JP6669070B2 - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Description
前記排気口は、前記基材が通過する経路上の位置、あるいは隣接する経路の間の位置に、それぞれ配置されることを特徴とする。
以下、本発明の実施形態にかかる成膜装置1について、図1乃至5を参照して説明する。図1は、第1実施形態に係る成膜装置1を示す断面図であり、チャンバ20内部の正面視の構成を示す。図2は図1中II−II’線に沿う断面図でありチャンバ20内の側面視の
構成を示す。図3は図1のIII−III’線に沿う断面図であり、チャンバ20内部の平面視の構成を示す。図4及び図5は開口調整機構をそれぞれ示す側面図及び断面図である。図中矢印X,Y,Zは互いに直交する3方向を示している。各図において説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示している。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]
内部にガスが導入される複数のゾーンを有し、少なくともいずれかの前記ゾーンにおける前記ガスを排出するとともにその開口状態が個別に調整可能な複数の排気口を備える、チャンバと、
前記チャンバの内部で基材を移動させて複数の前記ゾーンを通過させる、搬送部と、
を備えることを特徴とする成膜装置。
[2]
前記基材は可撓性のシートであって、
前記チャンバは、減圧可能であって、異なるガスがそれぞれ導入される、2以上の前記ゾーンを有し、
前記基材が複数の前記ゾーンの間で往来して複数のゾーンを交互に複数回通過することで、前記基材の表面に原子層を堆積させて原子層堆積膜が形成され、
前記排気口は、前記基材が通過する経路上の位置、あるいは隣接する経路の間の位置に、それぞれ配置されることを特徴とする[1]に記載の成膜装置。
[3]
前記排気口の数は、前記ゾーンを前記基材が通過する回数に対応することを特徴とする[1]または[2]に記載の成膜装置。
[4]
前記基材を挟んで前記排気口に対向する位置に、前記ガスを前記ゾーンに供給する複数の供給口が、それぞれ設けられることを特徴とする[1]乃至[3]のいずれかに記載の成膜装置。
[5]
前記チャンバ内において複数のゾーン間を複数回往復するジグザグ状の経路に沿って前記基材を案内するガイド部を備え、
前記基材は、搬送方向と直交する断面において幅寸法に対して厚さが小さい可撓性のシートであって、前記チャンバの一端側に設けられた供給部から、前記チャンバの他端側に設けられた回収部に向かって、前記経路に沿って移動し、
前記基材の搬送方向と直交する幅方向における一方側に供給口が配され、前記幅方向における他方側に前記排気口が配置されることを特徴とする[1]乃至[4]のいずれか記載の成膜装置。
[6]
内部にガスが導入される複数のゾーンを有し、少なくともいずれかの前記ゾーンにおける前記ガスを排出するとともにその開口状態が個別に調整可能な複数の排気口を備える、チャンバにおいて、
複数の前記ゾーンにガスを導入することと、
前記チャンバ内において基材を移動させて複数の前記ゾーンを通過させることと、
を備えることを特徴とする成膜方法。
[7]
前記基材は可撓性のシートであって、
前記チャンバは、減圧可能であり異なるガスがそれぞれ導入される2以上のゾーンを有し、
前記排気口は、前記基材が通過する経路上の位置、あるいは隣接する経路の間の位置に、それぞれ配置され、
前記基材を複数の前記ゾーンの間で往来させ、複数のゾーンを交互に複数回通過させることで、前記基材の表面に原子層を堆積させて原子層堆積膜を形成することを特徴とする[6]に記載の成膜方法。
[8]
前記排気口の数は、前記ゾーンを前記基材が通過する回数に対応することを特徴とする[6]または[7]に記載の成膜方法。
[9]
前記基材を挟んで前記排気口に対向する位置に設けられた複数の供給口から前記ガスを供給することを特徴とする[6]乃至[8]のいずれかに記載の成膜方法。
[10]
複数の前記排気口の開口状態を個別に調整することを特徴とする[6]乃至[9]のいずれかに記載の成膜方法。
[11]
前記チャンバ内において複数のゾーン間を複数回往復するジグザグ状の経路に沿って前記基材を案内するガイド部を備え、
前記基材は、搬送方向と直交する断面において幅寸法に対して厚さが小さい可撓性のシートであって、前記チャンバの一端側に設けられた供給部から、前記チャンバの他端側に設けられた回収部に向かって、前記経路に沿って移動し、
前記基材の搬送方向と直交する幅方向における一方側に配された供給口から前記ガスを導入し、
前記幅方向における他方側に配された前記排気口から前記ガスを排出する、ことを特徴とする[6]乃至[10]のいずれかに記載の成膜方法。
Claims (9)
- 内部にガスが導入される複数のゾーンを有し、少なくともいずれかの前記ゾーンにおける前記ガスを排出するとともにその開口状態が個別に調整可能な複数の排気口を備える、チャンバと、
前記チャンバの内部で基材を移動させて複数の前記ゾーンを通過させる、搬送部と、
を備え、
前記基材は可撓性のシートであって、
前記チャンバは、減圧可能であって、異なるガスがそれぞれ導入される、2以上の前記ゾーンを有し、
前記基材が複数の前記ゾーンの間で往来して複数のゾーンを交互に複数回通過することで、前記基材の表面に原子層を堆積させて原子層堆積膜が形成され、
前記排気口は、前記基材が通過する経路上の位置、あるいは隣接する経路の間の位置に、それぞれ配置されることを特徴とする成膜装置。 - 前記排気口の数は、前記ゾーンを前記基材が通過する回数に対応することを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 前記基材を挟んで前記排気口に対向する位置に、前記ガスを前記ゾーンに供給する複数の供給口が、それぞれ設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の成膜装置。
- 前記チャンバ内において複数のゾーン間を複数回往復するジグザグ状の経路に沿って前記基材を案内するガイド部を備え、
前記基材は、搬送方向と直交する断面において幅寸法に対して厚さが小さい可撓性のシートであって、前記チャンバの一端側に設けられた供給部から、前記チャンバの他端側に設けられた回収部に向かって、前記経路に沿って移動し、
前記基材の搬送方向と直交する幅方向における一方側に供給口が配され、前記幅方向における他方側に前記排気口が配置されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の成膜装置。 - 内部にガスが導入される複数のゾーンを有し、少なくともいずれかの前記ゾーンにおける前記ガスを排出するとともにその開口状態が個別に調整可能な複数の排気口を備える、チャンバにおいて、
複数の前記ゾーンにガスを導入することと、
前記チャンバ内において基材を移動させて複数の前記ゾーンを通過させることと、
を備え、
前記基材は可撓性のシートであって、
前記チャンバは、減圧可能であり異なるガスがそれぞれ導入される2以上のゾーンを有し、
前記排気口は、前記基材が通過する経路上の位置、あるいは隣接する経路の間の位置に、それぞれ配置され、
前記基材を複数の前記ゾーンの間で往来させ、複数のゾーンを交互に複数回通過させることで、前記基材の表面に原子層を堆積させて原子層堆積膜を形成することを特徴とする成膜方法。 - 前記排気口の数は、前記ゾーンを前記基材が通過する回数に対応することを特徴とする請求項5に記載の成膜方法。
- 前記基材を挟んで前記排気口に対向する位置に設けられた複数の供給口から前記ガスを供給することを特徴とする請求項5または6に記載の成膜方法。
- 複数の前記排気口の開口状態を個別に調整することを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれかに記載の成膜方法。
- 前記チャンバ内において複数のゾーン間を複数回往復するジグザグ状の経路に沿って前記基材を案内するガイド部を備え、
前記基材は、搬送方向と直交する断面において幅寸法に対して厚さが小さい可撓性のシートであって、前記チャンバの一端側に設けられた供給部から、前記チャンバの他端側に設けられた回収部に向かって、前記経路に沿って移動し、
前記基材の搬送方向と直交する幅方向における一方側に配された供給口から前記ガスを導入し、
前記幅方向における他方側に配された前記排気口から前記ガスを排出する、ことを特徴とする請求項5乃至請求項8のいずれかに記載の成膜方法。
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