JP6648272B2 - 傾斜物体波を利用する、フィゾー干渉計対物レンズを有する干渉計 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 46
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 21
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 20
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 6
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 2
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 229960005431 ipriflavone Drugs 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02007—Two or more frequencies or sources used for interferometric measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02032—Interferometers characterised by the beam path configuration generating a spatial carrier frequency, e.g. by creating lateral or angular offset between reference and object beam
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02057—Passive reduction of errors by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/005—Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0207—Details of measuring devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/50—Pupil plane manipulation, e.g. filtering light of certain reflection angles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02034—Interferometers characterised by particularly shaped beams or wavefronts
- G01B9/02038—Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
- G01B9/02039—Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront by matching the wavefront with a particular object surface shape
Description
Claims (18)
- 光学的に平滑な表面を面状に測定するための干渉計であって、表面の測定されるべき表面領域を複数の物体波で異なる方向から照明するための手段と、前記表面で反射された物体波を、複数の物体波に対してコヒーレントな参照波と検出器で重ね合わせて、前記表面の寸法が結像された干渉図形にする手段と、を有し、前記干渉計は、前記表面を複数の物体波で同時に照明し、フィゾービームスプリッタ板又はフィゾー対物レンズによって、表面(11)を照明する物体波のうちの1つからのビーム分割によって、参照波を生成するためにセットアップされており、前記干渉計は光路で前記検出器(14)の前に配置された干渉計絞り(12)と結像光学系とを有しており、前記干渉計絞りは前記結像光学系のフーリエ平面にあるか、又は若干その外にあり、前記表面で反射された物体波をフィルタリングする、干渉計において、前記干渉計は、照射手段としての切換可能な点光源の固定的な配置を有し、光学的に平坦な表面が測定において種々の選択された物体波によって照射され、それによって参照波それ自体が個々に選択され、他の選択された波による照射がオフとされるように構成されているとともに、これらの点光源と前記干渉計絞り(12)は、各々の測定値記録のときに1つの参照波面だけが前記検出器(14)に到達して、これを全面的に照明するように構成されていることを特徴とする干渉計。
- 点光源の固定的な配置が規則的な格子を形成し、この規則的な格子と干渉計の光学軸との交差点(D)には点光源が存在せず、n=3又はそれ以上の点光源が前記交差点(D)を中心として対称に等間隔で配置され、その物体波がフィゾー対物レンズ又はフィゾー板で参照波を生成することを特徴とする、請求項1に記載の干渉計。
- 前記干渉計絞り(12)は測定中に可動ではなく、複数の物体波面により生成される参照波面を前記検出器へと同時に到達させることになるように設計されており、前記干渉計は、測定値記録ごとに1つの物体波面だけが前記検出器に到達する参照波面を生成するように物体波面の選択を規定する装置を有し、好ましくは可動の絞りアレイを有することを特徴とする、請求項1または2に記載の干渉計。
- 前記検出器でのちょうど1つの参照波面を選択するために、これらの参照波面を生成する物体波面を選択するための絞りアレイが存在することを特徴とする、請求項3に記載の干渉計。
- 前記干渉計絞り(12)は可動であり、各々の測定値記録についてちょうど1つの参照波面の光が前記検出器へ到達するように位置決め可能であることを特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の干渉計。
- 検出器において干渉図形で分析可能な縞を有する部分領域が生起されるべく、参照波の入射角と近似する入射角を有する物体波だけを検出器に向けて案内するように干渉計絞りが寸法決めされている(12)ことを特徴とする、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の干渉計。
- 前記干渉計は、異なる物体波から生じる分析可能な縞を有する干渉図形の部分領域が前記検出器で互いに重なり合うように設計されていることを特徴とする、請求項6に記載の干渉計。
- 点光源アレイ(PLQA)と、前記点光源アレイ(PLQA)から発せられる光の光路で前記点光源アレイ(PLQA)の後に配置されたコリメータ(L2)及び照明をする手段としての干渉計対物レンズ(FO)からなる光学システムと、ビームスプリッタ(ST2)と、干渉計絞り(A)と、重ね合わせをする手段としての結像光学系(AO)と、カメラ(K)とを有し、前記干渉計絞り(A)は前記結像光学系(AO)のフーリエ平面で前記結像光学系(AO)と前記ビームスプリッタとの間に配置され、前記光源(25,26,27,28)は前記光源アレイ(PLQA)で行と列とに規則的な相互間隔で配置され、前記干渉計の中心軸(22)はn角形の法線を形成し、その角に互いに隣接するn個の点光源(25,26,27,28)のうちのそれぞれ1つが位置し、前記法線はn角形の中心点にあることを特徴とする、請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の干渉計(30)。
- 前記干渉計絞り(A)がn角形又は円形の開口部を有することを特徴とする、請求項8に記載の干渉計(30)。
- n角形の開口部の辺の長さは、前記干渉計絞り(A)によって勾配が制限されている波面が平坦な参照波と干渉したときに生じる干渉図形の縞密度が最大で前記カメラ(K)のナイキスト周波数の半分に達する辺の長さaと少なくとも同じ大きさであることを特徴とする、請求項9に記載の干渉計(30)。
- 前記辺の長さaがさらに2掛けるεの追加の長さの分だけ大きくなっており、εはa/10よりも小さいことを特徴とする、請求項10に記載の干渉計(30)。
- 前記干渉計が、光学軸上に位置する中心の点光源を生成する追加の干渉計アームを有することを特徴とする、請求項1〜請求項11のいずれか1項に記載の干渉計(30)。
- 前記追加の干渉計アームがビームスプリッタ(ST1)と、ミラー(S1)と、顕微鏡対物レンズ(M2)及びレンズ(L3)からなる望遠鏡と、レンズ(L4)と、別のビームスプリッタ(ST3)とを有し、前記ビームスプリッタ(ST1)は前記干渉計(30)のレーザ(L)の光を前記追加のミラー(S1)を介して前記望遠鏡へと方向転換させるためにセットアップされて配置され、前記望遠鏡は前記ミラー(S1)から入射する光束を拡張して前記追加のレンズ(L4)のほうへ向けるためにセットアップされ、この追加のレンズは、拡張された光束を集束させて前記別のビームスプリッタ(ST3)のほうへ向けるためにセットアップされて配置され、この別のビームスプリッタは前記干渉計(30)の光路で前記干渉計絞り(A)と前記干渉計(30)のカメラアームの結像光学系(AO)との間に配置されるとともに、前記追加のレンズ(4)から入射してくる光を前記干渉計(30)のカメラアームへ入力結合するためにセットアップされることを特徴とする、請求項12に記載の干渉計(30)。
- 前記干渉計(30)は、フィゾー対物レンズを光学軸(22)に沿ってスライドさせるためにセットアップされたフィゾー対物レンズアクチュエータ(40)を有することを特徴とする、請求項1〜請求項13のいずれか1項に記載の干渉計(30)。
- 前記干渉計(30)は、前記ビームスプリッタ(ST1)から発せられる光路をそれぞれ遮蔽し、又は遮蔽しないように制御するようにセットアップされて配置された第1のシャッタ(SH1)と第2のシャッタ(SH2)とを有することを特徴とする、請求項14に記載の干渉計(30)。
- 前記第1のシャッタ(SH1)は前記ビームスプリッタ(ST1)と前記干渉計(30)の前記顕微鏡対物レンズ(M1)との間に配置され、前記第2のシャッタ(SH2)は前記ビームスプリッタ(ST1)と前記追加のミラー(S1)との間に配置されることを特徴とする、請求項15に記載の干渉計(30)。
- 光学的に平滑な表面を面状に測定する方法であって、表面の測定されるべき表面領域が複数の物体波で異なる方向から照明され、前記表面で反射された物体波が、複数の物体波に対してコヒーレントな参照波と検出器で重ね合わされて、前記表面の寸法が結像された干渉図形にされ、前記表面は複数の物体波で同時に照明され、参照波はフィゾービームスプリッタ板又はフィゾー対物レンズによって前記表面(11)を照明する物体波のうちの1つからのビーム分割によって生成され、前記表面で反射された物体波は、結像光学系のフーリエ平面にあるか、又は若干その外にある、光路で前記検出器(14)の前に配置された干渉計絞り(12)によってフィルタリングされる方法において、物体波は点光源の固定的な格子状の配置によって生成され、光学的に平坦な表面が測定において種々の選択された物体波によって照射され、それによって参照波それ自体が個々に選択され、他の選択された波による照射がオフとされるとともに、各々の測定値記録のときに前記検出器に到達してそこで物体波と干渉する参照波はちょうど1つの点光源に由来しており、前記検出器を全面的に照明することを特徴とする方法。
- 1つの測定は複数の測定値記録で成り立っており、異なる測定値記録について互いに相違する物体波の異なる選択が適用され、それにより、異なる測定値記録によって前記表面(11)の測定されるべき各々の点が少なくとも1回だけ物体波により照明されて、この物体波が検出器へと到達するようになっていることを特徴とする、請求項17に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015222366.3A DE102015222366A1 (de) | 2015-11-12 | 2015-11-12 | Verkippte Objektwellen nutzendes und ein Fizeau-Interferometerobjektiv aufweisendes Interferometer |
DE102015222366.3 | 2015-11-12 | ||
PCT/EP2016/077610 WO2017081328A1 (de) | 2015-11-12 | 2016-11-14 | Verkippte objektwellen nutzendes und ein fizeau-interferometerobjektiv aufweisendes interferometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018537670A JP2018537670A (ja) | 2018-12-20 |
JP6648272B2 true JP6648272B2 (ja) | 2020-02-14 |
Family
ID=57286524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018525466A Active JP6648272B2 (ja) | 2015-11-12 | 2016-11-14 | 傾斜物体波を利用する、フィゾー干渉計対物レンズを有する干渉計 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10612905B2 (ja) |
EP (1) | EP3374731B1 (ja) |
JP (1) | JP6648272B2 (ja) |
CN (1) | CN108474642B (ja) |
DE (1) | DE102015222366A1 (ja) |
WO (1) | WO2017081328A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20210341337A1 (en) * | 2018-10-29 | 2021-11-04 | Lyseonics BV | A method and system for detection of electromagnetic radiation |
WO2020257450A1 (en) * | 2019-06-19 | 2020-12-24 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | Pre-conditioning interferometer |
CN110568603A (zh) * | 2019-08-12 | 2019-12-13 | 清华大学 | 基于fpm的显微成像系统 |
CN111207844B (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-27 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法 |
DE102020130814A1 (de) | 2020-11-20 | 2022-05-25 | Universität Stuttgart | Einzelbild-Tilted Wave Interferometer |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3517903B2 (ja) * | 1993-06-21 | 2004-04-12 | 株式会社ニコン | 干渉計 |
DE4429416A1 (de) * | 1994-08-19 | 1996-02-22 | Velzel Christiaan H F | Verfahren und Interferenzmikroskop zum Mikroskopieren eines Objektes zur Erzielung einer Auflösung jenseits der Beugungsgrenze (Superauflösung) |
JP3654090B2 (ja) * | 1999-10-26 | 2005-06-02 | 松下電工株式会社 | 距離計測方法およびその装置 |
AU2003298745A1 (en) | 2002-11-27 | 2004-06-23 | Trology Llc | Interferometric system with reduced vibration sensitivity and related method |
JP4062606B2 (ja) * | 2003-01-20 | 2008-03-19 | フジノン株式会社 | 低可干渉測定/高可干渉測定共用干渉計装置およびその測定方法 |
DE10325601B3 (de) * | 2003-06-05 | 2005-01-13 | Universität Stuttgart | Schaltbares Punktlichtquellen-Array und dessen Verwendung in der Interferometrie |
JP4538388B2 (ja) | 2005-07-21 | 2010-09-08 | 株式会社ミツトヨ | 位相シフト干渉計 |
US8345258B2 (en) | 2006-09-07 | 2013-01-01 | 4 D Technology Corporation | Synchronous frequency-shift mechanism in fizeau interferometer |
DE102006057606B4 (de) | 2006-11-24 | 2008-12-11 | Universität Stuttgart | Verfahren und Messvorrichtung zur Vermessung einer optisch glatten Oberfläche |
JP2011021921A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Nikon Corp | 干渉計及び面形状測定方法 |
US8934104B2 (en) * | 2010-01-22 | 2015-01-13 | Universitaet Stuttgart | Method and arrangement for robust interferometry for detecting a feature of an object |
CN102607454A (zh) * | 2011-02-24 | 2012-07-25 | 南京理工大学 | 光学自由曲面干涉检测装置 |
EP2565725B1 (en) * | 2011-09-02 | 2014-04-30 | Mitutoyo Corporation | Method and apparatus for the exact reconstruction of the object wave in off-axis digital holography |
CN102589414B (zh) | 2012-02-21 | 2014-08-06 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 可实时测量的同步相移斐索干涉装置 |
DE102012217800A1 (de) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Diffraktives optisches Element sowie Messverfahren |
DE102013016752A1 (de) * | 2013-09-03 | 2015-03-05 | Universität Stuttgart | Verfahren und Anordnung zur robusten One-shot-Interferometrie, insbesondere auch zur optischen Kohärenz-Tomografie nach dem Spatial-domain-Ansatz (SD-OCT) |
CN103759668B (zh) * | 2014-01-02 | 2016-08-17 | 南京理工大学 | 基于光纤阵列型空间点源阵列发生器的倾斜波面干涉系统 |
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-
2015
- 2015-11-12 DE DE102015222366.3A patent/DE102015222366A1/de not_active Withdrawn
-
2016
- 2016-11-14 US US15/775,973 patent/US10612905B2/en active Active
- 2016-11-14 WO PCT/EP2016/077610 patent/WO2017081328A1/de active Application Filing
- 2016-11-14 JP JP2018525466A patent/JP6648272B2/ja active Active
- 2016-11-14 EP EP16794662.3A patent/EP3374731B1/de active Active
- 2016-11-14 CN CN201680064780.3A patent/CN108474642B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3374731A1 (de) | 2018-09-19 |
US20180328711A1 (en) | 2018-11-15 |
DE102015222366A1 (de) | 2017-05-18 |
WO2017081328A1 (de) | 2017-05-18 |
EP3374731B1 (de) | 2019-04-03 |
US10612905B2 (en) | 2020-04-07 |
JP2018537670A (ja) | 2018-12-20 |
CN108474642B (zh) | 2020-06-05 |
CN108474642A (zh) | 2018-08-31 |
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Date | Code | Title | Description |
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A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191217 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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