JP6645902B2 - 粒子状物質検出装置 - Google Patents
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Description
。
2は、縦断面を見たときに、底面および天井面に対応する線が、側面(壁面)に対応する線よりも長い。流路2は底面および天井面を主面として有している。
2:流路
3:電極
4:発熱抵抗体
100:粒子状物質検出装置
Claims (6)
- 内部に配列された複数の流路を有する絶縁基体と、該絶縁基体に前記流路に沿って埋設された静電容量形成用の複数の電極とを備えており、
前記複数の電極は隣り合う電極同士の主面が対向するように配列されているとともに、前記複数の電極の前記隣り合う電極同士のそれぞれの間に前記複数の流路が配列されており、
前記複数の流路のそれぞれが主面を有するとともに、前記複数の流路の主面が前記複数の電極の主面に沿っており、
前記複数の流路の進行方向に垂直な断面を見たときに、前記隣り合う電極同士の幅よりも前記複数の流路の幅が大きいことを特徴とする粒子状物質検出装置。 - 前記絶縁基体に前記複数の電極に沿って発熱抵抗体が埋設されていることを特徴とする請求項1に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記複数の流路の進行方向に垂直な断面を見たときに、前記複数の流路の幅よりも前記発熱抵抗体の幅が大きいことを特徴とする請求項2に記載の粒子状物質検出装置。
- 内部に流路を有する絶縁基体と、該絶縁基体に前記流路を挟むとともに前記流路に沿って埋設された静電容量形成用の第1電極および第2電極とを備えており、前記第1電極の主面および前記第2電極の主面が対向しており、
前記流路が主面を有するとともに、前記流路の主面が前記第1電極の主面および前記第2電極の主面に沿っており、
前記流路の進行方向に垂直な断面を見たときに、前記第1電極の幅および前記第2電極の幅よりも前記流路の幅が大きいことを特徴とする粒子状物質検出装置。 - 前記絶縁基体に前記第1電極に沿って発熱抵抗体が埋設されていることを特徴とする請求項4に記載の粒子状物質検出装置。
- 前記流路の進行方向に垂直な断面を見たときに、前記流路の幅よりも前記発熱抵抗体の幅が大きいことを特徴とする請求項5に記載の粒子状物質検出装置。
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