JP6650396B2 - 光デバイスの製造方法及び光デバイス - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る光デバイスの製造方法を示す図であり、各工程における光デバイスの上面図及び側面図を示す。
図7は、第2実施形態に係る光デバイスの製造方法を示す図であり、各工程における光デバイスの上面図及び側面図を示す。
図13は、第3実施形態に係る光デバイスの製造方法を示す図であり、各工程における光デバイスの上面図を示す。
図14は、第4実施形態に係る光デバイスの製造方法を示す図であり、各工程における光デバイスの上面図を示す。
図15は、第5実施形態に係る光デバイスの製造方法を示す図であり、各工程における光デバイスの上面図を示す。
図17は、第6実施形態に係る光デバイスの製造方法を示す図であり、各工程における光デバイスの上面図及び側面図を示す。
12−1〜12−7 第1クラッド部
13−1〜13−8 凹部
14−1〜14−10 光導波路コア
15−1〜15−6 第2クラッド部
15−7〜15−9 クラッド部
15−10 第2クラッド部
16−1〜16−6 補強部
17−1〜17−6 第1クラッド部
18−1〜18−8 規制部
20 スペーサ
30 薄板ガラス
Claims (15)
- 基板に対して垂直又は斜めに立設して形成された1又は複数の柱状の光導波路コアを有する光デバイスの製造方法であって、
前記基板上に第1クラッド部を形成する工程と、
前記基板上の前記第1クラッド部に隣接する領域に光硬化性樹脂を供給し、前記基板の上方から前記光硬化性樹脂の一部分に光を照射し前記光硬化性樹脂の一部分を柱状に硬化させることによって、側面が部分的に前記第1クラッド部に密着するように前記1又は複数の柱状の光導波路コアを形成する工程と、
を含む、光デバイスの製造方法。 - 前記1又は複数の柱状の光導波路コアの前記第1クラッド部と接していない側面を覆うように第2クラッド部を形成する工程を更に含む、請求項1に記載の光デバイスの製造方法。
- 前記第1クラッド部を形成する前に、前記基板上に前記第1クラッド部を補強するための補強部を形成する工程を更に含む、請求項1又は請求項2に記載の光デバイスの製造方法。
- 前記補強部は、前記1又は複数の柱状の光導波路コアを伝搬させる信号光の波長において不透明な材質から構成される、請求項3に記載の光デバイスの製造方法。
- 前記第1クラッド部は1又は複数の凹部を有し、前記1又は複数の柱状の光導波路コアはそれぞれその側面が前記1又は複数の凹部の内壁面に密着するように形成される、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の光デバイスの製造方法。
- 基板に対して垂直又は斜めに立設して形成された柱状の光導波路コアを有する光デバイスの製造方法であって、
前記基板上の前記柱状の光導波路コアが形成されることとなる領域の周囲に、前記領域から所定距離離間して、前記柱状の光導波路コアの位置ずれを規制するための複数の規制部を形成する工程と、
前記複数の規制部によって囲まれた領域に光硬化性樹脂を供給し、前記基板の上方から前記光硬化性樹脂の一部分に光を照射することによって、前記柱状の光導波路コアを形成する工程と、
前記柱状の光導波路コアの側面を覆うようにクラッド部を形成する工程と、
を含む、光デバイスの製造方法。 - 前記規制部は、前記クラッド部と同じ材質から構成される、請求項6に記載の光デバイスの製造方法。
- 前記規制部は、前記柱状の光導波路コアを伝搬させる信号光の波長において不透明な材質から構成される、請求項6に記載の光デバイスの製造方法。
- 前記複数の規制部は、隣り合う2つの規制部の間の間隙が前記柱状の光導波路コアの幅よりも狭くなるように形成される、請求項6から請求項8のいずれか1項に記載の光デバイスの製造方法。
- 前記複数の規制部のうちの少なくとも1つは凹部を有し、前記柱状の光導波路コアは前記凹部内に配置される、請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の光デバイスの製造方法。
- 前記規制部は、前記柱状の光導波路コアから遠い部分の幅が前記柱状の光導波路コアに近い部分の幅よりも広い形状に形成される、請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の光デバイスの製造方法。
- 基板に対して垂直又は斜めに立設して形成された複数の柱状の光導波路コアを有する光デバイスの製造方法であって、
前記基板上の前記複数の柱状の光導波路コアが形成されることとなる領域の周囲に、前記領域から所定距離離間して、前記複数の柱状の光導波路コアの位置ずれを規制するための複数の規制部を形成する工程と、
前記複数の規制部によって囲まれた領域に光硬化性樹脂を供給し、前記基板の上方から前記光硬化性樹脂の一部分に光を照射することによって、前記複数の柱状の光導波路コアを形成する工程と、
前記複数の柱状の光導波路コアの各側面を覆うようにクラッド部を形成する工程と、
を含み、前記複数の規制部は、前記複数の柱状の光導波路コアの配列方向に沿って前記光硬化性樹脂を流通可能とする通路を有するように形成される、光デバイスの製造方法。 - 前記複数の規制部は、前記複数の柱状の光導波路コアの配列方向と交わる方向に沿って前記光硬化性樹脂を流通可能とする通路を更に有するように形成される、請求項12に記載の光デバイスの製造方法。
- 基板と、
前記基板に対して垂直又は斜めに立設して形成された1又は複数の柱状の光導波路コアと、
前記1又は複数の柱状の光導波路コアの周囲に前記1又は複数の柱状の光導波路コアから所定距離離間して形成された、前記1又は複数の柱状の光導波路コアの位置ずれを規制するための硬化樹脂と、
前記1又は複数の柱状の光導波路コアと前記硬化樹脂との間に充填されたクラッド部と、
を備える光デバイス。 - 前記硬化樹脂は、前記1又は複数の柱状の光導波路コアを伝搬させる信号光の波長において不透明な材質から構成される、請求項14に記載の光デバイス。
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