JP6676055B2 - レーザ誘起ブレークダウン分光器の試料室 - Google Patents
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Description
(実施態様1)装置であって、試料室と、励起光学アセンブリに接続されたレーザ光源であって、前記励起光学アセンブリが、前記試料室の第1のポートに接続されている、レーザ光源と、分光器に接続されたコリメータアセンブリであって、前記試料室の第2のポートに接続されている、コリメータアセンブリと、前記第1のポートに位置する第1のレンズ管、及び前記第2のポートに位置する第2のレンズ管であって、前記レーザ光源からのレーザパルスが標的試料の表面をアブレーションしプラズマを発生する際に発射される粒子から、前記励起光学アセンブリに接続された前記第1のポートを保護する第1のレンズ管、及び前記コリメータアセンブリに接続された前記第2のポートを保護する第2のレンズ管と、を備える、装置。
(実施態様2)前記標的試料は、前記試料室の中に位置する、実施態様1に記載の装置。
(実施態様3)前記分光器は、レーザ誘起ブレークダウン分光器である、実施態様1に記載の装置。
(実施態様4)前記第1のレンズ管及び前記第2のレンズ管は、透明な材料で構築されている、実施態様1に記載の装置。
(実施態様5)前記透明な材料は、ガラスである、実施態様4に記載の装置。
(実施態様6)前記透明な材料は、プラスチックである、実施態様4に記載の装置。
(実施態様7)前記透明な材料は、ハニカム状である、実施態様4に記載の装置。
(実施態様8)前記第1のレンズ管及び前記第2のレンズ管は、取り外し可能である、実施態様1に記載の装置。
(実施態様9)装置であって、試料室と、励起光学アセンブリに接続されたレーザ光源であって、前記励起光学アセンブリが、前記試料室の第1のポートに接続されている、レーザ光源と、分光器に接続されたコリメータアセンブリであって、前記試料室の第2のポートに接続されている、コリメータアセンブリと、前記第1のポートと標的試料との間に位置する仕切りであって、前記レーザ光源からのレーザパルスが標的試料の表面をアブレーションしプラズマを発生する際に発射される粒子から、前記励起光学アセンブリに接続された前記第1のポート及び前記コリメータアセンブリに接続された前記第2のポートを保護する、仕切りと、を備える、装置。
(実施態様10)前記標的試料は、前記試料室の中に位置する、実施態様9に記載の装置。
(実施態様11)前記分光器は、レーザ誘起ブレークダウン分光器である、実施態様9に記載の装置。
(実施態様12)前記仕切りは、透明な材料で構築されている、実施態様9に記載の装置。
(実施態様13)前記透明な材料は、ガラスである、実施態様12に記載の装置。
(実施態様14)前記透明な材料は、プラスチックである、実施態様12に記載の装置。
(実施態様15)前記仕切りは、取り外し可能である、実施態様9に記載の装置。
(実施態様16)装置であって、試料室と、励起光学アセンブリに接続されたレーザ光源であって、前記励起光学アセンブリが、前記試料室の第1のポートに接続されている、レーザ光源と、分光器に接続された光パイプの出力端と、前記試料室に接続された前記光パイプの収集端と、前記第1のポートと標的試料との間に位置する仕切りであって、前記レーザ光源からのレーザパルスが標的試料の表面をアブレーションしプラズマを発生する際に発射される粒子から、前記励起光学アセンブリに接続された前記第1のポートを保護する、仕切りと、を備える、装置。
(実施態様17)前記標的試料は、前記試料室の中に位置する、実施態様16に記載の装置。
(実施態様18)前記分光器は、レーザ誘起ブレークダウン分光器である、実施態様16に記載の装置。
(実施態様19)前記仕切りは、透明な材料で構築されている、実施態様16に記載の装置。
(実施態様20)前記透明な材料は、ガラスである、実施態様19に記載の装置。
(実施態様21)前記透明な材料は、プラスチックである、実施態様19に記載の装置。
(実施態様22)前記仕切りは、取り外し可能である、実施態様16に記載の装置。
(実施態様23)前記光パイプは、前記試料室に開放可能に接続されている、実施態様16に記載の装置。
(実施態様24)装置であって、試料室と、励起光学アセンブリに接続されたレーザ光源であって、前記励起光学アセンブリが、前記試料室の第1のポートに接続されている、レーザ光源と、分光器に接続されたコリメータアセンブリであって、前記試料室の第2のポートに接続されている、コリメータアセンブリと、前記第1ポート又は前記第2のポートに位置するレンズ管であって、前記レーザ光源からのレーザパルスが標的試料の表面をアブレーションしプラズマを発生する際に発射される粒子から、前記励起光学アセンブリに接続された前記第1のポートまたは前記コリメータアセンブリに接続された前記第2のポートを保護する、レンズ管と、を備える、装置。
(実施態様25)分光器に接続された光パイプの出力端、及び前記試料室に接続された前記光パイプの収集端をさらに含む、実施態様24に記載の装置。
(実施態様26)前記レンズ管は、透明な材料で構築されている、実施態様24に記載の装置。
(実施態様27)前記透明な材料は、ガラスである、実施態様26に記載の装置。
(実施態様28)前記透明な材料は、プラスチックである、実施態様26に記載の装置。
(実施態様29)前記透明な材料は、ハニカム状である、実施態様26に記載の装置。
(実施態様30)前記レンズ管は、取り外し可能である、実施態様24に記載の装置。
Claims (15)
- 装置であって、
試料室と、
励起光学アセンブリに接続されたレーザ光源であって、前記励起光学アセンブリが、前記試料室の第1のポートに接続されている、レーザ光源と、
分光器に接続されたコリメータアセンブリであって、前記試料室の第2のポートに接続されている、コリメータアセンブリと、
前記第1のポートに位置し前記試料室内に開口端を有する第1のレンズ管、及び前記第2のポートに位置し前記試料室内に開口端を有する第2のレンズ管であって、前記レーザ光源からのレーザパルスが標的試料の表面をアブレーションしプラズマを発生する際に発射される粒子の蓄積から、前記励起光学アセンブリに接続された前記第1のポートを保護する第1のレンズ管、及び前記コリメータアセンブリに接続された前記第2のポートを保護する第2のレンズ管と、を備える、装置。 - 前記標的試料は、前記試料室の中に位置する、請求項1に記載の装置。
- 前記分光器は、レーザ誘起ブレークダウン分光器である、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のレンズ管及び前記第2のレンズ管は、透明な材料で構築されている、請求項1に記載の装置。
- 前記透明な材料は、ガラスである、請求項4に記載の装置。
- 前記透明な材料は、プラスチックである、請求項4に記載の装置。
- 前記透明な材料は、ハニカム状である、請求項4に記載の装置。
- 前記第1のレンズ管及び前記第2のレンズ管は、取り外し可能である、請求項1に記載の装置。
- 装置であって、
試料室と、
励起光学アセンブリに接続されたレーザ光源であって、前記励起光学アセンブリが、前記試料室の第1のポートに接続されている、レーザ光源と、
分光器に接続されたコリメータアセンブリであって、前記試料室の第2のポートに接続されている、コリメータアセンブリと、
前記第1のポート又は前記第2のポートに位置し前記試料室内に開口端を有するレンズ管であって、前記レーザ光源からのレーザパルスが標的試料の表面をアブレーションしプラズマを発生する際に発射される粒子の蓄積から、前記励起光学アセンブリに接続された前記第1のポートまたは前記コリメータアセンブリに接続された前記第2のポートを保護する、レンズ管と、を備える、装置。 - 分光器に接続された光パイプの出力端、及び前記試料室に接続された前記光パイプの収集端をさらに含む、請求項9に記載の装置。
- 前記レンズ管は、透明な材料で構築されている、請求項9に記載の装置。
- 前記透明な材料は、ガラスである、請求項11に記載の装置。
- 前記透明な材料は、プラスチックである、請求項11に記載の装置。
- 前記透明な材料は、ハニカム状である、請求項11に記載の装置。
- 前記レンズ管は、取り外し可能である、請求項9に記載の装置。
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