JP6633414B2 - 気密端子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
11,21・・・金属外環、
12,22・・・リード、
13,23・・・絶縁ガラス、
14,24・・・被覆膜、
24―2・・・代替被膜、
30・・・工程フロー図、
31・・・表面被覆工程、
31―2・・・代替被覆工程、
32・・・部品振込工程、
33・・・ガラス封着工程、
40・・・金属外環の封着面、
40−1、40−2・・・貫通孔の両端周壁、
50・・・リードの封着面。
Claims (12)
- 金属外環と、この金属外環に設けた貫通孔に挿通した貫通リードと、このリードと前記金属外環とを気密に封着した絶縁ガラスとを備え、前記金属外環又は前記リードは、少なくとも前記絶縁ガラスの封着面の全部又は一部に、封着温度で少なくとも一部が液相の状態にあり、かつ、除冷後は固相の状態である単体金属又は合金からなる被覆膜を有することを特徴とする気密端子。
- 前記被覆膜は、少なくとも溶融温度が絶縁ガラスの軟化点以上封着温度以下の金属相を含む金属材であることを特徴とする請求項1に記載の気密端子。
- 前記被覆膜は、リン含有量が5〜15mass%のNi−P合金であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の気密端子。
- 前記金属外環又は前記リードに設けた前記被覆膜の何れか一方を、溶融温度が絶縁ガラスの封着温度以上である金属材からなる代替被膜に替えたことを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れか一つに記載の気密端子。
- 前記代替被膜は、Au、Ni、Crの何れか1つから選択した金属材からなること特徴とする請求項1ないし請求項4の何れか一つに記載の気密端子。
- 金属外環又はリードの全部又は一部に所定金属材からなる被覆膜を施す表面被覆工程、前記金属外環又は前記リードの何れか一方に前記被覆膜を被覆しない場合にのみ必要に応じて実施する工程であって前記被覆膜と異なる他の代替被膜を被覆膜のない前記金属外環若しくは前記リードに施す代替被覆工程、少なくとも一方に前記被覆膜を施しまた必要応じて他方に前記代替被膜を施した前記金属外環及び前記リードに絶縁ガラスを装着して封着治具にセットする部品振込工程、封着治具にセットした各部品を加熱炉に通して前記被覆膜を溶融させて前記リードと前記金属外環とを前記封着ガラスによって封着するガラス封着工程により組み立てたことを特徴とする気密端子の製造方法。
- 前記被覆膜は、電気めっき、無電解めっき、溶融めっき、クラッド、真空蒸着、スパッタリングから選択された被覆手段を用いて施されたことを特徴とする請求項6に記載の気密端子の製造方法。
- 前記被覆膜は、封着温度で少なくとも一部が液相の状態にあり、かつ、除冷後は固相の状態である単体金属又は合金であることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の気密端子の製造方法。
- 前記被覆膜は、少なくとも溶融温度が絶縁ガラスの軟化点以上封着温度以下の金属相を含む金属材であることを特徴とする請求項6ないし請求項8の何れか一つに記載の気密端子の製造方法。
- 前記被覆膜は、リン含有量が5〜15mass%のNi−P合金であることを特徴とする請求項6ないし請求項9の何れか一つに記載の気密端子の製造方法。
- 前記代替被膜は、溶融温度が絶縁ガラスの封着温度以上である金属材からなることを特徴とする請求項6ないし請求項10の何れか一つに記載の気密端子の製造方法。
- 前記代替被膜は、Au、Ni、Crの何れか1つから選択した金属材からなること特徴とする請求項6ないし請求項11の何れか一つに記載の気密端子の製造方法。
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