JP6704156B1 - 自動位置合わせ機能を有する偏光測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
偏光面が固定された励起光を測定試料に照射する光源と、該測定試料を載置する可動ステージと、励起光を前記測定試料の所定位置に照射するとともに該測定試料からの反射光または透過光を集光する集光レンズと、集光した光を検出する分光器と、前記可動ステージを制御する制御手段と、を含み、前記測定試料の顕微分光測定とともに偏光測定を行う偏光測定装置であって、
前記可動ステージは、偏光測定時に測定試料を回転させる回転ステージ部と、該回転ステージ部の下方に位置し測定試料をX方向ないしY方向に移動させる位置合わせ可動ステージ部と、該回転ステージ部の上方に位置し測定時に測定試料を設置する試料設置ホルダーと、で構成され、
前記制御手段は、可動ステージ上における光軸の位置を該可動ステージ上の目印として利用されるマーカー試料の移動前座標ポイントとし、前記回転ステージ部を回転させたときのマーカー試料の移動後の位置を移動後座標ポイントとし、マーカー試料の移動前後における回転ステージ部の回転による角度を回転角度とし、測定試料の測定前に該移動前座標ポイントと移動後座標ポイントと回転角度を用いて前記回転ステージ部の回転中心を回転中心位置データとして算出し、
さらに前記制御手段は、前記回転中心位置データを利用して前記回転ステージ部の回転後における測定試料位置が当該偏光測定装置の測定視野範囲に入るよう位置合わせ可動ステージ部を移動させ、その後に顕微分光測定による測定試料の観察画像を利用した画像マッチング処理により回転ステージ部の同心度のズレを補正することを特徴とする。
前記制御手段は、前記試料設置ホルダーに設置されたマーカー試料を光軸位置としての校正原点に移動させて移動前座標ポイントAとして登録し、該マーカー試料を移動前座標ポイントAから回転角度θで回転ステージ部を回転させることで該マーカー試料を移動させ移動後座標ポイントBとして登録し、移動前座標ポイントAと移動後座標ポイントBと回転角度θを用いて回転ステージ部の回転中心位置データを算出することを特徴とする。
前記位置合わせ可動ステージ部は、X方向ないしY方向に加えてさらに深さ方向に測定試料を移動させるXYZ可動ステージ部であることを特徴とする。
顕微分光測定機能を有する偏光測定装置において測定試料を回転ステージ部によって回転させた後に該測定試料を測定視野範囲に入れるための位置合わせ方法であって、
前記測定試料を載置する可動ステージ上における光軸の位置をマーカー試料の移動前座標ポイントとし、マーカー試料の移動後の位置を移動後座標ポイントとし、マーカー試料の移動前後における回転ステージ部の回転による角度を回転角度とし、測定試料の測定前に該移動前座標ポイントと移動後座標ポイントとマーカー試料の移動前後の回転角度を用いて前記回転ステージ部の回転中心を回転中心位置データとして算出する工程と、
前記回転中心位置データを利用して前記回転ステージ部の回転後における測定試料位置が前記偏光測定装置の測定視野範囲に入るよう位置合わせ可動ステージ部を移動させる工程と、
その後に顕微分光測定による測定試料の観察画像を利用した画像マッチング処理により前記回転ステージ部の同心度のズレを補正する工程と、を含むことを特徴とする。
本実施形態における自動位置合わせ機能は、回転ステージ部18aの回転中心を算出して自動で測定試料20の位置合わせ(光軸の位置合わせ)を行うとともに、測定試料20の観察画像を利用した画像マッチング処理により回転ステージ部18aの回転動作による同芯度の位置ズレ(偏芯の影響による位置ズレ)を補正するものである。
12 光源
14 ビームスプリッター
16 対物レンズ
18 可動ステージ
18a 回転ステージ部
18b 位置合わせ可動ステージ部
18c 試料設置ホルダー
20 測定試料
22 フィルタ
24 分光器
30 コンピュータ(制御手段)
40a 検光子
42b 偏光解消板
Claims (4)
- 偏光面が固定された励起光を測定試料に照射する光源と、該測定試料を載置する可動ステージと、励起光を前記測定試料の所定位置に照射するとともに該測定試料からの反射光または透過光を集光する集光レンズと、集光した光を検出する分光器と、前記可動ステージを制御する制御手段と、を含み、前記測定試料の顕微分光測定とともに偏光測定を行う偏光測定装置であって、
前記可動ステージは、偏光測定時に測定試料を回転させる回転ステージ部と、該回転ステージ部の下方に位置し測定試料をX方向ないしY方向に移動させる位置合わせ可動ステージ部と、該回転ステージ部の上方に位置し測定時に測定試料を設置する試料設置ホルダーと、で構成され、
前記制御手段は、可動ステージ上における光軸の位置を該可動ステージ上の目印として利用されるマーカー試料の移動前座標ポイントとし、前記回転ステージ部を回転させたときのマーカー試料の移動後の位置を移動後座標ポイントとし、マーカー試料の移動前後における回転ステージ部の回転による角度を回転角度とし、測定試料の測定前に該移動前座標ポイントと移動後座標ポイントと回転角度を用いて前記回転ステージ部の回転中心を回転中心位置データとして算出し、
前記制御手段は、前記回転中心位置データを利用して前記回転ステージ部の回転後における測定試料位置が当該偏光測定装置の測定視野範囲に入るよう位置合わせ可動ステージ部を移動させ、その後に顕微分光測定による測定試料の観察画像を利用した画像マッチング処理により回転ステージ部の同心度のズレを補正し、
さらに前記制御手段には前記回転ステージ部の回転角度が設定されるとともに該設定された回転角度を動作させる回数として回転回数が設定され、該制御手段により測定試料を前記回転角度と回転回数に応じて連続で回転動作させて偏光測定が可能であることを特徴とする偏光測定装置。 - 請求項1に記載の顕微分光測定装置であって、
前記制御手段は、前記試料設置ホルダーに設置されたマーカー試料を光軸位置としての校正原点に移動させて移動前座標ポイントAとして登録し、該マーカー試料を移動前座標ポイントAから回転角度θで回転ステージ部を回転させることでマーカー試料を移動させ移動後座標ポイントBとして登録し、移動前座標ポイントAと移動後座標ポイントBと回転角度θを用いて回転ステージ部の回転中心位置データを算出することを特徴とする顕微分光測定装置。 - 請求項1または請求項2に記載の顕微分光測定装置であって、
前記位置合わせ可動ステージ部は、X方向ないしY方向に加えてさらに深さ方向に測定試料を移動させるXYZ可動ステージ部であることを特徴とする顕微分光測定装置。 - 顕微分光測定機能を有する偏光測定装置において測定試料を回転ステージ部によって回転させた後に該測定試料を測定視野範囲に入れるための位置合わせ方法であって、
前記測定試料を載置する可動ステージ上における光軸の位置をマーカー試料の移動前座標ポイントとし、マーカー試料の移動後の位置を移動後座標ポイントとし、マーカー試料の移動前後における回転ステージ部の回転による回転角度とし、測定試料の測定前に該移動前座標ポイントと移動後座標ポイントとマーカー試料の移動前後の回転角度を用いて前記回転ステージ部の回転中心を回転中心位置データとして算出する工程と、
前記回転中心位置データを利用して前記回転ステージ部の回転後における測定試料位置が前記偏光測定装置の測定視野範囲に入るよう位置合わせ可動ステージ部を移動させる工程と、
その後に顕微分光測定による測定試料の観察画像を利用した画像マッチング処理により前記回転ステージ部の同心度のズレを補正する工程と、を含み、
前記制御手段には前記回転ステージ部の回転角度が設定されるとともに該設定された回転角度を動作させる回数として回転回数が設定され、該制御手段により測定試料を前記回転角度と回転回数に応じて連続で回転動作させて偏光測定を行うことを特徴とする位置合わせ方法。
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JP2019160705A JP6704156B1 (ja) | 2019-09-03 | 2019-09-03 | 自動位置合わせ機能を有する偏光測定装置 |
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Family Applications (1)
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