JP6698815B2 - 駆動モードにおける干渉運動が最小化された回転速度センサ - Google Patents
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Description
本発明は、請求項1の上位概念に記載の回転速度センサに関する。
従来技術に対して本発明による回転速度センサは、残りのセンサ特性に悪影響を与えることなく2f運動、ひいては2f信号を所期のように低減させることが可能となるという利点を有する。それと同時に本発明による回転速度センサは、従来技術に比べて簡単で、機械的にロバストであり、かつ、低コストの構造を有する。本回転速度センサはさらに、従来技術に比べて相対的に小さい基板平面上で実現される。なぜなら、マイクロメカニカル構造に対して、回転速度を検出するために、従来技術に比べて相対的に小さい基板平面しか必要とされないからである。さらには、外部の干渉影響に対してロバストな回転速度センサが提供される。このことは、従来技術とは異なり、前記第1の駆動構造体が、前記基板に固定された少なくとも1つの第1のばねを有していて、これによって、前記第1のばねが、実質的に前記主延在平面に対して垂直に延在する第2の軸に対して平行に延在する軸を中心とした前記第1の構造体の旋回に対して反作用するようになっており、前記第2の駆動構造体が、前記基板に固定された少なくとも1つの第2のばねを有していて、これによって、前記第2のばねが、実質的に前記第2の軸に対して平行に延在する別の軸を中心とした前記第2の構造体の旋回に対して反作用するようになっている、ことによって達成される。これにより、第1のばね及び/又は第2のばねによって、回転速度センサの機械的な非線形性を所期のように調整することが可能となり、ひいては2f運動及び2f信号を低減することが可能となる。
複数の異なる図面において、同等の部分には常に同一の参照符号が付されており、従って、基本的にはそれぞれ一度だけしか言及又は説明されない。
Claims (5)
- 回転速度センサ(1)であって、
前記回転速度センサ(1)は、
主延在平面(100)を有する基板(3)と、
前記基板(3)に対して移動可能な少なくとも1つの第1の構造体(5)と、
前記基板(3)及び前記第1の構造体(5)に対して移動可能な少なくとも1つの第2の構造体(7)と、
を備え、
前記回転速度センサ(1)は、前記第1の構造体(5)を、当該第1の構造体(5)の静止位置から第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって変位させるための、少なくとも1つの第1の駆動構造体(9)を含み、
前記回転速度センサ(1)は、前記第2の構造体(7)を、当該第2の構造体(7)の静止位置から前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって変位させるための、少なくとも1つの第2の駆動構造体(11)を含み、
前記第1の構造体(5)及び前記第2の構造体(7)を、前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって逆位相で振動するように励振させることが可能である、
回転速度センサ(1)において、
前記第1の駆動構造体(9)は、前記基板(3)に固定された少なくとも1つの第1のばね(13)を有していて、これによって、前記第1のばね(13)は、前記主延在平面(100)に対して垂直に延在する第2の軸(Z)に対して平行に延在する軸を中心とした前記第1の構造体(5)の旋回に対して反作用するようになっており、
前記第2の駆動構造体(11)は、前記基板(3)に固定された少なくとも1つの第2のばね(15)を有していて、これによって、前記第2のばね(15)は、前記第2の軸(Z)に対して平行に延在する別の軸を中心とした前記第2の構造体(7)の旋回に対して反作用するようになっており、
前記回転速度センサ(1)は、前記第1の構造体(5)を、当該第1の構造体(5)の静止位置から前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって変位させるための、少なくとも1つの第3の駆動構造体(17)を含み、
前記第3の駆動構造体(17)は、前記基板(3)に固定された少なくとも1つの第3のばね(21)を有していて、これによって、前記第3のばね(21)は、前記第2の軸(Z)に対して平行に延在する前記軸を中心とした前記第1の構造体(5)の旋回に対して反作用するようになっており、
前記回転速度センサ(1)は、前記第2の構造体(7)を、当該第2の構造体(7)の静止位置から前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって変位させるための、少なくとも1つの第4の駆動構造体(19)を含み、
前記第4の駆動構造体(19)は、前記基板(3)に固定された少なくとも1つの第4のばね(23)を有していて、これによって、前記第4のばね(23)は、前記第2の軸(Z)に対して平行に延在する前記別の軸を中心とした前記第2の構造体(7)の旋回に対して反作用するようになっており、
前記第1のばね(13)及び/又は前記第2のばね(15)及び/又は前記第3のばね(21)及び/又は前記第4のばね(23)は、
前記基板に固定された少なくとも1つの第1のばねビーム(39)と、
前記基板に固定された少なくとも1つの第2のばねビーム(41)と、
前記第1のばねビーム(39)及び前記第2のばねビーム(41)を接続させる少なくとも1つの曲げ剛性のビーム(43)と、
前記曲げ剛性のビーム(43)及び各前記駆動構造体(9,11,17,19)を接続させる少なくとも1つの第3のばねビーム(45)と、
前記曲げ剛性のビーム(43)及び各前記駆動構造体(9,11,17,19)を接続させる少なくとも1つの第4のばねビーム(47)と、
を含む、
ことを特徴とする回転速度センサ(1)。 - 前記回転速度センサ(1)は、前記第1の駆動構造体(9)を前記第2の駆動構造体(11)に結合させるための第1の結合構造体(25)を含み、
これによって、前記第1の駆動構造体(9)及び前記第2の駆動構造体(11)を、前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって逆位相で振動するように変位させることが可能となっている、
請求項1に記載の回転速度センサ(1)。 - 前記回転速度センサ(1)は、
前記第3の駆動構造体(17)を前記第4の駆動構造体(19)に結合させるための第2の結合構造体(27)を含み、
これによって、前記第3の駆動構造体(17)及び前記第4の駆動構造体(19)を、前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって逆位相で振動するように変位させることが可能となっている、
請求項1又は2に記載の回転速度センサ(1)。 - 前記回転速度センサ(1)は、前記第1の構造体(5)及び前記第2の構造体(7)によって部分的に包囲された、前記第1の構造体(5)を前記第2の構造体(7)に結合させるための第3の結合構造体(29)を含み、
これによって、前記第1の構造体(5)及び前記第2の構造体(7)を、前記第1の軸(Y)に対して平行な運動成分によって、及び/又は、前記第1の軸(Y)及び前記第2の軸(Z)に対して垂直に延在する第3の軸(X)に対して平行な運動成分によって、逆位相で振動するように変位させることが可能となっている、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の回転速度センサ(1)。 - 前記第1の構造体(5)は、
第1のコリオリ構造体(31)と、
前記第1のコリオリ構造体(31)によって少なくとも部分的に包囲された、前記第1の構造体(5)に加わる第1の力作用を検出するための第1の検出構造体(33)と、
を含み、
前記第2の構造体(7)は、
第2のコリオリ構造体(35)と、
前記第2のコリオリ構造体(35)によって少なくとも部分的に包囲された、前記第2の構造体(7)に加わる第2の力作用を検出するための第2の検出構造体(37)と、
を含み、
前記第1の力作用及び前記第2の力作用は、前記第2の軸(Z)に対して平行な軸を中心とした前記回転速度センサ(1)の回転速度に起因して、前記第1の軸(Y)及び前記第2の軸(Z)に対して垂直に延在する第3の軸(X)に対して平行な方向に沿ったそれぞれ1つの力成分を含む、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の回転速度センサ(1)。
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