JP6647652B2 - 光学ヘッドおよび計測装置 - Google Patents
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Description
Lp=A+a+(a2+(b+Δb)2)1/2
Ls=B−Δb
また、ミラー121の回転角度αは、ポンプ光5の反射角の変位βの2倍となるので、リンク機構135がノッチフィルタ120の移動に伴って自動的にミラー121を回転することにより、エミッションブロック11aにおけるポンプ光5とストークス光6との同期調整が容易となる。
Claims (17)
- 非線形ラマン効果を得るための周波数帯または周波数の異なる複数の光を第1のポイントに集光する第1のモジュールと、
前記第1のポイントから発せられる測定対象の光を採取する第2のモジュールと、
前記第1のモジュールおよび前記第2のモジュールを支持する第3のモジュールとを有し、
前記第1のモジュールは、高剛性の第1のフレームと、
前記第1のフレームに固定された複数の光学素子を含む第1の光学システムとを含み、
前記第2のモジュールは、高剛性の第2のフレームと、
前記第2のフレームに固定された複数の光学素子を含む第2の光学システムとを含み、
前記第3のモジュールは、前記第1のフレームおよび前記第2のフレームを固定する高剛性の第3のフレームを含む、光学ヘッド。 - 請求項1において、
前記第1のモジュールは、前記第1の光学システムに含まれる少なくとも1つの光学素子の前記第1のフレームに対する取付位置を調整した後に固定する機構を含み、
前記第2のモジュールは、前記第2の光学システムに含まれる少なくとも1つの光学素子の前記第2のフレームに対する取付位置を調整した後に固定する機構を含む、光学ヘッド。 - 請求項1または2において、
前記第1のフレームは2次元的に広がった領域を含み、前記第1の光学システムに含まれる前記複数の光学素子が前記第1のフレームに2次元的に配置されている、光学ヘッド。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記第2のフレームは2次元的に広がった領域を含み、前記第2の光学システムに含まれる前記複数の光学素子が前記第2のフレームに2次元的に配置されている、光学ヘッド。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記複数の光の少なくともいずれかを供給する第1のレーザー光供給ユニットおよび第2のレーザー光供給ユニットであって、前記第1のフレームに固定された第1のレーザー光供給ユニットおよび第2のレーザー光供給ユニットを有し、
前記第1の光学システムの前記複数の光学素子は、前記第1のレーザー光供給ユニットから供給される第1のレーザー光および前記第2のレーザー光供給ユニットから供給される第2のレーザー光を前記第1のポイントに照射する共通の第1の対物レンズへ導く光学経路を構成する複数の光学素子を含み、さらに、
前記第1のレーザー光供給ユニットの前記第1のレーザー光の光軸に対する垂直な2次元方向の位置を前記第1のフレームに対して調整する第1のXY位置調整ユニットと、
前記第2のレーザー光供給ユニットの前記第2のレーザー光の光軸に対する垂直な2次元方向の位置を前記第1のフレームに対して調整する第2のXY位置調整ユニットとを有する、光学ヘッド。 - 請求項5において、
前記第1のレーザー光を平行光にする第1のコリメータレンズと、
前記第2のレーザー光を平行光にする第2のコリメータレンズと、
前記第1のコリメータレンズの前記第1のレーザー光の光軸方向の位置を前記第1のフレームに対して調整する第1のZ位置調整ユニットと、
前記第2のコリメータレンズの前記第2のレーザー光の光軸方向の位置を前記第1のフレームに対して調整する第2のZ位置調整ユニットとを含む、光学ヘッド。 - 請求項6において、
前記第1のZ位置調整ユニットは、前記第1のレーザー光供給ユニットとともに前記第1のXY位置調整ユニットを介して前記第1のフレームに固定され、
前記第2のZ位置調整ユニットは、前記第2のレーザー光供給ユニットとともに前記第2のXY位置調整ユニットを介して前記第1のフレームに固定されている、光学ヘッド。 - 請求項7において、
前記第1のレーザー光供給ユニットは、前記第1のコリメータレンズに対して前記第1のレーザー光の光軸に対する垂直な2次元方向の位置を調整するユニットを含み、
前記第2のレーザー光供給ユニットは、前記第2のコリメータレンズに対して前記第2のレーザー光の光軸に対する垂直な2次元方向の位置を調整するユニットを含む、光学ヘッド。 - 請求項5ないし8のいずれかにおいて、
前記第1のレーザー光供給ユニットは、前記第1のレーザー光を供給するレーザー素子または前記第1のレーザー光を供給する光ファイバーとの第1のコネクタを含み、
前記第2のレーザー光供給ユニットは、前記第2のレーザー光を供給するレーザー素子または前記第2のレーザー光を供給する光ファイバーとの第2のコネクタを含む、光学ヘッド。 - 請求項5ないし9のいずれかにおいて、
前記第1の対物レンズの光軸方向の位置を前記第1のフレームに対して調整するフォーカス調整ユニットを含む、光学ヘッド。 - 請求項1ないし10のいずれかにおいて、
前記第1のポイントにサンプルが固定される第4のモジュールを有し、
前記第4のモジュールは、前記第3のフレームに固定される高剛性の第4のフレームと、前記第4のフレームに固定されたサンプルホルダーとを含む、光学ヘッド。 - 請求項11において、
前記第4のモジュールは、前記サンプルホルダーの向きを調整した後に固定する機構を含む、光学ヘッド。 - 請求項1ないし12のいずれかにおいて、
前記第2の光学システムの前記複数の光学素子は、前記測定対象の光を集光する第2の対物レンズから、前記測定対象の光を受光する受光ユニットまでの光学経路を構成する複数の光学素子を含む、光学ヘッド。 - 請求項13において、
前記受光ユニットの前記測定対象の光の光軸に対する垂直な2次元方向の位置を前記第2のフレームに対して調整する第3のXY位置調整ユニットと、
前記第2の対物レンズの前記測定対象の光の光軸方向の位置を前記第2のフレームに対して調整するフォーカス調整ユニットとを含む、光学ヘッド。 - 請求項13または14において、
前記受光ユニットは、前記測定対象の光を検出する検出器、または前記測定対象の光を検出器へ導く第3の光ファイバーとの第3のコネクタを含む、光学ヘッド。 - 請求項1ないし15のいずれかにおいて、
前記測定対象の光は、誘導ラマン散乱またはコヒーレントアンチストークスラマン散乱の少なくともいずれかによって発せられた光を含む、光学ヘッド。 - 請求項1ないし15のいずれかに記載の光学ヘッドと、
前記複数の光を出力する光源ユニットと、
前記測定対象の光を検出する検出器とを有する計測装置。
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