JP6815817B2 - アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記アノードの露出面での電流密度は、1.0A/m2〜4.0A/m2の範囲内であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第1のアノードマスクおよび前記第2のアノードマスクは、同心状に配置されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記アノードは溶解性アノードであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記アノードの直径は前記調整板の前記開口の直径と同じ、または前記調整板の前記開口の直径よりも小さいことを特徴とする。
(1)第2のアノードマスク18を使用しない。
(2)第2のアノードマスク18の内径LAが0mm、第2のアノードマスク18の外径LBが120mm、第1のアノードマスク16の内径LCが226mm。
(3)第2のアノードマスク18の内径LAが0mm、第2のアノードマスク18の外径LBが130mm、第1のアノードマスク16の内径LCが220mm。
(4)第2のアノードマスク18の内径LAが0mm、第2のアノードマスク18の外径LBが130mm、第1のアノードマスク16の内径LCが230mm。
(5)第2のアノードマスク18の内径LAが58mm、第2のアノードマスク18の外径LBが156mm、第1のアノードマスク16の内径LCが240mm。
2,103 アノード
4,102 アノードホルダ
6,104 基板ホルダ
8,105 電源
10,106 オーバーフロー槽
11 アノードユニット
12 めっき液循環ライン
14 ベース部材
16 第1のアノードマスク
18 第2のアノードマスク
22 攪拌パドル
24 調整板
24a 開口
30 ハンガ部
32 内側ハンガ部
34 外側ハンガ部
40 第1保持部材
42 ヒンジ
44 第2保持部材
46 基部
48 シールホルダ
50 押えリング
52 基板側シール部材
58 ホルダ側シールホルダ
60 スペーサ
62 クランパ
64 ホルダハンガ
66 突状部
68 支持面
70 凹部
72 導電体
74 電気接点
76 接続端子
Claims (12)
- めっき液に浸漬されるアノードと、
前記アノードを保持するためのベース部材と、
前記アノードの周縁部を前記ベース部材に固定し、前記アノードの前記周縁部を電気的に遮蔽する環状の第1のアノードマスクと、
前記アノードの表面に接触し、前記アノードの中心側部位を電気的に遮蔽する環状の第2のアノードマスクとを備えたことを特徴とするアノードユニット。 - 前記アノードの露出面での電流密度は、0.5A/m2〜5.0A/m2の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載のアノードユニット。
- 前記アノードの露出面での電流密度は、1.0A/m2〜4.0A/m2の範囲内であることを特徴とする請求項2に記載のアノードユニット。
- 前記第1のアノードマスクおよび前記第2のアノードマスクは、同心状に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のアノードユニット。
- 前記アノードは溶解性アノードであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のアノードユニット。
- 前記第2のアノードマスクは、前記アノードの表面に接着されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のアノードユニット。
- 前記第2のアノードマスクは、前記第1のアノードマスクの半径方向内側に配置されており、
前記第1のアノードマスクと前記第2のアノードマスクとの間には、環状形状を有する前記アノードの露出面が形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のアノードユニット。 - めっき液を保持するめっき槽と、
アノードユニットと、
基板を保持し、前記アノードユニットと対向して配置された基板ホルダと、
前記アノードユニットと前記基板ホルダとの間に配置され、前記めっき槽内の前記めっき液を攪拌する攪拌パドルと、
前記攪拌パドルと前記アノードユニットとの間に配置される、開口を有する調整板とを備え、
前記アノードユニットは、
前記めっき液に浸漬されるアノードと、
前記アノードを保持するためのベース部材と、
前記アノードの周縁部を前記ベース部材に固定し、前記アノードの前記周縁部を電気的に遮蔽する環状の第1のアノードマスクと、
前記アノードの表面に接触し、前記アノードの中心側部位を電気的に遮蔽する環状の第2のアノードマスクとを備えたことを特徴とするめっき装置。 - 前記アノードの露出面の面積は、前記基板の被めっき面の面積と同じ、または前記基板の被めっき面の面積よりも小さいことを特徴とする請求項8に記載のめっき装置。
- 前記アノードの直径は前記調整板の前記開口の直径と同じ、または前記調整板の前記開口の直径よりも小さいことを特徴とする請求項8または9に記載のめっき装置。
- 前記第2のアノードマスクは、前記アノードの表面に接着されていることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか一項に記載のめっき装置。
- 前記第2のアノードマスクは、前記第1のアノードマスクの半径方向内側に配置されており、
前記第1のアノードマスクと前記第2のアノードマスクとの間には、環状形状を有する前記アノードの露出面が形成されていることを特徴とする請求項8乃至11のいずれか一項に記載のめっき装置。
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