JP6701161B2 - 圧電振動デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図4を参照しつつ、本実施形態に係る圧電振動デバイスを説明する。ここで、図1は、本実施形態に係る圧電振動デバイスの分解斜視図であり、図2は図1のII−II線断面図である。また、図3A〜図3Cは、ベース部材の部分拡大図を示したものであり、本実施形態に係る被覆材の具体的構成を説明する図である。なお、図4は、ベース部材の変形例を説明するための図である。
図6及び図7を参照しつつ、本実施形態に係る圧電振動デバイスを説明する。なお、以下の実施形態においては、上記第1実施形態と相違する部分について説明することとし、既に説明した内容と重複する部分については省略する。
図8及び図9を参照しつつ、本実施形態に係る圧電振動デバイスを説明する。本実施形態に係る圧電振動デバイス5は、上記実施形態に係る圧電振動デバイス1の構成に対して、被覆材400の枠状封止部410の上に設けられた封止材510をさらに備えている点で相違する。
図10及び図11を参照しつつ、本実施形態に係る圧電振動デバイスを説明する。上記各実施形態においては、ベース部材の各コーナー部に形成された外部電極を被覆材によって被覆する態様を説明したが、以下のとおり、コーナー部を除くベース部材のいずれかの側面に形成された外部電極を被覆材によって被覆してもよい。なお、図10及び図11においては、圧電振動子及びリッド部材の図示は省略している。
110 圧電基板
130 第1励振電極
140 第2励振電極
200 リッド部材
202 開口縁部
204 凹部
206 内部空間
300,301 ベース部材
302 第1面
304 第2面
306 側面
330,332,334,336 外部電極
330a 縁部
400,402,404,406 被覆材
410 枠状封止部
412 枠状ガイド部
420,422,424,426 延出部
500,510 封止材
Claims (10)
- 励振電極が形成された圧電振動子と、
略矩形の外形形状を有し、前記圧電振動子が第1面に設けられたベース部材と、
前記ベース部材の平面視におけるコーナー部に位置する外部電極であって、前記ベース部材の前記第1面から前記ベース部材の前記コーナー部の円筒曲面状の側面を通って、前記ベース部材の前記第1面とは反対の第2面にかけて連続して形成された外部電極と、
前記ベース部材の前記第1面に対向するように開口された凹部を有し、前記凹部と前記ベース部材との内部空間に前記圧電振動子を密封封止するように前記ベース部材に接合された、リッド部材と、
を備え、
前記外部電極のうち、前記ベース部材の前記第1面と前記側面とによって構成された縁部が、絶縁性を有する被覆材によって少なくとも部分的に被覆され、
前記被覆材は、
前記ベース部材の前記第1面において前記リッド部材の前記凹部の開口縁部に沿って設けられた枠状封止部と、
前記枠状封止部と一体的に形成され、前記外部電極の前記縁部を少なくとも部分的に被覆するように前記枠状封止部から延出された延出部と、
を含み、
前記延出部は、前記ベース部材の前記第1面から、前記ベース部材の前記側面に沿って前記第1面と前記第2面との間の位置まで、前記外部電極の前記側面の一部が露出するように連続して一体的に延出され、前記ベース部材の前記側面において露出した部分と前記側面を部分的に被覆する前記延出部の厚さとによる段差が設けられた、圧電振動デバイス。 - 励振電極が形成された圧電振動子と、
略矩形の外形形状を有し、前記圧電振動子が第1面に設けられたベース部材と、
前記ベース部材の平面視におけるコーナー部に位置する外部電極であって、前記ベース部材の前記第1面から前記ベース部材の前記コーナー部の円筒曲面状の側面を通って、前記ベース部材の前記第1面とは反対の第2面にかけて連続して形成された外部電極と、
前記ベース部材の前記第1面に対向するように開口された凹部を有し、前記凹部と前記ベース部材との内部空間に前記圧電振動子を密封封止するように前記ベース部材に接合された、リッド部材と、
を備え、
前記外部電極のうち、前記ベース部材の前記第1面と前記側面とによって構成された縁部が、絶縁性を有する被覆材によって少なくとも部分的に被覆され、
前記リッド部材は、前記凹部の開口縁部に沿って設けられた封止材を介して、前記ベース部材に接合され、
前記被覆材は、
前記ベース部材の前記第1面において前記封止材を囲んで形成された枠状ガイド部と、
前記枠状ガイド部と一体的に形成され、前記外部電極の前記縁部を少なくとも部分的に被覆するように前記枠状ガイド部から延出された延出部と、
を含み、
前記延出部は、前記ベース部材の前記第1面から、前記ベース部材の前記側面に沿って前記第1面と前記第2面との間の位置まで、前記外部電極の前記側面の一部が露出するように連続して一体的に延出され、前記ベース部材の前記側面において露出した部分と前記側面を部分的に被覆する前記延出部の厚さとによる段差が設けられた、圧電振動デバイス。 - 前記被覆材は、樹脂材料で形成された、請求項1又は2に記載の圧電振動デバイス。
- 前記被覆材は、ガラス材料で形成された、請求項1又は2に記載の圧電振動デバイス。
- 前記ベース部材は、側面の一部が切断して形成された切り欠き側面を有しており、前記外部電極は、前記ベース部材の前記第1面から、前記切り欠き側面を通って、前記ベース部材の前記第2面にかけて連続して形成された、請求項1から4のいずれか一項に記載の圧電振動デバイス。
- 前記外部電極が複数設けられており、
前記延出部は、前記複数の外部電極のそれぞれに対応して形成された、請求項1から5のいずれか一項に記載の圧電振動デバイス。 - 励振電極が形成された圧電振動子と、
略矩形の外形形状を有し、前記圧電振動子が第1面に設けられたベース部材と、
前記ベース部材の平面視におけるコーナー部に位置する外部電極であって、前記ベース部材の前記第1面から前記ベース部材の前記コーナー部の円筒曲面状の側面を通って、前記ベース部材の前記第1面とは反対の第2面にかけて連続して形成された外部電極と、
前記ベース部材の前記第1面に対向するように開口された凹部を有し、前記凹部と前記ベース部材との内部空間に前記圧電振動子を密封封止するように前記ベース部材に接合された、リッド部材と、
を備え、
前記外部電極のうち、前記ベース部材の前記第1面と前記側面とによって構成された縁部が、絶縁性を有する被覆材によって少なくとも部分的に被覆され、
前記被覆材は、
前記ベース部材の前記第1面において前記リッド部材の前記凹部の開口縁部に沿って設けられたガラス材からなる枠状封止部と、
前記枠状封止部と一体的に形成されたガラス材からなる延出部であって、前記外部電極の前記縁部を少なくとも部分的に被覆するように前記枠状封止部から延出された延出部と、
を含み、
圧電振動デバイスは、前記被覆材の前記枠状封止部の上に設けられた樹脂からなる封止材をさらに含み、
前記リッド部材は、前記ガラス材の枠状封止部と前記樹脂の封止材とによって、前記ベース部材に接合され、
前記延出部は、前記ベース部材の前記第1面から、前記ベース部材の前記側面に沿って前記第1面と前記第2面との間の位置まで、前記外部電極の前記側面の一部が露出するように連続して一体的に延出され、前記ベース部材の前記側面において露出した部分と前記側面を部分的に被覆する前記延出部の厚さとによる段差が設けられた、圧電振動デバイス。 - (a)励振電極が形成された圧電振動子を形成すること、
(b)略矩形の外形形状を有するベース部材であって、前記ベース部材の平面視におけるコーナー部において前記ベース部材の前記第1面から前記ベース部材の前記コーナー部の円筒曲面状の側面を通って、前記ベース部材の前記第1面とは反対の第2面にかけて連続して形成された外部電極を有するベース部材を形成すること、
(c)前記外部電極のうち、前記ベース部材の前記第1面と前記側面とによって構成された縁部を、絶縁性を有する被覆材によって少なくとも部分的に被覆すること、
(d)前記圧電振動子を前記ベース部材の前記第1面に搭載すること、
(e)前記ベース部材の前記第1面に対向するように開口された凹部を有するリッド部材を、前記凹部と前記ベース部材との内部空間に前記圧電振動子を密封封止するように、前記ベース部材に接合すること、
を含み、
前記被覆材は、
前記ベース部材の前記第1面において前記リッド部材の前記凹部の開口縁部に沿って設けられたガラス材からなる枠状封止部と、
前記枠状封止部と一体的に形成されたガラス材からなる延出部であって、前記外部電極の前記縁部を少なくとも部分的に被覆するように前記枠状封止部から延出された延出部と、
を含み、
前記延出部は、前記ベース部材の前記第1面から、前記ベース部材の前記側面に沿って前記第1面と前記第2面との間の位置まで、前記外部電極の前記側面の一部が露出するように連続して一体的に延出され、前記ベース部材の前記側面において露出した部分と前記側面を部分的に被覆する前記延出部の厚さとによる段差が設けられ、
前記(c)において、前記ベース部材に前記被覆材を設けた後、前記被覆材を仮焼成し、
前記(e)において、前記リッド部材を前記被覆材の前記枠状封止部を介して前記ベース部材に搭載した後、前記被覆材を本焼成する、圧電振動デバイスの製造方法。 - (a)励振電極が形成された圧電振動子を形成すること、
(b)略矩形の外形形状を有するベース部材であって、前記ベース部材の平面視におけるコーナー部において前記ベース部材の前記第1面から前記ベース部材の前記コーナー部の円筒曲面状の側面を通って、前記ベース部材の前記第1面とは反対の第2面にかけて連続して形成された外部電極を有するベース部材を形成すること、
(c)前記外部電極のうち、前記ベース部材の前記第1面と前記側面とによって構成された縁部を、絶縁性を有する被覆材によって少なくとも部分的に被覆すること、
(d)前記圧電振動子を前記ベース部材の前記第1面に搭載すること、
(e)前記ベース部材の前記第1面に対向するように開口された凹部を有するリッド部材を、前記凹部と前記ベース部材との内部空間に前記圧電振動子を密封封止するように、前記ベース部材に接合すること、
を含み、
前記(e)において、前記リッド部材を、前記凹部の開口縁部に沿って設けられた封止材を介して、前記ベース部材に接合し、
前記被覆材は、
前記ベース部材の前記第1面において前記封止材を囲んで形成された枠状ガイド部と、
前記枠状ガイド部と一体的に形成され、前記外部電極の前記縁部を少なくとも部分的に被覆するように前記枠状ガイド部から延出された延出部と、
を含み、
前記延出部は、前記ベース部材の前記第1面から、前記ベース部材の前記側面に沿って前記第1面と前記第2面との間の位置まで、前記外部電極の前記側面の一部が露出するように連続して一体的に延出され、前記ベース部材の前記側面において露出した部分と前記側面を部分的に被覆する前記延出部の厚さとによる段差が設けられた、圧電振動デバイスの製造方法。 - (a)励振電極が形成された圧電振動子を形成すること、
(b)略矩形の外形形状を有するベース部材であって、前記ベース部材の平面視におけるコーナー部において前記ベース部材の前記第1面から前記ベース部材の前記コーナー部の円筒曲面状の側面を通って、前記ベース部材の前記第1面とは反対の第2面にかけて連続して形成された外部電極を有するベース部材を形成すること、
(c)前記外部電極のうち、前記ベース部材の前記第1面と前記側面とによって構成された縁部を、絶縁性を有する被覆材によって少なくとも部分的に被覆すること、
(d)前記圧電振動子を前記ベース部材の前記第1面に搭載すること、
(e)前記ベース部材の前記第1面に対向するように開口された凹部を有するリッド部材を、前記凹部と前記ベース部材との内部空間に前記圧電振動子を密封封止するように、前記ベース部材に接合すること、
を含み、
前記被覆材は、
前記ベース部材の前記第1面において前記リッド部材の前記凹部の開口縁部に沿って設けられたガラス材からなる枠状封止部と、
前記枠状封止部と一体的に形成されたガラス材からなる延出部であって、前記外部電極の前記縁部を少なくとも部分的に被覆するように前記枠状封止部から延出された延出部と、
を含み、
前記延出部は、前記ベース部材の前記第1面から、前記ベース部材の前記側面に沿って前記第1面と前記第2面との間の位置まで、前記外部電極の前記側面の一部が露出するように連続して一体的に延出され、前記ベース部材の前記側面において露出した部分と前記側面を部分的に被覆する前記延出部の厚さとによる段差が設けられ、
前記(c)において、前記ベース部材に前記被覆材を設けた後、前記被覆材を焼成し、
前記(e)において、前記被覆材の前記枠状封止部の上、及び、前記リッド部材の前記凹部の開口縁部の上の少なくとも一方に、樹脂からなる封止材を形成し、前記リッド部材を前記被覆材の前記枠状封止部及び前記樹脂の封止材を介して前記ベース部材に搭載した後、前記樹脂の封止材を熱硬化させる、圧電振動デバイスの製造方法。
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