JP6709727B2 - 電解めっき装置 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記ワイヤレス送電器は、送電コイルを備えており、前記送電コイルは、前記めっき槽内に配置されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板ホルダには窪みが形成されており、前記送電コイルは前記窪み内に位置していることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板ホルダは、前記基板を挟むための第1保持部材および第2保持部材を備えており、前記第2保持部材には、前記基板の被めっき面を露出させるための開口部が形成されており、前記ワイヤレス受電器は、前記第2保持部材内に配置されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ワイヤレス送電器は複数の送電コイルを備え、前記ワイヤレス受電器は複数の受電コイルを備えていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記送電コイルおよび前記受電コイルは鉛直姿勢で配置されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記送電コイルおよび前記受電コイルは水平姿勢で配置されていることを特徴とする。
本発明の一参考例は、めっき液を保持可能なめっき槽と、前記めっき槽内に配置されたアノードと、前記めっき槽内に配置された基板ホルダと、前記基板ホルダ内に配置された金属板と、前記アノードおよび前記金属板に接続された電源を備えたことを特徴とする電解めっき装置である。
本発明の他の態様は、めっき液を保持可能なめっき槽と、前記めっき槽内に配置されたアノードと、前記めっき槽内に配置された基板ホルダと、直流電圧を高周波電圧に変換するDC−RF変換器と、前記DC−RF変換器に接続された電源と、前記電源に接続されたワイヤレス送電器を備え、前記DC−RF変換器は、前記アノードに接続されていることを特徴とする電解めっき装置である。
本発明の他の態様は、めっき液を保持可能なめっき槽と、前記めっき槽内に配置されたアノードと、前記めっき槽内に配置された基板ホルダと、直流電圧を高周波電圧に変換するDC−RF変換器と、前記DC−RF変換器に接続された電源と、前記電源に接続されたワイヤレス送電器を備え、前記DC−RF変換器は、前記アノードに接続されており、前記ワイヤレス送電器は複数の送電コイルを備えていることを特徴とする電解めっき装置である。
図1は、ウェーハなどの基板をめっきするための電解めっき装置の一実施形態を示す模式図である。図1に示すように、電解めっき装置は、めっき液を内部に保持可能なめっき槽1と、めっき槽1内に配置されたアノード5と、基板Wに接触可能な電気接点21,22を有する基板ホルダ7を備えている。めっき液中には、金属源となる金属イオンと、めっきの促進剤、抑制剤、レベラーなどの添加剤が含まれる。本実施形態では、アノード5および基板ホルダ7は鉛直姿勢でめっき槽1内に配置され、基板ホルダ7に保持された基板Wはめっき液中に浸漬される。本実施形態では、基板Wは円形である。一実施形態では、基板Wは四角形であってもよい。
5 アノード
7 基板ホルダ
11 第1保持部材
12 第2保持部材
12a 開口部
14 第1シール突起
15 第2シール突起
21 第1電気接点
22 第2電気接点
25 直流電源
26 配線
41 ワイヤレス送電器
43 DC−RFドライバ
44 送電コイル
46 配線
47 配線
51 ワイヤレス受電器
53 RF−DC整流器
54 受電コイル
56 配線
57 配線
60 シールカバー
63 窪み
70 金属板
71 配線
74 導電層
75 DC−RF変換器
W 基板
Claims (11)
- めっき液を保持可能なめっき槽と、
前記めっき槽内に配置されたアノードと、
基板に接触可能な電気接点を有する基板ホルダと、
前記アノードに接続された電源と、
前記電源に接続されたワイヤレス送電器と、
前記基板ホルダに取り付けられ、かつ前記電気接点に電気的に接続されたワイヤレス受電器とを備えたことを特徴とする電解めっき装置。 - 前記ワイヤレス送電器は、前記めっき槽の外に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電解めっき装置。
- 前記ワイヤレス送電器は、送電コイルを備えており、
前記送電コイルは、前記めっき槽内に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電解めっき装置。 - 前記基板ホルダには窪みが形成されており、前記送電コイルは前記窪み内に位置していることを特徴とする請求項3に記載の電解めっき装置。
- 前記基板ホルダは、前記基板を挟むための第1保持部材および第2保持部材を備えており、
前記第2保持部材には、前記基板の被めっき面を露出させるための開口部が形成されており、
前記ワイヤレス受電器は、前記第2保持部材内に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電解めっき装置。 - 前記ワイヤレス送電器は少なくとも1つの送電コイルを備え、前記ワイヤレス受電器は少なくとも1つの受電コイルを備えていることを特徴とする請求項1に記載の電解めっき装置。
- 前記ワイヤレス送電器は複数の送電コイルを備え、前記ワイヤレス受電器は複数の受電コイルを備えていることを特徴とする請求項6に記載の電解めっき装置。
- 前記送電コイルおよび前記受電コイルは鉛直姿勢で配置されていることを特徴とする請求項6に記載の電解めっき装置。
- 前記送電コイルおよび前記受電コイルは水平姿勢で配置されていることを特徴とする請求項6に記載の電解めっき装置。
- めっき液を保持可能なめっき槽と、
前記めっき槽内に配置されたアノードと、
前記めっき槽内に配置された基板ホルダと、
直流電圧を高周波電圧に変換するDC−RF変換器と、
前記DC−RF変換器に接続された電源と、
前記電源に接続されたワイヤレス送電器を備え、
前記DC−RF変換器は、前記アノードに接続されていることを特徴とする電解めっき装置。 - めっき液を保持可能なめっき槽と、
前記めっき槽内に配置されたアノードと、
前記めっき槽内に配置された基板ホルダと、
直流電圧を高周波電圧に変換するDC−RF変換器と、
前記DC−RF変換器に接続された電源と、
前記電源に接続されたワイヤレス送電器を備え、
前記DC−RF変換器は、前記アノードに接続されており、
前記ワイヤレス送電器は複数の送電コイルを備えていることを特徴とする電解めっき装置。
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