JP6699294B2 - 光フィルタ、及び狭線幅波長光源 - Google Patents

光フィルタ、及び狭線幅波長光源 Download PDF

Info

Publication number
JP6699294B2
JP6699294B2 JP2016068680A JP2016068680A JP6699294B2 JP 6699294 B2 JP6699294 B2 JP 6699294B2 JP 2016068680 A JP2016068680 A JP 2016068680A JP 2016068680 A JP2016068680 A JP 2016068680A JP 6699294 B2 JP6699294 B2 JP 6699294B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
waveguide
optical filter
optical
light
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016068680A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017181776A (ja
Inventor
大介 井上
大介 井上
正 市川
正 市川
朱里 中尾
朱里 中尾
山下 達弥
達弥 山下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Central R&D Labs Inc
Original Assignee
Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Central R&D Labs Inc filed Critical Toyota Central R&D Labs Inc
Priority to JP2016068680A priority Critical patent/JP6699294B2/ja
Publication of JP2017181776A publication Critical patent/JP2017181776A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6699294B2 publication Critical patent/JP6699294B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Description

本発明は、光フィルタ、及び狭線幅波長光源に関する。
近年、光集積回路技術を用いた光フィルタの開発が進められている。光集積回路技術を用いた光フィルタとして、非特許文献1に開示されたものが知られている。図5に、非特許文献1に開示された光フィルタ80を示す。光フィルタ80は、マッハツェンダ干渉計を用いた光フィルタであり、入力光の光周波数に依存して出力ポートが切り替わる。
図5に示すように、光フィルタ80は、導波路82、84、薄膜ヒータ96、3dBカプラ86、88、入力導波路90、及び出力導波路92、94を含んで構成されている。
入力導波路90から入力された入力光Piは、3dBカプラ86で2つに分岐された後、各々導波路82、84を伝播する。導波路82、84の各々を伝播した光は3dBカプラ88で再び合波され、導波路82、84の経路差に応じた光出力が、出力導波路92から出力光Po1として、出力導波路94から出力光Po2として出力される。
図5では、周波数f1の光、及び周波数f2の光を含む入力光Piが入力導波路90から入力され、出力導波路92から周波数f2の光が、出力導波路94から周波数f1の光が、各々分離して出力される例を示している。図5に示す薄膜ヒータ96は、導波路84に熱を付与し、熱光学効果により屈折率を変化させて導波路の屈折率を変化させる。導波路84の屈折率を変化させると導波路84の等価的な光路長が変化するので、導波路82と84との間の光路長差が変化し、変化した光路長差に応じて光フィルタ80の入出力特性が変化する。
西原浩他、「光集積回路」、第1版、オーム社、昭和60年、p388
ところで、光集積回路技術においては、波長オーダーの長さを取り扱うこともあり、光集積回路に集積化される光回路素子の温度依存性がしばしば問題となる。この点、非特許文献1に開示された光フィルタは、入出力特性の温度依存性について、特段の配慮をしていない。従って、例えば、移動体(自動車等)に搭載する場合のように、特に温度変動の大きな環境下では、周囲温度による光フィルタの特性変動が問題となる。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、温度依存性の抑制された光フィルタ、及び狭線幅波長光源を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、請求項1に記載の光フィルタは、互いに屈折率の温度係数及び長さが異なると共に、各々の屈折率の温度係数と長さとの積が等しくされ、かつ少なくとも一方がスロット導波路である2本の光導波路と、入力光が入力されると共に入力された前記入力光を前記2本の光導波路の各々に分岐して出力する分波器と、前記2本の光導波路の各々から出力された2つの光が入力されると共に入力された2つの光を合波し出力光として出力する合波器と、を含むものである。
また、請求項に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記2本の光導波路の少なくとも一方を加熱するヒータをさらに含むものである。
上記の目的を達成するために、請求項に記載の狭線幅波長光源は、一方の端面が第1の反射面とされ他方の端面から光を出力する光増幅器と、前記光増幅器に導波路を介して接続された請求項1又は請求項に記載の光フィルタと、前記光フィルタに導波路を介して接続されると共に、第2の反射面として機能する開放端を有するアウトカプラと、を含み、前記第1の反射面と前記第2の反射面とによりファブリペロー共振器が構成され、前記ファブリペロー共振器と前記光フィルタによって選択された波長の光を前記アウトカプラから出力するものである。
また、請求項に記載の発明は、請求項に記載の発明において、前記第1の反射面と前記第2の反射面との間に前記導波路を加熱するヒータをさらに含むものである。
本発明によれば、温度依存性の抑制された光フィルタ、及び狭線幅波長光源を提供することができるという効果を奏する。
第1の実施の形態に係る光フィルタの構成の一例を示す平面図である。 第1の実施の形態に係る光フィルタの波長−透過率特性の一例を示すグラフである。 第1の実施の形態に係る光フィルタの導波路の実効屈折率の温度係数の一例を示すグラフである。 第2の実施の形態に係る狭線幅波長光源の構成の一例を示す平面図である。 従来技術に係る光フィルタの構成を示す平面図である。
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。
[第1の実施の形態]
図1ないし図3を参照して、本実施の形態に係る光フィルタ10について説明する。
図1に示すように、光フィルタ10は、導波路12、14、カプラ16(分波器)、カプラ18(合波器)、入力用の導波路20、及び出力用の導波路22を含んで構成されている。光フィルタ10は、一例として、光導波路技術を用いた光集積回路によって作製されている。
導波路20を介して入力された入力光Piは、カプラ16で2分岐されて導波路12及び14を伝播し、カプラ18で再度合波され、導波路22から出力光Poとして出力される。光フィルタ10は、非対称マッハツェンダ干渉計を構成しており、カプラ18で合波された2つの光の位相差に応じて出力が決定される。すなわち、カプラ18で合波された2つの光の位相が一致している場合に最も出力が大きくなる。図2に、波長に対する透過率(出力光Poのパワー/入力光Piのパワー)の特性を示す。図2に示すように、光フィルタ10の透過率特性は、正弦波状の特性を示す。
ところで、導波路は一般に実効屈折率が温度によって変化するので、等価的な光学長も温度によって変化する。従って、この導波路の温度依存性に対策を施していない上述した従来技術に係る光フィルタ80では、図2に示す透過特性が温度によって変化し、透過する波長が温度によって変動する、すなわち図2に示す曲線が波長方向にずれる場合がある。
そこで、本実施の形態に係る光フィルタ10では、長さの異なる2本の導波路12、14を有するマッハツェンダ干渉計において、2本の導波路の実効屈折率の温度係数(以下、単に「温度係数」という場合がある)を異ならせ、各々の導波路の長さが導波路の温度係数の逆比になるように構成している。このことにより、2本の導波路の温度係数が相殺される。
また、本実施の形態では、2本の導波路のうち導波路14を通常の導波路とし、導波路12をスロット導波路とすることにより、2本の導波路相互の温度係数を異ならせている。スロット導波路では、2つの導波路で挟まれたクラッド部が光の伝播路となるため、実効屈折率の温度係数が通常の導波路(例えば、矩形の単一モード導波路)に比べて小さい。むろん、スロット導波路を用いることなく、2本の導波路の材料を異ならせ、温度係数が異なるようにしてもよい。以下、本実施の形態に係る光フィルタ10の作用について、より詳細に説明する。
まず、導波路12の実効屈折率の温度依存性をn(T)、及び導波路14の実効屈折率の温度依存性n(T)を、以下に示す(式1)、(式2)のように線形近似する。


ここで、n’及びn’は定数であり、ΔTは温度の微小変動を示している。
光フィルタ10の透過波長λは、以下に示す(式3)を満たす波長である。

ここで、Nは正の整数である。
このとき、以下に示す(式4)を満たすことにより、透過波長λが温度に依存しなくなる。
(式1)及び(式2)を(式4)に代入すると、以下に示す(式5)が得られる。
(式5)より、光フィルタ10の透過波長λが温度に依存しないための条件は、以下に示す(式6)となる。
次に、図3を参照して、(式6)を充足するための一例について説明する。図3は、Si(シリコン)によるスロット導波路の、スロット間隔dに対する実効屈折率の温度係数(1/K)を示している。ただし、図3では、スロット導波路を構成する各導波路の幅を0.2μm、高さを0.21μmとしている。図3に示すように、スロット導波路の温度係数dn/dTは、50μm〜500μmのスロット間隔dに対して、約8×10−6(1/K)から2×10−6(1/K)程度まで漸減する特性を示す。
一方、図3の破線で示すように、Siによる通常の単一モードの導波路の温度係数dn/dTは、約17×10−6(1/K)である。ただし、単一モードの導波路の幅は0.4μm、高さは0.21μmとしている。従って、本例の場合には、スロット導波路の長さをL1、単一モードの導波路の長さをL2とすると、L1:L2は、17:4とすればよいことがわかる。従って、本例の場合は、例えば、スロット導波路の長さを340μm、単一モードの導波路を80μmとすればよい。
さらに、本実施の形態に係る光フィルタ10では、波長可変の光フィルタとするために、導波路12、14の一方、あるいは双方に、導波路12、14の屈折率を変化させ等価的な光学長を可変とする図5に示すようなヒータを設けてもよい。
以上詳述したように、本実施の形態に係る光フィルタでは、長さ及び実効屈折率の温度係数の異なる2本の導波路を用いて非対称マッハツェンダ干渉計を構成し、該非対称マッハツェンダ干渉計の2本の導波路の、実効屈折率の温度係数と長さとの積を等しくすることにより非対称マッハツェンダ干渉計の温度依存性を抑制させている。このように構成された非対称マッハツェンダ干渉計を用いて光フィルタを構成することにより、温度依存性の抑制された光フィルタを実現することが可能となった。
さらに、本実施の形態では、スロット導波路の実効屈折率の温度係数が、通常の導波路の実効屈折率の温度係数に比べて数分の1と大幅に小さいことに着目し、マッハツェンダ干渉計を構成する2本の導波路の一方をスロット導波路とし、他方を通常の導波路とした。このことにより、温度依存性の抑圧された光フィルタの設計が容易になった。なお、本実施の形態では、2つの導波路のうち一方をスロット導波路とする形態を例示したが、これに限られず、双方をスロット導波路とし、材料を異ならせて温度係数が異なるようにしてもよい。
[第2の実施の形態]
図4を参照して、本実施の形態に係る狭線幅波長光源50について説明する。狭線幅波長光源50は、出力波長を切り出す光フィルタとして、上記実施の形態に係る光フィルタ10を適用した光源である。狭線幅波長光源50は、一例として、光フィルタ10と共に光集積回路技術によって集積化されている。
図4に示すように、狭線幅波長光源50は、光増幅器52、ヒータ54、アウトカプラ56、及び光フィルタ10を備えて構成されている。光増幅器52と光フィルタ10は導波路58で接続され、光フィルタ10の出力はアウトカプラ56の入力ポートに接続されている。アウトカプラ56の出力ポートは出力用の導波路60に接続され、導波路60を介して、出力光Poが出力される。
狭線幅波長光源50は、光増幅器52の出力とは反対側に設けられた反射面M1と、反射面M2として作用するアウトカプラ56の入力ポートの開放端とによりファブリペロー共振器が構成されている。そして、該ファブリペロー共振器によって決まる励振波長が、光フィルタ10によって選択され、出力光Poとして出力される。
導波路58上に設けられたヒータ54は、ファブリペロー共振器の共振器長を可変とする機能を有している。すなわち、ヒータ54は導波路58に熱を付与することにより導波路58の屈折率を変化させ、導波路58の等価的な光学長を変化させることにより、上記ファブリペロー共振器の共振器長を変化させている。なお、本実施の形態では、ヒータ54を光増幅器52と光フィルタ10との間に設ける形態を例示して説明したが、ヒータ54は反射面M1とM2との間に設ければよいので、例えば、光フィルタ10とアウトカプラ56との間に設けてもよい。
以上のように構成された狭線幅波長光源50によれば、光フィルタ10の透過波長の温度依存性が抑制されているので、温度による波長変動を抑制することが可能となっている。
10 光フィルタ
12 導波路
14 導波路
16 カプラ
18 カプラ
20 導波路
22 導波路
50 狭線幅波長光源
52 光増幅器
54 ヒータ
56 アウトカプラ
58、60 導波路
80 光フィルタ
82 導波路
84 導波路
86、88 3dBカプラ
90 入力導波路
92、94 出力導波路
96 薄膜ヒータ
Pi 入力光
Po 出力光

Claims (4)

  1. 互いに屈折率の温度係数及び長さが異なると共に、各々の屈折率の温度係数と長さとの積が等しくされ、かつ少なくとも一方がスロット導波路である2本の光導波路と、
    入力光が入力されると共に入力された前記入力光を前記2本の光導波路の各々に分岐して出力する分波器と、
    前記2本の光導波路の各々から出力された2つの光が入力されると共に入力された2つの光を合波し出力光として出力する合波器と、
    を含む光フィルタ。
  2. 前記2本の光導波路の少なくとも一方を加熱するヒータをさらに含む
    請求項1に記載の光フィルタ。
  3. 一方の端面が第1の反射面とされ他方の端面から光を出力する光増幅器と、
    前記光増幅器に導波路を介して接続された請求項1又は請求項に記載の光フィルタと、
    前記光フィルタに導波路を介して接続されると共に、第2の反射面として機能する開放端を有するアウトカプラと、を含み、
    前記第1の反射面と前記第2の反射面とによりファブリペロー共振器が構成され、
    前記ファブリペロー共振器と前記光フィルタによって選択された波長の光を前記アウトカプラから出力する
    狭線幅波長光源。
  4. 前記第1の反射面と前記第2の反射面との間に前記導波路を加熱するヒータをさらに含む
    請求項に記載の狭線幅波長光源。
JP2016068680A 2016-03-30 2016-03-30 光フィルタ、及び狭線幅波長光源 Active JP6699294B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016068680A JP6699294B2 (ja) 2016-03-30 2016-03-30 光フィルタ、及び狭線幅波長光源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016068680A JP6699294B2 (ja) 2016-03-30 2016-03-30 光フィルタ、及び狭線幅波長光源

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017181776A JP2017181776A (ja) 2017-10-05
JP6699294B2 true JP6699294B2 (ja) 2020-05-27

Family

ID=60006888

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016068680A Active JP6699294B2 (ja) 2016-03-30 2016-03-30 光フィルタ、及び狭線幅波長光源

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6699294B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112068244B (zh) * 2020-09-18 2022-07-05 联合微电子中心有限责任公司 无热阵列波导光栅

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3291915B2 (ja) * 1994-06-24 2002-06-17 日本電信電話株式会社 光フィルタ及び発振波長安定化光源
JP2002014306A (ja) * 2000-04-26 2002-01-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フィルタ
CA2335216C (en) * 2001-02-09 2007-06-05 Itf Optical Technologies Inc.-Technologies Optiques Itf Inc. Passive thermal compensation of all-fiber mach-zehnder interferometer
JP2013507660A (ja) * 2009-10-07 2013-03-04 アイディ株式会社 アレイ導波路で異なるコアの幾何形状を採用するアサーマルシリコンフォトニクスawg(アレイ導波路回折格子)
EP2378330A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-19 Alcatel Lucent An optical filter or multiplexer/demultiplexer
JP2014170049A (ja) * 2013-03-01 2014-09-18 Oki Electric Ind Co Ltd 光干渉器
JP2015060944A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 日本電気株式会社 波長制御フィルタおよび波長可変レーザ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017181776A (ja) 2017-10-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101443997B1 (ko) 광학 필터 또는 멀티플렉서/디멀티플렉서
US10126501B2 (en) Tunable reflectors based on multi-cavity interference
JP5304158B2 (ja) 光共振器及び波長可変レーザ
JP2005010805A (ja) 導波路型光干渉計
JP2009282460A (ja) 光変調器
US11320587B2 (en) Planar lightwave circuits (PLCs) exhibiting controllable transmissivity / reflectivity
Saber et al. A CMOS compatible ultracompact silicon photonic optical add-drop multiplexer with misaligned sidewall Bragg gratings
Dwivedi et al. Coarse wavelength division multiplexer on silicon-on-insulator for 100 GbE
Sumi et al. Ultra-broadband add-drop filter/switch circuit using subwavelength grating waveguides
US10338318B2 (en) Planar lightwave circuits (PLCs) exhibiting controllable transmissivity / reflectivity
JP6699294B2 (ja) 光フィルタ、及び狭線幅波長光源
Schwelb et al. All-optical tunable filters built with discontinuity-assisted ring resonators
JP2015135386A (ja) 光リング共振器および波長選択スイッチ
Pan et al. Double-layer cross-coupled silicon nitride multi-ring resonator systems
JP2010262314A (ja) 平面光導波回路およびそれを用いた光合分波器
JP4110879B2 (ja) 光学部品
LaRochelle et al. Silicon photonic Bragg grating devices
KR100752362B1 (ko) 위상 가변 기능을 갖는 광 시간 지연 간섭계
JP2013041146A (ja) 波長選択性多モード干渉導波路デバイス
Simard et al. High-quality Bragg gratings operating in reflection without circulators in SOI
JP5835426B1 (ja) 光波長フィルタ
JP2014191088A (ja) 光波長フィルタ
JPWO2018123709A1 (ja) 方向性結合器とその設計方法
WO2022259431A1 (ja) 可変波長フィルタおよびその制御方法
Verma et al. TiO 2 Based Micro-Ring Resonator as Near Infrared Laser Line Filter: Numerical Simulation

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190129

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200107

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200304

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200331

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200413

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6699294

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150