JP6692726B2 - 固体電解質膜の形成方法 - Google Patents
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Description
本発明は、凹凸面の被覆性を有した固体電解質膜を安定した原料の供給によって形成することを可能とした固体電解質膜の形成方法を提供することを目的とする。
アンモニア導入経路62と、窒素導入経路72とは、導入ポート26に接続されている。成膜空間で成膜されるリン酸リチウム化合物は、リン酸リチウム酸化物とリン酸リチウム酸窒化物とのいずれか一方である。アンモニア導入経路62から導入ポート26に導入されるアンモニアガスは、反応性ガスの一例であり、リン酸リチウム酸窒化物の形成に用いられる。アンモニアガスは、2つのバルブV5,V7の両方が開いているときに、導入ポート26を通じて、成膜室21に導入される。窒素ガスは、2つのバルブV6,V7の両方が開いているときに、導入ポート26を通じて、成膜室21に導入される。なお、窒素ガスの導入は、第1添加経路42、または、後述する第2添加経路52を用いてもよい。
図2が示すように、固体原料タンク41に収容される有機リチウム化合物は、例えば、80℃での蒸気圧として1Pa以下を有した有機リチウム化合物である。固体原料タンク41に収容される有機リチウム化合物は、標準状態において固体である。有機リチウム化合物は、例えば、ジピパロイルメタナトリチウム(Li(dpm):CAS登録番号22441‐13‐0)、ターシャリーブトキシリチウム(LiOtBu:CAS登録番号1907‐33‐1)、トリメチルシリルアミドリチウム(Li(tmsa):CAS登録番号4039‐32‐1)である。液体原料タンク51に収容される有機リン酸化合物は、80℃での蒸気圧として、例えば1kPa以上を有した化合物であり、標準状態で液体である。有機リン酸化合物は、リン酸トリエチル(TEP)である。
図3が示すように、固体電解質膜の形成方法は、まず、成膜室21、固体原料タンク41、および、液体原料タンク51をセットする。すなわち、仕込み室11の圧力と、成膜室21の圧力とを、有機リチウム化合物の蒸気圧以下であるベース圧力PD1まで減圧する。ベース圧力PD1は、例えば、1E−3Paである。また、有機リチウム化合物を固体原料タンク41に収容し、有機リン酸化合物を液体原料タンク51に収容する。そして、各バルブV1,V2,V3,V4が閉じられた状態で、仕込み室11に搬入された基板Sを成膜室21のステージ25へ移載する。
有機リチウム化合物としてジピパロイルメタナトリチウムを用い、また、有機リン酸化合物としてリン酸トリエチルを用い、以下の条件に従って、試験例1のリン酸リチウム化合物膜の形成を行った。詳しくは、まず、これらを成膜空間へ流すために、各バルブV1,V2,V3,V4を開け、各バルブV1,V2,V3,V4を開けてから、基板Sを成膜温度に昇温するために、高周波電源31の出力を成膜温度用に切り替えた。次いで、高周波電源31の切り替えから1分後に、基板Sの温度を成膜温度に到達させた。続いて、基板Sを成膜温度に90分間保つことによって、基板Sの表面にリン酸リチウム化合物膜を形成した。そして、高周波電源31をON状態からOFF状態に切り替えると共に、各バルブV1,V2,V3,V4を閉じた。また、成膜室21に直接接続されたパージラインから成膜空間へ10sccmの窒素ガスを導入して、窒素ガスによる基板Sの冷却を60分間行った。そして、成膜空間への窒素ガスの供給を停止した後に、成膜室21から仕込み室11へ基板Sを移載し、仕込み室11から基板Sを取り出した。
・恒温温度 :30 (℃)
・ベース圧力PD1 :1.00−E3(Pa)
・窒素流量 :0.0 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :1.20−E1(Pa)
・脱気温度T2 :550 (℃/60分間加熱)
・成膜温度 :550 (℃)
試験例1の条件から、窒素流量、および、成膜圧力PD2を、以下の内容に変更し、それ以外の条件を、試験例1と同じくして、試験例2のリン酸リチウム酸化物膜の形成を行った。そして、この際の気化準備温度を165℃〜240℃の各々に変更し、各気化準備温度におけるリン酸リチウム酸化物膜の成膜速度を計測した。各気化準備温度における成膜速度を表2に示す。
・窒素流量 :0.2 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :1.60−E1(Pa)
試験例1の条件から、窒素流量、および、成膜圧力PD2を、以下の内容に変更し、それ以外の条件を、試験例1と同じくして、試験例3のリン酸リチウム酸化物膜の形成を行った。そして、この際の気化準備温度を165℃〜240℃の各々に変更し、各気化準備温度におけるリン酸リチウム酸化物膜の成膜速度を計測した。各気化準備温度における成膜速度を表2に示す。
・窒素流量 :0.5 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :1.80−E1(Pa)
試験例1の条件から、窒素流量、および、成膜圧力PD2を、以下の内容に変更し、それ以外の条件を、試験例1と同じくして、試験例4のリン酸リチウム酸化物膜の形成を行った。そして、この際の気化準備温度を165℃〜240℃の各々に変更し、各気化準備温度におけるリン酸リチウム酸化物膜の成膜速度を計測した。各気化準備温度における成膜速度を表2に示す。
・窒素流量 :1.0 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :2.50−E1(Pa)
試験例1の条件から、窒素流量、および、成膜圧力PD2を、以下の内容に変更し、それ以外の条件を、試験例1と同じくして、試験例5のリン酸リチウム酸化物膜の形成を行った。そして、この際の気化準備温度を165℃〜240℃の各々に変更し、各気化準備温度におけるリン酸リチウム酸化物膜の成膜速度を計測した。各気化準備温度における成膜速度を表2に示す。
・窒素流量 :2.0 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :3.00−E1(Pa)
試験例1の条件から、窒素流量、および、成膜圧力PD2を、以下の内容に変更し、それ以外の条件を、試験例1と同じくして、試験例6のリン酸リチウム酸化物膜の形成を行った。そして、この際の気化準備温度を165℃〜240℃の各々に変更し、各気化準備温度におけるリン酸リチウム酸化物膜の成膜速度を計測した。各気化準備温度における成膜速度を表2に示す。
・窒素流量 :10.0 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :8.60−E1(Pa)
試験例1の条件から、成膜室21の排気系をロータリーポンプ23のみとし、窒素流量、および、成膜圧力PD2を、以下の内容に変更し、それ以外の条件を、試験例1と同じくして、試験例7のリン酸リチウム酸化物膜の形成を行った。そして、この際の気化準備温度を165℃〜240℃の各々に変更し、各気化準備温度におけるリン酸リチウム酸化物膜の成膜速度を計測した。各気化準備温度における成膜速度を表2に示す。
・ベース圧力PD1 :10.0−E0(Pa)
・窒素流量 :10.0 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :13.3−E0(Pa)
試験例7の条件から、窒素流量、および、成膜圧力PD2を、以下の内容に変更し、それ以外の条件を、試験例7と同じくして、試験例8のリン酸リチウム酸化物膜の形成を行った。そして、この際の気化準備温度を165℃〜240℃の各々に変更し、各気化準備温度におけるリン酸リチウム酸化物膜の成膜速度を計測した。各気化準備温度における成膜速度を表2に示す。
・窒素流量 :100 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :133−E0 (Pa)
試験例7の条件から、窒素流量、および、成膜圧力PD2を、以下の内容に変更し、それ以外の条件を、試験例7と同じくして、試験例9のリン酸リチウム酸化物膜の形成を行った。そして、この際の気化準備温度を165℃〜240℃の各々に変更し、各気化準備温度におけるリン酸リチウム酸化物膜の成膜速度を計測した。各気化準備温度における成膜速度を表2に示す。
・窒素流量 :1000 (sccm/窒素導入経路72)
・成膜圧力PD2 :1330−E0 (Pa)
有機リチウム化合物としてジピパロイルメタナトリチウムを用い、また、有機リン酸化合物としてリン酸トリエチルを用い、以下の条件に従って、試験例1と同じ手順で、試験例10のリン酸リチウム化合物膜の形成を行った。試験例10のリン酸リチウム化合物膜の赤外線吸収スペクトルを計測した結果、リン酸リチウム化合物膜がリン酸リチウム酸窒化物であることを確認した。リン酸リチウム酸窒化物膜の成膜速度は、3.55nm/minであった。
・恒温温度 :30 (℃)
・ベース圧力PD1 :1.00−E3(Pa)
・窒素流量 :2.0 (sccm/窒素導入経路72)
・アンモニア流量 :1.0 (sccm/アンモニア導入経路62)
・成膜圧力PD2 :3.00−E1(Pa)
・脱気温度T2 :550 (℃/60分間加熱)
・成膜温度 :550 (℃)
(1)有機リチウム化合物と有機リン酸化合物との凹凸面での熱反応によって、凹凸面にリン酸リチウム化合物膜を堆積させる。それゆえに、ターゲットから放出される粒子の付着によってリン酸リチウム化合物膜を堆積させる方法と比べて、リン酸リチウム化合物膜による凹凸面の被覆性を高められる。
[凹凸面の昇温]
・凹凸面の加熱は、誘導加熱に限らず、ステージ25を抵抗加熱することによっても実現できる。なお、凹凸面を誘導加熱する方法であれば、上記(7)に準じた効果を得ることが可能である。
・不活性ガスの導入先は、窒素導入経路72とすることの他、第1添加経路42や第2添加経路52とすることも可能である。第1添加経路42や第2添加経路52から不活性ガスを導入する方法であっても、不活性ガスが流れる範囲において、成膜空間に向けた有機リチウム化合物の流れを促すことは可能である。なお、不活性ガスの導入先は、これら窒素導入経路72と、第1添加経路42や第2添加経路52との組み合わせとして設定することも可能である。
・第1原料空間と成膜空間とを接続する経路は、気化した有機リチウム化合物の固化を生じない程度の長さであれば、それを加熱することを割愛することも可能である。この際、導入ポート26のみを加熱することも可能であり、また、導入ポート26と固体原料タンク41とを接続する配管のみを加熱することも可能である。反対に、第1原料空間と成膜空間とを接続する経路は、気化した有機リチウム化合物の固化を生じる程度の長さであれば、固体原料タンク41と同じく、それを加熱することが好ましい。
・リン酸リチウム化合物膜の形成に際して、バルブV2,V4を開けるタイミングは、バルブV1,V3を開けるタイミングよりも早くすることも可能である。こうした方法であれば、有機リン酸化合物の供給が安定している状態から、有機リチウム化合物の供給を始めることが可能であるため、有機リチウム化合物の供給を安定させることが容易でもある。
Claims (5)
- 融点以下で加熱されている固体として有機リチウム化合物を第1原料空間に収容し、0℃以上に保たれている液体として有機リン酸化合物を第2原料空間に収容し、表面が凹凸面である電極層を成膜空間に収容することと、
前記第1原料空間および前記第2原料空間の各々と、前記有機リチウム化合物の蒸気圧よりも低い圧力を有した前記成膜空間とを連通すると共に、前記連通した後の前記成膜空間を前記有機リチウム化合物の蒸気圧以下に保つことと、
前記連通することによって前記第2原料空間から前記成膜空間へ前記有機リン酸化合物の気体を流し、かつ、前記連通することによる前記第1原料空間の減圧によって前記第1原料空間で前記有機リチウム化合物を気化させて、前記第1原料空間から前記成膜空間へ前記有機リチウム化合物の気体を流すことと、
前記表面に到達した前記有機リチウム化合物と、前記表面に到達した前記有機リン酸化合物との前記表面の加熱による熱反応によって、固体電解質膜であるリン酸リチウム化合物膜を前記表面に形成することとを含む
固体電解質膜の形成方法。 - 前記第1原料空間から前記成膜空間へ前記有機リチウム化合物の気体を流すことでは、前記第1原料空間と前記成膜空間とを接続する経路を前記有機リチウム化合物の融点以下に加熱することを含む
請求項1に記載の固体電解質膜の形成方法。 - 前記第1原料空間から前記成膜空間へ前記有機リチウム化合物の気体を流すことでは、前記第1原料空間から前記成膜空間へ前記有機リチウム化合物と共に不活性ガスを流すことを含む
請求項1または2に記載の固体電解質膜の形成方法。 - 前記第1原料空間から前記成膜空間へ前記有機リチウム化合物の気体を流すことでは、前記有機リチウム化合物と前記有機リン酸化合物との反応を促す反応ガスを前記第1原料空間から前記成膜空間へ前記有機リチウム化合物と共に流すことを含む
請求項1から3のいずれか一項に記載の固体電解質膜の形成方法。 - 前記リン酸リチウム化合物膜を前記表面に形成することでは、前記第1原料空間および前記第2原料空間の各々と、前記成膜空間とを連通した後に、前記有機リチウム化合物と前記有機リン酸化合物との熱反応が開始される成膜温度まで、前記表面を誘導加熱によって昇温することを含む
請求項1から4のいずれか一項に記載の固体電解質膜の形成方法。
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