JP6679642B2 - 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
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最初に、図11を用いて、本技術を用いて形成される薄膜の一例について説明する。図11はロジック回路に用いられる電極構造を説明する説明図である。電極2001は、例えばタングステン(W)等で構成される金属膜である。中間膜2002は、仕事関数を有し、例えば窒化チタン(TiN)で構成される。ゲート絶縁膜2003は、例えば高誘電体の金属酸化膜で形成される。金属酸化膜としては、後述する酸化ハフニウム(HfO2)や酸化ジルコニウム(ZrO2)が用いられる。
基板処理装置10は、加熱手段(加熱機構、加熱系)としてのヒータ207が設けられた処理炉202を備える。ヒータ207は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。
半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、HfO2(酸化ハフニウム)またはZrO2(酸化ジルコニウム)からなる金属酸化膜が露出したウエハ200表面をエッチングする工程の一例について、図4を用いて説明する。なお、以下の説明では、HfおよびZrの金属元素をMとして表現する。つまり、本実施形態における金属酸化膜はMOと表現される。そして、この金属酸化膜MOが露出したウエハ200表面をエッチングする工程は、上述した基板処理装置10の処理炉202を用いて実行される。以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
このフッ化金属膜が形成されたウエハ200に対して塩素含有ガスを供給して、フッ化金属膜を塩化すると共に揮発させる揮発工程と、
を順次繰り返して、ウエハ200上の金属酸化膜に対するエッチング処理を行う。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、図1に示されているように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219はOリング220を介して反応管203の下端開口を閉塞した状態となる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は、圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づき、APCバルブ243がフィードバック制御される(圧力調整)。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電量がフィードバック制御される(温度調整)。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。
(WF6ガス供給)
バルブ314を開き、ガス供給管310内に処理ガスであるWF6ガスを流す。WF6ガスは、MFC312により流量調整され、ノズル410のガス供給孔410aから処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ウエハ200に対してWF6ガスが供給される。このとき同時にバルブ514を開き、ガス供給管510内にN2ガス等の不活性ガスを流す。ガス供給管510内を流れたN2ガスは、MFC512により流量調整され、WF6ガスと一緒に処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ノズル420内へのWF6ガスの侵入を防止するために、バルブ524を開き、ガス供給管520内にN2ガスを流す。N2ガスは、ガス供給管320、ノズル420を介して処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
MO2+WF6→MFX+WOYFZ・・・・(1)
(残留ガス除去)
次に、WF6ガスの供給が停止されると、処理室201内のガスを排気するパージ処理が行われる。このとき排気管231のAPCバルブ243は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応のWF6ガスもしくは金属酸化膜をフッ化した後のWOYFZガスを処理室201内から排除する。このときバルブ514,524は開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、処理室201内に残留する未反応のWF6ガスもしくは金属酸化膜をフッ化した後のWOYFZガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。このパージ工程の時間としては、例えば10秒間とする。
(TiCl4ガス供給)
処理室201内の残留ガスを除去した後、バルブ324を開き、ガス供給管320内に、反応ガスとしてTiCl4ガスを流す。TiCl4ガスは、MFC322により流量調整され、ノズル420のガス供給孔420aから処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このときウエハ200に対して、TiCl4ガスが供給される。このとき同時にバルブ524を開き、ガス供給管520内にN2ガスを流す。ガス供給管520内を流れたN2ガスは、MFC522により流量調整される。N2ガスはTiCl4ガスと一緒に処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき、ノズル410内へのTiCl4ガスの侵入を防止するために、バルブ514を開き、ガス供給管510内にN2ガスを流す。N2ガスは、ガス供給管310、ノズル410を介して処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
MF4+TiCl4→MClAFB+TiClBFA・・・・(2)
ただし、A=1〜4、A+B=4
(残留ガス除去)
次に、TiCl4ガスの供給が停止されると、上述した第1のパージ工程と同様の処理手順により、処理室201内のガスを排気するパージ処理が行われる。このとき排気管231のAPCバルブ243は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201内を真空排気し、処理室201内に残留する未反応のTiCl4ガスもしくはフッ化金属膜を塩化した後のTiClBFAガス、及び酸化金属膜表面から揮発したMClAFB等の各種ガスを処理室201内から排除する。また、このときバルブ514,524は開いたままとして、N2ガスの処理室201内への供給を維持する。N2ガスはパージガスとして作用し、処理室201内に残留する各種ガスを処理室201内から排除する効果を高めることができる。このパージ工程の時間としては、例えば10秒間とする。
上記したフッ化工程、第1のパージ工程、揮発工程、第2のパージ工程を順に行うことでウエハ200上に露出した金属酸化膜に対するエッチング処理を行う。更には、それらのサイクルを1回以上(所定回数(n回))行う。
ガス供給管510,520のそれぞれからN2ガスを処理室201内へ供給し、排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用し、これにより処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスや副生成物が処理室201内から除去される(アフターパージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、反応管203の下端が開口される。そして、処理済ウエハ200がボート217に支持された状態で反応管203の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済のウエハ200は、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
次に、図5を参照して、上記で言及したWF6とTiCl4を用いたエッチングのメカニズムを説明する。
本実施形態によれば、フッ化工程の後に塩素含有ガスをウエハ200に供給して、ウエハ200の表面で金属酸化膜と反応させることにより、金属酸化膜のエッチングを可能とする。
次に、上記で説明したフッ化工程、第1のパージ工程、揮発工程、第2のパージ工程を順に繰り返し行うというエッチング方法によりHfO2、ZrO2に対して実際エッチングを行ったことによる膜厚変化量(エッチング量)の結果を図7(A)に示す。なお、図7(A)では、比較のためにシリコン酸化膜(SiO2)、とシリコン窒化膜(SiN)に対しても同時に処理を行った結果を示す。
図7(C)を参照すると、同様に、HfO2、ZrO2、SiO2、SiNのいずれの膜についても繰り返し回数に関わらずほとんど膜厚は減少していない、つまりエッチングが行われていないことが分かる。
[変形例1]
上述した本発明の一実施形態では、図4に示すように、WF6ガスを供給するフッ化工程と、TiCl4ガスを供給する揮発工程では、それぞれ1回ずつWF6ガスの供給と、TiCl4ガスの供給を行うようなエッチング方法の場合について説明した。
また、本実施形態の変形例2では、図9に示すように、フッ化工程ではWF6ガスの供給を複数回行い、揮発工程では、TiCl4ガスの供給を1回のみ行い、このフッ化工程と揮発工程を交互に繰り返すような手順によりエッチングを行う。
また、本実施形態の変形例3では、図10に示すように、フッ化工程ではWF6ガスの供給を複数回行い、揮発工程でも、TiCl4ガスの供給を複数回行い、このフッ化工程と揮発工程を交互に繰り返すような手順によりエッチングを行う。
121 コントローラ
200 ウエハ(基板)
201 処理室
Claims (5)
- 金属酸化膜が露出した基板に対してフッ素含有ガスを供給して前記金属酸化膜をフッ化してフッ化金属膜を形成するフッ化工程と、
前記フッ化金属膜が形成された基板に対して塩素含有ガスを供給して、前記フッ化金属膜を塩化すると共に揮発させる揮発工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記基板の温度が、前記フッ化金属膜の熱分解温度よりも低く、前記塩素含有ガスと前記フッ化金属膜との反応温度よりも高くなるよう制御される請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記揮発工程では、前記塩素含有ガスの供給と排気とを交互に行う請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法。
- 基板を収容する処理室と、
フッ素含有ガスを前記処理室に供給するフッ素含有ガス供給部と、
塩素含有ガスを前記処理室に供給する塩素含有ガス供給部と
前記フッ素含有ガス供給部と前記塩素含有ガス供給部を制御して、金属酸化膜が露出した基板に対してフッ素含有ガスを供給して前記金属酸化膜をフッ化してフッ化金属膜を形成するフッ化処理と、前記フッ化金属膜が形成された基板に対して塩素含有ガスを供給して、前記フッ化金属膜を塩化すると共に揮発させる揮発処理とを行うよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 金属酸化膜が露出した基板が収容された基板処理装置の処理室に対してフッ素含有ガスを供給して前記金属酸化膜をフッ化してフッ化金属膜を形成する手順と、
前記フッ化金属膜が形成された基板に対して塩素含有ガスを供給して、前記フッ化金属膜を塩化すると共に揮発させる手順と、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
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