JP6666470B2 - Rf発生器における周波数同調のための装置 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 67
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 26
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 4
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 56
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 5
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
- H01J37/32183—Matching circuits
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- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32137—Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
- H01J37/32155—Frequency modulation
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/3299—Feedback systems
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Description
本発明は、例えば、以下の項目を提供する。
(項目1)
無線周波数(RF)発生器であって、
初期周波数で発振する信号を生成する励振器と、
前記信号を増幅させ、増幅された発振信号を産出するパワー増幅器と、
前記増幅された発振信号をフィルタリングし、プラズマ処理チャンバ内のプラズマ負荷にパワーを供給する出力信号を産出するフィルタと、
前記プラズマ負荷の少なくとも1つの特性を感知するセンサと、
周波数同調サブシステムであって、前記周波数同調サブシステムは、
励振器周波数の関数として、前記プラズマ負荷のインピーダンス軌道を産出することと、
複素反射係数平面内の基準点を受信することであって、前記基準点は、前記複素反射係数平面の基準点および原点を通過する基準ベクトル上に置かれる、ことと、
前記センサから、前記プラズマ負荷のインピーダンスの測定値を受信することであって、前記測定されるインピーダンスは、前記インピーダンス軌道に沿って置かれる、ことと、
複素反射係数の観点から表現されるように、前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の点とを通過する線との間の測定角を決定することと、
事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する信号を生成させることと
を行うように構成される、周波数同調サブシステムと
を備える、発生器。
(項目2)
前記RF発生器は、1つ以上の整合ネットワークを通して前記プラズマ負荷にパワーを供給するように構成される、項目1に記載のRF発生器。
(項目3)
前記周波数同調サブシステムは、反復的に、
前記センサから、前記プラズマ負荷の測定されるインピーダンスを受信することと、
前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の前記点とを通過する前記線との間の前記測定角を決定することと、
前記事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、前記調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する前記信号を生成させることと
を行うように構成される、項目1に記載のRF発生器。
(項目4)
前記周波数同調サブシステムは、前記測定されるインピーダンスに対応する複素反射係数の大きさが、事前決定される閾値より小さくなるまで、反復的に、
前記センサから、前記プラズマ負荷の測定されるインピーダンスを受信することと、
前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の前記点とを通過する前記線との間の前記測定角を決定することと、
前記事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、前記調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する前記信号を生成させることと
を行うように構成される、項目3に記載のRF発生器。
(項目5)
前記周波数同調サブシステムは、前記測定角から前記事前決定される離調角を減じ、かつ前記事前決定される定数によって差異をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するように構成される、項目1に記載のRF発生器。
(項目6)
前記周波数同調サブシステムは、各反復において、前記測定角から前記事前決定される離調角を減じ、かつ前記事前決定される定数によって前記差異をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するように構成される、項目3に記載のRF発生器。
(項目7)
前記周波数同調サブシステムは、前記複素反射係数平面内の複素反射係数の観点から表現されるように、前記測定されるインピーダンスに対応する複素反射係数と、前記インピーダンス軌道上の前記事前決定される離調点との間の差異の大きさが、事前決定される閾値より小さいとき、反復周波数調整を終了させるように構成される、項目6に記載のRF発生器。
(項目8)
前記周波数同調サブシステムは、前記測定角を1乗よりも大きい冪に上昇させ、かつ前記事前決定される定数によって結果をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するように構成される、項目1に記載のRF発生器。
(項目9)
前記周波数同調サブシステムは、前記インピーダンス軌道を産出し、前記基準点を受信し、前記測定されるインピーダンスを受信し、前記測定角を決定し、前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを追加し、前記励振器に前記信号を生成させるための命令でエンコードされる、非一過性、有形、機械可読の媒体を含む、項目1に記載のRF発生器。
(項目10)
無線周波数(RF)発生器であって、
信号を生成するための手段であって、前記信号は、初期周波数で発振する、手段と、
前記信号を増幅させ、増幅される発振信号を産出するための手段と、
前記増幅される発振信号をフィルタリングし、プラズマ処理チャンバ内のプラズマ負荷にパワーを供給する出力信号を産出するための手段と、
前記プラズマ負荷の少なくとも1つの特性を感知するための手段と、
周波数同調のための手段であって、前記周波数同調のための手段は、
周波数の関数として、前記プラズマ負荷のインピーダンス軌道を産出するための手段と、
複素反射係数平面内の基準点を受信するための手段であって、前記基準点は、前記複素反射係数平面の基準点および原点を通過する基準ベクトル上に置かれる、手段と、
前記感知するための手段から、前記プラズマ負荷のインピーダンスの測定値を受信するための手段であって、前記測定されるインピーダンスは、前記受信されるインピーダンス軌道に沿って置かれる、手段と、
複素反射係数の観点から表現されるように、前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の点とを通過する線との間の測定角を決定するための手段と、
事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、周波数ステップを産出するための手段と、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、調節される周波数を産出するための手段と、
信号を生成するための手段に、前記調節される周波数で発振する信号を生成させるための手段と
を含む、手段と
を備える、発生器。
(項目11)
前記RF発生器は、1つ以上の整合ネットワークを通して前記プラズマ負荷にパワーを供給するように構成される、項目10に記載のRF発生器。
(項目12)
前記周波数同調のための手段は、反復的に、
前記センサから、前記プラズマ負荷の測定されるインピーダンスを受信することと、
前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の前記点とを通過する前記線との間の前記測定角を決定することと、
前記事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、前記調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する前記信号を生成させることと
を行うための手段を含む、項目10に記載のRF発生器。
(項目13)
前記周波数同調のための手段は、前記測定されるインピーダンスに対応する複素反射係数の大きさが、事前決定される閾値より小さくなるまで、反復的に、
前記センサから、前記プラズマ負荷の測定されるインピーダンスを受信することと、
前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の前記点とを通過する前記線との間の前記測定角を決定することと、
前記事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、前記調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する前記信号を生成させることと
を行うための手段を含む、項目12に記載のRF発生器。
(項目14)
前記周波数同調のための手段は、前記測定角から事前決定される離調角を減じ、かつ前記事前決定される定数によって前記差異をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するための手段を含む、項目10に記載のRF発生器。
(項目15)
前記周波数同調のための手段は、各反復において、前記測定角から事前決定される離調角を減じ、かつ前記事前決定される定数によって前記差異をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するための手段を含む、項目12に記載のRF発生器。
(項目16)
前記周波数同調のための手段は、前記複素反射係数平面内の複素反射係数の観点から表現されるように、前記測定されるインピーダンスに対応する複素反射係数と、前記インピーダンス軌道上の事前決定される離調点との間の差異の大きさが、事前決定される閾値より小さいとき、反復周波数調整を終了させるための手段を含む、項目15に記載のRF発生器。
(項目17)
前記周波数同調のための手段は、前記測定角を1乗よりも大きい冪に上昇させ、かつ前記事前決定される定数によって前記結果をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するための手段を含む、項目10に記載のRF発生器。
(項目18)
RF発生器を周波数同調させるための命令でエンコードされた、非一過性、有形、機械可読の媒体であって、前記命令は、
励振器周波数の関数として、前記プラズマ負荷のインピーダンス軌道を受信することと、
複素反射係数平面内の基準点を受信することであって、前記基準点は、前記複素反射係数平面の基準点および原点を通過する基準ベクトル上に置かれる、ことと、
センサから、前記プラズマ負荷のインピーダンスの測定値を受信することであって、前記測定されるインピーダンスは、前記受信されるインピーダンス軌道に沿って置かれる、ことと、
複素反射係数の観点から表現されるように、前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の点とを通過する線との間の測定角を決定することと、
事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、調節される周波数を産出することと、
励振器に、前記調節される周波数で発振する信号を生成させることと
を行わせるための命令を含む、媒体。
Claims (18)
- 無線周波数(RF)発生器であって、
初期周波数で発振する信号を生成する励振器と、
前記信号を増幅させ、増幅された発振信号を産出するパワー増幅器と、
前記増幅された発振信号をフィルタリングし、プラズマ処理チャンバ内のプラズマ負荷にパワーを供給する出力信号を産出するフィルタと、
前記プラズマ負荷の少なくとも1つの特性を感知するセンサと、
周波数同調サブシステムであって、前記周波数同調サブシステムは、
励振器周波数の関数として、前記プラズマ負荷のインピーダンス軌道を産出することと、
複素反射係数平面内の基準点を受信することであって、前記基準点は、前記複素反射係数平面の基準点および原点を通過する基準ベクトル上に置かれる、ことと、
前記センサから、前記プラズマ負荷のインピーダンスの測定値を受信することであって、前記測定されるインピーダンスは、前記インピーダンス軌道に沿って置かれる、ことと、
複素反射係数の観点から表現されるように、前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の点とを通過する線との間の測定角を決定することと、
事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する信号を生成させることと
を行うように構成される、周波数同調サブシステムと
を備える、発生器。 - 前記RF発生器は、1つ以上の整合ネットワークを通して前記プラズマ負荷にパワーを供給するように構成される、請求項1に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調サブシステムは、反復的に、
前記センサから、前記プラズマ負荷の測定されるインピーダンスを受信することと、
前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の前記点とを通過する前記線との間の前記測定角を決定することと、
前記事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、前記調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する前記信号を生成させることと
を行うように構成される、請求項1に記載のRF発生器。 - 前記周波数同調サブシステムは、前記測定されるインピーダンスに対応する複素反射係数の大きさが、事前決定される閾値より小さくなるまで、反復的に、
前記センサから、前記プラズマ負荷の測定されるインピーダンスを受信することと、
前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の前記点とを通過する前記線との間の前記測定角を決定することと、
前記事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、前記調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する前記信号を生成させることと
を行うように構成される、請求項3に記載のRF発生器。 - 前記周波数同調サブシステムは、前記測定角から前記事前決定される離調角を減じ、かつ前記事前決定される定数によって差異をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するように構成される、請求項1に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調サブシステムは、各反復において、前記測定角から前記事前決定される離調角を減じ、かつ前記事前決定される定数によって前記差異をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するように構成される、請求項3に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調サブシステムは、前記複素反射係数平面内の複素反射係数の観点から表現されるように、前記測定されるインピーダンスに対応する複素反射係数と、前記インピーダンス軌道上の前記事前決定される離調点との間の差異の大きさが、事前決定される閾値より小さいとき、反復周波数調整を終了させるように構成される、請求項6に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調サブシステムは、前記測定角の冪指数を1よりも大きい値に上昇させ、かつ前記事前決定される定数によって結果をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するように構成される、請求項1に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調サブシステムは、前記インピーダンス軌道を産出し、前記基準点を受信し、前記測定されるインピーダンスを受信し、前記測定角を決定し、前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを追加し、前記励振器に前記信号を生成させるための命令でエンコードされる、非一過性、有形、機械可読の媒体を含む、請求項1に記載のRF発生器。
- 無線周波数(RF)発生器であって、
信号を生成するための手段であって、前記信号は、初期周波数で発振する、手段と、
前記信号を増幅させ、増幅された発振信号を産出するための手段と、
前記増幅された発振信号をフィルタリングし、プラズマ処理チャンバ内のプラズマ負荷にパワーを供給する出力信号を産出するための手段と、
前記プラズマ負荷の少なくとも1つの特性を感知するための手段と、
周波数同調のための手段であって、前記周波数同調のための手段は、
周波数の関数として、前記プラズマ負荷のインピーダンス軌道を産出するための手段と、
複素反射係数平面内の基準点を受信するための手段であって、前記基準点は、前記複素反射係数平面の基準点および原点を通過する基準ベクトル上に置かれる、手段と、
前記感知するための手段から、前記プラズマ負荷のインピーダンスの測定値を受信するための手段であって、前記測定されるインピーダンスは、前記受信されるインピーダンス軌道に沿って置かれる、手段と、
複素反射係数の観点から表現されるように、前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の点とを通過する線との間の測定角を決定するための手段と、
事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、周波数ステップを産出するための手段と、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、調節される周波数を産出するための手段と、
前記信号を生成するための手段に、前記調節される周波数で発振する信号を生成させるための手段と
を含む、手段と
を備える、発生器。 - 前記RF発生器は、1つ以上の整合ネットワークを通して前記プラズマ負荷にパワーを供給するように構成される、請求項10に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調のための手段は、反復的に、
前記センサから、前記プラズマ負荷の測定されるインピーダンスを受信することと、
前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の前記点とを通過する前記線との間の前記測定角を決定することと、
前記事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、前記調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する前記信号を生成させることと
を行うための手段を含む、請求項10に記載のRF発生器。 - 前記周波数同調のための手段は、前記測定されるインピーダンスに対応する複素反射係数の大きさが、事前決定される閾値より小さくなるまで、反復的に、
前記センサから、前記プラズマ負荷の測定されるインピーダンスを受信することと、
前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の前記点とを通過する前記線との間の前記測定角を決定することと、
前記事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、前記周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、前記調節される周波数を産出することと、
前記励振器に、前記調節される周波数で発振する前記信号を生成させることと
を行うための手段を含む、請求項12に記載のRF発生器。 - 前記周波数同調のための手段は、前記測定角から事前決定される離調角を減じ、かつ前記事前決定される定数によって前記差異をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するための手段を含む、請求項10に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調のための手段は、各反復において、前記測定角から事前決定される離調角を減じ、かつ前記事前決定される定数によって前記差異をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するための手段を含む、請求項12に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調のための手段は、前記複素反射係数平面内の複素反射係数の観点から表現されるように、前記測定されるインピーダンスに対応する複素反射係数と、前記インピーダンス軌道上の事前決定される離調点との間の差異の大きさが、事前決定される閾値より小さいとき、反復周波数調整を終了させるための手段を含む、請求項15に記載のRF発生器。
- 前記周波数同調のための手段は、前記測定角の冪指数を1よりも大きい値に上昇させ、かつ前記事前決定される定数によって前記結果をスケーリングすることによって、前記周波数ステップを産出するための手段を含む、請求項10に記載のRF発生器。
- RF発生器を周波数同調させるための命令でエンコードされた、非一過性、有形、機械可読の媒体であって、前記命令は、
励振器周波数の関数として、前記プラズマ負荷のインピーダンス軌道を受信することと、
複素反射係数平面内の基準点を受信することであって、前記基準点は、前記複素反射係数平面の基準点および原点を通過する基準ベクトル上に置かれる、ことと、
センサから、前記プラズマ負荷のインピーダンスの測定値を受信することであって、前記測定されるインピーダンスは、前記受信されるインピーダンス軌道に沿って置かれる、ことと、
複素反射係数の観点から表現されるように、前記基準ベクトルと、前記基準点と前記測定されるインピーダンスに対応する前記複素反射係数平面内の点とを通過する線との間の測定角を決定することと、
事前決定される定数によって前記測定角をスケーリングし、周波数ステップを産出することと、
前記初期周波数に前記周波数ステップを追加し、調節される周波数を産出することと、
励振器に、前記調節される周波数で発振する信号を生成させることと
を行わせるための命令を含む、媒体。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/133,461 | 2016-04-20 | ||
US15/133,461 US9748076B1 (en) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | Apparatus for frequency tuning in a RF generator |
PCT/US2017/027385 WO2017184425A1 (en) | 2016-04-20 | 2017-04-13 | Apparatus for frequency tuning in a rf generator |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019515429A JP2019515429A (ja) | 2019-06-06 |
JP2019515429A5 JP2019515429A5 (ja) | 2020-02-27 |
JP6666470B2 true JP6666470B2 (ja) | 2020-03-13 |
Family
ID=59654812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018555490A Active JP6666470B2 (ja) | 2016-04-20 | 2017-04-13 | Rf発生器における周波数同調のための装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9748076B1 (ja) |
JP (1) | JP6666470B2 (ja) |
KR (1) | KR102099033B1 (ja) |
CN (1) | CN109156075B (ja) |
TW (1) | TWI677265B (ja) |
WO (1) | WO2017184425A1 (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020112108A1 (en) | 2017-11-29 | 2020-06-04 | COMET Technologies USA, Inc. | Retuning for impedance matching network control |
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-
2016
- 2016-04-20 US US15/133,461 patent/US9748076B1/en active Active
-
2017
- 2017-04-12 TW TW106112173A patent/TWI677265B/zh active
- 2017-04-13 WO PCT/US2017/027385 patent/WO2017184425A1/en active Application Filing
- 2017-04-13 JP JP2018555490A patent/JP6666470B2/ja active Active
- 2017-04-13 KR KR1020187033349A patent/KR102099033B1/ko active IP Right Grant
- 2017-04-13 CN CN201780031100.2A patent/CN109156075B/zh active Active
- 2017-07-24 US US15/657,525 patent/US10026595B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20180132901A (ko) | 2018-12-12 |
US20170323771A1 (en) | 2017-11-09 |
WO2017184425A1 (en) | 2017-10-26 |
US9748076B1 (en) | 2017-08-29 |
CN109156075A (zh) | 2019-01-04 |
KR102099033B1 (ko) | 2020-04-08 |
TW201801574A (zh) | 2018-01-01 |
TWI677265B (zh) | 2019-11-11 |
CN109156075B (zh) | 2020-08-07 |
US10026595B2 (en) | 2018-07-17 |
JP2019515429A (ja) | 2019-06-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181225 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20190124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191016 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20200115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6666470 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |