KR101541610B1 - 공간 필터 기반 구조 조명 현미경 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 수평 방향으로의 그리드 패턴을 도시한 도면이다.
도 3은 수직 방향으로의 그리드 패턴을 도시한 도면이다.
도 4는 우측 하방의 대각선 방향을 갖는 그리드 패턴을 도시한 도면이다.
도 5는 우측 상방의 대각선 방향을 갖는 그리드 패턴을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사형 공간 필터 기반 구조 조명 현미경의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
104 : 공간 필터
106 : 빔 스플리터
108 : 샘플
111 : 이미지 센싱부
112 : 신호 처리부
Claims (9)
- 광을 발산하는 광원(101);
상기 광원(101)으로부터 발산된 상기 광을 전기적 신호를 이용하여 그리드(grid) 패턴을 생성하거나 그리드 패턴의 공간 위상을 변조시키고, 그리드 패턴 변조된 상기 광의 일부를 측정 대상물인 샘플(108) 방향으로 보내고 다른 일부는 신호 처리부(112)로 보내는 공간 필터(104); 및
상기 샘플(108)에 의해 반사 또는 산란된 상기 광의 신호를 획득한 후 획득된 상기 신호를 상기 신호 처리부(112)로 보내는 이미지 센싱부(111);
를 포함하며,
상기 공간 필터(104)는 그리드 패턴 변조 시 얻어지는 음영을 갖는 영상 정보를 이용하여 해상도를 증대시키며,
상기 신호 처리부(112)에서는 상기 공간 필터(104)로부터 바로 전달된 상기 광의 신호와 상기 이미지 센싱부(111)를 통해 전달된 상기 광의 신호의 동기화가 이루어짐으로써 상기 샘플(108)의 영상을 획득하는 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
- 제1항에 있어서,
상기 공간 필터(104)는 상기 광을 투과시키는 원리를 이용한 투과형 공간 필터이거나 상기 광을 반사시키는 원리를 이용한 반사형 공간 필터인 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
- 제2항에 있어서,
상기 공간 필터(104)가 상기 투과형 공간 필터로 마련되는 경우, 상기 공간 필터(104)는, 액체 크리스탈(liquid crystal) 기반 공간 모듈레이터(spatial modulator) 또는 마그네토-옵틱(magneto-optic) 기반 공간 모듈레이터(spatial modulator)로 마련되는 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
- 제2항에 있어서,
상기 공간 필터(104)가 상기 반사형 공간 필터로 마련되는 경우, 상기 공간 필터는, 액체 크리스탈(liquid crystal) 기반 공간 모듈레이터(spatial modulator), 변형 미러(deformable mirror) 또는 디지털 마이크로 미러 장치(DMD, Digital Micromirror Device)로 마련되는 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
- 제2항에 있어서,
상기 공간 필터(104)는 주기적인 그리드 패턴을 생성하기 위해, LCD(liquid crystal display), LED 디스플레이(light emitting diode display), PDP(plasma display panel) 디스플레이, OLED(organic-LED) 디스플레이, 파이버 어레이 번들(fiber array bundle) 디스플레이 중 어느 하나의 디스플레이를 포함하는 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
- 제2항에 있어서,
상기 공간 필터(104)는 수직 방향으로의 그리드 패턴, 수평 방향으로 그리드 패턴, 대각선 방향으로의 그리드 패턴, 점 배열 그리드 패턴의 생성이 가능한 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
- 제1항에 있어서,
상기 광원(101)과 상기 공간 필터(104) 사이에 위치되어 상기 광을 집광시키는 제1 렌즈(103); 및
상기 공간 필터(104) 후미에 위치되어 상기 공간 필터(104)로부터의 광을 평행 광으로 변화시키는 제2 렌즈(105); 및
상기 제2 렌즈(105)로부터의 상기 광을 빔 스플리팅(splitting)시키는 빔 스플리터(106)를 더 포함하는 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
- 제1항에 있어서,
상기 광원(101)은, 고체 레이저, 광섬유 레이저, 할로겐 램프, 제논 램프, 고출력 엘이디 중 어느 하나로 마련되는 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
- 제8항에 있어서,
상기 광원(101)의 파장 및 상기 샘플의 흡수 대역에 따라 단일광자, 이광자, 다중 광자 구조 조명 현미경으로 구현 가능한 공간 필터 기반 구조 조명 현미경.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101909528B1 (ko) | 2017-05-22 | 2018-10-18 | 한국광기술원 | 구조광을 이용한 3차원 이미징 방법 및 시스템 |
KR20200019148A (ko) * | 2018-01-16 | 2020-02-21 | 일루미나, 인코포레이티드 | 패턴 각도 공간 선택 구조화 조명 이미징 |
US11300768B2 (en) | 2020-02-05 | 2022-04-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Optical inspection apparatus |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101934956B1 (ko) * | 2017-10-18 | 2019-03-18 | 고려대학교 산학협력단 | 구조 조명과 위상 검출을 이용한 단분자 중심위치 측정 장치 및 방법 |
KR102036322B1 (ko) * | 2018-05-04 | 2019-11-26 | 한국과학기술연구원 | 구조 조명광 신호를 검출하여 자기장을 측정하는 시스템 및 방법 |
US11287626B2 (en) * | 2019-05-17 | 2022-03-29 | Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Comoanv Limited | Chromatic confocal system and a method for inspecting an object |
CN110383040A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-10-25 | 香港应用科技研究院有限公司 | 一种检测目标物体的色差共焦系统和方法 |
KR102260563B1 (ko) | 2019-07-02 | 2021-06-07 | 한국과학기술연구원 | 체커보드 패턴 기반 구조 조명 현미경 시스템 |
KR102473456B1 (ko) * | 2019-08-19 | 2022-12-07 | 부산대학교 산학협력단 | 원통 금형에 형성된 나노패턴 측정을 위한 고해상도 구조 조명 현미경 시스템 및 그의 동작 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040227101A1 (en) * | 2003-02-04 | 2004-11-18 | Japan Science And Technology Agency | Microscope |
US20120069344A1 (en) * | 2009-01-29 | 2012-03-22 | The Regents Of The University Of California | High resolution structured illumination microscopy |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040227101A1 (en) * | 2003-02-04 | 2004-11-18 | Japan Science And Technology Agency | Microscope |
US20120069344A1 (en) * | 2009-01-29 | 2012-03-22 | The Regents Of The University Of California | High resolution structured illumination microscopy |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Mats G. L. Gustafsson, Nonlinear structured-illumination microscopy: Wide-field fluorescence imaging with theoretically unlimited resolution, PNAS vol. 102, no. 37, pp. 13081-13086* |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101909528B1 (ko) | 2017-05-22 | 2018-10-18 | 한국광기술원 | 구조광을 이용한 3차원 이미징 방법 및 시스템 |
KR20200019148A (ko) * | 2018-01-16 | 2020-02-21 | 일루미나, 인코포레이티드 | 패턴 각도 공간 선택 구조화 조명 이미징 |
KR102312777B1 (ko) | 2018-01-16 | 2021-10-14 | 일루미나, 인코포레이티드 | 패턴 각도 공간 선택 구조화 조명 이미징 |
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