JP6650960B2 - 光ファイバの製造方法および紡糸装置 - Google Patents

Description

本発明は、光ファイバの製造方法および紡糸装置に関する。

従来から、下記特許文献１に示されるような、光ファイバを製造するための紡糸装置が知られている。この紡糸装置は、炉心管と、炉心管の上端開口部に設けられたシール部と、を備えている。シール部は、光ファイバ母材に向けて付勢された複数の封止要素を有している。この封止要素によって、炉心管の内部と外部とを遮断することで、外気が炉心管内に混入することを防ぎ、炉心管内の雰囲気を安定させている。

特開２０１４−１３１３５号公報

上記特許文献１の構成では、封止要素を光ファイ母材の表面に接触させている。このため、光ファイバ母材の外周面に傷が生じたり、封止要素が削れて削れ粉が発生したりする場合がある。光ファイバ母材の表面に傷が生じたり、封止要素の削れ粉が光ファイバ母材に付着したりすると、光ファイバの品質の低下につながる。

本発明はこのような事情を考慮してなされ、封止要素を光ファイバ母材に接触させることに起因する、光ファイバの品質の低下を抑制することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係る光ファイバの製造方法は、炉心管の上端開口部に環状のガイド部材を配置し、前記ガイド部材が有する複数の収容空間の内部にそれぞれ封止要素を配置し、前記封止要素を光ファイバ母材に向けて付勢し、前記封止要素の内部に設けられた径方向に延びるガス流路にシールガスを供給し、前記封止要素と前記光ファイバ母材とを接触させない。

また、本発明の第２の態様に係る紡糸装置は、炉心管と、前記炉心管の上端開口部に設けられたシール部と、を備え、前記シール部は、複数の収容空間が形成された環状のガイド部材と、径方向内側に向けて付勢されることが可能な状態で、前記複数の収容空間の内部にそれぞれ配置された複数の封止要素と、前記封止要素の内部に設けられたガス流路に、シールガスを供給する供給管と、を有する。

本発明の上記態様によれば、封止要素を光ファイバ母材に接触させることに起因する、光ファイバの品質の低下を抑制することができる。

紡糸装置の縦断面図である。 第１実施形態のシール部の部分斜視図である。 図２のガイド部材および封止要素の部分斜視図である。 図３のガイド部材および封止要素の横断面図である。 （ａ）は、第１実施形態の変形例に係る封止要素を、径方向内側から見た図である。（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ断面矢視図である。 第２実施形態のガイド部材および封止要素の横断面図である。 第３実施形態のシール部の縦断面を示す模式図である。 第３実施形態の変形例を示す模式図である。

（第１実施形態）
以下、第１実施形態の紡糸装置および光ファイバの製造方法について、図面に基づいて説明する。
図１は、光ファイバを製造する際に用いられる紡糸装置１の模式図である。紡糸装置１は、筐体２と、ヒータ３と、炉心管４と、シール部１０と、を備えている。紡糸装置１は、光ファイバ母材２０を加熱溶融させて細径化して引き出し、光ファイバ裸線を製造するための線引き炉である。

（方向定義）
ここで本実施形態は、炉心管４の中心軸線Ｏに沿う方向を上下方向という。また、上下方向から見た平面視において、中心軸線Ｏに交差する方向を径方向といい、中心軸線Ｏまわりに周回する方向を周方向という。
なお、本明細書では、中心軸線Ｏに沿う方向の断面を縦断面といい、中心軸線Ｏに直交する方向の断面を横断面という。図１は紡糸装置１の縦断面図である。

光ファイバ母材２０は、本体部２１と、本体部２１の上端部に設けられた把持部２２と、を有する。光ファイバ母材２０は、例えば石英ガラスによって形成されている。光ファイバ母材２０を、炉心管４内でヒータ３によって例えば約２０００℃に加熱し、溶融紡糸することで光ファイバ裸線が得られる。また、光ファイバ裸線の周囲に被覆層を設けることで、光ファイバ素線が得られる。なお、本明細書では、光ファイバ裸線および光ファイバ素線を総称して「光ファイバ」という。

このような光ファイバ母材２０は、ＶＡＤ法やＯＶＤ法などによって得られた円柱状の本体部２１の上端に、把持部２２を接続することにより得られる。把持部２２は、本体部２１を炉心管４の内部に挿入する際に、把持装置などによって把持される部分である。把持部２２は、本体部２１よりも細く形成されている。

炉心管４は、上方に位置する上部４ａと、下方に位置する下部４ｂと、を有している。上部４ａの内径は下部４ｂの内径よりも大きく、上部４ａの外径は下部４ｂの外径よりも大きい。これにより炉心管４は、２段の円筒状に形成されている。上部４ａと下部４ｂとは、隙間なく接続されていてもよいし、隙間が設けられていてもよい。上部４ａの上端（炉心管４の上端開口部）は、外部に向けて開口している。

炉心管４は、例えばカーボン材によって形成されている。炉心管４は、光ファイバ母材２０とともにヒータ３によって加熱される。このため、炉心管４の内部に酸素が存在すると、炉心管４が加熱された際にカーボン材が酸化して消耗する。このため、炉心管４の内部にはアルゴン（Ａｒ）やヘリウム（Ｈｅ）などの不活性ガスが充填されている。さらに、炉心管４内に外気が進入しないように、炉心管４の内部は陽圧に保たれている。

また、炉心管４内におけるガスの流れは、溶融紡糸して得られる光ファイバ裸線の外径に影響を与える。特に、炉心管４内のガスの流れに乱れが生じると、光ファイバ裸線の外径が変動しやすくなる。したがって、炉心管４内のガスの流れは、安定した層流状態であることが好ましい。そしてシール部１０は、炉心管４内に外気が進入することを防ぎつつ、炉心管４内のガスの流れを安定させるために設けられている。

（シール部）
シール部１０は、炉心管４の上端開口部に設けられている。シール部１０は、図２に示すように、ガイド部材１１（上側ガイド部材）と、ガイド部材１２（下側ガイド部材）と、封止要素１３（上側封止要素）と、封止要素１４（下側封止要素）と、を有している。ガイド部材１１およびガイド部材１２は、上下方向から見た平面視で環状に形成されている。ガイド部材１１、１２の内径は、光ファイバ母材２０の本体部２１の外径よりも大きい。このため、ガイド部材１１、１２と本体部２１との間には、径方向の隙間が設けられている。

封止要素１３、１４の材質は、特に限定されないが、例えばグラファイトまたはガラスなどを用いることができる。封止要素１３、１４は、表裏面が上方および下方を向く板状に形成されている。封止要素１３、１４は、平面視において、周方向の幅よりも径方向の幅が大きい長方形状に形成されている。封止要素１３および封止要素１４は、周方向に間隔を空けて複数配置されている。複数の封止要素１３は、複数の封止要素１４よりも上方に位置している。平面視において、封止要素１３は、封止要素１４に対して異なる角度で配置されている。ある封止要素１３と、その封止要素１３に隣接する封止要素１４とは、平面視において少なくとも一部が互いに重なるように配置されている。

図３に示すように、ガイド部材１２には、その上面から下方に向けて窪む複数の収容空間１２ａが形成されている。収容空間１２ａは、封止要素１４を収容するための空間である。各収容空間１２ａは、径方向に延びるとともに、周方向に間隔を空けて並べて配置されている。このように、複数の収容空間１２ａは、中心軸線Ｏを中心として放射状に配置されている。各収容空間１２ａは、径方向内側に向けて開口している。

また、ガイド部材１２の上面には、下方に向けて窪む環状溝１２ｂおよび接続溝１２ｃが形成されている。環状溝１２ｂは、複数の収容空間１２ａを径方向外側から囲むように、環状に形成されている。環状溝１２ｂは、収容空間１２ａから径方向に離れて配置されている。環状溝１２ｂと各収容空間１２ａとの間にそれぞれ、接続溝１２ｃが配置されている。すなわち、各接続溝１２ｃは、各収容空間１２ａから径方向外側に向けて延びている。各接続溝１２ｃのうち、径方向内端は収容空間１２ａに向けて開口し、径方向外端は環状溝１２ｂに向けて開口している。これにより、接続溝１２ｃは、収容空間１２ａと環状溝１２ｂとを接続している。

環状溝１２ｂには、不図示の付勢ガス供給源が接続されている。付勢ガス供給源は、封止要素１４を付勢するための付勢ガスを、環状溝１２ｂに供給する。環状溝１２ｂに供給された付勢ガスは、接続溝１２ｃを通って収容空間１２ａ内に流入して、収容空間１２ａ内で封止要素１４を径方向内側に向けて付勢する。なお、付勢ガス供給源は、１つであってもよいし、複数であってもよい。

複数の封止要素１４は、収容空間１２ａの内部に、径方向に移動可能に配置されている。封止要素１４と収容空間１２ａの内面との間には、封止要素１４がスムーズに移動できる範囲内で、微小な隙間が設けられている。封止要素１４の径方向外端部には、供給管１５が接続されている。供給管１５は、ガイド部材１２の内部を通って、シール部１０の外部に配置されたシールガス供給源に接続されている。シールガス供給源は、後述するシールガスを、供給管１５に供給する。シールガスは、アルゴンまたはヘリウムなどの不活性ガスであることが好ましい。なお、１つのシールガス供給源から、各封止要素１３、１４に向けてシールガスを供給してもよいし、各封止要素１３，１４に対応する複数のシールガス供給源を用いてもよい。

図４に示すように、各封止要素１４の内部には、径方向に延びるガス流路１４ｂが形成されている。本実施形態のガス流路１４ｂは、封止要素１４を径方向に貫通する貫通孔である。ガス流路１４ｂの径方向内側の開口部（流出口１４ａ）は、光ファイバ母材２０の本体部２１に向けて開口している。ガス流路１４ｂの径方向外側の開口部（流入口１４ｃ）は、供給管１５に接続されている。この構成により、シールガス供給源によって供給されたシールガスは、供給管１５およびガス流路１４ｂを通って、流出口１４ａから光ファイバ母材２０の本体部２１に向けて噴出する。

なお、図示は省略するが、ガイド部材１１もガイド部材１２と同様の構成を有しており、封止要素１３も封止要素１４と同様の構成を有している。つまり、ガイド部材１１には、封止要素１３を収容する収容空間と、環状溝および接続溝と、が形成されている。そして、封止要素１３は付勢ガスによって径方向内側に向けて付勢されている。また、封止要素１３には供給管１５が接続されており、流出口１３ａ（図２参照）からシールガスが光ファイバ母材２０に向けて噴出するように構成されている。

ここで本実施形態では、収容空間１２ａに供給される付勢ガスの圧力Ｐ１よりも、流出口１４ａから噴出するシールガスの圧力Ｐ２のほうが小さくなるように設定されている。このため、封止要素１３、１４を光ファイバ母材２０に向けて付勢しつつ、光ファイバ母材２０と封止要素１３、１４との接触を防止することができる。また、光ファイバ母材２０と封止要素１３，１４との間には隙間が生じるが、流出口１３ａ、１４ａから流出するシールガスにより、この隙間を封止（シール）することができる。

以上説明したように、本実施形態の光ファイバの製造方法では、炉心管４の上端開口部に環状のガイド部材１１、１２を配置し、ガイド部材１１、１２が有する複数の収容空間１２ａの内部にそれぞれ封止要素１３、１４を配置し、封止要素１３、１４を光ファイバ母材２０の本体部２１に向けて付勢ガスで付勢する。そして、封止要素１３、１４の内部に設けられたガス流路１４ｂに、供給管１５からシールガスを供給し、封止要素１３、１４と光ファイバ母材２０の本体部２１とを接触させない。

この構成により、封止要素１３、１４と光ファイバ母材２０とを接触させる場合と比較して、光ファイバ母材２０の外周面に傷が生じたり封止要素１３、１４が削れたりすることを抑止できる。したがって、光ファイバの品質の低下を抑制することができる。

また、シールガスとして不活性ガスを用いることで、シールガスが炉心管４の内部に流入したとしても、安定して光ファイバ母材２０を溶融紡糸することができる。

また、本実施形態の紡糸装置１は、炉心管４と、炉心管４の上端開口部に設けられたシール部１０と、を備える。そしてシール部１０は、複数の収容空間１２ａが形成されたガイド部材１２と、径方向内側に向けて付勢されることが可能な状態で複数の収容空間１２ａ内にそれぞれ配置された複数の封止要素１４と、ガス流路１４ｂにシールガスを供給する供給管１５と、を有する。
この構成により、上記光ファイバの製造方法を実現することができる。

なお、図４の例では、封止要素１４に形成された１本の貫通孔がガス流路１４ｂとして機能したが、ガス流路１４ｂの形態は適宜変更可能である。例えば図５（ａ）、（ｂ）に示すように、封止要素１４の内部で、ガス流路１４ｂが分岐していてもよい。図５（ａ）、（ｂ）の例では、ガス流路１４ｂが径方向内側で３本に分岐しており、３つの流出口１４ａが設けられている。これらの流出口１４ａは、周方向に間隔を空けて配置されている。この構成によれば、封止要素１４を通じて光ファイバ母材２０に向けて供給されるシールガスの、周方向における供給量をより均一にすることができる。これにより、より確実に炉心管４の上端開口部をシールすることが可能となる。

（第２実施形態）
次に、本発明に係る第２実施形態について説明するが、第１実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
本実施形態では、封止要素１３、１４に設けられるガス流路の形態が第１実施形態と異なる。なお、以下では主として封止要素１４の構成を説明するが、封止要素１３（図２参照）も以下の説明と同様の構成を有する。

図６に示すように、本実施形態の封止要素１４の内部には、多孔体１６が設けられている。多孔体１６としては、例えば多孔石英ガラス、多孔カーボンなどを用いることができる。多孔体１６は、封止要素１４における上下方向および周方向の中央部に設けられている。多孔体１６は、封止要素１４から径方向内側および径方向外側に向けて開口している。多孔体１６の径方向外端部（流入口１６ｂ）は、供給管１５に接続されている。多孔体１６の径方向内端部（流出口１６ａ）は、光ファイバ母材２０に向けて開口している。この構成により、供給管１５から供給されたシールガスは、多孔体１６の内部に形成された空洞を通って、流出口１６ａから光ファイバ母材２０の本体部２１に向けて流出する。
このように本実施形態では、多孔体１６に形成された空洞が、封止要素１４の内部に設けられて径方向に延びるガス流路として機能する。

ここで、流出口１６ａの周方向における幅は、比較的大きく、例えば封止要素１４の周方向における幅の１／２よりも大きい。このため、シールガスは周方向に均等に広がった状態で、流出口１６ａから光ファイバ母材２０に向けて流出する。つまり、封止要素１３、１４から光ファイバ母材２０に向けて供給されるシールガスの、周方向における供給量をより均一にすることができる。したがって、より確実に炉心管４の上端開口部をシールすることができる。また、光ファイバ母材２０の本体部２１と封止要素１３、１４との間の隙間の大きさを、より微小量に調整することができる。

（第３実施形態）
次に、本発明に係る第３実施形態について説明するが、第１実施形態と基本的な構成は同様である。このため、同様の構成には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる点についてのみ説明する。
本実施形態では、図７に示すように、封止要素１３、１４を中心軸線Ｏに対して傾けて配置している。なお、図７および図８は、封止要素１３、１４の構成をわかりやすくするために、周方向におけるそれぞれの中央部で封止要素１３、１４を切断した模式図である。実際には、図２で示したように、封止要素１３、１４は周方向で互い違いに配置されている。

図７に示すように、本実施形態の封止要素１３（上側封止要素）は、径方向内側に向かうに従って上方に向かうように傾斜して配置されている。また、封止要素１４（下側封止要素）は、封止要素１３よりも下方に位置し、径方向内側に向かうに従って下方に向かうように傾斜して配置されている。

なお、ガイド部材１１（上側ガイド部材）およびガイド部材１２（下側ガイド部材）は、上記のように封止要素１３、１４を傾斜して配置することができるように構成されている。
具体的には、ガイド部材１１の収容空間１１ａは、全体として直方体状に形成されるとともに、径方向内側に向かうに従って上方に向かうように傾斜している。このような構成のガイド部材１１は、例えば収容空間１１ａを境界として上下に２分割された部材を組み合わせることで得ることができる。
ガイド部材１２の収容空間１２ａは、全体として直方体状に形成されるとともに、径方向内側に向かうに従って下方に向かうように傾斜している。ガイド部材１２は、例えば収容空間１２ａを境界として上下に２分割された部材を組み合わせることで得ることができる。

上記のように封止要素１３、１４を傾斜して配置した場合、上方に位置する封止要素１３の流出口１３ａから供給されたシールガスが、光ファイバ母材２０の本体部２１の外周面に沿って上方に向かう。そして、下方に位置する封止要素１４の流出口１４ａから供給されたシールガスが、本体部２１の外周面に沿って下方に向かう。

このように、ガス流路１３ｂ、１４ｂから光ファイバ母材２０に向けて噴き出したシールガスの少なくとも一部を、封止要素１３と光ファイバ母材２０との間の隙間から上方に向けて流出させることで、外気の炉心管４内への混入をより確実に抑制することができる。
また、ガス流路１３ｂ、１４ｂから光ファイバ母材２０に向けて噴き出したシールガスを、封止要素１３、１４と光ファイバ母材２０との間の隙間から、上方および下方に向けて分岐して流出させることで、外気の炉心管４内への混入を抑制しながら、シールガスの一部を炉心管４の内部に流入させることができる。そして炉心管４の内部に流入したシールガスは、炉心管４内で層流を発生させるためのガスとして用いることができる。

なお、シールガスを上下に分岐させるための構成は、適宜変更可能である。例えば図８に示すように、封止要素１３、１４の内部で、ガス流路１３ｂ、１４ｂが上下に分岐していてもよい。この場合、複数の流出口１３ａ、１４ａを、各封止要素１３、１４に上下に並べて配置することが可能となり、シールガスを上方および下方に向けてより確実に分岐して流出させることができる。

以下、具体的な実施例を用いて、上記実施形態を説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されない。

（実施例１）
炉心管４の上端開口部に、図２〜図４に示すようなシール部１０を設けた。１６枚の封止要素１３を、中心軸線Ｏに直交する第１平面上に、周方向で等間隔に並べて配置した。１６枚の封止要素１４を、中心軸線Ｏに直交して第１平面よりも下方に位置する第２平面上に、周方向で等間隔に並べて配置した。封止要素１３、１４の材質は石英ガラスとした。封止要素１３、１４の中心部にそれぞれ、径方向に延びる直径２ｍｍの貫通孔（ガス流路１３ｂ、１４ｂ）を形成した。これらの貫通孔の径方向外端に、供給管１５を接続した。供給管１５の内径は、貫通孔の内径と同様に２ｍｍとした。供給管１５は、封止要素１３、１４が径方向で移動可能となるように、可撓性を持たせて、形状が拘束されていない状態とした。

供給管１５に供給するシールガスの圧力と、封止要素１３、１４の収容空間に供給する付勢ガスの圧力とは、光ファイバ母材２０の本体部２１に封止要素１３，１４が接触せず、かつ封止要素１３、１４の径方向内端と本体部２１との隙間が０．５ｍｍ未満となるように調整した。具体的には、封止要素１３、１４の径方向内端と本体部２１との隙間を目視し、ほとんど隙間がない状態とし、光ファイバ母材２０を上下に移動させたあとで光ファイバ母材２０の表面を観察して、封止要素１３、１４が接触することによる傷がないことを確認した。

光ファイバ母材２０の本体部２１の外径は１５０ｍｍとし、図１に示すような紡糸装置１により、外径１２５μｍの光ファイバ裸線を線引きした。シール部１０が充分なシール性を有さない場合、ヒータ３によって炉心管４を加熱した後、外気が炉心管４内に混入することによる炉心管４の熱劣化が生じたり、炉心管４内のガスの流れが乱れて乱流となることで、光ファイバ裸線の外径の変動が生じたりする。しかしながら本実施例では、そのような異常は見られず、長手方向で安定した外径を有する光ファイバ裸線が得られた。

また、この光ファイバ裸線を用いて得られた光ファイバ素線について、ＩＥＣ６０７９３−１−３０に準拠したプルーフ試験を行い、光ファイバ素線の破断強度を検査した。ここで、破断強度は、上記プルーフ試験によって破断した回数（回）を、試験を実施した光ファイバ裸線の長さ（ｋｍ）とした。この結果、破断強度は０．００１回／ｋｍであった。このように実施例１では、第１実施形態のシール部１０を用いて、良好な破断強度を有する光ファイバ素線を得ることができた。

（実施例２）
実施例１の封止要素１３、１４に代えて、図６に示すように、内部に多孔体１６が設けられた封止要素１３、１４を用いた。封止要素１３、１４の材質はカーボンとし、多孔体１６の材質は多孔カーボンとした。多孔体１６の形状は、径方向内側から見たときに一辺が１０ｍｍの正方形であり、この形状が径方向に連なるような直方体とした。その他の条件は実施例１と同様である。

この条件のもと、本体部２１の外径が１５０ｍｍの光ファイバ母材２０を線引きしたところ、問題なく光ファイバ素線を製造することができた。また、得られた光ファイバ素線の破断強度は０．００１回／ｋｍであった。このように実施例２では、第２実施形態のシール部１０を用いて、良好な破断強度を有する光ファイバ素線を得ることができた。

（比較例）
実施例１の封止要素１３、１４に代えて、内部にガス流路が形成されておらず、供給管１５が接続されていない封止要素を用いた。その他の条件は実施例１と同様である。
封止要素は、付勢ガスによる圧力によって、光ファイバ母材２０の本体部２１に押し付けられた。封止要素の径方向内端と本体部２１とは接触しており、光ファイバ母材２０を上下に移動させたあとで本体部２１の表面を観察すると、封止要素が接触したことによる傷が生じていた。本体部２１の外径が１５０ｍｍの光ファイバ母材２０を線引きしたところ、光ファイバ素線を製造することができたが、得られた光ファイバ素線の破断強度は０．００３回／ｋｍであった。これにより、実施例１、２の優位性を確認することができた。

なお、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、前記実施形態では、付勢ガスを用いて封止要素１３、１４を付勢したが、例えばバネなどの付勢部材によって封止要素１３、１４を径方向内側に向けて付勢してもよい。
また、前記実施形態のシール部１０は、上下に重ねて配置された封止要素１３、１４を有していたが、シール部１０に含まれる封止要素は上下に重ねられていなくてもよい。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した実施形態や変形例を適宜組み合わせてもよい。

１…紡糸装置 ４…炉心管 １０…シール部 １１、１２…ガイド部材 １２ａ…収容空間 １３、１４…封止要素 １４ｂ…ガス流路（貫通孔） １５…供給管 １６…多孔体 ２０…光ファイバ母材

Claims (7)

1. 炉心管の上端開口部に環状のガイド部材を配置し、
   前記ガイド部材が有する複数の収容空間の内部にそれぞれ封止要素を配置し、
   前記封止要素を光ファイバ母材に向けて付勢し、
   前記封止要素の内部に設けられたガス流路にシールガスを供給し、
   前記封止要素と前記光ファイバ母材とを接触させない、光ファイバの製造方法において、
   前記ガス流路は、前記封止要素に形成された貫通孔であり、前記封止要素の内部で分岐し、１つの流入口に対して複数の流出口が設けられている、光ファイバの製造方法。
2. 前記シールガスが、不活性ガスである、請求項１に記載の光ファイバの製造方法。
3. 前記ガス流路から前記光ファイバ母材に向けて噴き出した前記シールガスの少なくとも一部を、前記封止要素と前記光ファイバ母材との間の隙間から上方に向けて流出させる、請求項１または２に記載の光ファイバの製造方法。
4. 前記ガス流路から前記光ファイバ母材に向けて噴き出した前記シールガスを、前記隙間から上方および下方に向けて分岐して流出させる、請求項３に記載の光ファイバの製造方法。
5. 複数の前記封止要素には、上側封止要素と、前記上側封止要素よりも下方に位置する下側封止要素と、が含まれ、
   前記上側封止要素は、径方向内側に向かうに従って上方に向かうように傾斜して配置され、
   前記下側封止要素は、径方向内側に向かうに従って下方に向かうように傾斜して配置されている、請求項４に記載の光ファイバの製造方法。
6. 前記ガス流路が前記封止要素の内部で上下に分岐することで、前記封止要素には前記シールガスの前記複数の流出口が上下に並べて配置されている、請求項４に記載の光ファイバの製造方法。
7. 炉心管と、
   前記炉心管の上端開口部に設けられたシール部と、を備え、
   前記シール部は、
   複数の収容空間が形成された環状のガイド部材と、
   径方向内側に向けて付勢されることが可能な状態で、前記複数の収容空間の内部にそれぞれ配置された複数の封止要素と、
   前記封止要素の内部に設けられたガス流路に、シールガスを供給する供給管と、を有し、
   前記ガス流路は、前記封止要素に形成された貫通孔であり、前記封止要素の内部で分岐し、１つの流出口に対して複数の流出口が設けられている、紡糸装置。

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