KR20180030186A - 구동 모드에서 최소화된 간섭 이동을 갖는 요레이트 센서 - Google Patents

구동 모드에서 최소화된 간섭 이동을 갖는 요레이트 센서 Download PDF

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KR20180030186A
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미르코 하타쓰
크리스티안 회프너
벤야민 슈밋트
토어스텐 발스링크
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로베르트 보쉬 게엠베하
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Abstract

본 발명은, 주 연장 평면을 구비한 기판과; 기판에 대해 상대 운동 가능한 하나 이상의 제1 구조와; 기판에 상대적으로, 그리고 제1 구조에 대해 상대 운동 가능한 하나 이상의 제2 구조를; 포함하는 요레이트 센서에 관한 것이며, 상기 요레이트 센서는 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제1 구조의 휴지 위치로부터 제1 구조를 편향시키기 위한 하나 이상의 제1 구동 구조를 포함하며, 상기 요레이트 센서는 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제2 구조의 휴지 위치로부터 제2 구조를 편향시키기 위한 하나 이상의 제2 구동 구조를 포함하며, 제1 구조 및 제2 구조는 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 여기될 수 있으며, 제1 구동 구조는, 제1 스프링이 실질적으로 주 연장 평면에 대해 수직으로 연장되는 제2 축에 대해 평행하게 연장되는 축을 중심으로 하는 제1 구조의 회동을 저지하는 방식으로, 기판 상에 고정되는 하나 이상의 제1 스프링을 포함하며, 제2 구동 구조는, 제2 스프링이 실질적으로 제2 축에 대해 평행하게 연장되는 또 다른 축을 중심으로 하는 제2 구조의 회동을 저지하는 방식으로, 기판 상에 고정되는 하나 이상의 제2 스프링을 포함한다.

Description

구동 모드에서 최소화된 간섭 이동을 갖는 요레이트 센서
본 발명은 청구항 제1항의 전제부에 따르는 요레이트 센서(yaw rate sensor)에 관한 것이다.
상기 유형의 요레이트 센서는 예컨대 DE 10 2011 006 394 A1호로부터 공지되어 있다. 상기 요레이트 센서의 제1 및 제2 구조는, 역위상 진동 동안, 구동 방향에 대해 직각인, 다시 말하면 제1 축에 대해 직각인 진자 운동 또는 2f 이동을 각각 실행한다. 이로써, 구동 주파수의 2배일 때 검출 신호 또는 2f 신호가 야기된다.
본 발명에 따른 요레이트 센서는, 종래 기술에 비해, 본 발명에 따른 요레이트 센서가 목표한 바대로, 나머지 센서 특성들에 부정적인 영향을 미치지 않으면서 2f 이동의 감소 및 그에 따른 2f 신호의 감소를 가능하게 한다는 장점을 갖는다. 이와 동시에, 본 발명에 따른 요레이트 센서는, 종래 기술에 비해, 간단하고 기계적으로 견고하며 비용 효과적인 구성을 보유한다. 또한, 본원의 요레이트 센서는 종래 기술에 비해 작은 기판 면적 상에서 가능해지는데, 그 이유는 미소 기계식 구조의 경우 종래 기술에 비해 작은 기판 면적만이 요레이트의 검출을 위해 요구되기 때문이다. 또한, 외부 간섭 영향들에 대해 견고한 요레이트 센서가 마련된다. 이는, 종래 기술과 달리, 제1 구동 구조가, 제1 스프링이 실질적으로 주 연장 평면(main extension plane)에 대해 수직으로 연장되는 제2 축에 대해 평행하게 연장되는 축을 중심으로 하는 제1 구조의 회동을 저지하는 방식으로, 기판 상에 고정되는 하나 이상의 제1 스프링을 포함하고, 제2 구동 구조는, 제2 스프링이 실질적으로 제2 축에 대해 평행하게 연장되는 또 다른 축을 중심으로 하는 제2 구조의 회동을 저지하는 방식으로, 기판 상에 고정되는 하나 이상의 제2 스프링을 포함하는 것을 통해 달성된다. 이로써, 제1 스프링 및/또는 제2 스프링에 의해, 요레이트 센서의 기계적 비선형성(mechanical non-linearity)이 목표한 바대로 설정될 수 있고, 그에 따라 2f 이동 및 2f 신호도 감소될 수 있다.
본 발명의 바람직한 구현예들 및 개선예들은 종속 청구항들에서뿐 아니라 도면들을 참조로 한 기재내용에서도 확인될 수 있다.
바람직한 개선예에 따라서, 본원의 요레이트 센서는 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제1 구조의 휴지 위치(rest position)로부터 제1 구조를 편향시키기 위한 하나 이상의 제3 구동 구조를 포함하며, 제3 구동 구조는, 제3 스프링이 실질적으로 제2 축에 대해 평행하게 연장되는 축을 중심으로 하는 제1 구조의 회동을 저지하는 방식으로, 기판 상에 고정되는 하나 이상의 제3 스프링을 포함한다. 이로써, 바람직한 방식으로, 자체의 비선형성이 제3 스프링에 의해 목표한 바대로 설정될 수 있고 그에 따라 자체의 2f 이동 및 이 2f 이동을 통해 생성되는 2f 신호도 목표한 바대로 감소될 수 있는 것인 요레이트 센서가 제안된다.
바람직한 개선예에 따라서, 본원의 요레이트 센서는 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제2 구조의 휴지 위치로부터 제2 구조를 편향시키기 위한 하나 이상의 제4 구동 구조를 포함하며, 제4 구동 구조는, 제4 스프링이 실질적으로 제2 축에 대해 평행하게 연장되는 또 다른 축을 중심으로 하는 제2 구조의 회동을 저지하는 방식으로, 기판 상에 고정되는 하나 이상의 제4 스프링을 포함한다. 이로써, 바람직하게는 비선형성이 제4 스프링에 의해 목표한 바대로 설정될 수 있고 그에 따라 2f 이동 및 이 2f 이동을 통해 생성되는 2f 신호도 목표한 바대로 감소될 수 있는 점이 가능해진다.
바람직한 개선예에 따라서, 본원의 요레이트 센서는, 제1 구동 구조 및 제2 구동 구조가 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 편향될 수 있는 방식으로, 제2 구동 구조와 제1 구동 구조를 결합하기 위한 제1 커플링 구조를 포함한다. 이로써, 바람직하게는, 제1 구조 및 제2 구조가 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 여기(excitation)될 수 있는 점이 가능해진다.
바람직한 개선예에 따라서, 본원의 요레이트 센서는, 제3 구동 구조 및 제4 구동 구조가 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 편향될 수 있는 방식으로, 제4 구동 구조와 제3 구동 구조를 결합하기 위한 제2 커플링 구조를 포함한다. 그에 따라, 바람직한 방식으로, 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 제1 구조 및 제2 구조를 여기하는 점이 가능해진다.
바람직한 개선예에 따라서, 본원의 요레이트 센서는, 제1 구조 및 제2 구조가 제1 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분과, 그리고/또는 제1 축에 대해 수직으로, 그리고 제2 축에 대해 수직으로 연장되는 제3 축에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 편향될 수 있는 방식으로, 제1 구조 및 제2 구조에 의해 부분적으로 에워싸여 제2 구조와 제1 구조를 결합하기 위한 제3 커플링 구조를 포함한다. 이로써, 바람직하게는, 제2 축에 대해 평행하게 연장되는 축을 중심으로 요레이트 센서에 작용하는 요레이트가 검출될 수 있는 점이 가능해진다. 또한, 이로써, 바람직하게는 요레이트 센서가 종래 기술에 비해 작은 기판 면적 상에 제공되고, 제1 구조의 무게중심 및 제2 구조의 무게중심은, 종래 기술과 달리, 요레이트 센서의 대칭축에 더 가깝게 배치되는 점이 가능해진다. 이로써, 예컨대 선형 가속도처럼 특히 예컨대 구동 방향으로 작용하는 외부 간섭에 대해 견고한 요레이트 센서가 제공된다. 이런 유형의 구현예는 구동 방향의 선형 가속도에 대한 견고성을 위해 바람직한데, 그 이유는 질량 중심이 중심에 있는 경우 레버리지 비율(leverage ratio)이 상대적으로 더 유리하고 그 결과 구동 방향으로 외부 선형 가속도에서 센서의 편향은 감소되기 때문이다.
바람직한 개선예에 따라서, 제1 구조는 제1 코리올리스 구조(Coriolis structure), 및 이 제1 코리올리스 구조에 의해 적어도 부분적으로 에워싸여 제1 구조에 대한 제1 힘 작용을 검출하기 위한 제1 검출 구조를 포함하고, 제2 구조는 제2 코리올리스 구조, 및 이 제2 코리올리스 구조에 의해 적어도 부분적으로 에워싸여 제2 구조에 대한 제2 힘 작용을 검출하기 위한 제2 검출 구조를 포함하며, 제1 힘 작용 및 제2 힘 작용은, 각각, 제2 축에 대해 실질적으로 평행한 축을 중심으로 하는 요레이트 센서의 요레이트를 기반으로, 제1 축에 대해 수직으로, 그리고 제2 축에 대해 수직으로 연장되는 제3 축에 대해 실질적으로 평행한 방향을 따르는 힘 성분을 포함한다. 이로써, 바람직하게는, 제2 축에 대해 실질적으로 평행한 축을 중심으로 하는 요레이트 센서의 요레이트가 요레이트 센서에 의해 검출될 수 있는 점이 가능해진다.
바람직한 개선예에 따라서, 제1 스프링 및/또는 제2 스프링 및/또는 제3 스프링 및/또는 제4 스프링은 기판에 고정되는 하나 이상의 제1 스프링 빔(spring beam)과, 기판에 고정되는 하나 이상의 제2 스프링 빔과, 제1 스프링 빔과 제2 스프링 빔을 연결하는 하나 이상의 강성 빔(rigid beam)과, 강성 빔과 각각의 구동 구조를 연결하는 하나 이상의 제3 스프링 빔과, 강성 빔과 각각의 구동 구조를 연결하는 하나 이상의 제4 스프링 빔을 포함한다. 그에 따라, 바람직한 방식으로, 제1 스프링 빔 및/또는 제2 스프링 빔 및/또는 제3 스프링 빔 및/또는 제4 스프링 빔 및/또는 빔에 의해, 요레이트 센서의 기계적 비선형성의 목표하는 설정과 그에 따른 2f 이동 및 2f 신호의 감소가 가능해진다. 그에 따라, 특히, 바람직한 방식으로 2f 이동은, 제1 스프링 빔 및/또는 제2 스프링 빔 및/또는 제3 스프링 빔 및/또는 제4 스프링 빔의 기하구조 매개변수들, 특히 폭과 길이 비들(width and length ratio)의 목표하는 설정에 의해, 제1 스프링 및/또는 제2 스프링 및/또는 제3 스프링 및/또는 제4 스프링의 보상용 2f 힘을 통해 저지될 수 있다. 이로써, 바람직한 방식으로 2f 이동은 최소화된다. 또한, 바람직한 방식으로, 제1 스프링 및/또는 제2 스프링 및/또는 제3 스프링 및/또는 제4 스프링 및/또는 빔의 스프링 경도는, 제1 스프링 빔 및/또는 제2 스프링 빔 및/또는 제3 스프링 빔 및/또는 제4 스프링 빔 및/또는 빔의 길이 및 폭에 의해 설정될 수 있다. 이로써, 바람직한 방식으로 보상용 2f 힘의 설정은 스프링 경도의 설정과 무관하게 가능하다.
도 1은 본 발명의 예시의 제1 실시형태에 따르는 요레이트 센서를 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 예시의 제2 실시형태에 따르는 요레이트 센서를 도시한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 예시의 또 다른 실시형태들에 따르는 요레이트 센서의 예시의 부분 영역들을 도시한 개략도이다.
다양한 도면들에서, 동일한 부재들에는 항상 동일한 도면부호들이 부여되며, 그로 인해 동일한 부재들은 일반적으로 각각 한 번만 명명되고 언급된다.
도 1에는, 본 발명의 예시의 제1 실시형태에 따르는 요레이트 센서(1)의 개략도가 도시되어 있으며, 요레이트 센서(1)는, 주 연장 평면(100)을 구비한 기판(3)과, 기판(3)에 대해 상대 운동 가능한 제1 구조(5)와, 기판(3)에 상대적으로, 그리고 제1 구조(5)에 대해 상대 운동 가능한 제2 구조(7)를 포함한다. 또한, 도 1의 요레이트 센서(1)는, 예시로서, 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제1 구조(5)의 도 1에 도시된 휴지 위치로부터 제1 구조(5)를 편향시키기 위한 제1 구동 구조(9) 및 제3 구동 구조(17)를 포함한다. 또한, 도 1의 요레이트 센서(1)는, 예시로서, 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 힘 성분으로 제2 구조(7)의 도 1에 도시된 휴지 위치로부터 제2 구조(7)를 편향시키기 위한 제2 구동 구조(11) 및 제4 구동 구조(19)를 포함한다. 이로써, 제1 구조(5) 및 제2 구조(7)는, 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 여기될 수 있다.
또한, 도 1에는, 예시로서, 제1 구동 구조(9) 및 제3 구동 구조(17)는, 제1 스프링(13) 및 제3 스프링(21)이 실질적으로 제2 축(Z)에 대해 평행하게 연장되는 축을 중심으로 하는 제1 구조(5)의 회동을 저지하는 방식으로, 각각 기판(3) 상에 고정되는 제1 스프링(13) 및 제3 스프링(21)을 포함하는 점도 도시되어 있다. 유사하게, 도 1에는, 제2 구동 구조(11) 및 제4 구동 구조(19)가, 제2 스프링(15) 및 제4 스프링(23)이 실질적으로 제2 축(Z)에 대해 평행하게 연장되는 또 다른 축을 중심으로 하는 제2 구조(7)의 회동을 저지하는 방식으로, 각각 기판(3) 상에 고정되는 제2 스프링(15) 및 제4 스프링(23)을 포함하는 점도 도시되어 있다.
또한, 도 1에 예시로 도시된 요레이트 센서는, 제1 구동 구조(9)와 제2 구동 구조(11), 및 제3 구동 구조(17)와 제4 구동 구조(19) 각각이 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 각각 하도록 편향될 수 있는 방식으로, 제2 구동 구조(11)와 제1 구동 구조(9)를 결합하기 위한 제1 커플링 구조(25)와, 제4 구동 구조(19)와 제3 구동 구조(17)를 결합하기 위한 제2 커플링 구조(27)를 포함한다. 추가로, 도 1에는, 제1 구조(5) 및 제2 구조(7)에 의해 적어도 부분적으로 에워싸여 제2 구조(7)와 제1 구조(5)를 결합하기 위한 제3 커플링 구조(29)도 도시되어 있다. 제3 커플링 구조(29)는, 제1 구조(5) 및 제2 구조(7)가 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 힘 성분과, 그리고/또는 제3 축(X)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 편향될 수 있는 점을 가능하게 한다.
도 2에는, 본 발명의 예시의 제2 실시형태에 따르는 요레이트 센서(1)의 개략도가 도시되어 있으며, 제1 구조(5)는 제1 코리올리스 구조(31)와, 제1 코리올리스 구조(31)에 의해 적어도 부분적으로 에워싸여 제1 구조(5)에 대한 제1 힘 작용을 검출하기 위한 제1 검출 구조(33)를 포함한다. 또한, 제2 구조(7)는 제2 코리올리스 구조(35)와, 제2 코리올리스 구조(35)에 의해 적어도 부분적으로 에워싸여 제2 구조(7)에 대한 제2 힘 작용을 검출하기 위한 제2 검출 구조(37)를 포함한다. 이 경우, 제1 힘 작용 및 제2 힘 작용은, 제2 축(Z)에 대해 실질적으로 평행한 축을 중심으로 하는 요레이트 센서(1)의 요레이트를 기반으로, 제3 축(X)에 대해 실질적으로 평행한 방향을 따르는 힘 성분을 각각 포함한다. 도 2에 도시된 제3 커플링 구조(29)는, 예컨대 제1 검출 구조(33) 및 제2 검출 구조(37)가 제3 축(X)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 편향될 수 있는 점을 가능하게 한다.
또한, 도 2에는, 제1 코리올리스 구조(31)의 영역에, 그리고 제2 코리올리스 구조(35)의 영역에 화살표들에 의해 제1 구조(5) 및 제2 구조(7)의 가능한 2f 이동이 도시되어 있다. 2f 이동은 상향 이동 동안뿐만 아니라 하향 이동 동안에도, 다시 말하면 이격 회동 이동 및 근접 회동 이동 동안 동일한 방향으로 향한다. 다시 말해, 코리올리스 구조들(31, 35)은 약한 진자 운동(2f 이동)을 실행한다. 이런 이동, 즉 구동 방향에 대해 옆으로 향하는 이동은 검출 구조들(33, 37)로 전달되며, 그리고 2배의 구동 주파수 조건에서 검출 신호를 야기한다. 추가로, 도 2에는, 제1 스프링(13), 제2 스프링(15), 제3 스프링(21) 및 제4 스프링(23)의 영역에, 추가 화살표들에 의해, 가능한 2f 이동을 저지하는 보상용 2f 힘이 도시되어 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 실시예들은 각각 구동 구조들(9, 11, 17, 19) 및 스프링들(13, 15, 21, 23)을 포함한다. 그러나 바람직하게는 예컨대 단지 제1 구동 구조(9)와 제1 스프링(13)만을 구비한 요레이트 센서, 또는 각각 임의의 개수의 구동 구조(9, 11, 17, 19) 및 스프링(13, 15, 21, 23), 특히 3, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16의 다수의 구동 구조 및/또는 스프링을 구비하는 요레이트 센서 역시도 제공된다.
도 3a, 3b, 3c에는, 본 발명의 예시의 또 다른 실시형태들에 따르는 요레이트 센서(1)의 예시의 부분 영역들의 개략도가 도시되어 있으며, 제1 스프링(13) 및/또는 제2 스프링(15) 및/또는 제3 스프링(21) 및/또는 제4 스프링(23)은 기판에 고정되는 제1 스프링 빔(39)과, 기판에 고정되는 제2 스프링 빔(41)과, 제1 스프링 빔(39)과 제2 스프링 빔(41)을 연결하는 강성 빔(43)과, 강성 빔(43)과 각각의 구동 구조(9, 11, 17, 19)를 연결하는 제3 스프링 빔(45)과, 강성 빔(43)과 각각의 구동 구조(9, 11, 17, 19)를 연결하는 제4 스프링 빔(47)을 포함한다.
도 3a에는, 스프링(13, 15, 21, 23)의 제1 실시형태가 개략적으로 도시되어 있으며, 스프링(13, 15, 21, 23)은 짧은 내부 스프링 빔들(39, 41)을 포함한다. 도 3b에는, 스프링(13, 15, 21, 23)의 제2 실시형태가 개략적으로 도시되어 있으며, 스프링(13, 15, 21, 23)은 효과적으로 단축된 외부 스프링 빔들(45, 47)을 포함하며, 이는 반전된 비선형성을 야기한다. 도 3c에는, 스프링(13, 15, 21, 23)의 제3 실시형태가 개략적으로 도시되어 있으며, 스프링(13, 15, 21, 23)은 기판에 고정된 외부 스프링 빔들(39, 41)과 내부 스프링 빔들(45, 47)을 포함한다.
이로써, 스프링 빔들의 폭과 길이 비들을 통해, 스프링들(13, 15, 21, 23)의 2f 힘들이 설정될 수 있다. 그에 따라, 스프링들(13, 15, 21, 23)은, 스프링들 자신이 나머지 센서의 2f 힘들을 저지하고 그 결과에 따른 2f 이동을 최소화하도록 매칭될 수 있다. 이 경우, 스프링들(13, 15, 21, 23) 상에서 구동 구조들(9, 11, 17, 19)의 걸림은, 센서 부재의 2f 힘들이 스프링들(13, 15, 21, 23)의 비선형성을 통해 보상되도록, 스프링들(13, 15, 21, 23)의 기계적 비선형성이 스프링들의 기하구조 매개변수들을 통해 설정된다는 장점을 제공한다. 스프링들(13, 15, 21, 23)의 2f 힘들의 절댓값뿐 아니라 그 방향 역시도 외부 및 내부 스프링 빔들(39, 41, 45, 47)의 폭과 길이 비들을 통해 가변될 수 있다. 스프링 빔들(39, 41, 45, 47)의 길이 비들의 반전(도 3a 및 도 3b)을 통해, 예컨대 스프링들(13, 15, 21, 23)의 결과에 따른 2f 힘의 방향이 반전될 수 있다. 스프링 경도는 개별 스프링 빔들(39, 41, 45, 47)의 절대 길이 및 폭을 통해 조절될 수 있으며, 그럼으로써 스프링 경도 및 2f 힘은 서로 무관하게 설정될 수 있게 된다.
또한, 스프링들(13, 15, 21, 23)은, 자신들이 경동 운동(tilting motion)에 대해 매우 견고하다는 장점을 제공한다. 다시 말하면, 스프링들(13, 15, 21, 23) 중 하나의 스프링 상에 걸려 각각의 구동 구조(9, 11, 17, 19)에 연관되는 빔은 기본 모드에서 스프링 헤드들의 빔 연결부에 대해 평행하게 진동하며, 그리고 가능한 회전 운동은 매우 높은 주파수 쪽으로 이동된다.

Claims (8)

  1. 주 연장 평면(100)을 구비한 기판(3)과; 기판(3)에 대해 상대 운동 가능한 하나 이상의 제1 구조(5)와; 기판(3)에 상대적으로, 그리고 제1 구조(5)에 대해 상대 운동 가능한 하나 이상의 제2 구조(7)를; 포함하는 요레이트 센서(1)로서, 요레이트 센서(1)는 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제1 구조(5)의 휴지 위치로부터 제1 구조(5)를 편향시키기 위한 하나 이상의 제1 구동 구조(9)를 포함하며, 요레이트 센서(1)는 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제2 구조(7)의 휴지 위치로부터 제2 구조(7)를 편향시키기 위한 하나 이상의 제2 구동 구조(11)를 포함하며, 제1 구조(5) 및 제2 구조(7)는 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 여기될 수 있는, 상기 요레이트 센서에 있어서,
    제1 구동 구조(9)는, 제1 스프링(13)이 실질적으로 주 연장 평면(100)에 대해 수직으로 연장되는 제2 축(Z)에 대해 평행하게 연장되는 축을 중심으로 하는 제1 구조(5)의 회동을 저지하는 방식으로, 기판(3) 상에 고정되는 하나 이상의 제1 스프링(13)을 포함하며, 제2 구동 구조(11)는, 제2 스프링(15)이 실질적으로 제2 축(Z)에 대해 평행하게 연장되는 또 다른 축을 중심으로 하는 제2 구조(7)의 회동을 저지하는 방식으로, 기판(3) 상에 고정되는 하나 이상의 제2 스프링(15)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  2. 제1항에 있어서, 요레이트 센서(1)는 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제1 구조(5)의 휴지 위치로부터 제1 구조(5)를 편향시키기 위한 하나 이상의 제3 구동 구조(17)를 포함하며, 제3 구동 구조(17)는, 제3 스프링(21)이 실질적으로 제2 축(Z)에 대해 평행하게 연장되는 축을 중심으로 하는 제1 구조(5)의 회동을 저지하는 방식으로, 기판(3) 상에 고정되는 하나 이상의 제3 스프링(21)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 요레이트 센서(1)는, 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분으로 제2 구조(7)의 휴지 위치로부터 제2 구조(7)를 편향시키기 위한 하나 이상의 제4 구동 구조(19)를 포함하며, 제4 구동 구조(19)는, 제4 스프링(23)이 실질적으로 제2 축(Z)에 대해 평행하게 연장되는 또 다른 축을 중심으로 하는 제2 구조(7)의 회동을 저지하는 방식으로, 기판(3) 상에 고정되는 하나 이상의 제4 스프링(23)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 요레이트 센서(1)는, 제1 구동 구조(9) 및 제2 구동 구조(11)가 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 편향될 수 있는 방식으로, 제2 구동 구조(11)와 제1 구동 구조(9)를 결합하기 위한 제1 커플링 구조(25)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 요레이트 센서(1)는, 제3 구동 구조(17) 및 제4 구동 구조(19)가 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 편향될 수 있는 방식으로, 제4 구동 구조(19)와 제3 구동 구조(17)를 결합하기 위한 제2 커플링 구조(27)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 요레이트 센서(1)는, 제1 구조(5) 및 제2 구조(7)가 제1 축(Y)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분과, 그리고/또는 제1 축(Y)에 대해 수직으로, 그리고 제2 축(Z)에 대해 수직으로 연장되는 제3 축(X)에 대해 실질적으로 평행한 이동 성분을 갖는 실질적으로 역위상인 진동을 하도록 편향될 수 있는 방식으로, 제1 구조(5) 및 제2 구조(7)에 의해 부분적으로 에워싸여 제2 구조(7)와 제1 구조(5)를 결합하기 위한 제3 커플링 구조(29)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 구조(5)는 제1 코리올리스 구조(31), 및 제1 코리올리스 구조(31)에 의해 적어도 부분적으로 에워싸여 제1 구조(5)에 대한 제1 힘 작용을 검출하기 위한 제1 검출 구조(33)를 포함하며; 제2 구조(7)는 제2 코리올리스 구조(35), 및 제2 코리올리스 구조(35)에 의해 적어도 부분적으로 에워싸여 제2 구조(7)에 대한 제2 힘 작용을 검출하기 위한 제2 검출 구조(37)를 포함하며; 제1 힘 작용 및 제2 힘 작용은 각각, 제2 축(Z)에 대해 실질적으로 평행한 축을 중심으로 하는 요레이트 센서(1)의 요레이트를 기반으로, 제1 축(Y)에 대해 수직으로, 그리고 제2 축(Z)에 대해 수직으로 연장되는 제3 축(X)에 대해 실질적으로 평행한 방향을 따르는 힘 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 스프링(13) 및/또는 제2 스프링(15) 및/또는 제3 스프링(21) 및/또는 제4 스프링(23)은, 기판에 고정되는 하나 이상의 제1 스프링 빔(39), 기판에 고정되는 하나 이상의 제2 스프링 빔(41), 제1 스프링 빔(39)과 제2 스프링 빔(41)을 연결하는 하나 이상의 강성 빔(43), 강성 빔(43)과 각각의 구동 구조(9, 11, 17, 19)를 연결하는 하나 이상의 제3 스프링 빔(45), 그리고 강성 빔(43)과 각각의 구동 구조(9, 11, 17, 19)를 연결하는 하나 이상의 제4 스프링 빔(47)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 요레이트 센서(1).
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