JP6729235B2 - 試料の断面分析方法、及び試料台 - Google Patents
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本発明の一実施形態に係る試料台は、集束イオンビーム加工装置(FIB加工装置)により薄膜材料の試料断面を加工したり、走査型電子顕微鏡(SEM)や付属のエネルギー分散型X線分光器(EDS)により試料の断面観察や元素分析したりするための、集束イオンビーム加工装置と走査型電子顕微鏡に兼用して使用可能な試料台である。この試料台は集束イオンビーム加工装置や走査型電子顕微鏡の試料ホルダーに設置された試料台装着部に直接またはコンバータを介して着脱自在に取り付けられる。
本発明の一実施形態に係る試料の断面分析方法は、集束イオンビーム加工装置(FIB加工装置)の断面加工と走査型電子顕微鏡(SEM)や付属のエネルギー分散型X線分光器(EDS)により試料の断面観察や元素分析に兼用して使用可能な試料台を用い分析を行う、試料の断面分析方法である。
実施例1では、樹脂フィルムに銅を積層させた薄膜試料の断面観察を行った。剃刀を使用して観察しようとする箇所をトリミングした後、専用試料台に試料を固定してウルトラミクロトーム装置(ファインテック社製ULTRACUT E)に挿入し粗加工を行った。ウルトラミクロトーム装置での粗加工は、観察しようとした箇所の極近傍までとした。
実施例2では、断面観察後、追加工して別断面の観察をするため、デュアルビーム装置と電界放出型走査電子顕微鏡で試料台を兼用しているので、試料を試料台から付け替えることなくそのままデュアルビーム装置に挿入して追加工をおこない、そのまま電界放出型走査電子顕微鏡に挿入して追加工した断面の観察、分析を実施した。
比較例1では、剃刀を使用して観察しようとする箇所をトリミングした後、専用試料台に試料を固定してウルトラミクロトーム装置(ファインテック社製ULTRACUT E)に挿入し粗加工を行った。ウルトラミクロトーム装置での粗加工は、観察しようとした箇所の極近傍までとした。ウルトラミクロトーム装置で加工した試料を試料台から取り外し、上記取り外した試料を従来の集束イオンビーム専用の試料台に載置し、観察しようとする箇所の断面加工を集束イオンビームにより行った。
比較例2では、図4(B)に示すように、複数の薄膜試料52a、52b、52cの断面観察を行った。その他は比較例1と同様に、従来の試料台を用いて断面加工し、試料を載置し直して断面加工した箇所の観察、分析を実施した。
S1 試料台に載置固定する工程 S2 集束イオンビーム加工装着して薄膜試料を断面加工する工程 S3 走査型電子顕微鏡に装着する工程 S4観察及び/又は分析する工程
51 従来の試料台 52a 薄膜試料 52b 薄膜試料 52c 薄膜試料
Claims (6)
- 集束イオンビーム加工装置を用いて薄膜試料の断面加工を行い、加工して得られた前記薄膜試料の断面を、走査型電子顕微鏡を用いて観察する試料の断面分析方法であって、
円板の一部を切欠いて形成される切断縁部を有する略半円状の試料載置部を備えた試料台に、複数の前記薄膜試料を前記切断縁部に沿って並列させて載置固定し、
前記試料台を前記集束イオンビーム加工装置に装着して前記薄膜試料を断面加工し、
前記断面加工後に前記試料台を前記走査型電子顕微鏡に装着し、
前記薄膜試料の前記断面加工した部分を観察及び/又は分析することを特徴とする試料の断面分析方法。 - 前記薄膜試料は、前記切断縁部から突出するように載置固定することを特徴とする請求項1に記載の試料の断面分析方法。
- 前記試料載置部は、上記円板の一部を直線状に切欠いた形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の試料の断面分析方法。
- 前記集束イオンビーム加工装置は、集束イオンビームと電子顕微鏡を搭載したデュアルビーム装置であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の試料の断面分析方法。
- 断面加工と電子顕微鏡観察を兼用して行うための試料台であって、
略半円状の試料載置部と、
前記試料載置部の底面から突出する軸を備えていることを特徴とする試料台。 - 前記試料載置部は、円板の一部を直線状に切欠いた形状であることを特徴とする請求項5に記載の試料台。
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