JP5135551B2 - 試料ホルダー - Google Patents
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Description
(1) 集束イオンビーム(FIB)加工装置と透過型電子顕微鏡(TEM)の試料ホルダーとして共用できる試料ホルダーであって、試料ホルダー本体と、回転操作のための突起を有する円弧状回転台と、試料を搭載する試料台であって前記円弧状回転台の突起に嵌合するための穴を有する試料台と、前記試料ホルダー本体に装着された前記試料台を当該試料台の上から押さえる試料台押さえ手段と、前記試料台が前記円弧状回転台に連動して回転可能なように前記試料台押さえ手段を試料ホルダー本体に固定する固定手段と、を少なくとも有すると共に、試料ホルダー本体に、FIBが入射する側の一部に形成されたFIB加工用の切り欠き部と、TEM観察用の電子線通過穴と、該通過穴に沿った円弧状の溝と、が本体成されており、前記円弧状回転台は前記円弧状の溝に嵌合可能であり、前記試料台押さえ手段によって、前記試料ホルダーに前記試料台を固定することを特徴とする、試料ホルダー。
(2) 前記突起の直径が0.1〜1.0mmであり、突起の高さが0.3〜3mmである(1)に記載の試料ホルダー。
表1に示す化学組成を有する鋼を作製し、幅3mm、長さ5mm、厚さ1mmに切り出して、FIB加工装置に挿入し、タングステン製の針を使って、マイクロサンプリング法により試料の一部を抽出した。抽出した試料は、タングステン製の針の先端に接着してある。抽出した試料の大きさは、幅5μm、長さ10μm、高さ15μmである。
t=λ・ln{(Ie+In)/Ie}
但し、tは試料厚さ、λは材料中の電子線の有効平均自由工程である。λは、R.F. Egerton, Electron Energy Loss Spectroscopy in the Electron Microscope Second Edition、Plenum Publishing Corporation (1996年)に記載の値(0.074μm)を用いて計算した。試料厚さの測定は、図13のa、b、c、dに示すように、試料の4箇所で行った。結果を表2に示す。
試料ホルダー本体先端部、及び円弧状回転台の形状を様々に変えて、実施例1と同様の試料作製を行った。TEMで試料厚さ及び試料表面の筋状凹凸の有無及び試料台回転時のハンドリングミスによる試料破損確率を調べた。試料破損確立の調査は、前記実施例1と全く同じ方法で行った。結果を表4に示す。試料厚さの均一性は、最も厚い試料部分と、最も薄い試料部分の試料厚さの差が0.1μm以下であるかどうかで判断した。本発明の条件範囲内において、試料厚さはほぼ均一であり、筋状表面凹凸による試料破損は皆無であった。また、本発明を適用した試料ホルダーを使用した場合には、ハンドリングミスによる試料破損確率は非常に低く、特に突起の高さが0.3〜3.0mmであり、突起の直径が0.1〜1.0mmの範囲にある場合には、試料破損は皆無であった。
1 試料ホルダー本体
2 円弧状回転台
3 円弧状回転台の突起
4 円弧状溝
5 試料ホルダーの切り欠き部の頂角
6 円弧状溝の内側の試料ホルダー部分
7 円弧の半径
8 円弧状溝の幅
9 試料押さえ固定用ネジ穴
10 TEM観察用電子線通過穴
11 円弧状回転台の頂角
12 円弧状回転台の半径
13 円弧状回転台の幅
14 円弧状回転台の突起の高さ
15 円弧状回転台の厚さ
16 試料台
17 試料台の穴
18 試料
19 試料押さえ固定用ネジ穴
20 押さえ板
21 試料押さえ固定用ネジ
22 押さえ板の穴
23 試料搭載部
24 段差
25 押さえ板固定用バネ
26 押さえ板
Claims (2)
- 集束イオンビーム(FIB)加工装置と透過型電子顕微鏡(TEM)の試料ホルダーとして共用できる試料ホルダーであって、
試料ホルダー本体と、回転操作のための突起を有する円弧状回転台と、試料を搭載する試料台であって前記円弧状回転台の突起に嵌合するための穴を有する試料台と、前記試料ホルダー本体に装着された前記試料台を当該試料台の上から押さえる試料台押さえ手段と、前記試料台が前記円弧状回転台に連動して回転可能なように前記試料台押さえ手段を試料ホルダー本体に固定する固定手段と、を少なくとも有すると共に、
試料ホルダー本体に、FIBが入射する側の一部に形成されたFIB加工用の切り欠き部と、TEM観察用の電子線通過穴と、該通過穴に沿った円弧状の溝と、が形成されており、
前記円弧状回転台は前記円弧状の溝に嵌合可能であり、
前記試料台押さえ手段によって、前記試料ホルダー本体に前記試料台を固定することを特徴とする、試料ホルダー。 - 前記突起の直径が0.1〜1.0mmであり、突起の高さが0.3〜3mmである、請求項1に記載の試料ホルダー。
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JP2008325774A JP5135551B2 (ja) | 2008-12-22 | 2008-12-22 | 試料ホルダー |
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JP2008325774A JP5135551B2 (ja) | 2008-12-22 | 2008-12-22 | 試料ホルダー |
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JP2010146957A JP2010146957A (ja) | 2010-07-01 |
JP5135551B2 true JP5135551B2 (ja) | 2013-02-06 |
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Family Applications (1)
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