JP7460621B2 - Cvdリアクタの構成要素の製造方法 - Google Patents
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Description
このように変性された材料は、エッチング液を使用して第2のプロセスステップで除去することができる。エッチング流体は、好ましくは、液体、例えばKOHの形態をとる。CVDリアクタにおける本発明の構成要素は、それ自体は既知の技術であるこの方法を使用して製造されることとなる。例えば、ガス分配壁、そのガス通路孔、中央台座、そのガス供給ライン、及び、その通路孔を具備し中央部とガス分配壁との間に延びるフローバリアを、この方法により円盤状の石英ベース本体に作製することができる。このように材料的に一体的に作製された円盤状のガス分配体/セクションは、その後、1つずつ互いに積み重ねることができ、特に、材料結合によって互いに結合することができる。
本発明の特に好適な変形形態では、ガス分配体が、互いに材料的に一体的な態様で結合されている。上述したSLE法はまた、均一な石英ブランクから作製されるこのような一体的なガス入口ユニットの製造のために用いられる。本発明による方法は、例えば鋳造、ブロー成形、又は機械加工などの他の成形プロセスにより作製できない、特にCVDリアクタのそれらの構成要素を作製するために用いることができる。本発明に従って製造された構成要素は、複雑な空洞形状を有することができ、CVDリアクタで500℃以上の温度で使用することができる。その場合IV-、V-、VI-主族の水素化物と、又は、II-、III-、V-主族の元素の有機金属化合物若しくはハロゲンと接触することができる。
本発明の石英構成要素は、特に、基板キャリア、ガス出口ユニット、ガス入口ユニット、シールドプレート、サセプタ、光通路プレート、シース、又はカバープレートである。その場合、特に、これらの構成要素が、構成要素の2つの表面の間に延在しかつガス出口面上に基本的に均一な態様で配置されている多数のガス通路孔を有するキャビティ配置を備えていることが提供される。このような構成要素は、特にCVDリアクタのプロセスチャンバ内に均一なガスの流れを発生させることを目的としており、この目的のために、ガス出口面のガス出口開口、すなわちガス通路孔の自由端は、表面上に均一に分布されている。ガス通路孔は、0.1mmよりも小さい直径を有することができる。ただし、ガス通路孔の直径が3mm、2mm、1mm、0.5mm、又は0.2mmよりも小さいものも提供される。
さらに、好ましくは、構成要素が、ガス分配室を形成する少なくとも1つの大きなチャンバによって形成されるキャビティを有することが提供される。ガス分配室は、多数のガス通路孔に分岐し、それによってガス出口開口は、1つの共通のガス分配室、又は複数のガス分配室と連通することができる。少なくとも1つのガス供給ラインがガス分配室に開口している。特に、ガス分配室の内面は、材料的に一体的な態様で設計され、少なくとも1つのガス供給ラインの出口及びガス通路孔の開口によってのみ遮断されることが提供される。
したがって、小さい自由断面積をもつガス供給ラインが、自由断面積が流れの方向に対して直角に延在する大きい自由断面積をもつガス分配室に開口することが提供される。ガス分配室の自由断面積は、少なくとも1つのガス供給ラインの自由断面積、又は複数のガス供給ラインの自由断面積の合計よりも少なくとも10倍、好ましくは20倍大きくすることができる。さらに、構成要素を通る流れに対して横方向に延在するガス分配室の自由断面積が、ガス分配室から出ているガス通路孔の自由断面積の合計の少なくとも2倍、5倍、10倍、好ましくは少なくとも20倍、少なくとも50倍、又は少なくとも100倍であることが提供される。
さらに、特に、ガス出口開口に開口するガス通路孔が互いに実質的に平行に延在するように設けることができる。ガス出口開口が平面内にある場合、ガス通路孔は、数学的に平行に延びることが好ましい。ガス出口開口が円筒形の外周面上にある場合、ガス通路孔は、半径方向に延びることが好ましい。さらに、ガス出口孔が、1又は複数のガス供給ラインと整列しないように設けることができる。
さらに、石英構成要素のキャビティは、特にガス供給ラインが直線状に延在しないように、しかしながら複数の方向転換点を有するように設けることができる。ガス供給ラインは、キンク点の形態で互いに移行する複数の直線状に延びる部分を有することができる。しかしながら、ガス供給ラインはまた、石英構成要素を通って曲線状に延びることができ、特に、三次元的に曲がりくねった経路上に延びることができる。
特に、プロセスは、プロセス温度が600、800、1000、又は1200°Cを超えるCVDリアクタで実行されるため、構成要素はこれらの温度まで加熱することができる。特に、石英構成要素は、石英構成要素の使用に許容される任意の温度に加熱することができる。
2 ガス入口ユニット
3 アタッチメント部
3’ アタッチメント面
4.1 ガス分配体/セクション
4.2 ガス分配体/セクション
4.3 ガス分配体/セクション
4.4 ガス分配体/セクション
4.5 ガス分配体/セクション
5 ガス供給ライン
6 ガス分配壁
7 ガス出口開口
7’ ガス出口開口
8 ガス分配室
8’ 下流セクション
8” 下流セクション
8”’ 上流セクション
9.1 ガス入口ダクト
9.2 ガス入口ダクト
9.3 ガス入口ダクト
9.4 ガス入口ダクト
9.5 ガス入口ダクト
10 出口
11 分離床
12 フローバリア
12’ フローバリア
13 ガス通路孔
13’ ガス通路孔
14 ガス通路孔
14’ ガス通路孔
15 中央部台座
15’ 主面
16 出口開口
17 アタッチメント孔
18 バッフル
19 サセプタ
20 プロセスチャンバ
21 基板
22 ガス出口、-ユニット
23 プロセスチャンバ天井
24 加熱装置
25 凹部
26 ガス出口孔
27 アタッチメント孔
28 ナット
29 ばね
30 固定ねじ
31 ベースプレート
32 パイロメーター
33 基板キャリア、-ホルダー
34 光通路プレート
35 キャビティ、光路
36 キャビティ、光通路孔
37 キャビティ、ガス通路孔、パージチャネル
38 キャビティ、ガス分配室
39 キャビティ、ガス供給ライン
40 キャビティ、凹部、ポケット
40’ 凹部、ポケット
41 キャビティ、冷却剤空間
42 ガス出口面
43 支持プレート
44 支持管
45 拡散バリア
46 フランジ部
47 シース
49 光導波路
Claims (6)
- 複数の円盤状のガス分配体(4.1、4.2、4.3、4.4、4.5)の作製を含む、CVDリアクタ(1)におけるガス分配用のガス分配装置の製造方法であって、
前記円盤状のガス分配体(4.1、4.2、4.3、4.4、4.5)の各々が、選択的レーザーエッチングにより材料的に一体的な態様で作製され、
前記ガス分配体(4.1、4.2、4.3、4.4、4.5)は互いに上下に積み重ねられ、
前記円盤状のガス分配体(4.1、4.2、4.3、4.4、4.5)の各々は、
中央部(15)と、
キャビティにより形成されたガス分配室(8)と、
前記ガス分配室(8)の床を形成する分離床(11)と、
前記ガス分配室(8)から出ている複数のガス通路孔(13)を配置されたガス分配壁(6)と、を具備し、
前記ガス分配装置は、各々が前記ガス分配室(8)の1つに連通しかつ前記中央部(15)に位置する複数のガス供給ライン(9.1、9.2、9.3、9.4、9.5)を有し、
前記中央部(15)は前記ガス分配壁(6)と同じ軸方向高さを有し、かつ前記ガス分配壁(6)の上端が前記中央部(15)の主面(15’)も延在する同じ平面内にある、方法。 - 前記ガス分配体(4.1、4.2、4.3、4.4、4.5)が、石英から作製されることを特徴とする請求項1の方法。
- 前記ガス分配壁(6)の2つの面の間に延在する前記複数のガス通路孔(13)は、ガス出口面上に均一に分布して配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 前記複数のガス通路孔(13)は、3mmより小さい直径を有することを特徴とする請求項1~3のいずれかの方法。
- 前記ガス供給ライン(9.1、9.2、9.3、9.4、9.5)の出口(10)は、前記ガス通路孔(13)と整列していないことを特徴とする請求項1~4のいずれかの方法。
- 前記ガス分配壁(6)と前記中央部(15) との間にフローバリア(12、12’)が配置され、前記フローバリア(12、12’)は、前記中央部(15)を取り囲みかつ複数のガス通路孔(14、14’)を有することを特徴とする請求項1~5のいずれかの方法。
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