenyl group having 1 to 10, or 1 to 5, or 1 to 3 carbon atoms, and “*” means a bonding point. The alkylene group is a divalent functional group derived from an alkane, and is, for example, linear, branched or cyclic, and is a methylene group, an ethylene group, a propylene group, an isobutylene group or a sec-butylene group. , Tert-butylene group, pentylene group, hexylene group and the like. One or more hydrogen atoms contained in the alkylene group may be substituted with other substituents, and examples of the substituents include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and an alkyl group having 2 to 10 carbon atoms. Alkenyl group, alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, aryl group having 6 to 12 carbon atoms, heteroaryl group having 2 to 12 carbon atoms, arylalkyl group having 6 to 12 carbon atoms, halogen atom, cyano group, amino group, Examples thereof include an amidino group, a nitro group, an amide group, a carbonyl group, a hydroxy group, a sulfonyl group, a carbamate group, and an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms.

前記「置換」という用語は、化合物内の水素原子の代わりに他の官能基が結合することを意味し、置換される位置は、水素原子の置換される位置つまり、置換基が置換可能な位置であれば限定されず、2以上置換される場合、2以上の置換基は、互いに同一でも異なっていてもよい。 The term “substituted” means that another functional group is bonded instead of the hydrogen atom in the compound, and the position of substitution is the position of substitution of the hydrogen atom, that is, the position at which the substituent can be substituted. It is not limited as long as it is substituted with two or more, and the two or more substituents may be the same or different from each other.

前記アルケニル基は、上述したアルキレン基の中間や末端に炭素−炭素二重結合を1個以上含有しているものを意味し、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、へキシレン、アセチレンなどが挙げられる。前記アルケニル基中の1つ以上の水素原子は、前記アルキレン基の場合と同じ置換基で置換可能である。 The alkenyl group means one having at least one carbon-carbon double bond at the middle or terminal of the above-mentioned alkylene group, and examples thereof include ethylene, propylene, butylene, hexylene, and acetylene. One or more hydrogen atoms in the alkenyl group can be substituted with the same substituents as in the alkylene group.

好ましくは、前記アミノ基で置換された環状イミド官能基は、下記化学式2で表される官能基であってもよい。 Preferably, the cyclic imide functional group substituted with the amino group may be a functional group represented by Chemical Formula 2 below.

前記化学式2において、「*」は、結合地点を意味する。 In Chemical Formula 2, “*” means a bonding point.

前記アルカリ可溶性樹脂は、上述のように、酸性官能基と共にアミノ基で置換された環状イミド官能基を含み、具体的には、前記アミノ基で置換された環状イミド官能基の少なくとも1つの末端に酸性官能基が結合してもよい。この時、前記アミノ基で置換された環状イミド官能基と酸性官能基は、置換もしくは非置換のアルキレン基、または置換もしくは非置換のアリーレン基を介して結合してもよいし、例えば、前記アミノ基で置換された環状イミド官能基に含まれているアミノ基の末端に、置換もしくは非置換のアルキレン基、または置換もしくは非置換のアリーレン基を介して酸性官能基が結合してもよいし、前記アミノ基で置換された環状イミド官能基に含まれているイミド官能基の末端に、置換もしくは非置換のアルキレン基、または置換もしくは非置換のアリーレン基を介して酸性官能基が結合してもよい。 As described above, the alkali-soluble resin contains a cyclic imide functional group substituted with an amino group together with an acidic functional group, and specifically, at least one end of the cyclic imide functional group substituted with the amino group is attached to the terminal. An acidic functional group may be attached. At this time, the cyclic imide functional group substituted with the amino group and the acidic functional group may be bonded via a substituted or unsubstituted alkylene group or a substituted or unsubstituted arylene group. At the terminal of the amino group contained in the cyclic imide functional group substituted with a group, a substituted or unsubstituted alkylene group, or a substituted or unsubstituted arylene group, an acidic functional group may be bonded, At the terminal of the imide functional group contained in the cyclic imide functional group substituted with the amino group, even if an acidic functional group is bonded via a substituted or unsubstituted alkylene group, or a substituted or unsubstituted arylene group. Good.

より具体的には、前記アミノ基で置換された環状イミド官能基に含まれているアミノ基の末端とは、前記化学式1におけるアミノ基に含まれている窒素原子を意味し、前記アミノ基で置換された環状イミド官能基に含まれているイミド官能基の末端とは、前記化学式1における環状イミド官能基に含まれている窒素原子を意味することができる。 More specifically, the term “terminal of the amino group contained in the cyclic imide functional group substituted with the amino group” means the nitrogen atom contained in the amino group in Chemical Formula 1, The term “terminal of the imide functional group contained in the substituted cyclic imide functional group” can mean the nitrogen atom contained in the cyclic imide functional group in Formula 1 above.

前記アルキレン基は、アルカン(alkane)に由来する2価の官能基で、例えば、直鎖状、分枝状または環状であって、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソブチレン基、sec−ブチレン基、tert−ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基などになってもよい。前記アルキレン基に含まれている1つ以上の水素原子は他の置換基で置換されていてもよく、前記置換基の例としては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数2〜12のヘテロアリール基、炭素数6〜12のアリールアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基、アミノ基、アミジノ基、ニトロ基、アミド基、カルボニル基、ヒドロキシ基、スルホニル基、カルバメート基、炭素数1〜10のアルコキシ基などが挙げられる。 The alkylene group is a divalent functional group derived from an alkane, and is, for example, linear, branched or cyclic, and is a methylene group, an ethylene group, a propylene group, an isobutylene group or a sec-butylene group. , Tert-butylene group, pentylene group, hexylene group and the like. One or more hydrogen atoms contained in the alkylene group may be substituted with other substituents, and examples of the substituents include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and an alkyl group having 2 to 10 carbon atoms. Alkenyl group, alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, aryl group having 6 to 12 carbon atoms, heteroaryl group having 2 to 12 carbon atoms, arylalkyl group having 6 to 12 carbon atoms, halogen atom, cyano group, amino group, Examples thereof include an amidino group, a nitro group, an amide group, a carbonyl group, a hydroxy group, a sulfonyl group, a carbamate group, and an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms.

前記アリーレン基は、アレーン(arene)に由来する2価の官能基で、例えば、環状であって、フェニル基、ナフチル基などになってもよい。前記アリーレン基に含まれている1つ以上の水素原子は他の置換基で置換されていてもよく、前記置換基の例としては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数2〜12のヘテロアリール基、炭素数6〜12のアリールアルキル基、ハロゲン原子、シアノ基、アミノ基、アミジノ基、ニトロ基、アミド基、カルボニル基、ヒドロキシ基、スルホニル基、カルバメート基、炭素数1〜10のアルコキシ基などが挙げられる。 The arylene group is a divalent functional group derived from arene, and may be, for example, a cyclic group such as a phenyl group or a naphthyl group. One or more hydrogen atoms contained in the arylene group may be substituted with other substituents, and examples of the substituents include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and 2 to 10 carbon atoms. Alkenyl group, alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, aryl group having 6 to 12 carbon atoms, heteroaryl group having 2 to 12 carbon atoms, arylalkyl group having 6 to 12 carbon atoms, halogen atom, cyano group, amino group, Examples thereof include an amidino group, a nitro group, an amide group, a carbonyl group, a hydroxy group, a sulfonyl group, a carbamate group, and an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms.

前記アルカリ可溶性樹脂を製造する方法の例が大きく限定されるものではないが、例えば、環状不飽和イミド化合物;およびアミン化合物の反応により製造される。この時、前記環状不飽和イミド化合物;およびアミン化合物のうちの少なくとも1つ以上は、末端に置換された酸性官能基を含むことができる。つまり、前記環状不飽和イミド化合物、アミン化合物、またはこれら2種の化合物のすべての末端に酸性官能基が置換されていてもよい。前記酸性官能基に関する内容は、上述した通りである。 The method for producing the alkali-soluble resin is not particularly limited, but for example, it is produced by reacting a cyclic unsaturated imide compound; and an amine compound. At this time, at least one or more of the cyclic unsaturated imide compound and the amine compound may include a terminal substituted acidic functional group. That is, an acidic functional group may be substituted at all terminals of the cyclic unsaturated imide compound, the amine compound, or these two compounds. The content regarding the acidic functional group is as described above.

前記環状イミド化合物は、上述した環状イミド官能基を含む化合物であり、前記環状不飽和イミド化合物は、環状イミド化合物内に不飽和結合、つまり、二重結合または三重結合を少なくとも1以上含む化合物を意味する。 The cyclic imide compound is a compound containing a cyclic imide functional group described above, the cyclic unsaturated imide compound is an unsaturated bond in the cyclic imide compound, that is, a compound containing at least one double bond or triple bond. means.

前記アルカリ可溶性樹脂は、前記アミン化合物に含まれているアミノ基と環状不飽和イミド化合物に含まれている二重結合または三重結合の反応により製造される。 The alkali-soluble resin is produced by the reaction between the amino group contained in the amine compound and the double bond or triple bond contained in the cyclic unsaturated imide compound.

前記環状不飽和イミド化合物およびアミン化合物を反応させる重量比率の例が大きく限定されるものではないが、例えば、前記環状不飽和イミド化合物100重量部に対して、前記アミン化合物を10重量部〜80重量部、または30重量部〜60重量部混合して反応させることができる。 The example of the weight ratio for reacting the cyclic unsaturated imide compound and the amine compound is not particularly limited, but for example, 10 parts by weight to 80 parts by weight of the amine compound relative to 100 parts by weight of the cyclic unsaturated imide compound. It is possible to react by mixing by weight, or 30 to 60 parts by weight.

前記環状不飽和イミド化合物の例としては、N−置換マレイミド化合物が挙げられる。N−置換とは、マレイミド化合物に含まれている窒素原子に結合した水素原子の代わりに官能基が結合したことを意味し、前記N−置換マレイミド化合物は、N−置換されたマレイミド化合物の個数に応じて単官能N−置換マレイミド化合物と多官能N−置換マレイミド化合物に分類される。 Examples of the cyclic unsaturated imide compound include N-substituted maleimide compounds. N-substituted means that a functional group is bonded instead of the hydrogen atom bonded to the nitrogen atom contained in the maleimide compound, and the N-substituted maleimide compound is the number of N-substituted maleimide compounds. Are classified into monofunctional N-substituted maleimide compounds and polyfunctional N-substituted maleimide compounds.

前記単官能N−置換マレイミド化合物は、1つのマレイミド化合物に含まれている窒素原子に官能基が置換された化合物であり、前記多官能N−置換マレイミド化合物は、2以上のマレイミド化合物それぞれに含まれている窒素原子が官能基を介して結合した化合物である。 The monofunctional N-substituted maleimide compound is a compound in which a nitrogen atom contained in one maleimide compound is substituted with a functional group, and the polyfunctional N-substituted maleimide compound is contained in each of two or more maleimide compounds. It is a compound in which the nitrogen atom is bound via a functional group.

前記単官能N−置換マレイミド化合物において、前記マレイミド化合物に含まれている窒素原子に置換される官能基は、公知の多様な脂肪族、脂環族または芳香族官能基を制限なく含むことができ、前記窒素原子に置換される官能基は、脂肪族、脂環族または芳香族官能基に酸性官能基が置換された官能基を含むこともできる。前記酸性官能基に関する内容は、上述した通りである。 In the monofunctional N-substituted maleimide compound, the functional group substituted on the nitrogen atom contained in the maleimide compound may include various known aliphatic, alicyclic or aromatic functional groups without limitation. The functional group substituted on the nitrogen atom may include a functional group in which an acidic functional group is substituted with an aliphatic, alicyclic or aromatic functional group. The content regarding the acidic functional group is as described above.

前記単官能N−置換マレイミド化合物の具体例としては、o−メチルフェニルマレイミド、p−ヒドロキシフェニルマレイミド、p−カルボキシフェニルマレイミド、またはドデシルマレイミドなどが挙げられる。 Specific examples of the monofunctional N-substituted maleimide compound include o-methylphenylmaleimide, p-hydroxyphenylmaleimide, p-carboxyphenylmaleimide, and dodecylmaleimide.

前記多官能N−置換マレイミド化合物において、2以上のマレイミド化合物それぞれに含まれている窒素原子間の結合を介在する官能基は、公知の多様な脂肪族、脂環族または芳香族官能基を制限なく含むことができ、具体例を挙げると、4,4’−ジフェニルメタン(diphenylmethane)官能基などを使用することができる。前記窒素原子に置換される官能基は、脂肪族、脂環族または芳香族官能基に酸性官能基が置換された官能基を含むこともできる。前記酸性官能基に関する内容は、上述した通りである。 In the polyfunctional N-substituted maleimide compound, the functional group intervening the bond between the nitrogen atoms contained in each of the two or more maleimide compounds is limited to various known aliphatic, alicyclic or aromatic functional groups. For example, 4,4′-diphenylmethane functional group can be used. The functional group substituted on the nitrogen atom may include a functional group in which an acidic functional group is substituted with an aliphatic, alicyclic or aromatic functional group. The content regarding the acidic functional group is as described above.

前記多官能N−置換マレイミド化合物の具体例としては、4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド(Daiwakasei社のBMI−1000、BMI−1100等)、フェニルメタンビスマレイミド、m−フェニレンメタンビスマレイミド、ビスフェノールAジフェニルエーテルビスマレイミド、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、1,6’−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサンなどが挙げられる。 Specific examples of the polyfunctional N-substituted maleimide compound include 4,4′-diphenylmethane bismaleimide (BMI-1000, BMI-1100 and the like from Daiwakasei), phenylmethane bismaleimide, m-phenylenemethane bismaleimide, bisphenol A. Diphenyl ether bismaleimide, 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4′-diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylene bismaleimide, 1,6′-bismaleimide-(2, 2,4-trimethyl)hexane and the like can be mentioned.

前記アミン化合物は、分子構造内にアミノ基(−NH)を少なくとも1以上含有した1級アミン化合物を使用することができ、より好ましくは、アミノ基で置換されたカルボン酸化合物、2以上のアミノ基を含む多官能アミン化合物、またはこれらの混合物を使用することができる。 As the amine compound, a primary amine compound containing at least one amino group (—NH 2 ) in the molecular structure can be used, and more preferably, a carboxylic acid compound substituted with an amino group, or two or more Polyfunctional amine compounds containing amino groups, or mixtures thereof can be used.

前記アミノ基で置換されたカルボン酸化合物において、カルボン酸化合物は、分子内にカルボン酸(−COOH)官能基を含む化合物であって、カルボン酸官能基と結合した炭化水素の種類に応じて脂肪族、脂環族または芳香族カルボン酸をすべて含むことができる。前記アミノ基で置換されたカルボン酸化合物を介して前記アルカリ可溶性樹脂内に酸性官能基のカルボン酸官能基が複数含まれるにつれ、前記アルカリ可溶性樹脂の現像性が向上できる。 In the carboxylic acid compound substituted with an amino group, the carboxylic acid compound is a compound containing a carboxylic acid (—COOH) functional group in the molecule, and is a fatty acid depending on the type of hydrocarbon bonded to the carboxylic acid functional group. It can include all group, alicyclic or aromatic carboxylic acids. When a plurality of carboxylic acid functional groups of acidic functional groups are contained in the alkali-soluble resin via the carboxylic acid compound substituted with the amino group, the developability of the alkali-soluble resin can be improved.

具体的には、前記アミノ基で置換されたカルボン酸化合物と環状不飽和イミド化合物の反応により製造されたアルカリ可溶性樹脂は、KOH滴定によって求められる酸価(acid value)が50mgKOH/g〜250mgKOH/g、または70mgKOH/g〜200mgKOH/gであってもよい。前記アルカリ可溶性樹脂の酸価を測定する方法の例が大きく限定されるものではないが、例えば、次の方法を使用することができる。ベース溶媒(base solution)として0.1Nの濃度のKOH溶液(溶媒:メタノール)を準備し、標識子(indicator)としてはアルファ−ナフトールベンゼイン(alpha−naphtholbenzein)(pH:0.8〜8.2yellow、10.0blue green)を準備した。次に、試料のアルカリ可溶性樹脂約1〜2gを採取してジメチルホルムアルデヒド(DMF)溶媒50gに溶かした後、標識子を添加した後にベース溶媒として滴定した。滴定完了時点で使用されたベース溶媒の量で酸価(acid value)をmgKOH/gの単位で求めた。 Specifically, the alkali-soluble resin produced by the reaction of the carboxylic acid compound substituted with the amino group and the cyclic unsaturated imide compound has an acid value (acid value) determined by KOH titration of 50 mgKOH/g to 250 mgKOH/ It may be g, or 70 mgKOH/g to 200 mgKOH/g. The method of measuring the acid value of the alkali-soluble resin is not particularly limited, but the following method can be used, for example. A KOH solution (solvent: methanol) having a concentration of 0.1N was prepared as a base solution, and alpha-naphtholbenzein (pH: 0.8 to 8.) was used as an indicator. 2 yellow, 10.0 blue green) was prepared. Next, about 1 to 2 g of the alkali-soluble resin as a sample was sampled and dissolved in 50 g of dimethylformaldehyde (DMF) solvent, and after adding a indicator, titration was performed as a base solvent. The acid value was determined in mg KOH/g with the amount of base solvent used at the end of the titration.

前記アルカリ可溶性樹脂の酸価が50mgKOH/g未満と過度に減少する場合、前記アルカリ可溶性樹脂の現像性が低くなって現像工程を進行させにくいことがある。また、前記アルカリ可溶性樹脂の酸価が250mgKOH/g超過と過度に増加する場合、極性の増大によって他の樹脂との相分離が発生しうる。 When the acid value of the alkali-soluble resin is excessively reduced to less than 50 mgKOH/g, the developability of the alkali-soluble resin may be low and the development process may be difficult to proceed. In addition, when the acid value of the alkali-soluble resin excessively increases to more than 250 mgKOH/g, the polarity may increase to cause phase separation with other resins.

前記「置換」という用語は、化合物内の水素原子の代わりに他の官能基が結合することを意味し、前記カルボン酸化合物にアミノ基が置換される位置は、水素原子が置換される位置であれば限定されず、置換されるアミノ基の個数は1以上であってもよい。 The term "substituted" means that another functional group is bonded to the compound in place of a hydrogen atom, and the position where the amino group is substituted on the carboxylic acid compound is the position where the hydrogen atom is substituted. It is not limited as long as it is present, and the number of substituted amino groups may be 1 or more.

前記アミノ基で置換されたカルボン酸化合物の具体例を挙げると、蛋白質の原料として知られた20種あまりのα−アミノ酸、4−アミノブタン酸、5−アミノペンタン酸、6−アミノヘキサン酸、7−アミノヘプタン酸、8−アミノオクタン酸、4−アミノ安息香酸、4−アミノフェニル酢酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸などが挙げられる。 Specific examples of the carboxylic acid compound substituted with an amino group include 20 kinds of α-amino acids known as raw materials for proteins, 4-aminobutanoic acid, 5-aminopentanoic acid, 6-aminohexanoic acid, 7 -Aminoheptanoic acid, 8-aminooctanoic acid, 4-aminobenzoic acid, 4-aminophenylacetic acid, 4-aminocyclohexanecarboxylic acid and the like can be mentioned.

また、前記2以上のアミノ基を含む多官能アミン化合物は、分子内に2以上のアミノ基(−NH)を含む化合物であって、アミノ基と結合した炭化水素の種類によって脂肪族、脂環族または芳香族多官能アミンをすべて含むことができる。前記2以上のアミノ基を含む多官能アミン化合物を介して前記アルカリ可溶性樹脂の可撓性、靭性、銅箔密着力などが向上できる。 Further, a polyfunctional amine compound containing the two or more amino groups is a compound containing 2 or more amino group (-NH 2) in the molecule, aliphatic depending on the type of hydrocarbon bonded with an amino group, fat All cyclic or aromatic polyfunctional amines can be included. Through the polyfunctional amine compound containing two or more amino groups, the flexibility, toughness, and copper foil adhesion of the alkali-soluble resin can be improved.

前記2以上のアミノ基を含む多官能アミン化合物の具体例を挙げると、1,3−シクロヘキサンジアミン、1,4−シクロヘキサンジアミン、1,3−ビス(アミノメチル)−シクロヘキサン、1,4−ビス(アミノメチル)−シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)−ノルボルネン、オクタヒドロ−4,7−メタノインデン−1(2)、5(6)−ジメタンアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’−メチレンビス(2−メチルシクロヘキシルアミン)、イソホロンジアミン、1,3−フェニレンジアミン、1,4−フェニレンジアミン、2,5−ジメチル−1,4−フェニレンジアミン、2,3,5,6,−テトラメチル−1,4−フェニレンジアミン、2,4,5,6−テトラフルオロ−1,3−フェニレンジアミン、2,3,5,6−テトラフルオロ−1,4−フェニレンジアミン、4,6−ジアミノレゾルシノール、2,5−ジアミノ−1,4−ベンゼンジチオール、3−アミノベンジルアミン、4−アミノベンジルアミン、m−キシレンジアミン、p−キシレンジアミン、1,5−ジアミノナフタレン、2,7−ジアミノフルオレン、2、6−ジアミノアントラキノン、m−トリジン、o−トリジン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン(TMB)、o−ジアニシジン、4,4’−メチレンビス(2−クロロアニリン)、3,3’−ジアミノベンジジン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−ベンジジン、4,4’−ジアミノオクタフルオロビフェニル、4,4’−ジアミノ−p−ターフェニル、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフェニルメタン、4,4’−メチレンビス(2−エチル−6−メチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジエチルアニリン)、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−エチレンジアニリン、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルビベンジル、2,2’−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2’−ビス(3−アミノフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ビス(4−アミノフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ビス(3−アミノ−4−メチルフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,4−ジイソプロピルベンゼン、1,3−ビス[2−(4−アミノフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、1,1’−ビス(4−アミノフェニル)−シクロヘキサン、9,9’−ビス(4−アミノフェニル)−フルオレン、9,9’−ビス(4−アミノ−3−クロロフェニル)フルオレン、9,9’−ビス(4−アミノ−3−フルオロフェニル)フルオレン、9,9’−ビス(4−アミノ−3−メチルフェニル)フルオレン、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)−ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)−ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)−ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−2−トリフルオロメチルフェノキシ)−ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)−ビフェニル、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−フェニル]プロパン、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−フェニル]ヘキサフルオロプロパン、ビス(2−アミノフェニル)スルフィド、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ)スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)−フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−フェニル]スルホン、o−トリジンスルホン、3,6−ジアミノカルバゾール、1,3,5−トリス(4−アミノフェニル)−ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−テトラメチルジシロキサン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、2−(3−アミノフェニル)−5−アミノベンズイミダゾール、2−(4−アミノフェニル)−5−アミノベンゾキサゾール、1−(4−アミノフェニル)−2,3−ジヒドロ−1,3,3−トリメチル−1H−インデン−5−アミン、4,6−ジアミノレゾルシノール、2,3,5,6−ピリジンテトラアミン、信越シリコーンのシロキサン構造を含む多官能アミン(PAM−E、KF−8010、X−22−161A、X−22−161B、KF−8012、KF−8008、X−22−1660B−3、X−22−9409)、ダウコーニングのシロキサン構造を含む多官能アミン(Dow Corning3055)、ポリエーテル構造を含む多官能アミン(Huntsman社、BASF社)などが挙げられる。 Specific examples of the polyfunctional amine compound containing two or more amino groups include 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, 1,3-bis(aminomethyl)-cyclohexane, and 1,4-bis. (Aminomethyl)-cyclohexane, bis(aminomethyl)-norbornene, octahydro-4,7-methanoindene-1(2),5(6)-dimethanamine, 4,4′-methylenebis(cyclohexylamine), 4,4′ -Methylenebis(2-methylcyclohexylamine), isophoronediamine, 1,3-phenylenediamine, 1,4-phenylenediamine, 2,5-dimethyl-1,4-phenylenediamine, 2,3,5,6,-tetra Methyl-1,4-phenylenediamine, 2,4,5,6-tetrafluoro-1,3-phenylenediamine, 2,3,5,6-tetrafluoro-1,4-phenylenediamine, 4,6-diamino Resorcinol, 2,5-diamino-1,4-benzenedithiol, 3-aminobenzylamine, 4-aminobenzylamine, m-xylenediamine, p-xylenediamine, 1,5-diaminonaphthalene, 2,7-diaminofluorene 2,6-diaminoanthraquinone, m-tolidine, o-tolidine, 3,3′,5,5′-tetramethylbenzidine (TMB), o-dianisidine, 4,4′-methylenebis(2-chloroaniline), 3,3'-diaminobenzidine, 2,2'-bis(trifluoromethyl)-benzidine, 4,4'-diaminooctafluorobiphenyl, 4,4'-diamino-p-terphenyl, 3,3'-diamino Diphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldiphenylmethane, 4,4'-methylenebis(2-ethyl-6-methylaniline), 4,4'-methylenebis(2,6-diethylaniline), 3,3'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-ethylenedianiline, 4,4'-diamino-2,2 '-Dimethylbibenzyl, 2,2'-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)propane, 2,2'-bis(3-aminophenyl)-hexafluoropropane, 2,2'-bis(4- Aminophenyl)-hexafluoropropane, 2,2'-bis(3-amino-4-methylphenyl)-hexafluoropropane, 2,2'- Bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)-hexafluoropropane, α,α′-bis(4-aminophenyl)-1,4-diisopropylbenzene, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl) -2-Propyl]benzene, 1,1'-bis(4-aminophenyl)-cyclohexane, 9,9'-bis(4-aminophenyl)-fluorene, 9,9'-bis(4-amino-3-). Chlorophenyl)fluorene, 9,9′-bis(4-amino-3-fluorophenyl)fluorene, 9,9′-bis(4-amino-3-methylphenyl)fluorene, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4, 4'-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis(3-aminophenoxy)-benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)-benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)-benzene, 1, 4-bis(4-amino-2-trifluoromethylphenoxy)-benzene, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)-biphenyl, 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)-phenyl ] Propane, 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)-phenyl]hexafluoropropane, bis(2-aminophenyl)sulfide, bis(4-aminophenyl)sulfide, bis(3-aminophenyl) Sulfone, bis(4-aminophenyl)sulfone, bis(3-amino-4-hydroxy)sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)-phenyl]sulfone, bis[4-(4-aminophenoxy)-phenyl ] Sulfone, o-tolidine sulfone, 3,6-diaminocarbazole, 1,3,5-tris(4-aminophenyl)-benzene, 1,3-bis(3-aminopropyl)-tetramethyldisiloxane, 4, 4'-diaminobenzanilide, 2-(3-aminophenyl)-5-aminobenzimidazole, 2-(4-aminophenyl)-5-aminobenzoxazole, 1-(4-aminophenyl)-2,3 -Dihydro-1,3,3-trimethyl-1H-inden-5-amine, 4,6-diaminoresorcinol, 2,3,5,6-pyridinetetraamine, a polyfunctional amine containing a siloxane structure of Shin-Etsu Silicone (PAM -E, KF-8010, X-22-161A, X-22-161B, KF-8012, KF-8008, X-22-1660B-3, X-22-9409), Dow Corning siloxane structure. Examples thereof include polyfunctional amines (Dow Corning 3055) and polyfunctional amines having a polyether structure (Huntsman, BASF).

また、前記アルカリ可溶性樹脂は、下記化学式3で表される繰り返し単位;および下記化学式4で表される繰り返し単位をそれぞれ少なくとも1以上含むことができる。 Further, the alkali-soluble resin may include at least one repeating unit represented by the following chemical formula 3; and at least one repeating unit represented by the following chemical formula 4.

前記化学式3において、Rは、直接結合、炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数1〜20のアルケニル基、または炭素数6〜20のアリーレン基であり、「*」は、結合地点を意味し、 In Chemical Formula 3, R 2 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and “*” indicates a bonding point. Meaning,

前記化学式4において、Rは、直接結合、炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数1〜20のアルケニル基、または炭素数6〜20のアリーレン基であり、Rは、−H、−OH、−NR、ハロゲン、または炭素数1〜20のアルキル基であり、前記RおよびRは、それぞれ独立に、水素、炭素数1〜20のアルキル基、または炭素数6〜20のアリール基であってもよく、「*」は、結合地点を意味する。 In Chemical Formula 4, R 3 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and R 4 is —H or —. OH, -NR 5 R 6, halogen, or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, wherein R 5 and R 6 are each independently hydrogen, alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or carbon atoms 6, It may be 20 aryl groups, where "*" means the point of attachment.

好ましくは、前記化学式3において、Rは、フェニレンであり、前記化学式4において、Rは、フェニレンであり、Rは、−OHであってもよい。 Preferably, in Formula 3, R 2 may be phenylene, in Formula 4, R 3 may be phenylene, and R 4 may be —OH.

一方、前記アルカリ可溶性樹脂は、前記化学式3で表される繰り返し単位;および前記化学式4で表される繰り返し単位のほか、追加的にビニル系繰り返し単位をさらに含んでもよい。前記ビニル系繰り返し単位は、分子内に少なくとも1以上のビニル基を含むビニル系単量体の単独重合体に含まれる繰り返し単位であって、前記ビニル系単量体の例が大きく限定されるものではなく、例えば、エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、スチレン、アクリル酸、メタアクリル酸、無水マレイン酸、またはマレイミドなどが挙げられる。 Meanwhile, the alkali-soluble resin may further include a vinyl-based repeating unit in addition to the repeating unit represented by the chemical formula 3; and the repeating unit represented by the chemical formula 4. The vinyl repeating unit is a repeating unit contained in a homopolymer of a vinyl monomer containing at least one vinyl group in the molecule, and examples of the vinyl monomer are largely limited. Instead, for example, ethylene, propylene, isobutylene, butadiene, styrene, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride, maleimide or the like can be mentioned.

上述した化学式3で表される繰り返し単位;および化学式4で表される繰り返し単位をそれぞれ少なくとも1以上含むアルカリ可溶性樹脂は、下記化学式5で表される繰り返し単位を含む重合体、下記化学式6で表されるアミン、および下記化学式7で表されるアミンの反応で製造される。 The alkali-soluble resin containing at least one repeating unit represented by the chemical formula 3 and the repeating unit represented by the chemical formula 4 is a polymer containing the repeating unit represented by the chemical formula 5 below, or a polymer containing the repeating unit represented by the chemical formula 6 below. And an amine represented by Chemical Formula 7 below.

前記化学式5〜7において、R〜Rは、前記化学式3、4において上述した内容と同じであり、「*」は、結合地点を意味する。 In Chemical Formulas 5 to 7, R 2 to R 4 are the same as those described above in Chemical Formulas 3 and 4, and “*” means a bonding point.

前記化学式5で表される繰り返し単位を含む重合体の具体例が大きく限定されるものではないが、例えば、Cray valley社のSMA、Polyscope社のXiran、Solenis社のScripset、Kuraray社のIsobam、Chevron Phillips Chemical社のPolyanhydride resin、Lindau Chemicals社のMaldeneなどが挙げられる。 Specific examples of the polymer containing the repeating unit represented by the chemical formula 5 are not particularly limited, and examples thereof include SMA of Cray valley, Xiran of Polyscope, Scripset of Solenis, Isobam and Chevron of Kuraray. Polyanhydride resin from Philips Chemicals, Maldene from Lindau Chemicals and the like can be mentioned.

また、上述した化学式3で表される繰り返し単位;および化学式4で表される繰り返し単位をそれぞれ少なくとも1以上含むアルカリ可溶性樹脂は、下記化学式8で表される化合物および下記化学式9で表される化合物の反応で製造される。 Further, the alkali-soluble resin containing at least one repeating unit represented by the chemical formula 3 and at least one repeating unit represented by the chemical formula 4 is a compound represented by the chemical formula 8 below or a compound represented by the chemical formula 9 below. It is manufactured by the reaction of.

前記化学式8〜9において、R〜Rは、前記化学式3、4において上述した内容と同じである。 In Chemical Formulas 8 to 9, R 2 to R 4 are the same as those described above in Chemical Formulas 3 and 4.

また、前記アルカリ可溶性樹脂は、分子中にカルボキシ基またはフェノール基を含有している公知慣用のカルボキシ基含有樹脂またはフェノール基含有樹脂を使用することができる。好ましくは、前記カルボキシ基含有樹脂または前記カルボキシ基含有樹脂にフェノール基含有樹脂を混合して使用することができる。 Further, as the alkali-soluble resin, a known and commonly used carboxy group-containing resin or phenol group-containing resin having a carboxy group or a phenol group in the molecule can be used. Preferably, the carboxy group-containing resin or the carboxy group-containing resin may be mixed with a phenol group-containing resin before use.

前記カルボキシ基含有樹脂の例としては、下記に挙げる(1)〜(7)の樹脂が挙げられる。
(1)多官能エポキシ樹脂に飽和もしくは不飽和モノカルボキシ基を反応させた後、多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシ基含有樹脂、
(2)2官能エポキシ樹脂に2官能フェノール、および(または)ジカルボキシ基を反応させた後、多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシ基含有樹脂、
(3)多官能フェノール樹脂に分子内に1個のエポキシ基を有する化合物を反応させた後、多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシ基含有樹脂、
(4)分子内に2個以上のアルコール性水酸基を有する化合物に多塩基酸無水物を反応させてなるカルボキシ基含有樹脂、
(5)ジアミン(diamine)とジアンハイドライド(dianhydride)を反応させたポリアミック酸樹脂またはポリアミック酸樹脂の共重合体樹脂、
(6)アクリル酸を反応させたポリアクリル酸樹脂またはポリアクリル酸樹脂の共重合体、
(7)マレイン酸無水物を反応させたポリマレイン酸無水物樹脂およびポリマレイン酸無水物樹脂共重合体の無水物を、弱酸、ジアミン、イミダゾール(imidazole)、ジメチルスルホキシド(dimethyl sulfoxide)で開環させて製造した樹脂などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
Examples of the carboxy group-containing resin include the resins (1) to (7) listed below.
(1) A carboxy group-containing resin obtained by reacting a polyfunctional epoxy resin with a saturated or unsaturated monocarboxy group and then reacting it with a polybasic acid anhydride,
(2) A carboxy group-containing resin obtained by reacting a bifunctional epoxy resin with a bifunctional phenol and/or a dicarboxy group and then reacting with a polybasic acid anhydride,
(3) A carboxy group-containing resin obtained by reacting a polyfunctional phenolic resin with a compound having one epoxy group in the molecule and then reacting it with a polybasic acid anhydride,
(4) Carboxy group-containing resin obtained by reacting a compound having two or more alcoholic hydroxyl groups in the molecule with a polybasic acid anhydride,
(5) Polyamic acid resin obtained by reacting diamine and dianhydride or a copolymer resin of polyamic acid resin,
(6) Polyacrylic acid resin reacted with acrylic acid or a copolymer of polyacrylic acid resin,
(7) The maleic anhydride resin reacted with the maleic anhydride and the anhydride of the polymaleic anhydride resin copolymer are subjected to ring opening with a weak acid, a diamine, imidazole, or dimethyl sulfoxide. Examples include, but are not limited to, manufactured resins.

前記カルボキシ基含有樹脂のより具体的な例としては、日本化薬のCCR−1291H、シンアT&CのSHA−1216CA60、LubrizolのNoverite K−700またはこれらの2種以上の混合物などが挙げられる。 More specific examples of the carboxy group-containing resin include Nippon Kayaku's CCR-1291H, Shina T&C's SHA-1216CA60, Lubrizol's Noverite K-700, or a mixture of two or more thereof.

前記フェノール基含有樹脂の例が大きく限定されるものではないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールF(BPF)ノボラック樹脂などのノボラック樹脂、または4,4’−(1−(4−(2−(4−ヒドロキシフェニル)プロパン−2−イル)フェニル)エタン−1,1−ジイル)ジフェノール[4,4’−(1−(4−(2−(4−Hydroxyphenyl)propan−2−yl)phenyl)ethane−1,1−diyl)diphenol]などのビスフェノールA系樹脂をそれぞれ単独で使用するか、混合して使用することができる。 Examples of the phenol group-containing resin are not particularly limited, but examples thereof include novolac resins such as phenol novolac resin, cresol novolac resin, and bisphenol F (BPF) novolac resin, or 4,4′-(1-(4 -(2-(4-hydroxyphenyl)propan-2-yl)phenyl)ethane-1,1-diyl)diphenol[4,4'-(1-(4-(2-(4-Hydroxyphenyl)propan- 2-yl) phenyl) ethane-1, 1-diyl) diphenol] and the like, bisphenol A resins can be used alone or in combination.

前記高分子樹脂層は、熱硬化触媒、無機フィラー、レベリング剤、分散剤、離型剤、および金属密着力増進剤からなる群より選択された1種以上の添加剤をさらに含んでもよい。 The polymer resin layer may further include at least one additive selected from the group consisting of a thermosetting catalyst, an inorganic filler, a leveling agent, a dispersant, a release agent, and a metal adhesion promoter.

前記熱硬化性触媒は、熱硬化性バインダーの熱硬化を促進させる役割を果たす。前記熱硬化性触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾールなどのイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミンなどのアミン化合物;アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジドなどのヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィンなどのリン化合物などが挙げられる。また、市販のものとしては、例えば、四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT3503N、UCAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATS A102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物およびその塩)などが挙げられる。特にこれらに限定されるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、またはエポキシ基および/またはオキセタニル基とカルボキシ基の反応を促進するものであってもよく、単独でまたは2種以上を混合して使用することもできる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン−イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン−イソシアヌル酸付加物などのS−トリアジン誘導体を用いてもよく、好ましくは、これらの密着性付与剤としても機能する化合物を前記熱硬化性触媒と併用することができる。 The thermosetting catalyst plays a role of promoting thermosetting of the thermosetting binder. Examples of the thermosetting catalyst include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, Imidazole derivatives such as 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N- Examples thereof include amine compounds such as dimethylbenzylamine and 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. Further, as commercially available products, for example, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both are trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Chemicals, U-CAT3503N, UCAT3502T manufactured by San-Apro Co., Ltd. Examples thereof include trade names of dimethylamine blocked isocyanate compounds), DBU, DBN, U-CATS A102, and U-CAT5002 (all are bicyclic amidine compounds and salts thereof). It is not particularly limited to these, and may be a thermosetting catalyst for an epoxy resin or an oxetane compound, or one that promotes the reaction between an epoxy group and/or an oxetanyl group and a carboxy group, alone or in combination of two or more. It can also be used as a mixture. Further, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino. An S-triazine derivative such as an -S-triazine-isocyanuric acid adduct or a 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine-isocyanuric acid adduct may be used, and preferably, adhesion of these is imparted. A compound that also functions as an agent can be used in combination with the thermosetting catalyst.

前記無機フィラーの例としては、シリカ、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、マイカ、またはこれらの2種以上の混合物が挙げられる。 Examples of the inorganic filler include silica, barium sulfate, barium titanate, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, mica, or a mixture of two or more thereof.

前記無機フィラーの含有量の例が大きく限定されるものではないが、前記高分子樹脂層の高い剛性を達成するために、高分子樹脂層内に含まれているすべての樹脂成分100重量部に対して、前記無機フィラーを100重量部以上、または100重量部〜600重量部、または100重量部〜500重量部添加することができる。 An example of the content of the inorganic filler is not particularly limited, but in order to achieve high rigidity of the polymer resin layer, 100 parts by weight of all resin components contained in the polymer resin layer are added. On the other hand, 100 parts by weight or more, or 100 parts by weight to 600 parts by weight, or 100 parts by weight to 500 parts by weight of the inorganic filler can be added.

前記離型剤の例としては、低分子量ポリプロピレン、低分子量ポリエチレンなどのポリアルキレンワックス、エステルワックス、カルナウバ(carnauba)ワックス、パラフィンワックスなどが挙げられる。 Examples of the release agent include polyalkylene wax such as low molecular weight polypropylene and low molecular weight polyethylene, ester wax, carnauba wax, paraffin wax and the like.

前記金属密着力増進剤は、金属素材の表面変質や透明性に問題を生じない物質、例えば、シランカップリング剤または有機金属カップリング剤などを使用することができる。 As the metal adhesion promoter, a substance that does not cause a problem in surface modification or transparency of the metal material, such as a silane coupling agent or an organic metal coupling agent, can be used.

前記レベリング剤は、フィルムコーティング時、表面のポッピングやクレーターを除去する役割を果たし、例えば、BYK−Chemie GmbHのBYK−380N、BYK−307、BYK−378、BYK−350などを使用することができる。 The leveling agent plays a role of removing surface popping and craters during film coating, and for example, BYK-380N, BYK-307, BYK-378, and BYK-350 of BYK-Chemie GmbH can be used. ..

また、前記高分子樹脂層は、相分離を誘発できる、分子量5000g/mol以上の樹脂またはエラストマーをさらに含んでもよい。これにより、前記高分子樹脂層の硬化物の粗化処理が可能である。前記分子量5000g/mol以上の樹脂またはエラストマーの分子量測定方法の例が大きく限定されるものではなく、例えば、GPC法によって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量を意味する。前記GPC法によって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量を測定する過程では、通常知られた分析装置と示差屈折検出器(Refractive Index Detector)などの検出器および分析用カラムを用いることができ、通常適用される温度条件、溶媒、flow rateを適用することができる。前記測定条件の具体例として、30℃の温度、クロロホルム溶媒(Chloroform)、および1mL/minのflow rateが挙げられる。 In addition, the polymer resin layer may further include a resin or elastomer having a molecular weight of 5000 g/mol or more, which can induce phase separation. This allows roughening of the cured product of the polymer resin layer. The example of the method for measuring the molecular weight of the resin or elastomer having a molecular weight of 5000 g/mol or more is not particularly limited, and means, for example, the polystyrene equivalent weight average molecular weight measured by the GPC method. In the process of measuring the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by the GPC method, a commonly known analyzer and a detector such as a differential refractive index detector (Refractive Index Detector) and an analytical column can be used. The temperature conditions, the solvent, and the flow rate can be applied. Specific examples of the measurement conditions include a temperature of 30° C., a chloroform solvent (Chloroform), and a flow rate of 1 mL/min.

また、前記高分子樹脂層は、前記高分子樹脂層に光硬化性性質を付与するために、光反応性不飽和基を含む熱硬化性バインダー、または光反応性不飽和基を含むアルカリ可溶性樹脂と、光開始剤をさらに含んでもよい。前記光反応性不飽和基を含む熱硬化性バインダー、光反応性不飽和基を含むアルカリ可溶性樹脂、および光開始剤の具体例は大きく限定されず、光硬化性樹脂組成物関連の技術分野で使用される多様な化合物を制限なく使用することができる。 Further, the polymer resin layer is a thermosetting binder containing a photoreactive unsaturated group or an alkali-soluble resin containing a photoreactive unsaturated group in order to impart photocurable properties to the polymer resin layer. And a photoinitiator may be further included. Specific examples of the thermosetting binder containing a photoreactive unsaturated group, an alkali-soluble resin containing a photoreactive unsaturated group, and a photoinitiator are not particularly limited, and in the technical field related to a photocurable resin composition. The various compounds used can be used without limitation.

前記高分子樹脂層に含有された光開始剤の含有量が、全体高分子樹脂層の重量対比0.01重量%以下であってもよい。前記高分子樹脂層に含有された光開始剤の含有量が、全体高分子樹脂層の重量対比0.01重量%以下とは、前記高分子樹脂層に含有された光開始剤の含有量が極めてわずかであったり、光開始剤が全く含まれていないことを意味することができる。これにより、光開始剤によって発生可能な絶縁層や導電層との界面脱着性が減少可能で、絶縁層の接着性および耐久性が向上できる。 The content of the photoinitiator contained in the polymer resin layer may be 0.01% by weight or less based on the weight of the entire polymer resin layer. The content of the photoinitiator contained in the polymer resin layer is 0.01% by weight or less relative to the weight of the entire polymer resin layer means that the content of the photoinitiator contained in the polymer resin layer is It can mean very little or no photoinitiator at all. Thereby, the interfacial desorption property with the insulating layer or the conductive layer which can be generated by the photoinitiator can be reduced, and the adhesive property and durability of the insulating layer can be improved.

また、前記一実施形態の絶縁層の製造方法は、前記高分子樹脂層を1次硬化させる段階を含むことができる。前記高分子樹脂層を硬化する段階で、具体的な硬化方法の例が大きく限定されるものではなく、熱硬化または光硬化方法をすべて制限なく使用することができる。 In addition, the method of manufacturing the insulating layer according to the exemplary embodiment may include a step of primary curing the polymer resin layer. At the stage of curing the polymer resin layer, a specific example of a curing method is not particularly limited, and any heat curing or photo-curing method can be used without limitation.

前記1次硬化段階により、前記高分子樹脂層内でエステル結合を含む主鎖が形成される。前記エステル結合の例を挙げると、アクリル酸がエステル結合しているアクリル樹脂を介して光硬化したり、カルボン酸とエポキシの反応でエステル結合が形成されるように熱硬化する方法が挙げられる。 The primary curing step forms a main chain containing an ester bond in the polymer resin layer. Examples of the ester bond include a method of photo-curing acrylic acid via an acrylic resin having an ester bond, or a method of heat curing so that an ester bond is formed by the reaction of carboxylic acid and epoxy.

この時、具体的な熱硬化条件が限定されるものではなく、後述する高分子樹脂層のエッチング方法に応じて好ましい条件を調節して進行させることができる。例えば、フォトレジスト剥離液を処理して高分子樹脂層をエッチングする場合、前記高分子樹脂層の1次硬化段階は、50℃〜150℃の温度で0.1時間〜2時間進行させることができる。前記高分子樹脂層の熱硬化温度が過度に低かったり、熱硬化時間が短くなると、剥離液によって高分子樹脂層が過度に損傷することがあり、前記高分子樹脂層の熱硬化温度が高かったり、熱硬化時間が長くなると、剥離液による高分子樹脂層のエッチングが進行しにくいことがある。 At this time, the specific thermosetting conditions are not limited, and preferable conditions can be adjusted to proceed according to the method for etching the polymer resin layer described later. For example, when the photoresist stripper is treated to etch the polymer resin layer, the primary curing step of the polymer resin layer may be performed at a temperature of 50° C. to 150° C. for 0.1 hours to 2 hours. it can. If the thermosetting temperature of the polymer resin layer is excessively low or the thermosetting time becomes short, the polymer resin layer may be excessively damaged by the peeling liquid, and the thermosetting temperature of the polymer resin layer may be high. If the heat-curing time is long, the etching of the polymer resin layer by the stripping solution may be difficult to proceed.

また、前記一実施形態の絶縁層の製造方法は、前記硬化した高分子樹脂層の表面をアルカリ水溶液でエッチングして金属突起を露出させる段階を含むことができる。前記硬化した高分子樹脂層の表面をアルカリ水溶液でエッチングして金属突起を露出させることによって、前記露出した金属突起を介して硬化した高分子樹脂層の内部に密封された導体配線と電気的信号を連結することができる。 In addition, the method of manufacturing the insulating layer of the exemplary embodiment may include a step of exposing the surface of the cured polymer resin layer with an alkaline aqueous solution to expose the metal protrusion. By etching the surface of the cured polymer resin layer with an alkaline aqueous solution to expose the metal protrusions, the conductive wiring and the electrical signal sealed inside the cured polymer resin layer through the exposed metal protrusions. Can be connected.

上述した金属突起の露出は、アルカリ水溶液によるエッチングにより進行できる。前記アルカリ水溶液は、10℃〜100℃、または25℃〜60℃の温度、および1%〜10%、または1%〜5%の濃度を有することができ、より具体的には、フォトレジスト剥離液を使用することができる。前記アルカリ水溶液は、前記1次硬化によりエステル結合を含む主鎖が形成された高分子樹脂層内でエステル結合を切ることで高分子樹脂層をエッチング除去することができる。この時、前記アルカリ水溶液の濃度および温度を調節することによって、アルカリ水溶液による高分子樹脂層のエッチング速度を制御可能で、上述した範囲内で適正水準のエッチング速度を維持して工程の効率性を確保しながらも、容易に高分子樹脂層の厚さを調節することができる。 The exposure of the metal protrusions described above can be progressed by etching with an alkaline aqueous solution. The alkaline aqueous solution may have a temperature of 10° C. to 100° C., or 25° C. to 60° C., and a concentration of 1% to 10%, or 1% to 5%, and more specifically, photoresist stripping. A liquid can be used. The alkaline aqueous solution can remove the polymer resin layer by etching by cutting the ester bond in the polymer resin layer in which the main chain containing the ester bond is formed by the primary curing. At this time, it is possible to control the etching rate of the polymer resin layer by the alkaline aqueous solution by adjusting the concentration and temperature of the alkaline aqueous solution, and to maintain an appropriate level of the etching rate within the above range to improve the process efficiency. The thickness of the polymer resin layer can be easily adjusted while ensuring the thickness.

前記アルカリ水溶液は、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムなどの金属水酸化物の水溶液を使用することができ、Atotech社のResistrip製品群、ORCHEM社のORC−731、ORC−723K、ORC−740、SLF−6000など商用販売する製品も使用可能である。 The alkaline aqueous solution may be an aqueous solution of a metal hydroxide such as potassium hydroxide or sodium hydroxide, and may be a resist product group of Atotech, ORC-731, ORC-723K, ORC-740, SLF of ORCHEM. Commercially available products such as -6000 can also be used.

前記アルカリ水溶液によるエッチングは、前記硬化した高分子樹脂層の表面から進行できる。前記硬化した高分子樹脂層の表面は、表面に金属突起が形成された導体配線を密封している高分子樹脂層が空気中と接触する面積を意味し、前記硬化した高分子樹脂層の表面から表面に金属突起が形成された導体配線を密封する高分子樹脂層の内部にエッチングが進行するにつれ、金属突起が露出できる。 The etching with the alkaline aqueous solution may proceed from the surface of the cured polymer resin layer. The surface of the cured polymer resin layer means the area where the polymer resin layer that seals the conductor wiring on which the metal protrusions are formed contacts the air, and the surface of the cured polymer resin layer. The metal protrusions can be exposed as the etching progresses inside the polymer resin layer that seals the conductor wiring having the metal protrusions formed on the surface.

前記アルカリ水溶液によるエッチングが前記硬化した高分子樹脂層の表面から進行するために、前記アルカリ水溶液は、前記硬化した高分子樹脂層の表面に接触できる。この時、高分子樹脂層の物理的損傷なく均一な除去で厚さ均一性を確保するために、前記アルカリ水溶液は、スプレーによる噴射などの方法により高分子樹脂層の表面で接触させることができる。 Since the etching with the alkaline aqueous solution proceeds from the surface of the cured polymeric resin layer, the alkaline aqueous solution may contact the surface of the cured polymeric resin layer. At this time, the alkaline aqueous solution may be contacted on the surface of the polymer resin layer by a method such as spraying in order to ensure thickness uniformity by uniform removal without physical damage of the polymer resin layer. ..

また、前記一実施形態の絶縁層の製造方法は、前記金属突起が露出した状態で、高分子樹脂層を2次硬化させる段階を含むことができる。前記2次硬化段階により、前記2次硬化段階により最終的に製造される絶縁層の化学的耐抵抗性が向上できる。 In addition, the method of manufacturing the insulating layer according to the exemplary embodiment may include a step of secondarily curing the polymer resin layer with the metal protrusion exposed. The second hardening step may improve the chemical resistance of the insulating layer finally manufactured by the second hardening step.

この時、具体的な硬化条件が限定されるものではなく、例えば、前記高分子樹脂層の2次硬化段階は、150℃〜250℃の温度で0.1時間〜2時間進行させることができる。 At this time, the specific curing conditions are not limited, and for example, the secondary curing step of the polymer resin layer may be performed at a temperature of 150°C to 250°C for 0.1 hours to 2 hours. ..

一方、前記金属突起が露出した状態で、高分子樹脂層を2次硬化させる段階の後に、必要に応じて、導体配線の下部に形成された基材を除去する段階をさらに含んでもよい。上述のように、前記導体配線は、下部に回路基板、シート、多層プリント配線板などの半導体材料を含む基材上に形成された状態で存在できる。より微細な構造の多層回路基板の形成のために、必要に応じて、導体配線の下部の基材を除去することができ、前記基材は、高分子樹脂層と接着あるいは粘着された状態で存在して、物理的に剥離して除去できる。 On the other hand, after the step of secondarily curing the polymer resin layer with the metal protrusion exposed, a step of removing the base material formed under the conductor wiring may be further included, if necessary. As described above, the conductor wiring may exist in a state of being formed on a base material containing a semiconductor material such as a circuit board, a sheet, and a multilayer printed wiring board on the lower portion. In order to form a multilayer circuit board having a finer structure, the base material under the conductor wiring can be removed, if necessary, and the base material is adhered or adhered to the polymer resin layer. It is present and can be physically stripped and removed.

一方、発明の他の実施形態によれば、前記一実施形態で製造された絶縁層上にパターンが形成された金属パターン層を形成する段階を含む多層印刷回路基板の製造方法が提供される。 Meanwhile, according to another embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a multilayer printed circuit board, which includes the step of forming a patterned metal pattern layer on the insulating layer manufactured according to the one embodiment.

本発明者らは、前記一実施形態で製造された絶縁層は、内部に表面に金属突起が形成された導体配線を含み、前記金属突起が絶縁層の外部に露出して、前記絶縁層上に金属パターン層を新たに積層する場合、前記金属パターン層が金属突起を介して絶縁層内部の導体配線と電気的信号をやり取りできることを確認して、発明を完成した。 According to the inventors, the insulating layer manufactured in the one embodiment includes a conductor wiring having a metal protrusion formed on the surface thereof, the metal protrusion being exposed to the outside of the insulating layer, In the case of newly laminating a metal pattern layer on, the present invention was completed by confirming that the metal pattern layer can exchange electrical signals with the conductor wiring inside the insulating layer through the metal protrusion.

前記絶縁層は、多層印刷回路基板の層間絶縁材料として使用可能であり、アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーの硬化物、具体的には、熱硬化物または光硬化物を含むことができる。前記アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーに関する内容は、前記一実施形態で上述した内容を含む。 The insulating layer can be used as an interlayer insulating material of a multilayer printed circuit board, and can include a cured product of an alkali-soluble resin and a thermosetting binder, specifically, a thermoset product or a photocured product. The contents regarding the alkali-soluble resin and the thermosetting binder include the contents described above in the one embodiment.

より具体的には、前記絶縁層上に金属パターン層を形成する段階の例を挙げると、前記絶縁層上に金属薄膜を形成する段階と、前記金属薄膜上にパターンが形成された感光性樹脂層を形成する段階と、前記感光性樹脂層パターンによって露出した金属薄膜上に金属を蒸着させる段階と、前記感光性樹脂層を除去し、露出した金属薄膜を除去する段階とを含むことができる。 More specifically, to give an example of a step of forming a metal pattern layer on the insulating layer, a step of forming a metal thin film on the insulating layer and a photosensitive resin having a pattern formed on the metal thin film. The method may include forming a layer, depositing a metal on the metal thin film exposed by the photosensitive resin layer pattern, and removing the photosensitive resin layer and removing the exposed metal thin film. ..

前記絶縁層上に金属薄膜を形成する段階で、金属薄膜の形成方法の例としては、乾式蒸着工程または湿式蒸着工程が挙げられ、具体的な前記乾式蒸着工程の例としては、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング方法などが挙げられる。 In the step of forming a metal thin film on the insulating layer, examples of the method of forming the metal thin film include a dry deposition process or a wet deposition process, and specific examples of the dry deposition process include vacuum deposition and ion deposition. Examples include plating and sputtering methods.

一方、具体的な前記湿式蒸着工程の例としては、多様な金属の無電解メッキなどがあり、無電解銅メッキが一般的であり、蒸着前または後に粗化処理工程をさらに含んでもよい。 On the other hand, as a specific example of the wet deposition process, there is electroless plating of various metals, and electroless copper plating is generally used, and a roughening process may be further included before or after the deposition.

前記粗化処理工程にも、条件に応じて乾式および湿式方法があり、前記乾式方法の例としては、真空、常圧、気体別プラズマ処理、気体別Excimer UV処理などが挙げられ、前記湿式方法の例としては、デスミア処理を使用することができる。このような粗化処理工程により、前記金属薄膜の表面粗さを高めて金属薄膜上に蒸着される金属との密着力を向上させることができる。 The roughening treatment step also includes a dry method and a wet method depending on the conditions. Examples of the dry method include vacuum, atmospheric pressure, plasma treatment by gas, and Excimer UV treatment by gas. As an example, a desmear process can be used. By such a roughening treatment step, it is possible to increase the surface roughness of the metal thin film and improve the adhesion to the metal deposited on the metal thin film.

また、前記絶縁層上に金属薄膜を形成する段階は、前記金属薄膜を蒸着する前に、前記絶縁層上に表面処理層を形成する段階をさらに含んでもよい。これによって、前記金属薄膜と絶縁層との間の接着力が向上できる。 Further, the step of forming the metal thin film on the insulating layer may further include the step of forming a surface treatment layer on the insulating layer before depositing the metal thin film. Accordingly, the adhesive force between the metal thin film and the insulating layer can be improved.

具体的には、前記絶縁層上に表面処理層を形成する方法の一例を挙げると、イオン補助反応法、イオンビーム処理法、プラズマ処理法のうちの少なくともいずれか1つを使用することができる。プラズマ処理法は、常圧プラズマ処理法、DCプラズマ処理法、RFプラズマ処理法のうちのいずれか1つを含むことができる。前記表面処理工程の結果、前記絶縁層の表面に反応性官能基を含む表面処理層が形成される。前記絶縁層上に表面処理層を形成する方法の他の例としては、前記絶縁層の表面に、50nm〜300nmの厚さのクロム(Cr)、チタニウム(Ti)金属を蒸着する方法が挙げられる。 Specifically, as an example of a method of forming a surface treatment layer on the insulating layer, at least one of an ion assisted reaction method, an ion beam treatment method, and a plasma treatment method can be used. .. The plasma processing method may include any one of an atmospheric pressure plasma processing method, a DC plasma processing method, and an RF plasma processing method. As a result of the surface treatment step, a surface treatment layer containing a reactive functional group is formed on the surface of the insulating layer. Another example of the method of forming the surface treatment layer on the insulating layer is a method of depositing chromium (Cr) or titanium (Ti) metal having a thickness of 50 nm to 300 nm on the surface of the insulating layer. ..

一方、前記金属薄膜上にパターンが形成された感光性樹脂層を形成する段階は、前記金属薄膜上に形成された感光性樹脂層を露光および現像する段階を含むことができる。前記感光性樹脂層と露光および現像に関する内容は、前記一実施形態で上述した内容を含むことができる。 Meanwhile, the step of forming the patterned photosensitive resin layer on the metal thin film may include exposing and developing the photosensitive resin layer formed on the metal thin film. The contents relating to the photosensitive resin layer and exposure and development may include the contents described above in the one embodiment.

特に、前記金属薄膜上に形成されるパターンは、パターンに含まれている開口部が前記絶縁層の外部に露出した金属突起と互いに当接できるように形成することが好ましい。前記パターンに含まれている開口部は、前記感光性樹脂層の露光および現像により除去された部分を意味し、後述する金属蒸着により金属が蒸着されて前記金属パターン層を形成する部分に相当する。したがって、前記パターンに含まれている開口部が前記絶縁層の外部に露出した金属突起と互いに当接できるように形成されてこそ、金属パターン層が金属突起と接触しながら絶縁層内部の導体配線と電気的信号をやり取りできる。 In particular, the pattern formed on the metal thin film is preferably formed so that the openings included in the pattern can contact the metal protrusions exposed to the outside of the insulating layer. The opening portion included in the pattern means a portion removed by exposure and development of the photosensitive resin layer, and corresponds to a portion where metal is deposited by metal deposition described below to form the metal pattern layer. .. Therefore, it is necessary that the openings included in the pattern are formed so as to contact the metal protrusions exposed to the outside of the insulating layer, and the metal pattern layer is in contact with the metal protrusions while the conductor wiring inside the insulating layer is being formed. Can exchange electrical signals with.

前記感光性樹脂層パターンによって露出した金属薄膜上に金属を蒸着させる段階で、前記感光性樹脂層パターンによって露出した金属薄膜とは、表面で感光性樹脂層と接触していない金属薄膜部分を意味する。前記蒸着される金属は、銅を使用することができ、前記蒸着方法の例は大きく限定されず、公知の多様な物理的または化学的蒸着方法を制限なく使用することができ、汎用の一例としては、電解銅メッキ方法を使用することができる。 In the step of depositing a metal on the metal thin film exposed by the photosensitive resin layer pattern, the metal thin film exposed by the photosensitive resin layer pattern means a metal thin film portion which is not in contact with the photosensitive resin layer on the surface. To do. As the metal to be deposited, copper may be used, examples of the deposition method are not particularly limited, and various known physical or chemical vapor deposition methods may be used without limitation. Can use the electrolytic copper plating method.

この時、前記感光性樹脂層パターンによって露出した金属薄膜上に蒸着される金属が上述した金属パターン層を形成することができ、より具体的には、前記金属パターン層は、金属突起を介して導体配線と連結されるように形成される。これにより、前記金属パターン層は、絶縁層の内部に含まれている導体配線と電気的信号をやり取りできる。より具体的には、前記金属突起の一末端は導体配線と接触し、前記金属突起の他の一末端は前記金属パターン層と接触して、電気的に前記導体配線と金属パターン層を連結することができる。 At this time, the metal deposited on the metal thin film exposed by the photosensitive resin layer pattern may form the metal pattern layer described above, and more specifically, the metal pattern layer may be formed through metal protrusions. It is formed so as to be connected to the conductor wiring. As a result, the metal pattern layer can exchange electrical signals with the conductor wiring included inside the insulating layer. More specifically, one end of the metal protrusion is in contact with a conductor wiring, and the other end of the metal protrusion is in contact with the metal pattern layer to electrically connect the conductor wiring and the metal pattern layer. be able to.

前記感光性樹脂層を除去し、露出した金属薄膜を除去する段階で、前記感光性樹脂層の除去方法の例としては、フォトレジスト剥離液を使用することができ、前記感光性樹脂層の除去によって露出する金属薄膜の除去方法の例としては、エッチング液を使用することができる。 In the step of removing the photosensitive resin layer and removing the exposed metal thin film, a photoresist stripping solution can be used as an example of the method of removing the photosensitive resin layer. An etching solution can be used as an example of a method of removing the metal thin film exposed by.

前記多層印刷回路基板の製造方法により製造された多層印刷回路基板は、再びビルドアップ材料として使用可能であり、例えば、前記多層印刷回路基板上に前記一実施形態の絶縁層の製造方法により絶縁層を形成する第1工程と、前記絶縁層上に前記他の実施形態の多層印刷回路基板の製造方法により金属基板を形成する第2工程とを繰り返し進行させることができる。 The multilayer printed circuit board manufactured by the method for manufacturing a multilayer printed circuit board can be used again as a build-up material. For example, an insulating layer can be formed on the multilayer printed circuit board by the method for manufacturing an insulating layer according to the one embodiment. The first step of forming a metal substrate and the second step of forming a metal substrate on the insulating layer by the method for manufacturing a multilayer printed circuit board according to the other embodiment may be repeatedly performed.

これにより、前記多層印刷回路基板の製造方法により製造される多層印刷回路基板に含まれている積層された層の数も大きく限定されず、使用目的、用途に応じて、例えば、1層以上、または1層〜20層を有することができる。 Accordingly, the number of laminated layers included in the multilayer printed circuit board manufactured by the method for manufacturing a multilayer printed circuit board is not particularly limited, and for example, one or more layers may be used depending on the purpose of use and application. Alternatively, it can have 1 to 20 layers.

本発明によれば、より速やかでかつ簡単な方法で製造可能で工程の効率性が向上でき、絶縁層の物理的損傷を防止でき、厚さ調節が容易な絶縁層の製造方法および前記絶縁層の製造方法から得られる絶縁層を用いた多層印刷回路基板の製造方法が提供される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can be manufactured by a quicker and simpler method, the efficiency of a process can be improved, physical damage to an insulating layer can be prevented, and the thickness of the insulating layer can be easily adjusted. There is provided a method of manufacturing a multilayer printed circuit board using an insulating layer obtained from the method of manufacturing.

発明を下記の実施例でより詳細に説明する。ただし、下記の実施例は本発明を例示するものに過ぎず、本発明の内容が下記の実施例によって限定されるものではない。 The invention is explained in more detail in the examples below. However, the following examples merely exemplify the present invention, and the contents of the present invention are not limited to the following examples.

<製造例:アルカリ可溶性樹脂の製造> <Production Example: Production of alkali-soluble resin>

製造例1
製造温度計、撹拌装置、還流冷却管、水分定量器が装着された、加熱および冷却可能な容積2リットルの反応容器に、溶媒としてジメチルホルムアミド(Dimethylformamide、DMF)632g、N−置換マレイミド化合物としてBMI−1100(Daiwakasei社製)358g、アミン化合物として4−アミノフェニル酢酸151gを混合し、85℃で24時間撹拌して、固形分含有量50%のアルカリ可溶性樹脂溶液を製造した。
Production example 1
In a reaction vessel having a heating and cooling capacity of 2 liters, equipped with a production thermometer, a stirrer, a reflux condenser, and a water content meter, 632 g of dimethylformamide (DMF) as a solvent and BMI as an N-substituted maleimide compound were used. -1100 (manufactured by Daiwakasei Co., Ltd.) was mixed with 358 g of 4-aminophenylacetic acid as an amine compound, and the mixture was stirred at 85° C. for 24 hours to prepare an alkali-soluble resin solution having a solid content of 50%.

製造例2
製造温度計、撹拌装置、還流冷却管、水分定量器が装着された、加熱および冷却可能な容積2リットルの反応容器に、溶媒としてジメチルホルムアミド(Dimethylformamide、DMF)632g、N−置換マレイミド化合物としてp−カルボキシフェニルマレイミド434g、アミン化合物として4,4’−ジアミノジフェニルメタン198gを混合し、85℃で24時間撹拌して、固形分含有量50%のアルカリ可溶性樹脂溶液を製造した。
Production example 2
In a reaction vessel having a volume of 2 liters capable of heating and cooling, equipped with a production thermometer, a stirrer, a reflux condenser, and a moisture meter, 632 g of dimethylformamide (DMF) as a solvent and p as an N-substituted maleimide compound were used. -434 g of carboxyphenylmaleimide and 198 g of 4,4'-diaminodiphenylmethane as an amine compound were mixed and stirred at 85°C for 24 hours to prepare an alkali-soluble resin solution having a solid content of 50%.

製造例3
製造温度計、撹拌装置、還流冷却管、水分定量器が装着された、加熱および冷却可能な容積2リットルの反応容器に、溶媒としてジメチルアセトアミド(Dimethylacetamide、DMAc)543gを入れて、Cray Valley社のSMA1000 350g、4−アミノ安息香酸(4−aminobenzoic acid、PABA)144g、4−アミノフェノール(4−aminophenol、PAP)49gを投入後、混合した。窒素雰囲気下、反応器の温度を80℃にし、24時間継続して酸無水物とアニリン誘導体が反応してアミック酸を形成させた後、反応器の温度を150℃にし、24時間継続してイミド化反応を進行させて、固形分50%のアルカリ可溶性樹脂溶液を製造した。
Production Example 3
In a reaction vessel having a heating and cooling capacity of 2 liters equipped with a production thermometer, a stirrer, a reflux condenser, and a moisture meter, 543 g of dimethylacetamide (Dimethylacetamide, DMAc) was put as a solvent, and a Cray Valley company 350 g of SMA1000, 144 g of 4-aminobenzoic acid (PABA) and 49 g of 4-aminophenol (4-aminophenol, PAP) were added and then mixed. Under a nitrogen atmosphere, the temperature of the reactor was set to 80° C., the acid anhydride and the aniline derivative were reacted with each other for 24 hours to form an amic acid, and then the temperature of the reactor was set to 150° C. and continued for 24 hours. The imidization reaction was allowed to proceed to produce an alkali-soluble resin solution having a solid content of 50%.

製造例4
製造温度計、撹拌装置、還流冷却管、水分定量器が装着された、加熱および冷却可能な容積2リットルの反応容器に、溶媒としてメチルエチルケトン(Methylethylketone、MEK)516gを入れて、p−カルボキシフェニルマレイミド(p−carboxyphenylmaleimide)228g、p−ヒドロキシフェニルマレイミド(p−hydroxyphenylmaleimide)85g、スチレン(styrene)203g、アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)0.12gを投入後、混合した。窒素雰囲気下、反応器の温度を70℃に徐々に上昇させた後、24時間継続して、固形分50%のアルカリ可溶性樹脂溶液を製造した。
Production Example 4
Into a reaction vessel having a heating and cooling capacity of 2 liters equipped with a production thermometer, a stirrer, a reflux condenser, and a moisture meter, 516 g of methyl ethyl ketone (methylethylketone, MEK) was placed as a solvent, and p-carboxyphenylmaleimide. 228 g of (p-carboxyphenylmaleimide), 85 g of p-hydroxyphenylmaleimide (p-hydroxyphenylmaleimide), 203 g of styrene (styrene), and 0.12 g of azobisisobutyronitrile (AIBN) were added and then mixed. After gradually raising the temperature of the reactor to 70° C. under a nitrogen atmosphere, the reaction was continued for 24 hours to prepare an alkali-soluble resin solution having a solid content of 50%.

<実施例:絶縁層および多層印刷回路基板の製造> <Example: Manufacturing of insulating layer and multilayer printed circuit board>

実施例1
(1)絶縁層の製造
前記製造例1で合成したアルカリ可溶性樹脂16g、熱硬化性バインダーとしてMY−510(Huntsman製)5g、無機フィラーとしてSC2050 MTO(固形分70%、Adamatech製)35gを混合した高分子樹脂組成物を25μmの厚さの無処理PETフィルムに塗布し、乾燥させて、18μmの厚さの高分子樹脂層を製造した。
Example 1
(1) Production of Insulating Layer 16 g of the alkali-soluble resin synthesized in Production Example 1, 5 g of MY-510 (manufactured by Huntsman) as a thermosetting binder, and 35 g of SC2050 MTO (70% solid content, manufactured by Adamatech) as an inorganic filler are mixed. The polymer resin composition prepared above was applied to an untreated PET film having a thickness of 25 μm and dried to produce a polymer resin layer having a thickness of 18 μm.

そして、極薄銅箔が接着されている銅箔積層板(LG−500GA VB/VB、LG化学)上にドライフィルム(RY−5319、日立化成)をラミネートしてパターンを形成し、電気メッキをしてMSAP工法で回路を形成した。この後、前記回路上にドライフィルム(RY−5319、日立化成)をラミネートしてパターンを形成し、電気メッキをして、高さ15μm、直径20μmの銅バンプを形成した。 Then, a dry film (RY-5319, Hitachi Chemical Co., Ltd.) is laminated on a copper foil laminated plate (LG-500GA VB/VB, LG Chemical) to which an ultra-thin copper foil is adhered to form a pattern, and electroplating is performed. Then, a circuit was formed by the MSAP method. Then, a dry film (RY-5319, Hitachi Chemical Co., Ltd.) was laminated on the circuit to form a pattern, and electroplating was performed to form a copper bump having a height of 15 μm and a diameter of 20 μm.

この後、前記銅箔積層板上に高分子樹脂層を85℃で真空ラミネートして回路と銅バンプを密封させ、高分子樹脂層からPETフィルムを除去した。前記ラミネートされた高分子樹脂層を100℃の温度で1時間1次熱硬化させた後、50℃の温度の3%水酸化ナトリウムレジスト剥離液を高分子樹脂層の表面にスプレー噴射して、高分子樹脂層の表面から約3μmの深さだけ除去して銅バンプを表面上に露出させ、水洗および乾燥させた。この時、前記銅バンプを露出させる工程は、連続工程で1パネルあたり10秒〜60秒間進行した。 Then, a polymer resin layer was vacuum laminated on the copper foil laminate at 85° C. to seal the circuit and the copper bump, and the PET film was removed from the polymer resin layer. The laminated polymer resin layer was first heat-cured at a temperature of 100° C. for 1 hour, and then a 3% sodium hydroxide resist stripping solution at a temperature of 50° C. was spray-sprayed on the surface of the polymer resin layer. The copper bumps were removed from the surface of the polymer resin layer by a depth of about 3 μm to expose the copper bumps on the surface, washed with water and dried. At this time, the process of exposing the copper bump was performed in a continuous process for 10 to 60 seconds per panel.

そして、銅バンプが表面に露出した高分子樹脂層を200℃の温度で1時間熱硬化させて絶縁層を製造した。 Then, the polymer resin layer with the copper bumps exposed on the surface was thermoset at a temperature of 200° C. for 1 hour to manufacture an insulating layer.

(2)多層印刷回路基板の製造
前記絶縁層上に無電解銅メッキを用いて銅薄膜を蒸着させ、100℃の温度で30分間加熱して無電解銅メッキとの密着力を向上させた後、ドライフィルム(RY−5319、日立化成)をラミネートしてパターンを形成し、電気メッキをしてSAP工法で回路を形成した。そして、前記絶縁層から銅箔積層板および極薄銅箔を分離除去して多層印刷回路基板を完成した。
(2) Manufacture of multilayer printed circuit board After depositing a copper thin film on the insulating layer using electroless copper plating and heating at a temperature of 100° C. for 30 minutes to improve the adhesion with the electroless copper plating , A dry film (RY-5319, Hitachi Chemical Co., Ltd.) was laminated to form a pattern, and electroplating was performed to form a circuit by the SAP method. Then, the copper foil laminate and the ultrathin copper foil were separated and removed from the insulating layer to complete a multilayer printed circuit board.

実施例2
前記実施例1の絶縁層の製造段階において、製造例1で合成したアルカリ可溶性樹脂の代わりに製造例2で合成したアルカリ可溶性樹脂を用いたことを除き、前記実施例1と同様の方法で絶縁層および多層印刷回路基板を製造した。
Example 2
Insulation was performed in the same manner as in Example 1 except that the alkali-soluble resin synthesized in Production Example 1 was used in place of the alkali-soluble resin synthesized in Production Example 1 in the step of producing the insulating layer of Example 1. Layer and multilayer printed circuit boards were manufactured.

実施例3
前記実施例1の絶縁層の製造段階において、製造例1で合成したアルカリ可溶性樹脂の代わりに製造例3で合成したアルカリ可溶性樹脂を用いたことを除き、前記実施例1と同様の方法で絶縁層および多層印刷回路基板を製造した。
Example 3
Insulation was performed in the same manner as in Example 1 except that the alkali-soluble resin synthesized in Production Example 3 was used in place of the alkali-soluble resin synthesized in Production Example 1 in the step of producing the insulating layer of Example 1. Layer and multilayer printed circuit boards were manufactured.

実施例4
前記実施例1の絶縁層の製造段階において、製造例1で合成したアルカリ可溶性樹脂の代わりに製造例4で合成したアルカリ可溶性樹脂を用いたことを除き、前記実施例1と同様の方法で絶縁層および多層印刷回路基板を製造した。
Example 4
Insulation was performed in the same manner as in Example 1 except that the alkali-soluble resin synthesized in Production Example 4 was used in place of the alkali-soluble resin synthesized in Production Example 1 in the step of producing the insulating layer of Example 1. Layer and multilayer printed circuit boards were manufactured.

<比較例:絶縁層および多層印刷回路基板の製造> <Comparative example: manufacture of insulating layer and multilayer printed circuit board>

比較例1
(1)絶縁層の製造
前記製造例1の高分子樹脂層の代わりに100μmの厚さのモールディングシート(LE−T17B、味の素)を用いて、120℃で真空ラミネートし、170℃の温度で1時間熱硬化させた後、前記熱硬化された高分子樹脂層の表面をグラインディングマシンでグラインディングして銅バンプを露出させたことを除けば、前記実施例1と同様の方法で絶縁層を製造した。
Comparative Example 1
(1) Production of Insulating Layer Instead of the polymer resin layer of Production Example 1, a 100 μm-thick molding sheet (LE-T17B, Ajinomoto) was used, vacuum laminated at 120° C., and 170° C. After heat curing for a period of time, an insulating layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the surface of the heat cured polymer resin layer was ground by a grinding machine to expose the copper bumps. Manufactured.

この時、前記銅バンプを露出させる工程は、バッチ工程で1パネルあたり10分〜20分間進行して、実施例に比べて長い時間が費やされることを確認することができた。 At this time, it was confirmed that the step of exposing the copper bumps was performed in a batch process for 10 to 20 minutes per panel, and a longer time was spent as compared with the example.

(2)多層印刷回路基板の製造
前記比較例1で得られた絶縁層に対して、実施例1と同様の方法で多層印刷回路基板を製造した。
(2) Manufacture of multilayer printed circuit board A multilayer printed circuit board was manufactured in the same manner as in Example 1 with respect to the insulating layer obtained in Comparative Example 1.

比較例2
前記ラミネートされた高分子樹脂層を100℃の温度で1時間1次熱硬化させた後、50℃の温度の3%水酸化ナトリウムレジスト剥離液を高分子樹脂層の表面にスプレー噴射する代わりに、高分子樹脂層を200℃の温度で1時間熱硬化させた後、通常の方法によりスウェラー(Atotech、Sweller−p、40%)、エッチング(KMnO 9%、NaOH、6%)および中和(HSO、9%)の順にデスミア処理し、高分子樹脂層の表面から約3μmの深さだけ除去して銅バンプを表面上に露出させたことを除き、前記実施例1と同様に絶縁層および多層印刷回路基板を製造した。
Comparative example 2
The laminated polymer resin layer is first thermally cured at a temperature of 100° C. for 1 hour, and then a 3% sodium hydroxide resist stripping solution at a temperature of 50° C. is sprayed onto the surface of the polymer resin layer instead of spraying. After heat-curing the polymer resin layer at a temperature of 200° C. for 1 hour, a sweller (Atotech, Sweller-p, 40%), etching (KMnO 4 9%, NaOH, 6%) and neutralization are performed by a usual method. (H 2 SO 4 , 9%) in the same order as in Example 1, except that the copper bumps were exposed on the surface by desmearing the surface of the polymer resin layer to a depth of about 3 μm. An insulating layer and a multilayer printed circuit board were manufactured.

この時、前記銅バンプを露出させるデスミア工程は、連続バッチ工程でエッチング段階でのみ1パネルあたり5分〜10分間進行して、実施例に比べて長い時間が費やされ、過マンガン酸カリウムのような有害な化学物質が投入されなければならないだけでなく、高分子樹脂層の厚さ調節が難しいという限界があることを確認することができた。 At this time, the desmearing process of exposing the copper bumps proceeds for 5 to 10 minutes per panel only in an etching step in a continuous batch process, and a longer time is spent as compared with the embodiment. It was confirmed that not only such harmful chemical substances had to be added, but it was difficult to control the thickness of the polymer resin layer.

比較例3
前記製造例1で合成したアルカリ可溶性樹脂16g、熱硬化性バインダーとしてMY−510(Huntsman製)5g、無機フィラーとしてSC2050 MTO(Adamatech製)35gを混合した高分子樹脂組成物を25μmの厚さの無処理PETフィルムに塗布し、乾燥させて、18μmの厚さの高分子樹脂層を製造した。
Comparative Example 3
A polymer resin composition having a thickness of 25 μm was prepared by mixing 16 g of the alkali-soluble resin synthesized in Production Example 1, 5 g of MY-510 (manufactured by Huntsman) as a thermosetting binder, and 35 g of SC2050 MTO (manufactured by Adamatech) as an inorganic filler. It was applied on an untreated PET film and dried to produce a polymer resin layer having a thickness of 18 μm.

そして、極薄銅箔が接着されている銅箔積層板(LG−500GA VB/VB、LG化学)上にドライフィルム(RY−5319、日立化成)をラミネートしてパターンを形成し、電気メッキをしてMSAP工法で回路を形成した。この後、前記回路上にドライフィルム(RY−5319、日立化成)をラミネートしてパターンを形成し、電気メッキをして、高さ15μm、直径20μmの銅バンプを形成した。 Then, a dry film (RY-5319, Hitachi Chemical Co., Ltd.) is laminated on a copper foil laminated plate (LG-500GA VB/VB, LG Chemical) to which an ultra-thin copper foil is adhered to form a pattern, and electroplating is performed. Then, a circuit was formed by the MSAP method. Then, a dry film (RY-5319, Hitachi Chemical Co., Ltd.) was laminated on the circuit to form a pattern, and electroplating was performed to form a copper bump having a height of 15 μm and a diameter of 20 μm.

この後、前記銅箔積層板上に高分子樹脂層を85℃で真空ラミネートして回路と銅バンプを密封させ、高分子樹脂層からPETフィルムを除去した。この後、前記ラミネートされた高分子樹脂層を100℃の温度で1時間1次熱硬化させる工程を省略し、前記ラミネートされた高分子樹脂層を直ちに50℃の温度の3%水酸化ナトリウムレジスト剥離液を高分子樹脂層の表面にスプレー噴射した。 Then, a polymer resin layer was vacuum laminated on the copper foil laminate at 85° C. to seal the circuit and the copper bump, and the PET film was removed from the polymer resin layer. Thereafter, the step of first thermosetting the laminated polymer resin layer at a temperature of 100° C. for 1 hour is omitted, and the laminated polymer resin layer is immediately added with a 3% sodium hydroxide resist at a temperature of 50° C. The stripping solution was sprayed onto the surface of the polymer resin layer.

この時、前記比較例3の場合、水酸化ナトリウムレジスト剥離液が噴射されてから10秒以内に高分子樹脂層がすべて除去されて、銅バンプおよび下部の回路まで露出する技術的限界が確認された。 At this time, in the case of Comparative Example 3, it was confirmed that the polymer resin layer was completely removed within 10 seconds after the sodium hydroxide resist stripping solution was sprayed, and the copper bump and the underlying circuit were exposed to a technical limit. It was

つまり、前記比較例3のように、剥離液の噴射前に高分子樹脂層に対する硬化段階を進行させない場合、高分子樹脂層の除去される程度を制御しにくくて、銅バンプの一部のみを高分子樹脂層の表面に露出させるのに適合しないことを確認した。 That is, as in Comparative Example 3, when the curing step for the polymer resin layer is not advanced before the stripping solution is sprayed, it is difficult to control the degree of removal of the polymer resin layer and only a part of the copper bump is controlled. It was confirmed that it was not suitable for being exposed on the surface of the polymer resin layer.

<実験例:実施例および比較例で得られた絶縁層および多層印刷回路基板の物性の測定>
前記実施例および比較例で得られた絶縁層の物性を下記の方法で測定し、その結果を表1に示した。
<Experimental example: Measurement of physical properties of insulating layer and multilayer printed circuit board obtained in Examples and Comparative Examples>
The physical properties of the insulating layers obtained in the above Examples and Comparative Examples were measured by the following methods, and the results are shown in Table 1.

1.吸湿による金属密着力
前記実施例および比較例で得られた多層印刷回路基板に対して、135℃、85%の吸湿状態で48時間放置させた後、IPC−TM−650基準に従って金属の剥離強度を測定して、これから金属密着力を求めた。
1. Adhesion of metal by moisture absorption The multilayer printed circuit boards obtained in the examples and comparative examples were allowed to stand for 48 hours in a moisture absorption state of 135° C. and 85%, and then peel strength of metal according to IPC-TM-650 standard. Was measured and the metal adhesion was determined from this.

2.HAST(Highly Accelerated Temp&Humidity Stress Test)耐性
前記実施例および比較例で得られた多層印刷回路基板に対して、JESD22−A101基準に従ってHAST耐性を確認した。具体的には、幅、間隔、厚さがそれぞれ50μm、50μm、12μmの試験片回路基板に対して、3Vの電圧を印加し、168時間放置した後、次の基準下で試験片回路基板の外観上の異常の有無を確認した。
2. HAST (High Accelerated Temp & Humidity Stress Test) Resistance The multilayer printed circuit boards obtained in the above-mentioned Examples and Comparative Examples were confirmed to have HAST resistance according to the JESD22-A101 standard. Specifically, a voltage of 3 V is applied to a test piece circuit board having widths, intervals, and thicknesses of 50 μm, 50 μm, and 12 μm, respectively, and the test piece circuit board is allowed to stand for 168 hours. It was confirmed whether or not there was an abnormality in appearance.

OK:被膜の外観に異常が観察されない
NG:被膜に水泡または剥がれが観察される
OK: No abnormality is observed in the appearance of the coating. NG: Water bubbles or peeling are observed in the coating.

Claims (18)

表面に金属突起が形成された導体配線を、アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーを含む高分子樹脂層で密封する段階と、
前記高分子樹脂層を1次硬化させる段階と、
前記硬化した高分子樹脂層の表面をアルカリ水溶液でエッチングして金属突起を露出させる段階と、
前記金属突起が露出した状態で、高分子樹脂層を2次硬化させる段階とを含
前記高分子樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、熱硬化性バインダー1重量部〜100重量部を含む、絶縁層の製造方法。
A step of sealing the conductor wiring having a metal protrusion formed on the surface thereof with a polymer resin layer containing an alkali-soluble resin and a thermosetting binder,
First curing the polymer resin layer,
Etching the surface of the cured polymer resin layer with an alkaline aqueous solution to expose the metal protrusions;
Wherein in a state where the metal projection is exposed, see contains a step of curing the polymeric resin layer secondary,
The said polymeric resin layer is a manufacturing method of an insulating layer containing 1 weight part-100 weight part of thermosetting binders with respect to 100 weight part of alkali-soluble resin .
前記アルカリ可溶性樹脂は、酸性官能基;およびアミノ基で置換された環状イミド官能基をそれぞれ少なくとも2以上含む、請求項1に記載の絶縁層の製造方法。 The method for producing an insulating layer according to claim 1, wherein the alkali-soluble resin includes at least two acidic functional groups and at least two cyclic imide functional groups substituted with amino groups. 前記アミノ基で置換された環状イミド官能基は、下記化学式1で表される官能基を含む、請求項2に記載の絶縁層の製造方法:
前記化学式1において、Rは、炭素数1〜10のアルキレン基またはアルケニル基であり、「*」は、結合地点を意味する。
The method for producing an insulating layer according to claim 2, wherein the cyclic imide functional group substituted with an amino group includes a functional group represented by the following Chemical Formula 1.
In Chemical Formula 1, R 1 is an alkylene group or an alkenyl group having 1 to 10 carbon atoms, and “*” means a bonding point.
前記アルカリ可溶性樹脂は、KOH滴定によって求められる酸価(acid value)が50mgKOH/g〜250mgKOH/gである、請求項1に記載の絶縁層の製造方法。 The method for producing an insulating layer according to claim 1, wherein the alkali-soluble resin has an acid value determined by KOH titration of 50 mgKOH/g to 250 mgKOH/g. 前記アルカリ可溶性樹脂は、環状不飽和イミド化合物;およびアミン化合物の反応により製造され、前記環状不飽和イミド化合物とアミン化合物のうちの少なくとも1つ以上は、末端に置換された酸性官能基を含む、請求項1に記載の絶縁層の製造方法。 The alkali-soluble resin is produced by a reaction of a cyclic unsaturated imide compound; and an amine compound, and at least one or more of the cyclic unsaturated imide compound and the amine compound contains a terminal substituted acidic functional group, The method for manufacturing an insulating layer according to claim 1. 前記アミン化合物は、アミノ基で置換されたカルボン酸化合物および2以上のアミノ基を含む多官能アミン化合物からなる群より選択された1種以上を含む、請求項5に記載の絶縁層の製造方法。 The method for producing an insulating layer according to claim 5, wherein the amine compound includes one or more selected from the group consisting of a carboxylic acid compound substituted with an amino group and a polyfunctional amine compound containing two or more amino groups. .. 前記アルカリ可溶性樹脂は、下記化学式3で表される繰り返し単位;および下記化学式4で表される繰り返し単位をそれぞれ少なくとも1以上含む、請求項1に記載の絶縁層の製造方法:
前記化学式3において、Rは、直接結合、炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数1〜20のアルケニル基、または炭素数6〜20のアリーレン基であり、「*」は、結合地点を意味し、
前記化学式4において、Rは、直接結合、炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数1〜20のアルケニル基、または炭素数6〜20のアリーレン基であり、
は、−H、−OH、−NR、ハロゲン、または炭素数1〜20のアルキル基であり、
前記RおよびRは、それぞれ独立に、水素、炭素数1〜20のアルキル基、または炭素数6〜20のアリール基であり、
「*」は、結合地点を意味する。
The method for producing an insulating layer according to claim 1, wherein the alkali-soluble resin includes at least one repeating unit represented by the following chemical formula 3; and at least one repeating unit represented by the following chemical formula 4.
In Chemical Formula 3, R 2 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, and “*” indicates a bonding point. Meaning,
In Chemical Formula 4, R 3 is a direct bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an arylene group having 6 to 20 carbon atoms,
R 4 is —H, —OH, —NR 5 R 6 , halogen, or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms,
R 5 and R 6 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms,
"*" means a binding point.
前記アルカリ可溶性樹脂は、下記化学式5で表される繰り返し単位を含む重合体、下記化学式6で表されるアミン、および下記化学式7で表されるアミンの反応で製造される、請求項7に記載の絶縁層の製造方法:
前記化学式5〜7において、R〜Rは、請求項7で定義したものと同じであり、「*」は、結合地点を意味する。
The said alkali-soluble resin is manufactured by reaction of the polymer containing the repeating unit represented by the following chemical formula 5, the amine represented by the following chemical formula 6, and the amine represented by the following chemical formula 7. Insulation layer manufacturing method:
In Chemical Formulas 5 to 7, R 2 to R 4 are the same as those defined in claim 7, and “*” means a bonding point.
前記アルカリ可溶性樹脂は、下記化学式8で表される化合物および下記化学式9で表される化合物の反応で製造される、請求項7に記載の絶縁層の製造方法:
前記化学式8〜9において、R〜Rは、請求項7で定義したものと同じである。
The method for producing an insulating layer according to claim 7, wherein the alkali-soluble resin is produced by a reaction of a compound represented by the following chemical formula 8 and a compound represented by the following chemical formula 9.
In Chemical Formulas 8 to 9, R 2 to R 4 are the same as defined in claim 7.
前記熱硬化性バインダーは、オキセタニル基、環状エーテル基、環状チオエーテル基、シアニド基、マレイミド基、およびベンゾキサジン基からなる群より選択された1種以上の官能基、並びにエポキシ基を含む、請求項1に記載の絶縁層の製造方法。 The thermosetting binder contains one or more functional groups selected from the group consisting of an oxetanyl group, a cyclic ether group, a cyclic thioether group, a cyanide group, a maleimide group, and a benzoxazine group, and an epoxy group. The method for producing an insulating layer according to. 前記アルカリ水溶液は、10℃〜100℃の温度および1%〜10%の濃度を有する、請求項1に記載の絶縁層の製造方法。 The method for producing an insulating layer according to claim 1, wherein the alkaline aqueous solution has a temperature of 10° C. to 100° C. and a concentration of 1% to 10%. 前記1次硬化は、50℃〜150℃の温度で0.1時間〜2時間進行させる、請求項1に記載の絶縁層の製造方法。 The method for producing an insulating layer according to claim 1, wherein the primary curing is performed at a temperature of 50° C. to 150° C. for 0.1 hours to 2 hours. 前記2次硬化は、150℃〜250℃の温度で0.1時間〜10時間進行させる、請求項1に記載の絶縁層の製造方法。 The method for producing an insulating layer according to claim 1, wherein the secondary curing is performed at a temperature of 150°C to 250°C for 0.1 hours to 10 hours. 前記高分子樹脂層は、熱硬化触媒、無機フィラー、レベリング剤、分散剤、離型剤、および金属密着力増進剤からなる群より選択された1種以上をさらに含む、請求項1に記載の絶縁層の製造方法。 The polymer resin layer according to claim 1, further comprising at least one selected from the group consisting of a thermosetting catalyst, an inorganic filler, a leveling agent, a dispersant, a release agent, and a metal adhesion promoter. Method of manufacturing insulating layer. 請求項1〜1のいずれか一項によって製造された絶縁層上に金属パターン層を形成する段階を含む、多層印刷回路基板の製造方法。 Claim including on the 1 to 1 4 insulating layer produced by any one of a step of forming a metal pattern layer, manufacturing method for a multilayer printed circuit board. 前記絶縁層は、アルカリ可溶性樹脂および熱硬化性バインダーの硬化物を含む、請求項1に記載の多層印刷回路基板の製造方法。 The method for manufacturing a multilayer printed circuit board according to claim 15 , wherein the insulating layer contains a cured product of an alkali-soluble resin and a thermosetting binder. 前記絶縁層上に金属パターン層を形成する段階は、
前記絶縁層上に金属薄膜を形成する段階と、
前記金属薄膜上にパターンが形成された感光性樹脂層を形成する段階と、
前記感光性樹脂層パターンによって露出した金属薄膜上に金属を蒸着させる段階と、
前記感光性樹脂層を除去し、露出した金属薄膜を除去する段階とを含む、請求項1に記載の多層印刷回路基板の製造方法。
Forming a metal pattern layer on the insulating layer,
Forming a metal thin film on the insulating layer,
Forming a photosensitive resin layer having a pattern formed on the metal thin film;
Depositing a metal on the metal thin film exposed by the photosensitive resin layer pattern,
The method of manufacturing a multilayer printed circuit board according to claim 16 , further comprising: removing the photosensitive resin layer and removing the exposed metal thin film.
前記金属パターン層は、金属突起を介して導体配線と連結される、請求項1に記載の多層印刷回路基板の製造方法。 The method of claim 15 , wherein the metal pattern layer is connected to the conductor wiring via a metal protrusion.
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