JP2011515177A

JP2011515177A - 対象物の検査のための光学セットおよび光学的デバイスを使用した対象物を検査するための方法

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Publication number: JP2011515177A
Application number: JP2011501313A
Authority: JP
Inventors: グルジェゴルズベッドナークジィク; グルジェゴルズスルサークジィク; パウエルウォジュダス
Original assignee: オプトポールテクノロジースポルカアクシジナ
Priority date: 2008-03-25
Filing date: 2009-03-23
Publication date: 2011-05-19
Also published as: WO2009118620A1; US20110090509A1; EP2257786A1; CN101981436A; PL384779A1

Abstract

アタッチメントを備えた光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置であって、光ビームの生成デバイス、光ビームを少なくとも１つのリファレンスビームおよび、レンズを通って検査対象物に導かれる少なくとも１つのオブジェクトビームに分割するデバイス、少なくとも１つのリファレンスビームおよび対象物で散乱されてレンズを通って戻ってくる少なくとも１つのオブジェクトビームから合成ビームを生成するデバイス、合成ビームのスペクトル解析用のデバイス、およびアタッチメントを含み、該アタッチメントは、ＳＯＣＴデバイスのレンズと検査される対象物の間に位置する補足的光学系（４５４）である点に特徴を有する装置。
【選択図】図４

Description

本発明は、光学的断層撮影法により対象物を検査するための装置、光学的断層撮影法により対象物を検査するためのアタッチメントを備えた装置、および光学的断層撮影法により対象物を検査する方法に関する。

対象物を撮像(imaging)するための装置としては、対象物を撮像するための光断層撮像（optical tomography）装置がある。光断層撮像は対象物とそれらの構造を撮像するための技術のうちの１つであり、リファレンス光ビームと、対象物により後方散乱されたオブジェクト光ビームとの干渉によって生成された信号の分析に基づく。光学的断層撮像法を使用して、対象物の像を描く装置および／または対象物の像を描くための方法は、種々の実施態様として知られている。また、それらの多数は追加の装置が提供される。例えば、国際特許公開番号、ＷＯ２００７／１４８３１０、「調整システムを備えた光周波数領域断層撮像用装置、光周波数領域断層撮像用装置の調整システム、および光周波数領域断層撮像用装置の調整方法」は、調整システムを備えた光周波数領域断層撮像用の装置として知られている。対象物の検査は、対象物により散乱され、一部が反射されて対象物へ戻ってきたオブジェクト光ビームとリファレンス光ビームの干渉により生成された合成ビームの分析に基づく。合成ビームは分散デバイス（例えば回析格子）に導かれ、次いで、探知装置またはスペクトル・レコーダ（例えば線形のＣＣＤカメラの中で使用される感光性の要素のマトリックス）によって記録される。レコーダによって生成された信号は、通常デジタル信号形式で、計算ユニットに送信される。対象物の軸構造についての情報はたとえばＰＣのような計算ユニットによって行なわれる数値計算によって得られる。検査対象物の撮像の正確さを増加させるために、前述の出願による光周波数領域断層撮像用のデバイスには、自動制御された調整システムが提供される。これは探知装置の少なくとも１つの感光要素と合成ビームのスペクトル・イメージとの相対的配置を、光感受性探知装置要素上にスペクトル・イメージの最適な形で投影が表示されるまで調整する。

本発明のアイデアは、光学的断層撮影法による対象物を検査するためのアタッチメントを備えた装置（ＳＯＣＴデバイス）であって、
光ビーム発生デバイス、光ビームを少なくとも１つのリファレンスビームと、レンズにより検査される対象物に導かれる１つのオブジェクトビームに分割するための手段、少なくとも１つのリファレンスビームと、対象物で散乱されレンズを通って戻ってきた少なくとも１つのオブジェクトビームから合成のビームを生成するデバイス、合成ビームのスペクトル解析用デバイスを含み、ＳＯＣＴデバイスのレンズと検査される対象物の間に配置される補足光学系であるアタッチメントを備える装置に関する。

好適には、ＳＯＣＴデバイスのレンズにはオブジェクトビームのための外部焦点が提供され、ここで対象物が外部から検査される期間、補足光学系のレンズが配置されるか、またはより多くのレンズを含む補足的光学系の第一のレンズが配置され、対象物の後部部分を検査する期間、ＳＯＣＴデバイスのレンズは、ひとみ領域の中にオブジェクトビームのための外部焦点を有している。

補足光学系は、ＳＯＣＴデバイスのレンズに固定されたアタッチメントの内側に配置されるか、または補足光学系に関連したアタッチメントに向き合って配置された、ＳＯＣＴデバイスのレンズにマウントされた円筒状の要素が提供されたＳＯＣＴデバイスの、レンズ上にマウントされたアタッチメントの中に配置される。

好適には、アタッチメントは、ＳＯＣＴデバイスのレンズに対して補足光学系の位置の変化を防止する少なくとも１つの調節および／またはマウンティングシステムを装備している。好適には、調節および／またはマウンティングシステムは、円筒状の要素およびケーシングを接続するフランジを備え、該フランジの内側には補足光学系および／または少なくとも１つの垂直のマウンティング要素および／または水平のマウンティング要素が配置され、補足光学系の垂直面での移動、および／またはアタッチメントの軸に沿った移動を可能とし、および／または円筒状の要素内へねじ込まれる少なくとも１つのねじを有し、レンズと接触する場合に、補足光学系がアタッチメントの軸に垂直な面を移動することができるようにする。

円筒状の要素にはねじが切られたパイプを提供でき、スリーブの形をしているケーシングを接続し、その内側には補足光学系が配置されるか、またはねじが切られた孔が提供され、外側にねじが切られたスリーブの形をしているケーシングと接続することができ、その中には補足光学系が配置される。

好適には、補足光学系は、単一レンズ、レンズのアセンブリ、または異なる焦点距離を備えたレンズのアセンブリからの単一レンズである。

円筒状の要素の内部に、弾性で変形可能な円筒状のインサートを配置することができる。あるいは、円筒状の要素には、円筒状の要素のジャケットの厚さ方向の全体にわたりノッチを提供できる。

さらに、本発明のアイデアは、光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置のためのアタッチメントであり、該ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウントできる形式であり、ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウント可能な円筒状の要素を備え、該円筒状の要素に対してアタッチメントの反対側に位置する補足光学系を備える。

さらに、本発明のアイデアは、アタッチメントを備えた光学的断層撮影装置を使用する、対象物の検査用のデバイスによる対象物の検査のための方法であって、
光ビームの生成デバイス、光ビームを少なくとも１つのリファレンスビームおよびレンズを通って検査対象物に導かれる少なくとも１つのオブジェクトビームに分割するデバイス、少なくとも１つのリファレンスビームおよび対象物により散乱され、レンズを通って戻ってきた少なくとも１つのオブジェクトビームから合成ビームを生成するデバイス、
合成ビームおよびアタッチメントのスペクトル解析用のデバイスを含み；
該ＳＯＣＴデバイスにより外部から対象物を検査する間には、アタッチメントはＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウントされ、補足的光学系のレンズまたは１つ以上のレンズを含む補足光学系の第一のレンズが、ＳＯＣＴデバイスのレンズの外部焦点(external focus)に置かれ、対象物の後部部分を検査する間には、アタッチメントはＳＯＣＴデバイスのレンズから取り除かれる方法に関する。

現在知られている光学的デバイスは、透明または半透明な対象物、たとえば目の総合的な評価をすることができない。本発明は図面中の実施態様において示される：

図１は、デバイスのレンズ上にマウントされたアタッチメントを備えたスペクトル光学的断層撮影法による、対象物の撮像用のデバイスの側面図を示す；図２は、対象物の後部部分を走査する際の光ビームのルートの概要を示す；図３は、対象物の前部部分を走査する際の光ビームルートの概要を示す；図４は、１つのアタッチメントの変形の側面図を示す；図５は、別のアタッチメントの変形の側面図を示す。

スペクトルの光学的断層撮影法による対象物の検査用のデバイスである、ＳＯＣＴデバイスと略号で記載されるデバイスには、ＳＯＣＴデバイスのレンズに固定されたアタッチメントが提供され、該アタッチメントはＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウントされることができ、本発明の解決策を適用することができ、複数のサブアセンブリーを含むことができるが、図面および明細書においてはＳＯＣＴデバイスは簡略に記載され、既存のスペクトル光学的断層撮影法による対象物の検査のためのアセンブリには含まれないアタッチメントについて詳しく説明される。すべての図面上の等価な要素は、同じ数の参照数字、または第一の桁が図番号を参照する参照数字によってラベルされる。

最も単純な実施態様では、ＳＯＣＴデバイス１００は上部部分１１０と、パワーサプライおよび制御装置を含む下部部分１２０を備え、ビームスプリッターによって２つのアーム内へ分割される光ビームを生成する光源を含む。オブジェクトアームでは、レンズ１３０によって、形成された光ビームは検査された対象物の内部に進入し、次にその内部構造により後方散乱され、レンズ１３０を通ってビームスプリッターへ戻る。同時に、リファレンスアーム中の光は固定されたリファレンス鏡により反射され、ビームスプリッターへ戻る。その中でリファレンスビームが生成され、次に、スペクトロメータによって処理される。スペクトロメータでは、合成ビームが回析格子に導かれ、それは、干渉じまで調整された光スペクトルへ合成のビームを分割し、該スペクトルは検出システムで記録される。検出システムによって生成された電気信号は、計算ユニット１４０に送信される。検査された対象物の軸方向の構造に関する情報は、計算ユニット１４０（例えばＰＣ）の数値計算に基づいて得られる。ＳＯＣＴデバイス１００は配線によって計算ユニットと連絡される。それは、さらにＳＯＣＴデバイス１００のパワーサプライ・ワイヤを含むことができる。検査された対象物の構造のイメージはスクリーン１４１に表示できる。ＳＯＣＴデバイスの作業に必要な前述のシステムの多く、およびサブアセンブリーは、ＳＯＣＴデバイスのケーシングの内部に置かれる。

ＳＯＣＴデバイス１００は、典型的なＳＯＣＴデバイスに比較して、アタッチメントが追加で提供される。それは、ＳＯＣＴデバイスのレンズと検査される対象物の間に配置される補足的光学系であり、図１の中で示される。それは、ＳＯＣＴデバイス１００のレンズ１３０に固定された、補足的光学系１５４を備えたアタッチメント１５０である。
図１の中で示されるアタッチメント１５０には、ＳＯＣＴデバイス１００のレンズ１３０上にマウントされた円筒状の要素１５１、およびボディの内部、または、円筒状の要素１５１と一体の孔を構成するかまたは円筒状の要素と接続されたケーシングの内部に置かれた補足光学系１５４が提供される。さらに、アタッチメントには調整システムを提供できる。それは、アタッチメント１５０の対称軸１５３がＳＯＣＴデバイス１００のレンズ１３０の軸に対応するように、ＳＯＣＴデバイス１００のレンズ１３０に対してアタッチメント１５０が配置されることを可能とする。図２は、対象物の後部部分を走査する際に、付加装置のないＳＯＣＴデバイスのオブジェクトアーム内での光ビームのルートを示す。オブジェクトアーム内の光ビームまたは光ビームのオブジェクトアーム、またはオブジェクトビーム２２１は、ビームスプリッター２１０から、オブジェクトビーム２２１を形成する第一のシステム２２０を通る。ビームのルートを変化させるための光学系２３０では、たとえば少なくとも１つのミラーが回転可能なメカニズムの上に配置され、オブジェクトビームを形成する第２のシステム２４０、およびプロジェクト・ビームを形成する３番目のシステム２５０が配置され、検査される対象物２７０に導かれる。オブジェクトビームを形成する焦点距離ｆ１の第２のシステム２４０、およびオブジェクトビームを形成する焦点距離ｆ２の３番目のシステム２５０は、オブジェクトビームを形成する光学素子のアセンブリ２００を構成できる。そのルートは、ＳＯＣＴデバイスの用途に依存する。進行方向を変えた後のオブジェクトビーム２２１は、第一の焦点２４０に集まる。また、３番目の光学系２５０を通った後、第２の焦点２５１に集まる。これはＳＯＣＴデバイスのレンズの全光学系の外部焦点を構成する。レンズの全光学系の外部焦点２５１内には、光学素子（例えば目２７０のひとみ２６０）が存在する。それ自身の焦点距離を持ったひとみを通り、オブジェクトビームは検査される対象物（例えば目２７０の眼底２７１）の後ろの部分に導かれる。図２中のオブジェクトビーム２２１の軸２３１は、ひとみ２６０の軸２６１および目２７０の軸２７５に一致する。

図３は対象物の前部を走査する光ビームのルートの概要図を示し、オブジェクトビームを形成する光学素子のアセンブリによって形成され、図２の中で示される光学素子のアセンブリ２００に類似するレンズの光学系３００を含み、オブジェクトビームを形成する光学素子の合成の焦点距離ｆ３の補足的光学アセンブリ３０５を含み、図３中のそれは、光学素子または補足光学系３８０である。オブジェクトアーム中の光ビームは、図２の中で示される解決策と類似し、ビームスプリッターから第一のシステム３２０を通り、オブジェクトビームを形成する。ビームのルートを変更するための光学系３３０、オブジェクトビームを形成する第２のシステム３４０を通り、第３の焦点３５１に集まる。第３の焦点３５１はＳＯＣＴデバイスのレンズの全光学系の外部焦点である。レンズの全光学系の外部焦点には、オブジェクトビームのルートを変更する、補足光学系３８０が存在する。それ自身の焦点距離ｆ３を備えたこの補足光学系３８０のおかげで、オブジェクトビームは、たとえば目３７０の角膜の外側表面３７２である対象物の前部に導かれる。対象物の前部を走査している間、対象物（例えば目３７０のひとみ３６０）の内部光学要素は、オブジェクトビームの形成のために使用されない。

図４は、アタッチメント４５０の変形のうちの１つの側面図を示す。そのボディには、ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウントされた、円筒状の要素４５１が提供される。さらに、アタッチメントには、アタッチメント４５０の移動を可能にする調節および／またはマウンティング・システム４９０が提供される。また、これはＳＯＣＴデバイスのレンズに対して適切に補足光学系４５４の位置を決めることを可能にする。調節および／またはマウンティング・システム４９０のうちの１つにはフランジ４９５、垂直マウンティング要素４９１、４９２、および水平のマウンティング要素４９３、４９４が提供される。これはアタッチメント４５０の軸に沿った移動、または垂直面でのアタッチメントの移動を防ぐ。フランジ４９５は、補足光学系４５４のケーシング４５３と一体となった孔を構成でき、この全体は円筒状の要素４５１にねじ込まれる。ケーシング４５３には凹部４５６を有する内側エンドからの内側貫通孔が提供される。その内部に、補足光学系４５４が配置され、たとえば図３に記載された合成の焦点距離ｆ３を有する１つまたはいくつかのレンズを含む光学系が置かれる。別の調節および／またはマウンティング・システム４９０には、ねじ４９６、４９７が提供され、ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウント可能な円筒状の要素４５１内へねじで留められる。ねじ４９６、４９７は、ＳＯＣＴデバイスのレンズに対する所定位置にアタッチメント４５０を固定することを可能にする。また必要な場合には、円筒状要素４５１中のねじをより深く、またはより浅くねじ込むことによって、ＳＯＣＴデバイスのレンズの軸に対して垂直なアタッチメント４５０の垂直位置を決定することができる。ＳＯＣＴデバイスのレンズ上のアタッチメント４５０のマウンティングを可能にするために、アタッチメント４５０の円筒状の部屋４５９の直径ｄ１は、レンズの外部直径Ｄよりわずかに大きいかまたはほとんど等しい。その結果、アタッチメント４５０の円筒状の部屋４５９の内孔と、ＳＯＣＴデバイスのレンズとの摺動可能なフィッティングを保証する。図４の中で示される別の解決策では、円筒状の要素には、この円筒状の要素４５１のジャケットの厚さ方向の全体にわたり、ノッチ４５８を提供することができ、これはＳＯＣＴデバイスのレンズ上へのアタッチメント４５０のマウンティングを可能にする、この解決策でのアタッチメント４５０の円筒状の部屋４５９の直径ｄ１は、レンズの外部直径Ｄより小さい。アタッチメント４５０をマウントする際に、ノッチを増加すると、それは直径ｄ１の増加に結びつき、それはＳＯＣＴデバイスのレンズ上へのアタッチメント４５０のマウンティングを可能にする。

図５は、アタッチメント５５０の別の変形の側面図を示す。そのボディには、ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウント可能な円筒状の要素５５１が提供される。さらに、アタッチメント５５０には、調節および／またはマウンティング・システム５５０を提供でき、これはＳＯＣＴデバイスのレンズに対して、アタッチメント５５０の適正な垂直方向および長さ方向の位置決めを可能にする。調節および／またはマウンティング・システム５９０のうちの１つにはフランジ５９５、垂直のマウンティング要素５９１、５９２および水平のマウンティング要素５９３、５９４が提供され、それはアタッチメント５５０の軸５５５に沿ったアタッチメントの移動、および水平面におけるアタッチメント５５０の移動を可能にする。フランジ５９５には、外部に細かいねじ５５８を備えた突き出した円筒状のパイプ５５７が提供され、また垂直のマウンティング要素５９１、５９２、および水平のマウンティング要素５９３、５９４のために穴が提供され、フランジ５９５の円筒状の要素５５１への固定を可能にする。ボディ４５３および円筒状のパイプ５５７には、内部の貫通穴が設けられ、オブジェクトビームはそれを通り抜けることができる。フランジが無い場合、または垂直および水平のマウンティング要素がない場合、外部に細かいねじ５５８を備えた突き出した円筒状のパイプ５５７は、円筒状の要素５５１に直接固定されるか、あるいは円筒状のパイプ５５７は、円筒状の要素５５１と一体の孔を形成する。スリーブ５５３は円筒状の要素５５７上にねじで留められる。該スリーブは一方にねじが切られた内部孔を有し、このねじは、フランジ５９５の円筒状の要素５５７上のノッチのある雄ねじ５５８の輪郭に追従する。スリーブ５５３と向き合い、その外側に、凹部５５６が存在し、その内部に補足的光学系５５４、たとえば単一レンズまたはいくつかのレンズを含む光学系であって、その最初のレンズは焦点距離ｆ３を有している光学系が配置される。さらに、スリーブに雄ねじを提供し、内部の孔に雌ねじを切った円筒状の要素の中にねじで留めるという解決策も可能である。別の調節および／またはマウンティング・システム５９０には、弾性的に変形可能な材料（例えばゴム）で作られた、弾性で変形可能な円筒状のインサート５５２手段により、ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウントされた円筒状の要素５５１をねじ留めする、ねじ５９６、５９７が提供される。この解決策におけるねじ５９６、５９７は、アタッチメント４５０のための可能な付加的な固定手段を構成し、アタッチメントをＳＯＣＴデバイスのレンズに対して所定位置に固定する。この場合にはマウンティング要素は、円筒状の要素５５１の内部に置かれた弾性の変形可能な円筒状のインサート５５２である。弾性の変形可能なインサート５５２の外側直径ｄ２は、アタッチメント４５０からのインサート５５２の滑り出しを防ぐために、アタッチメント４５０の内部円筒状の部屋４５９の直径よりわずかに大きい。同時に、内側直径ｄ３は、レンズの外部直径Ｄよりわずかに小さい。その結果、スリーブ５５２の弾性変形により、ＳＯＣＴデバイスのレンズ上へのアタッチメント５５０の堅いマウンティングを保証する。

解決策が、本発明によって選択された実施態様の形をして示された。しかしながら、その例は本発明を制限しない。解決策の材料部分を変更せずに、いくつかの修正をなすことができることは明白である。示された実施態様は、本発明によって解決策を適用する可能性のすべてではない。

Claims

アタッチメントを備えた光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置（ＳＯＣＴデバイス）であって、光ビームの生成デバイス、光ビームを少なくとも１つのリファレンスビームおよび、レンズを通って検査対象物に導かれる少なくとも１つのオブジェクトビームに分割するデバイス、少なくとも１つのリファレンスビームおよび対象物で散乱されてレンズを通って戻ってくる少なくとも１つのオブジェクトビームから合成ビームを生成するデバイス、合成ビームのスペクトル解析用のデバイス、およびアタッチメントを含み、
該アタッチメントは、ＳＯＣＴデバイス（３００）のレンズと検査される対象物（３７０）の間に位置する補足的光学系（１５４、３８０、４５４、５５４）である点に特徴を有する装置。
オブジェクトビームを集めるために、ＳＯＣＴデバイスのレンズに外部焦点が提供され、外部から対象物を検査する間、補足光学系のレンズ（３８０）が配置され、該デバイスが１つ以上のレンズを含む、請求項１記載の装置。
ＳＯＣＴデバイスのレンズにオブジェクトビームを集める外部焦点（２５１）が提供され、対象物の後部部分を検査する間、ひとみ（２６０）の領域が位置する、請求項１記載の装置。
ＳＯＣＴデバイス（１００）のレンズ（１３０）の上にマウントされたアタッチメント（１５０、４５０、５５０）の内部に、補足光学系（１５４、４５４、５５４）が配置される、請求項１または２記載の装置。
補足光学系（１５４、４５４、５５４）がＳＯＣＴデバイス（１００）のレンズ上にマウントされたアタッチメント（１５０、４５０、５５０）内に配置され、該ＳＯＣＴデバイス（１００）が、補足光学系（１５４，４５４，５５４）に関連するアタッチメント（１５０、４５０、５５０）に向き合って配置された、ＳＯＣＴデバイス（１００）のレンズの上にマウントされた円筒状の要素（１５１、４５１、５５１）を含む、請求項１、２または４記載の装置。
少なくとも１つの調節および／またはマウンティング・システム（４９０）がアタッチメントに提供され、ＳＯＣＴデバイスのレンズに対して補足的光学系（４５４）の移動を可能にする、請求項４または５記載の装置。
調節および／またはマウンティング・システム（４９０）には、円筒状の要素（４５１）とケーシング（４５６）を接続するフランジ（４９５）が提供され、フランジの内部に補足的光学系（４５４）、および少なくとも１つの垂直のマウンティング要素（４９１，４９２）および／または水平のマウンティング要素（４９３，４９４）が提供され、補足的光学系（４５４）の、垂直面および／またはアタッチメント（４５０）の軸（４５５）に沿った移動を防ぐ、請求項６記載の装置。
調節および／またはマウンティング・システム（４９０）に、円筒状の要素（４５１）内にねじ込まれる少なくとも１つのねじ（４９６、４９７）が提供され、それはレンズに接して、アタッチメント（４５０）の軸に垂直な面上での補足的光学系（４５４）の移動を可能にする、請求項６記載の装置。
円筒状の要素（５５１）に、スリーブ（５５６）の形をしているケーシングを接続するねじが切られたパイプ（５５７）が提供され、その内側に補足的光学系（５５４）が配置される、請求項４、５、６、７、または８記載の装置。
円筒状の要素に、雄ねじを有するスリーブの形をしているケーシングと接続する雌ねじを有する孔が提供され、その内側に補足的光学系（５５４）が配置される、請求項４、５、６、７、または８記載の装置。
補足光学系（１５４、４５４、５５４）が単一のレンズ、またはレンズのアセンブリー、または異なる焦点距離を備えたレンズのアセンブリーからの単一レンズである、請求項１、２、４、５、６、７、８、９または１０記載の装置。
円筒状の要素（５５１）の内部に、弾性の変形可能な円筒状のインサート（５５２）が存在する、請求項４、５、６、７、８、９、１０または１１記載の装置。
円筒状の要素（４５１）に、円筒状の要素（４５１）のジャケットの厚さ方向全体にわたりノッチ（４５８）が提供される、請求項４、５、６、７、８、９、１０、１１または１２記載の装置。
光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置（ＳＯＣＴデバイス）のためのアタッチメントであって、ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウント可能なアタッチメント（１５０，４５０、５５０）の形態であり、該ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウント可能な円筒状の要素（１５１、４５１、５５１）、および該円筒状の要素に関連するアタッチメントに向き合って配置される補足的光学系（１５４、４５４、５５４）を含む、アタッチメント。
アタッチメントに少なくとも１つの調節および／またはマウンティング・システム（４９０）が提供され、ＳＯＣＴデバイスのレンズに対する補足的光学系（４５４）の移動を可能にする、請求項１４記載のアタッチメント。
円筒状の要素（５５１）に、スリーブ（５５６）の形をしているケーシングを接続するねじが切られたパイプ（５５７）が提供され、その内部に補足的光学系（５５４）が配置される、請求項１４または１５記載のアタッチメント。
円筒状の要素（５５１）の内側に、弾性の変形可能な円筒状のインサート（５５２）が存在する、請求項１４、１５または１６記載のアタッチメント。
円筒状の要素（４５１）に、円筒状の要素（４５１）のジャケットの厚さ方向の全体にわたりノッチ（４５８）が提供される、請求項１４、１５、１６または１７記載のアタッチメント。
光ビームの生成デバイス、光ビームを少なくとも１つのリファレンスビームおよび、レンズを通って検査対象物に導かれる少なくとも１つのオブジェクトビームに分割するデバイス、少なくとも１つのリファレンスビームおよび対象物で散乱されてレンズを通って戻ってくる少なくとも１つのオブジェクトビームから合成ビームを生成するデバイス、合成ビームのスペクトル解析用のデバイス、およびアタッチメントを含む、アタッチメントを備えた光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置（ＳＯＣＴデバイス）による対象物の検査方法であって、
該ＳＯＣＴデバイスにより外部から対象物を検査する間には、アタッチメントはＳＯＣＴデバイスの上にマウントされ、該補足的光学系のレンズまたは１つ以上のレンズを含む補足光学系の第一のレンズが、ＳＯＣＴデバイスのレンズの外部焦点に置かれ、対象物の後部部分を検査する間には、アタッチメントはＳＯＣＴデバイスのレンズから取り除かれる、方法。