JP6625475B2 - 欠陥検査方法および欠陥検査システム - Google Patents
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Description
しかしながら、いずれの欠陥検査方法も複雑な画像処理を必要とし、かつそれ程鮮明に欠陥を検出することができないという課題がある。
以下、図面を参照して欠陥検査方法および欠陥検査システムの実施の形態について説明する。まず検査対象とする被検査物としてのチップ形電子部品(以下「ワーク」とも言う)について図6により説明する。図6に示すように、ワークWは6面体形状をもち、絶縁体からなる本体Wdと、本体Wdの長手方向の両端部に形成された導電体からなる電極Wa、Wbとを有している。
B=aR+b (1)
で表わされる。このbが欠陥分布領域Ddとノイズ分布領域Dnを分割するための閾値となる。このとき、直線よりも上側すなわち欠陥分布領域Ddを表わす式は
B>aR+b (2)
すなわち
B−aR−b>0 (3)
となる。図2(b)から明らかなように、式(3)の領域においてはノイズ分布領域Dnを構成するすべての画素が除外されている。
B=aR+b (1)
と表わされている。
次に本実施の形態における比較例1について図8のフローチャートにより説明する。
図8のフローチャートにおいて、まずチップ形電子部品の上側に図7(a)(b)に示す照明装置10aを配置して、チップ形電子部品に照射する(S101)。次に撮像装置20を用いて、チップ形電子部品の上面を撮像する。
次に本実施の形態に対する比較例2として、従来技術の欠陥検査方法において検査画像の二値化画像を用いた欠陥候補領域の抽出(図8のS107乃至S110)について説明する。図8のS104乃至S106によって選択された検査画像の一例を図12に示す。図12は図7(b)に示すワークWであるチップ形電子部品の上面(図7(b)におけるWu)の撮像画像から得られた青画像である。この検査画像を適切な閾値により二値化すれば、欠陥候補領域を抽出することができる。画像の左右に見える白い縦長の領域はそれぞれ電極Waおよび電極Wbである。電極Waおよび電極Wbの間に形成されて、白いエッジE1およびエッジE2(いずれも一点鎖線によって囲まれている)に上下を挟まれた横長の領域は、本体Wdである。
次に本実施の形態との比較例3として、比較例1において、散布図を作成して、散布図中の欠陥分布領域とノイズ分布領域を1本の直線により分割する場合について、図13を用いて説明する。比較例1においては上述のように、撮像画像から赤画像、緑画像、青画像を単色画像として得ている(図8のS103)。こうして得られた単色画像あるいは単色画像間に演算を行って生成した画像の中から、検査画像を選択する(図8のS104乃至S106)。そして検査画像から検査対象領域を抽出して、その全画素について二値化を行っている(図8のS107乃至S110)。ここに図13は二値化により抽出された欠陥候補領域に存在する欠陥およびノイズについて、図3と同様にそれぞれの輝度分布を示した二次元散布図である。縦軸には青色成分の輝度Bをとり、横軸には赤色成分の輝度Rをとっている。実線の領域Ddは欠陥の輝度分布の集合としての欠陥分布領域であり、破線の領域Dnはノイズの輝度分布の集合としてのノイズ分布領域である。欠陥分布領域Ddとノイズ分布領域Dnには共通部分がないので、この散布図上で目視する範囲では両者は分離可能である。
1b 大開口部
1n 小開口部
1s 内部凹面
2a 入光部
10a、10b 照明装置
20 撮像装置
Dd 欠陥分布領域
Dn ノイズ分布領域
LH 高位置照明
LI、LIw 入射光
LIH 高位置入射光
LIL 低位置入射光
LIM 中間位置入射光
LM 中間位置照明
LL 低位置照明
LR 反射光
Lw 白色発光ダイオード
W ワーク
Claims (14)
- 被検査物の表面に光を照射する照明工程と、
被検査物の表面を撮像して撮像画像を得る撮像工程と、
撮像画像の中から欠陥を検出すべき欠陥分布領域と欠陥を検出する必要のないノイズ分布領域とを抽出するとともに各領域に存在する画素の色成分を赤、緑、青のうち2つの色成分が縦軸および横軸となる二次元散布図上に配置する配置工程と、
二次元散布図上で欠陥分布領域を構成する画素とノイズ分布領域を構成する画素とを画像処理ソフトウェアの判別分析に基づく統計、または誤判断に関する確率を用いて決定された分割直線により分割する分割工程と、
二次元散布図上で分割直線により分割された2つの領域のうち欠陥分布領域側にある領域に属する画素を選抜する選抜工程と、
選抜工程において選抜された画素を撮像画像において当該画素が存在していた箇所に当てはめて限定撮像画像を生成する限定工程と、
限定撮像画像を用いて欠陥検査を実行する検査実行工程とを備えたことを特徴とする欠陥検査方法。 - 光は白色光であることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
- 光は異なる2色以上であることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
- 光は異なる色の第1色光、第2色光、第3色光であることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
- 第1色光、第2色光、第3色光はそれぞれ赤、緑、青のいずれかであることを特徴とする請求項4記載の欠陥検査方法。
- 照明工程は被検査物に第1色光、第2色光、第3色光を照射する位置の高さが異なることを特徴とする請求項4または5記載の欠陥検査方法。
- 分割直線は、二次元散布図の縦軸をy、横軸をx、aおよびbを実数としたときに、1次式 y=ax+b により表わされることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。
- 被検査物の表面に光を照射する照明装置と、
被検査物の表面を撮像して撮像画像を得る撮像装置と、
撮像装置からの撮像画像に対して画像処理を施して、欠陥検査を行う欠陥検査装置とを備え、
欠陥検査装置は撮像画像の中から欠陥を検出すべき欠陥分布領域と欠陥を検出する必要のないノイズ分布領域とを抽出するとともに各領域に存在する画素の色成分を赤、緑、青のうち2つの色成分が縦軸および横軸となる二次元散布図上に配置する配置部と、
二次元散布図上で欠陥分布領域を構成する画素とノイズ分布領域を構成する画素とを画像処理ソフトウェアの判別分析に基づく統計、または誤判断に関する確率を用いて決定された統計および確率を用いて決定された分割直線により分割する分割部と、
二次元散布図上で分割直線により分割された2つの領域のうち欠陥分布領域側にある領域に属する画素を選抜する選抜部と、
選抜工程において選抜された画素を撮像画像において当該画素が存在していた箇所に当てはめて限定撮像画像を生成する限定部と、
限定撮像画像を用いて欠陥検査を実行する検査実行部とを備えたことを特徴とする欠陥検査システム。 - 光は白色光であることを特徴とする請求項8記載の欠陥検査システム。
- 光は異なる2色以上であることを特徴とする請求項8記載の欠陥検査システム。
- 光は異なる色の第1色光、第2色光、第3色光であることを特徴とする請求項8記載の欠陥検査システム。
- 第1色光、第2色光、第3色光はそれぞれ赤、緑、青のいずれかであることを特徴とする請求項11記載の欠陥検査システム。
- 照明工程は被検査物に第1色光、第2色光、第3色光を照射する位置の高さが異なることを特徴とする請求項11または12記載の欠陥検査システム。
- 分割直線は、二次元散布図の縦軸をy、横軸をx、aおよびbを実数としたときに、1次式 y=ax+b により表わされることを特徴とする請求項8記載の欠陥検査システム。
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