JP6623108B2 - リードフレーム材料およびその製造方法 - Google Patents
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Description
ワイヤボンディング性を満たすためには、ワイヤと被ボンディング部との実効接触面積を大きくするために一般的には被ボンディング部の表面が平滑な方が良い。例えば特許文献1では、多層銅めっき層を形成した樹脂成形品において最上層の銅めっき層のめっき粗さRmaxは10μm以下であることが望ましいとされている。
(1)導電性基体上にワイヤボンディングが施されるリードフレーム材料であって、少なくともワイヤボンディングが施される箇所の表面における算術平均粗さRaが0.1μm以下であり、かつその表面における粗さ曲線要素の平均長さRSmが5μm以上30μm以下である、リードフレーム材料。
(2)前記導電性基体は、銅または銅合金、鉄または鉄合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金である、(1)に記載のリードフレーム材料。
(3)前記ワイヤボンディングが施される箇所の表面は、銀または銀合金、金または金合金、白金または白金合金のうちいずれかからなる、(1)又は(2)に記載のリードフレーム材料。
(4)前記ワイヤボンディングが施される箇所の表面が、金または金合金、白金または白金合金のうちいずれかからなり、かつその下層がパラジウム、パラジウム合金、ロジウム、ロジウム合金、ルテニウム、ルテニウム合金、イリジウム又はイリジウム合金からなる層を有する、(1)〜(3)のいずれかに記載のリードフレーム材料。
(5)前記表面において、楔形状の突起が線分長さ1μmあたり平均1〜5個存在する、(1)〜(4)のいずれかに記載のリードフレーム材料。
(6)導電性基体上にワイヤボンディングが施されるリードフレーム材料の製造方法であって、そのワイヤボンディングが施される箇所の表面においてめっき法にて表面を形成した後、そのめっきをさらに電解法にて1〜10%の厚さ分を溶解することで該ワイヤボンディングが施される箇所表面を形成する、(1)〜(5)のいずれかに記載のリードフレーム材料の製造方法。
さらに好ましくは、表面において、楔形状の突起が線分長さ1μmあたり平均1〜5個存在することにより、ワイヤボンディングの際の金属結合のみならず、強度が機械的結合力により一層高められるものである。
また、本発明のリードフレーム材料の製造方法によれば、その表面をめっき法にて形成後、さらにその被覆厚に対する1〜10%を表面から溶解することで、表面の粗度Raを大きく変化させることなく楔形凸状形状を形成することができるものである。
本発明は、導電性基体上にワイヤボンディングが施されるリードフレーム材料において、少なくともワイヤボンディングが施される箇所の表面における算術平均粗さRaが0.1μm以下であり、かつその粗さ曲線要素の平均長さRSmが5μm以上30μm以下であるリードフレーム材料を提供するものである。
特に表面の算術平均粗さRaを規定する理由として、Raが大きいほど粗く、小さいほど平滑であるが、Raが0.1μmを超えるとその粗度が大きすぎるためにワイヤボンディング時に平滑が故にキャピラリ先端部とワイヤボンディングされる箇所にある表面金属との凝着摩耗が発生しやすい。この結果、金属の粉落ちが発生しやすく、キャピラリ先端に粉が堆積してワイヤボンディング不良となる可能性が高くなる。また、凝着が頻繁に発生すると、その都度キャピラリ先端を研磨したり洗浄したりする必要が生じ、生産効率の低下にもつながる。
さらに本発明のリードフレーム材料として、算術平均粗さRaのみならず、粗さ曲線要素の平均長さRSmが5μm以上30μm以下である。このRSmは、粗さ曲線要素の平均長さを示しており、このRSmの値は、一般的にはRaが小さいほど小さくなる。本発明では、その数値とワイヤボンディングの粉落ち性に関連性があることを見出した。特にRaが小さいと、表面の金属とワイヤボンディング用キャピラリとの間で凝着が生じ、キャピラリ先端に金属粉が移着しやすい課題があったが、RSmを5〜30μmに制御することで、金属粉の移着量が大幅に低減してキャピラリ洗浄頻度が少なくなり、生産性が向上する効果が上げられる。
RSmの値は、少なくとも5μm以上であることが必要であり、これよりも小さいと移着が発生しやすくなる。一方、RSmが30μmを超えると、表面の微細な凹凸が多くなることにより金属移着が逆に増加するため好ましくない。したがって、RSmの値は5〜30μm、好ましくは10〜20μmに制御することで、粉落ちや移着が少なく良好なワイヤボンディング性が得られる。
また、使用する金属基体(導電性基体)成分としては、銅または銅合金、鉄または鉄合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金等が好ましく、中でも導電率の良い銅または銅合金が好ましい。
例えば銅合金の一例として、CDA(Copper Development Association)掲載合金である「C14410(Cu−0.15Sn、古河電気工業(株)製、商品名:EFTEC(登録商標)−3)」、「C19400(Cu−Fe系合金材料、Cu−2.3Fe−0.03P−0.15Zn)」、「C18045(Cu−0.3Cr−0.25Sn−0.5Zn、古河電気工業(株)製、商品名:EFTEC−64T)」等を用いることができる。なお、各元素の前の数字の単位は質量%である。これら銅合金基体はそれぞれ導電率や強度が異なるため、適宜要求特性により選定されて使用される。この内、導電率が50%IACS以上の銅合金の条材とすることが好ましい。
また、鉄もしくは鉄合金としては、例えば、42アロイ(Fe−42mass%Ni)やステンレス鋼などが用いられる。これら鉄合金基体は、導電率はそれほど高くないが、導電率をそれほど要求せず、電気信号の伝達を目的とするようなリードフレーム材料には適用することができる。
また、アルミニウムもしくはアルミニウム合金としては、例えば、A5052などが用いられる。
基体の厚さには特に制限はないが、通常、0.05mm〜2mmであり、好ましくは、0.1mm〜1mmである。
本発明において、ワイヤボンディングが施される箇所の表面は、銀または銀合金、金または金合金、白金または白金合金のうちいずれかからなる皮膜(表層)であることが好ましい。この表層の役割としては、ワイヤボンディング可能な金属からなることが必要であり、特に金、銀であることがより好ましい。
なお、この表層の被覆厚については、特に規定するものではないが、コストや曲げ加工性を考慮すると、通常、0.001〜3μm、さらには0.05〜1μmであることが好ましい。
特に、表層が金、金合金、白金又は白金合金のうちいずれかからなるときは、表層での貴金属の使用量を省略(低減化)する為にその下層にパラジウム、パラジウム合金、ロジウム、ロジウム合金、ルテニウム、ルテニウム合金、イリジウム又はイリジウム合金からなる層を、例えば0.005〜0.2μm、好ましくは0.01〜0.1μmの厚さで形成することで、基材及び/又は中間層との拡散防止のために大変効果的である。この表層の下層は、耐熱性が高いために高温環境下でも表層金属の拡散を防止でき、さらに高硬度なためにワイヤボンディングの際の高反発力が得られ、結果的に接合強度の向上につながる効果があるため好ましい。
本発明のリードフレーム材料には、中間層は設けても設けなくてもよいが、例えばニッケル、ニッケル合金、コバルト、コバルト合金、銅又は銅合金のうちいずれかからなる中間層を、表層の拡散バリアー層として及び/又は密着性向上のために設けてもよい。特に導電性基体よりも貴な金属をめっき処理において形成する場合は、密着性向上及び/又は置換防止のためにフラッシュめっき又はストライクめっきなどの下地処理をすることも有効である。また、中間層は複数層あっても良く、被覆仕様用途等に応じて各種の構成を設けるのが好ましい。中間層の合計の厚さは0.05〜3μmが好ましく、0.2〜1μmがさらに好ましい。
以下、図面に基づいて、本発明を説明する。
図2は、本発明のリードフレームにおける表層付近の概略断面図の好ましい一例であり、図1の表層部のみを拡大した様子を示している。このように、表層(3)の表面には楔型状の突起(5)を有することにより、よりワイヤボンディング性の強度が向上し、平滑なRaを持った表面においても良好なボンディング性を示すために好ましい。
図3は、単位長さあたりの楔状突起(5)個数を算出する際の説明図である。このように、測定長(図3では10μm)あたりの楔状突起(凸状突起)個数(図3では25個)をカウントすることで、好ましい楔状突起の個数を定義するものとする。
図4(a)及び4(b)は、本発明のリードフレームにおける表層付近の概略断面図の他の例である。このように、凸部の先端が平坦な砲弾状(図4(a))又は凸部の先端が平坦な台形状(図4(b))のものは、本発明における好ましい形状である楔型状突起(5)の個数とはカウントせず、図1、図2又は図3に示すような楔型状突起(凸状突起)の形状のみをカウントするものとする。
本発明のリードフレーム材料を製造するためには、めっき、クラッド、蒸着、スパッタ等の各種皮膜形成法が利用できるが、特に薄膜を容易に形成する方法として、表層、表層の下層、中間層のうち少なくとも一層を電気めっき法で設けることが好ましく、全部の層を電気めっき法で形成することがより好ましい。電解めっき液の組成およびめっき条件は、常法により行うことができる。また、必要金属量を抑制するために、表層(第1層)あるいは表層の下層(第2層)、またはその両方の金属被覆層を、ストライプ状又はスポット状等の部分的に施すことも有用である。
なお、各被覆厚は蛍光X線膜厚測定装置(SFT−9400:SII社製(商品名))を使用し、コリメータ径0.5mmを使用して任意の箇所10点を測定し、その平均値を算出することで被覆厚とした。
[カソード電解脱脂]
脱脂液:NaOH 60g/L
脱脂条件:2.5A/dm2、温度60℃、脱脂時間60秒
[酸洗]
酸洗液:10%硫酸
酸洗条件:30秒 浸漬、室温
[Niめっき]
めっき液:Ni(SO3NH2)2・4H2O 500g/L、NiCl2 30g/L、H3BO3 30g/L
めっき条件:電流密度 10A/dm2、温度 50℃
[Coめっき]
めっき液:Co(SO3NH2)2・4H2O 500g/L、CoCl2 30g/L、H3BO3 30g/L
めっき条件:電流密度 10A/dm2、温度 50℃
[Pdめっき]
めっき液:Pd(NH3)2Cl2 45g/L、NH4OH 90ml/L、(NH4)2SO4 50g/L、パラシグマ光沢剤(商品名、松田産業(株)社製) 10ml/L
めっき条件:電流密度 5A/dm2、温度 60℃
[Rhめっき]
めっき液:RHODEX(商品名、日本エレクトロプレイティングエンジニヤース(株)製)
めっき条件:電流密度 1.3A/dm2、温度 50℃
[Ruめっき]
めっき液:RUTHENEX100(商品名、日本エレクトロプレイティングエンジニヤース(株)製)
めっき条件:電流密度 1A/dm2、温度 65℃
[Irめっき]
めっき液:IRIDEX100(商品名、日本エレクトロプレイティングエンジニヤース(株)製)
めっき条件:電流密度 0.2A/dm2、温度 85℃
[Auめっき]
めっき液:KAu(CN)2 14.6g/L、C6H8O7 150g/L、K2C6H4O7 180g/L
めっき条件:電流密度 1A/dm2、温度 40℃
[Ptめっき]
めっき液:Pt(NO2)(NH3)2 10g/L、NaNO2 10g/L、NH4NO3 100g/L、NH3 50ml/L
めっき条件:電流密度 1A/dm2、温度 80℃
[Agめっき]
めっき液:AgCN 50g/L、KCN 100g/L、K2CO3 30g/L
めっき条件:電流密度 1A/dm2、温度 30℃
[Ag−Se合金めっき]
めっき液:KCN 150g/L、K2CO3 15g/L、KAg[CN]2 75g/L、Na2O3Se・5H2O 5g/L
めっき条件:電流密度 2A/dm2、温度 50℃
下記のワイヤボンディング条件において、10点テスト後に接合強度測定を行った。その初期における(強度−3σ)の値が7gf以上のものを「優」と判定して表に「◎」印を付し、5gf以上7gf未満のものを「良」と判定して表に「○」印を付し、5gf未満であるが接合可能なものを「可」と判定して表に「△」印を付し、まったく接合しなかったものを「不可」と判定して表に「×」印を付した。その結果をそれぞれ表2に示した。「可」以上の評価のものを実用レベルとした。
ワイヤボンダ:SWB−FA−CUB−10、商品名、(株)新川製
ワイヤ:25μm 金ワイヤ
ボンディング温度:150℃
キャピラリ:1820−15−437GM、型番名、Coorstek, Inc社製
1st条件:10msec.、45Bit、45g
2nd条件:10msec.、100Bit、130g
100万ショット完了後のキャピラリ先端における凝着状況について、多量の凝着が認められキャピラリ先端の交換又は研磨が必要なものを「不可」として「×」印を付し、凝着が少量であるものの洗浄で十分なものを「良」として「○」印を付し、凝着がほとんど認められず、引き続き継続使用が可能なものを「優」として「◎」印を付した。その結果をそれぞれ表2に示した。
下記半田濡れ試験条件において、サンプル数3個についてゼロクロスタイムを測定した。その濡れ時間が1秒未満のものを「優」として「◎」印を付し、1秒以上5秒未満のものを「良」と判定して表に「○」印を付し、5秒以上10秒未満であるものを「可」と判定して表に「△」印を付し、まったく半田が濡れなかったものを「不可」と判定して表に「×」印を付した。その結果をそれぞれ表2に示した。
半田濡れ試験装置:MODEL SAT−5100、商品名、(株)レスカ製
試験片サイズ:幅1mm×長さ10mm
使用半田:Sn−3%Ag−0.5%Cu Pb−free半田
フラックス:イソプロピルアルコール−25%ロジンフラックス
温度:245℃
浸漬時間:10秒
浸漬長さ:1mm
浸漬速度:100mm/sec.
(1D)半田濡れ性−耐熱試験後:
耐熱性評価のため、温度250℃で30分大気加熱を施したものにおいても同じ半田濡れ試験を実施した。
2 中間層(例えばNi層)
3 表層(例えばAg層)
4 ワイヤボンディング
5 楔形状突起
Claims (6)
- 導電性基体上にワイヤボンディングが施されるリードフレーム材料であって、少なくともワイヤボンディングが施される箇所の表面における算術平均粗さRaが0.1μm以下であり、かつその表面における粗さ曲線要素の平均長さRSmが5μm以上30μm以下である、リードフレーム材料。
- 前記導電性基体は、銅または銅合金、鉄または鉄合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金である、請求項1に記載のリードフレーム材料。
- 前記ワイヤボンディングが施される箇所表面は、銀または銀合金、金または金合金、白金または白金合金のうちいずれかからなる、請求項1又は2に記載のリードフレーム材料。
- 前記ワイヤボンディングが施される箇所表面が、金または金合金、白金または白金合金のうちいずれかからなり、かつその下層にパラジウム、パラジウム合金、ロジウム、ロジウム合金、ルテニウム、ルテニウム合金、イリジウム又はイリジウム合金からなる層を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のリードフレーム材料。
- 前記表面において、楔形状の突起が線分長さ1μmあたり平均1〜5個存在する、請求項1〜4のいずれか1項に記載のリードフレーム材料。
- 導電性基体上にワイヤボンディングが施されるリードフレーム材料の製造方法であって、そのワイヤボンディングが施される箇所表面においてめっき法にて表面を形成した後、そのめっきをさらに電解法にて1〜10%の厚さ分を溶解することで該ワイヤボンディングが施される箇所表面を形成する、請求項1〜5のいずれか1項に記載のリードフレーム材料の製造方法。
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