JP6640138B2 - 渦流探傷プローブ - Google Patents

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Description

本発明は、渦流探傷プローブに関する。
配管等の金属材料からなる部材における傷や減肉などの欠陥を非破壊で検査する方法として渦流探傷方法(ECT;Eddy Current Testing)が知られている。この渦流探傷方法では、励磁用コイルにより検査対象の表面に渦電流を発生させて、この渦電流の影響による検出用コイルの電圧変化(又はインピーダンス変化)を観察する。これにより、検査対象に生じている欠陥が検知される。
渦流探傷方法で用いられる渦流探傷プローブが、例えば、特許文献1に記載されている。特許文献1に記載の渦流探傷プローブは、同一面上に複数の励磁用コイル及び検出用コイルを配置したマルチコイル型のプローブである。
特許第5922633号公報
ところで、このようなプローブでは、励磁用コイルに対する欠陥の位置によって検出性能が低下する可能性がある。特に励磁用コイルと検出用コイルとの間に欠陥が位置している場合、欠陥の検出性能が低下する。そのため、励磁用コイルと検出用コイルとの間に位置する欠陥を高い精度で検出することが望まれている。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、励磁用コイルと検出用コイルとの間に位置する欠陥を高い精度で検出可能な渦流探傷プローブを提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明の第一態様に係る渦流探傷プローブは、検査対象物の検査対象面に接近させて前記検査対象物に発生した渦電流の変化を検出して探傷検査を行う渦流探傷プローブであって、交流磁場を発生させて前記検査対象物に渦電流を生じさせる複数の励磁用コイルと、差動接続される複数の検出用コイルと、を備え、前記複数の励磁用コイルは、第一励磁用コイルと、前記第一励磁用コイルに対して間隔を空けて配置される第二励磁用コイルとを有し、前記複数の検出用コイルは、前記第一励磁用コイルの中心と前記第二励磁用コイルの中心とを結ぶ第一中心線と交差する第二中心線上に配置される第一検出用コイルと、前記第二中心線上であって、前記第一検出用コイルに対して前記第一中心線を基準に逆側に配置される第二検出用コイルとを有し、前記励磁用コイル及び前記検出用コイルは、互いに近づくにしたがって、前記検査対象面に向かうように傾斜して配置されている。
このような構成によれば、励磁用コイル及び検出用コイルが、互いに近づくにしたがって、検査対象面に向かうように傾斜している。これにより、励磁用コイル及び検出用コイルを傾斜させずに同一面上で配置した場合に比べて、励磁用コイル及び検出用コイルの間に生じる渦電流のバランスを乱すことができる。その結果、検査対象物に欠陥がある場合に、渦電流に外乱が生じ易くなり、検出用コイル間で生じる電圧に差が生じ易くなる。
また、本発明の第二態様に係る渦流探傷プローブでは、第一態様において、前記励磁用コイル及び前記検出用コイルは、前記励磁用コイル及び前記検出用コイルの間の仮想水平面を境界として対称となるように傾斜していてもよい。
このような構成とすることで、励磁用コイル及び検出用コイルの間に生じる渦電流をバランスよく乱すことができる。その結果、検査対象物に欠陥がある場合に、渦電流に外乱が生じ易くなり、検出用コイル間に生じる電圧により差が生じ易くなる。
また、本発明の第三態様に係る渦流探傷プローブでは、第一態様又は第二態様において、前記第二検出用コイルの中心位置は、前記第一励磁用コイルと前記第一検出用コイルとの隣り合う方向において、前記第一励磁用コイルの中心位置と前記第一検出用コイルの中心位置との間に配置されていてもよい。
このような構成とすることで、励磁用コイルに対する検出用コイルの位置が不均一になる。そのため、渦電流のバランスをさらに乱すことができる。その結果、検査対象物に欠陥がある場合に、渦電流に外乱が生じ易くなり、検出用コイル間に生じる電圧により差が生じ易くなる。したがって、欠陥の検出精度を向上させることができる。
また、本発明の第四態様に係る渦流探傷プローブでは、第一態様から第三態様の何れか一つにおいて、筒状のコイルホルダを備え、前記複数の励磁用コイル及び前記複数の検出用コイルは、前記第一励磁用コイルと前記第一検出用コイルとの隣り合う方向が前記コイルホルダの周方向となるように前記コイルホルダの内周面に固定されていてもよい。
このような構成とすることで、筒状の検査対象物を内側から検査する際に、効率よく探傷検査を実施することができる。
また、本発明の第五態様に係る渦流探傷プローブでは、第四態様において、前記励磁用コイル及び前記検出用コイルは、同一のコイルで構成され、前記コイルホルダの全周にわたって均等に離間して複数配置されていてもよい。
このような構成とすることで、筒状の検査対象物を内側から検査する際に、全周にわたって高い精度で効率よく探傷検査を実施することができる。
本発明によれば、励磁用コイルと検出用コイルとの間に位置する欠陥を高い精度で検出することができる。
本発明の第一実施形態に係る渦流探傷プローブの概略構成を示す側面図である。 図1におけるII−II断面を示す断面図である。 本発明の第一実施形態に係る複数の励磁用コイルと複数の検出用コイルと配置を説明する図1の部分的な展開図である。 本発明の実施形態に係る励磁用コイルと検出用コイルとの傾きを説明する断面図である。 シミュレーションでのコイルの形状及び配置を示す模式図である。 シミュレーションでコイルの傾きを示す模式図である。 シミュレーション結果である欠陥の信号値と傾き量との関係を示すグラフである。 本発明の第二実施形態に係る渦流探傷プローブの概略構成を示す側面図である。 本発明の第二実施形態に係る複数の励磁用コイルと複数の検出用コイルと配置を説明する図8の部分的な展開図である。
《第一実施形態》
以下、本発明の第一実施形態について図1から図4を参照して説明する。
渦流探傷プローブ1は、検査対象物8の検査対象面81に接近させて検査対象物8に発生した渦電流の変化を検出して探傷検査を行う。渦流探傷プローブ1は、渦流探傷にて検査対象物8の傷や減肉を検出する。以下では、傷や減肉を総称して欠陥と表記する。本実施形態の渦流探傷プローブ1は、コイルCが二段にわたってアレイ上に配置されたマルチコイル式のプローブである。検査対象物8としては、例えば、金属製の円筒状をなす配管があげられる。本実施形態の渦流探傷プローブ1は、図1に示すように、コイルホルダ2と、複数の励磁用コイル3と、複数の検出用コイル4と、を備えている。
コイルホルダ2は、中心軸Aに沿って延びる筒状をなしている。本実施形態のコイルホルダ2は、図2に示すように、中心軸Aと直交する断面が正八角形状をなしている。コイルホルダ2は、図1に示すように、中心軸Aの延びる軸線方向Daの中間位置から離れるにしたがって次第に断面が小さくなるように縮径している。コイルホルダ2の内周面及び外周面には、励磁用コイル3及び検出用コイル4が固定されている。コイルホルダ2は、複数のホルダ本体21を有している。
ホルダ本体21は、台形平板状をなしている。ホルダ本体21は、長辺と短辺とが平行な左右対称な台形状をなしている。ホルダ本体21の長辺をコイルホルダ2の軸線方向Daの中間位置とするように、複数のホルダ本体21は組み合わされている。複数のホルダ本体21は、軸線方向Daで隣接する他のホルダ本体21に近づくにしたがって中心軸Aを中心とする径方向Drの外側に向かって突出するように傾斜して組み合わされている。つまり、ホルダ本体21は、長辺から短辺に向かうにしたがって中心軸Aに近づくように、軸線方向Daに対して傾斜して配置されている。さらに、複数のホルダ本体21は、中心軸Aを中心とする周方向Dcで隣接する他のホルダ本体21に近づくにしたがって径方向Drの外側に向かって突出するように傾斜して組み合わされている。その結果、コイルホルダ2では、ホルダ本体21同士の接続部分が中心軸Aを中心とする径方向Drの外側に向かって凸となっている。
複数の励磁用コイル3は、交流磁場を発生させて検査対象物8に渦電流を生じさせる。本実施形態の複数の励磁用コイル3は、第一励磁用コイル31と第二励磁用コイル32とを有している。励磁用コイル3は、交流電流を供給する発振器(不図示)に接続されている。励磁用コイル3は、電線を巻き回した巻き線コイルを円環状に整形したものが用いられている。
なお、第一励磁用コイル31及び第二励磁用コイル32の各々を区別する必要がない場合には単に励磁用コイル3と称する。また、第一励磁用コイル31及び第二励磁用コイル32をそれぞれ区別する必要がある時には、第一励磁用コイル31、第二励磁用コイル32と称する。後述する検出用コイル4についても同様である。
複数の検出用コイル4は、差動接続される。本実施形態の複数の検出用コイル4は、第一検出用コイル41と第二検出用コイル42とを有している。検出用コイル4は、励磁用コイル3と同様に、電線を巻き回した巻き線コイルを円環状に整形したものが用いられている。差動接続されている1対の検出用コイル4はブリッジ回路(不図示)に接続されている。一対の検出用コイル4に発生する電圧が異なると、ブリッジ回路から欠陥を検知したとの信号が出力される。
本実施形態の第一励磁用コイル31、第二励磁用コイル32、第一検出用コイル41、及び第二検出用コイル42は、電磁気的な特性が同じ同一のコイルCで構成されている。複数の励磁用コイル3及び複数の検出用コイル4は、第一励磁用コイル31と第一検出用コイル41との隣り合う方向が周方向Dcとなるようにコイルホルダ2の内周面に固定されている。複数の励磁用コイル3及び検出用コイル4は、コイルホルダ2の全周にわたって均等に離間して複数配置されている。複数の励磁用コイル3及び検出用コイル4は、コイルホルダ2の内周面に第一励磁用コイル31と第二検出用コイル42との隣り合う方向が軸線方向Daとなるように固定されている。
具体的には、本実施形態の渦流探傷プローブ1では、軸線方向Daに二つのコイルCを配列し、周方向Dcに八つのコイルCが配列されている。したがって、本実施形態では、16個のコイルCが、軸線方向Da及び周方向Dcにアレイ状に配置されている。16個のコイルCは、全て同じ電磁気特性を備えている。コイルCは、一つのホルダ本体21に対して一つのみ配置されている。
渦流探傷プローブ1では、周方向Dcに2列及び軸線方向Daに2行に設けられて最も近くに配置された4個のコイルCが最小単位(プローブユニットU)とされて一つのチャンネルが構成されている。マルチコイル式の渦流探傷プローブ1では、周方向Dcで隣り合う複数列のコイルCの中の一列を重複させながら複数のチャンネルが構成されている。したがって、本実施形態のコイルCは、予め検出用コイル4、励磁用コイル3というように機能が定められているのではなく、同じコイルCが検出用コイル4として機能することがあれば、励磁用コイル3として機能することもある。各々のコイルCには、スイッチ回路を介してブリッジ回路や発振器と繋がれた電線(不図示)が接続されている。コイルCが励磁用コイル3として機能するときには、電線から励磁電流がコイルCに供給される。また、コイルCが検出用コイル4として機能するときには、一対をなすコイルCの電圧差が対応する電線に反映される。
ここで、一つのプローブユニットUを例に挙げて励磁用コイル3及び検出用コイル4の配置を説明する。図3は、各コイルCの配置を説明するために、コイルホルダ2を展開して平面上に配置した様子の一部を示している。図3に示すように、第二励磁用コイル32は、第一励磁用コイル31に対して間隔を空けて配置されている。具体的には、第二励磁用コイル32は、第一励磁用コイル31に対して周方向Dc及び軸線方向Daに間隔を空けて配置されている。
第一検出用コイル41は、第一励磁用コイル31及び第二励磁用コイル32に対して間隔を空けて配置されている。第一検出用コイル41は、第一励磁用コイル31の中心と第二励磁用コイル32の中心とを結ぶ第一中心線3aと交差する第二中心線4a上に配置されている。本実施形態では、第一中心線3aと第二中心線4aとは、直交している。第一中心線3a及び第二中心線4aは、軸線方向Da及び周方向Dcに対して45°傾斜した方向に延びている。第一検出用コイル41は、軸線方向Daにおける中心位置が第一励磁用コイル31と一致するよう配置されている。第一検出用コイル41は、周方向Dcにおける中心位置が第二励磁用コイル32と一致するよう配置されている。
第二検出用コイル42は、第一励磁用コイル31、第二励磁用コイル32、及び第一検出用コイル41に対して間隔を空けて配置されている。第二検出用コイル42は、第一検出用コイル41に対して第一中心線3aを基準に逆側で、第二中心線4a上に配置されている。第二検出用コイル42は、軸線方向Daにおける中心位置が第二励磁用コイル32と一致するよう配置されている。第二検出用コイル42は、周方向Dcにおける中心位置が第一励磁用コイル31と一致するよう配置されている。
また、図1に示しように、コイルCは互いに近づくにしたがって、径方向Drの外側に向かうように傾斜して配置されている。したがって、図4に示すように、励磁用コイル3及び検出用コイル4は、互いに近づくにしたがって、検査対象面81に向かうように傾斜して配置されている。励磁用コイル3及び検出用コイル4は、励磁用コイル3及び検出用コイル4の間を境界として対称となるように傾斜している。具体的には、軸線方向Daに隣り合う励磁用コイル3及び検出用コイル4は、軸線方向Daに隣接するホルダ本体21同士の接続面を通る仮想水平面Pを基準として対称となるように、コイルホルダ2の中心軸Aに対して同じ大きさの角度で傾斜している。
ここで、第一励磁用コイル31と第二検出用コイル42とを例に挙げてより具体的に説明する。図4に示すように、第一励磁用コイル31の中心位置を通るコイル中心線310と第二検出用コイル42の中心位置を通るコイル中心線410とは、互いに中心軸A及び仮想水平面Pに対して傾斜して配置されている。この際、第一励磁用コイル31のコイル中心線310と第二検出用コイル42のコイル中心線310との中心軸A及び仮想水平面Pに対する角度の大きさは同じとされている。また、第一励磁用コイル31と第二検出用コイル42とは、仮想水平面Pからそれぞれの中心位置までの距離が同じとなる位置に配置されている。また、第二励磁用コイル32及び第一検出用コイル41は、第一励磁用コイル31及び第二検出用コイル42と同様に、互いに中心軸A及び仮想水平面Pに対して傾斜して配置されている。
また、図4では、軸線方向Daを平行な断面を示したが中心軸Aに対して直交する断面では、周方向Dcに隣り合う励磁用コイル3及び検出用コイル4が、互いに傾斜して配置されている。したがって、第一励磁用コイル31及び第一検出用コイル41は、互いに中心軸A及び仮想水平面Pに対して傾斜して配置されている。同様に、第二励磁用コイル32及び第二検出用コイル42は、互いに中心軸A及び仮想水平面Pに対して傾斜して配置されている。
ここで、渦流探傷プローブ1の動作について、周方向Dcで隣り合う三つのコイルC11、C12、及びC13と、これら三つのコイルCに対して軸線方向Daで隣り合う三つのコイルC21、C22、及びC23との六つのコイルCを用いて図3を参照しながら説明する。図3に示すように、渦流探傷プローブ1では、探傷開始当初に、コイルC11、C12、C21、及びC22をプローブユニットU(第一ユニットU1)として用いる。第一ユニットU1の中で、コイルC11を第一励磁用コイル31、コイルC22を第二励磁用コイル32として機能させる。同時にコイルC21を第一検出用コイル41、コイルC12を第二検出用コイル42として機能させる。
第一励磁用コイル31及び第二励磁用コイル32に励磁電流を供給すると、第一励磁用コイル31及び第二励磁用コイル32の表面近傍には1対の渦電流が形成される。これらの渦電流が加算されて強い渦電流(合成渦電流)が第二検出用コイル42から第一検出用コイル41に向かって発生する。この状態で、第一検出用コイル41及び第二検出用コイル42には、各々、互いに逆向きの鎖交磁束が作用する。検査対象物8に欠陥がない場合には、渦電流に外乱が作用しないので、第一検出用コイル41及び第二検出用コイル42に作用する鎖交磁束に差はない。そのため、この鎖交磁束に応じて第一検出用コイル41及び第二検出用コイル42に生じる電圧にも差が生じない。このため、ブリッジ回路からは信号が発生されない。一方、検査対象物8に欠陥がある場合には渦電流に外乱が生じるので、渦電流によって発生する鎖交磁束も不均一な分布となる。そのため、第一検出用コイル41及び第二検出用コイル42に作用する鎖交磁束の和に差が生じる。その結果、第一検出用コイル41及び第二検出用コイル42に生じる電圧に差が生じ、この電圧差によってブリッジ回路から信号が出力される。
第一ユニットU1により必要な時間だけ探傷を行ったならば、次のプローブユニットU(第二ユニットU2)を構成するコイルC12、C13、C22、及びC23に切換えて探傷を行う。このとき、コイルC12が第一検出用コイル41から第一励磁用コイル31と機能を切り替えられ、コイルC23が第二励磁用コイル32として機能する。同時に、コイルC22が第二検出用コイル42から第二励磁用コイル32へと機能を切り替えられ、コイルC13が第二検出用コイル42として機能する。このとき、コイルC13とコイルC22とには交流電流が供給され、コイルC23とコイルC12とでは両者の電圧差が検知される。このようにコイルCの機能を切り替えさせながら、検査対象物8に対して軸線方向Daにコイルホルダ2を移動させて探傷処理を行う。
上記のような渦流探傷プローブ1によれば、第一励磁用コイル31及び第二検出用コイル42が、互いに仮想水平面Pに近づくにしたがって、検査対象面81に近づくように径方向Drの外側に向かって傾斜している。同様に、第二励磁用コイル32及び第一検出用コイル41と、第一励磁用コイル31及び第一検出用コイル41と、第二励磁用コイル32及び第二検出用コイル42とが傾斜して配置されている。これらにより、励磁用コイル3及び検出用コイル4を傾斜させずに同一面上に配置した場合に比べて、励磁用コイル3及び検出用コイル4の間に生じる渦電流のバランスを乱すことができる。その結果、検査対象物8に欠陥がある場合に、渦電流に外乱が生じ易くなり、検出用コイル4間で生じる電圧に差が生じ易くなる。したがって、励磁用コイル3と検出用コイル4との間に位置する欠陥を高い精度で検出することができる。
また、励磁用コイル3及び検出用コイル4が仮想水平面Pに対して同じ角度で傾斜した状態となる。その結果、励磁用コイル3及び検出用コイル4の間に生じる渦電流を励磁用コイル3及び検出用コイル4に対してバランスよく乱すことができる。その結果、検査対象物8に欠陥がある場合に、渦電流に外乱が生じ易くなり、検出用コイル4間に生じる電圧により差が生じ易くなる。したがって、励磁用コイル3と検出用コイル4との間に位置する欠陥をより高い精度で検出することができる。
また、コイルホルダ2に対して、第一励磁用コイル31と第一検出用コイル41との隣り合う方向が周方向DcとなるようコイルCが配置されている。そのため、金属製の配管のような筒状の検査対象物8を内側から検査する際に、効率よく探傷検査を実施することができる。
また、コイルホルダ2の全周に対して周方向Dcに均等にコイルCが配置されている。そのため、筒状の検査対象物8を内側から検査する際に、全周にわたって高い精度で効率よく探傷検査を実施することができる。
ここで、励磁用コイル3及び検出用コイル4が互いに傾斜していることで、欠陥を高い精度で検出することが可能なことを、シミュレーション結果を用いて説明する。
シミュレーションは、図5に示すように、四つの矩形状のコイルC2を模擬して行った。四つのコインC2は、周方向Dc及び軸線方向Daに均等に間隔を空けて配置されている。コイルC2は、互いに近づくにしたがって、周方向Dcから見た際に図6に示すように、外側に向かうように傾斜して配置されている。シミュレーションでは、この四つのコイルC2をプローブユニットUとして扱った。プローブユニットUにおいて、コイルC2の傾き量Xを変化させた場合に、周方向Dcに隣接するコイルC2の間の欠陥Yを検出した際の信号値を算出した。その結果、図7に示すように、傾き量Xが大きくなるにしたがって、欠陥Yの信号値も大きくことが確認された。信号値が大きくなることで、プローブユニットUにおいて、欠陥Yをより高い精度で検出することが可能となる。したがって、本シミュレーション結果により、励磁用コイル3と検出用コイル4とを傾斜させることで、欠陥を高い精度で検出することができることが確認された。
《第二実施形態》
次に、本発明の渦流探傷プローブ1Aの第二実施形態について図8及び図9を参照して説明する。第二実施形態で示す渦流探傷プローブ1Aは、コイルCの配置が第一実施形態と異なっている。したがって、第二実施形態の説明においては、第一実施形態と同一部分に同一符号を付して説明するとともに重複説明を省略する。
図8に示すように、第二実施形態のコイルホルダ2Aは、仮想水平面Pを境界として、軸線方向Daの上部(一方側)と下部(他方側)とでホルダ本体21の周方向Dcの配置が異なっている。具体的には、コイルホルダ2Aは、図9に示すように、軸線方向Daの上部と下部とで、ホルダ本体21の周方向Dcの配置が半周期分ずれている。したがって、下部に配置される第二検出用コイル42の中心位置は、周方向Dcにおいて上部に配置される第一励磁用コイル31の中心位置と第一検出用コイル41の中心位置との間に配置される。本実施形態では、周方向Dcにおける第二検出用コイル42の中心位置は、周方向Dcにおける第一励磁用コイル31の中心位置と第一検出用コイル41の中心位置との真ん中に一致するように配置されている。そのため、本実施形態では、第一中心線3aと第二中心線4aとは、直交せずに傾斜して交差している。
このような渦流探勝プローブによれば、プローブユニットUにおいて一対の励磁用コイル3に対する一対の検出用コイル4の位置が不均一になる。そのため、周方向Dc及び軸線方向Daに対してプローブユニットUでの渦電流のバランスをさらに乱すことができる。特に、アレイ上にコイルCを配置した場合には、軸線方向Daの欠陥を検出するために有効なバランスとなる。その結果、検査対象物8に欠陥がある場合に、渦電流に外乱が生じ易くなり、検出用コイル4間に生じる電圧により差が生じ易くなる。したがって、欠陥の検出精度を向上させることができる。
(実施形態の他の変形例)
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。
なお、渦流探傷プローブ1Aは、本実施形態のように同じコイルCを有するマルチコイル式であることに限定されるものではない。例えば、平板状のコイルホルダ2Aに励磁用コイル3と検出用コイル4とが異なるコイルCとして配置された相互誘導式の渦流探傷プローブ1Aであってもよい。したがって、第一励磁用コイル31、第二励磁用コイル32、第一検出用コイル41、及び第二検出用コイル42は、電磁気的な特性が同じ同一のコイルCであることに限定されるものではなく、それぞれ電磁気的な特性が異なったコイルCであってもよい。
また、励磁用コイル3及び検出用コイル4は、本実施形態のように円環状をなすことに限定されるものではない。励磁用コイル3及び検出用コイル4は、任意の形状で形成されていればよい。励磁用コイル3及び検出用コイル4は、例えば、矩形環状をなしていてもよい。
また、本実施形態では、プローブユニットUにおいて、第一励磁用コイル31、第二励磁用コイル32、第一検出用コイル41、及び第二検出用コイル42の相互間に隙間を設けているが、相互に絶縁されて電気的に間隔が設けられるとみなせれば各コイルCに物理的な隙間を設けなくてもよい。
また、本実施形態では、検査対象物8として、金属製の配管を例に挙げたが、検査対象物8は配管に限定されるものでない。検査対象物8は、渦流探傷を実施可能な様々な部材であってよい。
1、1A 渦流探傷プローブ
2、2A コイルホルダ
A 中心軸
Da 軸線方向
Dc 周方向
Dr 径方向
21 ホルダ本体
3 励磁用コイル
31 第一励磁用コイル
32 第二励磁用コイル
3a 第一中心線
310 コイル中心線
4 検出用コイル
41 第一検出用コイル
42 第二検出用コイル
4a 第二中心線
410 コイル中心線
C、C2 コイル
P 仮想水平面
U プローブユニット
U1 第一ユニット
U2 第二ユニット
8 検査対象物
81 検査対象面

Claims (5)

  1. 検査対象物の検査対象面に接近させて前記検査対象物に発生した渦電流の変化を検出して探傷検査を行う渦流探傷プローブであって、
    交流磁場を発生させて前記検査対象物に渦電流を生じさせる複数の励磁用コイルと、
    差動接続される複数の検出用コイルと、を備え、
    前記複数の励磁用コイルは、
    第一励磁用コイルと、
    前記第一励磁用コイルに対して間隔を空けて配置される第二励磁用コイルとを有し、
    前記複数の検出用コイルは、
    前記第一励磁用コイルの中心と前記第二励磁用コイルの中心とを結ぶ第一中心線と交差する第二中心線上に配置される第一検出用コイルと、
    前記第二中心線上であって、前記第一検出用コイルに対して前記第一中心線を基準に逆側に配置される第二検出用コイルとを有し、
    前記励磁用コイル及び前記検出用コイルは、互いに近づくにしたがって、前記検査対象面に向かうように傾斜して配置されている渦流探傷プローブ。
  2. 前記励磁用コイル及び前記検出用コイルは、前記励磁用コイル及び前記検出用コイルの間の仮想水平面を境界として対称となるように傾斜している請求項1に記載の渦流探傷プローブ。
  3. 前記第二検出用コイルの中心位置は、前記第一励磁用コイルと前記第一検出用コイルとの隣り合う方向において、前記第一励磁用コイルの中心位置と前記第一検出用コイルの中心位置との間に配置される請求項1又は請求項2に記載の渦流探傷プローブ。
  4. 筒状のコイルホルダを備え、
    前記複数の励磁用コイル及び前記複数の検出用コイルは、前記第一励磁用コイルと前記第一検出用コイルとの隣り合う方向が前記コイルホルダの周方向となるように前記コイルホルダの内周面に固定されている請求項1から請求項3の何れか一項に記載の渦流探傷プローブ。
  5. 前記励磁用コイル及び前記検出用コイルは、同一のコイルで構成され、前記コイルホルダの全周にわたって均等に離間して複数配置されている請求項4項に記載の渦流探傷プローブ。
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