JP6638275B2 - 検査装置および車両 - Google Patents
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[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1]特開平07―222754号公報
Claims (8)
- 物体の表面を検査する検査装置であって、
光源を有しており、前記物体に光を照射する発光部と、
前記物体からの光を受光する受光部と
を備え、
前記発光部は、レーザー光を第1方向において走査しながら前記レーザー光を出射し、
前記受光部は、
焦点を有するレンズを介さずに、前記物体の異なる位置からの反射光を受光する少なくとも1つの受光素子と、
位置毎の光受信信号に基づいて画像データを生成する変換部と
を有し、
前記検査装置は、前記物体の異なる位置から入射する前記反射光のうち、前記少なくとも1つの受光素子に直接入射せず、前記少なくとも1つの受光素子の近傍に入射する光を前記少なくとも1つの受光素子へ反射する反射部
をさらに備え、
前記反射部は、
前記第1方向に平行な中心軸方向を有し、第1の曲率を有する第1の湾曲面と、
前記第1方向に平行な中心軸方向を有し、前記第1の曲率と異なる第2の曲率を有し、前記第1の湾曲面における曲率方向の両端面に直接接して設けられた第2の湾曲面と
を有する
検査装置。 - 物体の表面を検査する検査装置であって、
光源を有しており、前記物体に光を照射する発光部と、
前記物体からの光を受光する受光部と
を備え、
前記発光部は、レーザー光を第1方向において走査しながら前記レーザー光を出射し、
前記受光部は、
焦点を有するレンズを介さずに、前記物体の異なる位置からの反射光を受光する少なくとも1つの受光素子と、
位置毎の光受信信号に基づいて画像データを生成する変換部と
を有し、
前記検査装置は、前記物体の異なる位置から入射する前記反射光のうち、前記少なくとも1つの受光素子に直接入射せず、前記少なくとも1つの受光素子の近傍に入射する光を前記少なくとも1つの受光素子へ反射する反射部
をさらに備え、
前記反射部は、前記第1方向に平行な中心軸方向を有する半円筒形状であり、
複数の前記受光素子は、前記中心軸方向に沿って配置される
検査装置。 - 物体の表面を検査する検査装置であって、
光源を有しており、前記物体に光を照射する発光部と、
前記物体からの光を受光する受光部と
を備え、
前記発光部は、レーザー光を第1方向において走査しながら前記レーザー光を出射し、
前記受光部は、
焦点を有するレンズを介さずに、前記物体の異なる位置からの反射光を受光する少なくとも1つの受光素子と、
位置毎の光受信信号に基づいて画像データを生成する変換部と
を有し、
前記検査装置は、前記物体の異なる位置から入射する前記反射光のうち、前記少なくとも1つの受光素子に直接入射せず、前記少なくとも1つの受光素子の近傍に入射する光を前記少なくとも1つの受光素子へ反射する反射部
をさらに備え、
前記反射部は、前記第1方向に平行な中心軸方向を有する半円筒形状であり、
複数の前記受光素子は、前記中心軸方向に沿って配置され、
複数の前記受光素子のうち少なくとも1つの前記受光素子の受光面は、前記反射部の反射面に対向して配置され、
複数の前記受光素子のうち少なくとも1つの前記受光素子の受光面は、前記物体に対向して配置される
検査装置。 - 前記発光部は、回転または振動しながら前記光源からの光を反射することにより前記光源からの光を前記第1方向において走査するミラーをさらに有する
請求項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記ミラーの角度に基づいて前記画像データから画像を生成する画像処理部をさらに備える
請求項4に記載の検査装置。 - 前記発光部は、複数の波長のレーザー光を前記物体に照射する複数の前記光源を有する
請求項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記発光部は、前記光源からの光の強度を時間に対して変調する光変調部をさらに有する
請求項1から6のいずれか一項に記載の検査装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の前記検査装置を搭載した車両。
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JP2015181248A JP6638275B2 (ja) | 2015-09-14 | 2015-09-14 | 検査装置および車両 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015181248A JP6638275B2 (ja) | 2015-09-14 | 2015-09-14 | 検査装置および車両 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2017058167A JP2017058167A (ja) | 2017-03-23 |
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Family Applications (1)
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- 2015-09-14 JP JP2015181248A patent/JP6638275B2/ja not_active Expired - Fee Related
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