JP6622724B2 - 流体および蒸気用高コンダクタンスバルブ - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 439
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910000619 316 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 36
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 32
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 31
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 15
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 13
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 10
- 210000003734 kidney Anatomy 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 7
- 229920004459 Kel-F® PCTFE Polymers 0.000 description 7
- 229910000701 elgiloys (Co-Cr-Ni Alloy) Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 5
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 5
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical compound FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 239000012847 fine chemical Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/32—Details
- F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
- F16K1/36—Valve members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/32—Details
- F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
- F16K1/42—Valve seats
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/12—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with streamlined valve member around which the fluid flows when the valve is opened
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
- F16K11/04—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
- F16K31/0644—One-way valve
- F16K31/0655—Lift valves
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/0318—Processes
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
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Description
式1:オリフィスの面積=半径^2*pi=(D/2)^2*pi=D*D*pi/4
間隙*周=G*(D*pi)=(G>D/4)*D*pi>D*D*pi/4
G>D/4のとき、オリフィスの流動抵抗は、有効開口面積の流動抵抗を上回る。
式2:腎臓のような形状の周囲=2.4646in、円の周囲=pi*D=pi*(0.54)=1.696in
2.4646/1.6965=1.4528
比較する円形のオリフィスが、内側キャビティ354の包囲された平面積と等しい面積を取り囲む場合、増大されたバルブの有効開口面積の増大分は、より劇的で74%である。
式3:腎臓のような形状の面積=0.160259in^2、円の面積=pi*(D/2)^2→D=0.4517in、
円の周囲=pi*D=pi*(0.4517)=1.4191in、
2.4646/1.4191=1.7367
オリフィスリッジ320に非円形の閉回路形状を使用することにより、バルブの有効開口面積(間隙*周=開口面積)は格段に増大されたが、内側キャビティ354として実際に包囲された空間の平面積は、同様の大きさの円形のオリフィスの場合よりも格段に小さい(ほぼ66%小さくなる)。
式4:腎臓のような形状の周囲=2.4646in、そして、腎臓のような形状の面積=0.160259in^2、
2.4646in=円の周囲=pi*D→D=0.7845in、
円の面積=pi*(D/2)^2=pi*(0.7845/2)^2=0.483374in^2、
0.160259/0.483374=0.3315
内側キャビティ354に相当する低減された平面積は、第1の流体導管310から第2の流体導管314に向かって流れる加圧流体に抵抗するときに、オリフィスリッジ320に対し制御プレート384を閉じるのに必要な力を有益に低減する。この例示的な設計では、オリフィスリッジは、ほぼ0.025in(0.6mm)の高さ、接触トラックは、ほぼ0.025in(0.6mm)の幅であり、よって、図1および図1Aに例示された設計のバルブの構造に似ている。
Claims (31)
- 第1の流体導管開口を有するバルブボディと、
前記バルブボディ中に配設され、前記第1の流体導管開口を取り囲む非円形の閉回路を形成する複数の相互連結されたセグメントを有するオリフィスリッジであって、当該オリフィスリッジの上側から見た場合に、前記複数の相互連結されたセグメントが、前記第1の流体導管開口に対して凹状に湾曲して対向する第1部分を形成する少なくとも1つのセグメントを含む、オリフィスリッジと、
前記オリフィスリッジの上に配置されるように構成された略平面状の制御表面を有する制御プレートと
を備え、
前記制御プレートの前記制御表面が、前記オリフィスリッジに対して接離するように構成されており、
前記制御表面と前記オリフィスリッジとの間に形成される隙間であるオリフィスによって、前記制御プレートと前記オリフィスリッジとの間を通過する流体が制御され、
前記オリフィスリッジが取り囲む内側キャビティ内における前記第1の流体導管開口が形成する第1の領域の面積が、前記オリフィスリッジが取り囲む内側キャビティ内における前記第1の領域以外の領域である第2の領域の面積よりも小さい、バルブ。 - 前記バルブボディが、第2の流体導管開口を含む、請求項1に記載のバルブ。
- 前記第2の流体導管開口が、前記オリフィスリッジの外に配設される、請求項2に記載のバルブ。
- 前記複数のセグメントが、前記第1の流体導管開口に対して凸状に湾曲して対向する第2部分と湾曲する少なくとも1つのセグメントをさらに含む、請求項1に記載のバルブ。
- 前記第1の流体導管開口に対して凹状に湾曲して対向する前記第1部分が、前記第1の流体導管開口に対して凸状に湾曲して対向する第2部分に隣接する、請求項4に記載のバルブ。
- 前記制御プレートが、前記略平面状の制御表面が前記オリフィスリッジに当接する第1の位置と、前記略平面状の制御表面の少なくとも一部分が前記オリフィスリッジから離れる第2の位置との間で動くことができる、請求項1に記載のバルブ。
- 前記非円形の閉回路が、前記第1の流体導管開口に対して凹状に湾曲して対向する前記第1部分を含む、請求項1から6のいずれか一項に記載のバルブ。
- 前記オリフィスリッジが、第1のオリフィスリッジであり、前記バルブボディが、第2の流体導管開口を含み、前記バルブが、前記バルブボディ中に配設され、第2の流体導管開口を取り囲む非円形の閉回路を形成する複数の相互連結されたセグメントを有する第2のオリフィスリッジをさらに備える、請求項1に記載のバルブ。
- 前記バルブボディが、第1の流体導管を含み、前記第1の流体導管開口および前記第2の流体導管開口が、前記第1の流体導管に広がる、請求項8に記載のバルブ。
- 前記バルブボディが、前記第1のオリフィスリッジおよび前記第2のオリフィスリッジの外に配設された第3の流体導管開口を含む、請求項8に記載のバルブ。
- 前記バルブボディが、内部に第1の流体導管と、第2の流体導管と、第3の流体導管とを含み、前記第1の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第1の流体導管開口をなし、前記第2の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第2の流体導管開口をなし、前記第3の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第3の流体導管開口をなし、前記第3の流体導管が、流体の流れを受け入れる流体入口として構成され、前記第1および前記第2の流体導管が、流体出口として構成され、前記第3の流体導管開口によって制御可能に提供された流体の量が、前記第1の流体導管開口と前記第2の流体導管開口とに分配される、請求項10に記載のバルブ。
- 前記バルブボディが、内部に流体導管を含み、前記流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第1の流体導管開口をなし、前記第1のオリフィスリッジの長さが、前記流体導管の周囲長さよりも大きい、請求項8に記載のバルブ。
- 第1の流体導管開口および第2の流体導管開口を有するバルブボディと、
前記バルブボディ中に配設され、前記第1の流体導管開口を取り囲む非円形の閉回路を形成する複数の相互連結されたセグメントを有する第1のオリフィスリッジと、
前記バルブボディ中に配設され、前記第2の流体導管開口を取り囲む非円形の閉回路を形成する複数の相互連結されたセグメントを有する第2のオリフィスリッジと、
前記第1のオリフィスリッジおよび前記第2のオリフィスリッジに当接するよう動くことができるように構成された略平面状の制御表面を有する制御プレートと
を備え、
前記第1のオリフィスリッジが取り囲む内側キャビティ内における前記第1の流体導管開口が形成する第1の領域の面積が、前記第1のオリフィスリッジが取り囲む内側キャビティ内における前記第1の領域以外の領域である第2の領域の面積よりも小さい、バルブ。 - 前記バルブボディに形成された第1の流体導管をさらに備え、前記第1の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第1の流体導管開口をなす、請求項13に記載のバルブ。
- 前記第1のオリフィスリッジの長さが、前記第1の流体導管の周囲長さよりも大きい、請求項14に記載のバルブ。
- 前記バルブボディに形成された第2の流体導管をさらに備え、前記第1の流体導管が、流体の流れを受け入れる流体入口として構成され、前記第2の流体導管が、前記流体の流れを提供する流体出口として構成される、請求項14に記載のバルブ。
- 前記バルブボディ中において、前記第1のオリフィスリッジの外、および前記第2のオリフィスリッジの外に配設された外側流体導管開口をさらに備える、請求項14に記載のバルブ。
- 前記バルブボディに形成された第2の流体導管をさらに備え、前記第2の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記外側流体導管開口をなし、前記第1の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第2の流体導管開口をなす、請求項17に記載のバルブ。
- 前記第1の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第2の流体導管開口をなす請求項14に記載のバルブ。
- 前記バルブボディ中に配設され、第3の流体導管開口を取り囲む非円形の閉回路を形成する複数のセグメントを有する第3のオリフィスリッジをさらに備える、請求項14に記載のバルブ。
- 前記バルブボディに形成された第2の流体導管をさらに備え、前記第2の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第3の流体導管開口をなす、請求項20に記載のバルブ。
- 第2の流体導管と、第3の流体導管とをさらに備え、前記第3の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記第2の流体導管開口をなし、前記第2の流体導管において前記バルブボディの表面に開口する部分が前記外側流体導管開口をなす、請求項17に記載のバルブ。
- 前記外側流体導管開口が、前記第2の流体導管から流体の流れを受け入れる流体入口として構成され、前記第1の流体導管および前記第3の流体導管が、流体出口として構成され、前記外側流体導管開口で制御可能に受け入れられた流体の量が、前記第1の流体導管開口と前記第2の流体導管開口とに分配される、請求項22に記載のバルブ。
- 前記第2の流体導管から前記外側流体導管開口で制御可能に受け入れられた前記流体の量が、前記第1のオリフィスリッジの長さおよび前記第2のオリフィスリッジの長さの合計に対する前記第1のオリフィスリッジの前記長さに基づき分配される、請求項23に記載のバルブ。
- 前記第2のオリフィスリッジが、前記第1のオリフィスリッジから離間され、少なくとも部分的に前記第1のオリフィスリッジによって取り囲まれている、請求項13に記載のバルブ。
- 前記第2のオリフィスリッジが、前記第1のオリフィスリッジによって完全に取り囲まれている、請求項25に記載のバルブ。
- 前記第1のオリフィスリッジおよび前記第2のオリフィスリッジの前記複数のセグメントの少なくとも1つが、少なくとも1つの湾曲したセグメントを含む、請求項13に記載のバルブ。
- 前記第1のオリフィスリッジおよび前記第2のオリフィスリッジの前記複数のセグメントが、相互連結された内方および外方に湾曲したセグメントである、請求項13に記載のバルブ。
- 前記オリフィスリッジが、タイプ316のステンレス鋼から形成される金属合金から構築される、請求項1から6または8から28のいずれか一項に記載のバルブ。
- 前記制御プレートが、耐食性ニッケル合金から構築される、請求項1から6または8から28のいずれか一項に記載のバルブ。
- 第1の流体導管開口を有するバルブボディと、前記バルブボディ中に配設され、前記第1の流体導管開口を取り囲む非円形の閉回路を形成する複数の相互連結されたセグメントを有するオリフィスリッジであって、当該オリフィスリッジの上側から見た場合に、前記複数の相互連結されたセグメントが、前記第1の流体導管開口に対して凹状に湾曲して対向する第1部分を形成する少なくとも1つのセグメントを含む、オリフィスリッジと、前記オリフィスリッジの上に配置されるように構成された略平面状の制御表面を有する制御プレートと、を備え、前記制御プレートの前記制御表面が、前記オリフィスリッジに対して接離するように構成されており、前記制御表面と前記オリフィスリッジとの間に形成される隙間であるオリフィスによって、前記制御プレートと前記オリフィスリッジとの間を通過する流体が制御されるバルブの得られるバルブコンダクタンスを高める方法であって、
前記オリフィスリッジの周に曲率が変化する経路を含み、前記オリフィスリッジが取り囲む内側キャビティ内における前記第1の流体導管開口が形成する第1の領域の面積を、前記オリフィスリッジが取り囲む内側キャビティ内における前記第1の領域以外の領域である第2の領域の面積よりも小さくすることにより、増大された有効開口面積を付与される、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201462011873P | 2014-06-13 | 2014-06-13 | |
US62/011,873 | 2014-06-13 | ||
PCT/US2015/035487 WO2015191960A1 (en) | 2014-06-13 | 2015-06-12 | High conductance valve for fluids and vapors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017521612A JP2017521612A (ja) | 2017-08-03 |
JP6622724B2 true JP6622724B2 (ja) | 2019-12-18 |
Family
ID=54834374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016572560A Active JP6622724B2 (ja) | 2014-06-13 | 2015-06-12 | 流体および蒸気用高コンダクタンスバルブ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10240679B2 (ja) |
EP (1) | EP3155302A4 (ja) |
JP (1) | JP6622724B2 (ja) |
KR (1) | KR102327921B1 (ja) |
CN (1) | CN106461090B (ja) |
TW (1) | TWI679364B (ja) |
WO (1) | WO2015191960A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI693638B (zh) | 2014-04-07 | 2020-05-11 | 美商蘭姆研究公司 | 獨立於配置的氣體輸送系統 |
US10557197B2 (en) | 2014-10-17 | 2020-02-11 | Lam Research Corporation | Monolithic gas distribution manifold and various construction techniques and use cases therefor |
US10022689B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-07-17 | Lam Research Corporation | Fluid mixing hub for semiconductor processing tool |
US10118263B2 (en) | 2015-09-02 | 2018-11-06 | Lam Researech Corporation | Monolithic manifold mask and substrate concepts |
WO2017115866A1 (ja) * | 2015-12-31 | 2017-07-06 | 直之 石北 | リリーフ弁 |
US9879795B2 (en) * | 2016-01-15 | 2018-01-30 | Lam Research Corporation | Additively manufactured gas distribution manifold |
US10215317B2 (en) * | 2016-01-15 | 2019-02-26 | Lam Research Corporation | Additively manufactured gas distribution manifold |
EP3203126B1 (en) | 2016-02-03 | 2020-11-18 | Microtecnica S.r.l. | Pressure regulating shut-off valve |
EP3258147B1 (en) * | 2016-06-14 | 2023-07-26 | Hamilton Sundstrand Corporation | Check valves |
US10533666B2 (en) * | 2017-01-12 | 2020-01-14 | The Boeing Company | Sealing structures and valve assemblies including the sealing structures |
US10458553B1 (en) | 2017-06-05 | 2019-10-29 | Vistadeltek, Llc | Control plate for a high conductive valve |
US10364897B2 (en) | 2017-06-05 | 2019-07-30 | Vistadeltek, Llc | Control plate for a high conductance valve |
US11248708B2 (en) | 2017-06-05 | 2022-02-15 | Illinois Tool Works Inc. | Control plate for a high conductance valve |
WO2018226596A1 (en) * | 2017-06-05 | 2018-12-13 | Vistadeltek, Llc | Control plate for a high conductance valve |
EP3714189B1 (en) * | 2017-11-21 | 2023-11-15 | Illinois Tool Works Inc. | Compact circular linkage for a pushing actuator |
TWI800553B (zh) * | 2018-11-01 | 2023-05-01 | 美商依利諾器具機械公司 | 用於高傳導性閥之控制板 |
IT201900003433A1 (it) * | 2019-03-08 | 2020-09-08 | Giacomini Spa | Gruppo di regolazione a cartuccia e valvola idraulica con doppia scala di regolazione della portata. |
US11131389B2 (en) * | 2019-10-09 | 2021-09-28 | Fisher Controls International Llc | Fluid valves having varying fluid passageways |
JP2023526786A (ja) * | 2020-05-22 | 2023-06-23 | マイクロフルーイディクス インターナショナル コーポレイション | 高圧プライミングバルブ |
Family Cites Families (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH251490A (fr) * | 1946-06-13 | 1947-10-31 | Kugler Fonderie Robinetterie | Dispositif de commande du passage d'un fluide. |
US2548239A (en) * | 1947-05-05 | 1951-04-10 | Gen Controls Co | Core structure for electromagnets |
US2642260A (en) * | 1951-04-13 | 1953-06-16 | Bell & Gossett Co | Flow control valve |
DE1013293B (de) | 1955-11-16 | 1957-08-08 | Gerdts Gustav F Kg | Selbsttaetige mehrstufige Regelduese |
US3275292A (en) * | 1962-07-19 | 1966-09-27 | Grinnell Corp | Diaphragm valve body flange construction |
BE647614A (ja) * | 1963-05-06 | |||
US3257097A (en) * | 1963-05-06 | 1966-06-21 | Grinnell Corp | Diaphragm valve |
US3206530A (en) * | 1963-11-29 | 1965-09-14 | Grinnell Corp | Method of forming a lined conduit |
US3374522A (en) * | 1965-01-22 | 1968-03-26 | Grinnell Corp | Method of making diaphragm valve bodies |
US3278156A (en) | 1965-12-27 | 1966-10-11 | Nuclear Products Company | Bellows valve |
US3407838A (en) * | 1966-01-12 | 1968-10-29 | Grinnell Corp | Plastic lined valve |
GB1477313A (en) * | 1973-08-22 | 1977-06-22 | Pfitzner J | Valves |
SE417345B (sv) | 1978-09-12 | 1981-03-09 | Bengt Arne Persson | Luftningsventil |
US4606374A (en) | 1983-04-05 | 1986-08-19 | Nupro Company | Valve |
US4732363A (en) | 1986-05-16 | 1988-03-22 | Nupro Company | Diaphragm valve |
JP2814378B2 (ja) | 1988-06-20 | 1998-10-22 | 忠弘 大見 | マスフローコントローラ |
US4964423A (en) | 1988-09-01 | 1990-10-23 | Nupro Company | Check valve |
JPH0434275A (ja) | 1990-05-26 | 1992-02-05 | Stec Kk | 常閉型流体制御バルブ |
US5279328A (en) * | 1993-01-19 | 1994-01-18 | Fluoroware, Inc. | Weir valve with adjustable bypass |
US5755428A (en) | 1995-12-19 | 1998-05-26 | Veriflow Corporation | Valve having metal-to metal dynamic seating for controlling the flow of gas for making semiconductors |
US5730423A (en) | 1996-10-16 | 1998-03-24 | Parker-Hannifin Corporation | All metal diaphragm valve |
US5992463A (en) | 1996-10-30 | 1999-11-30 | Unit Instruments, Inc. | Gas panel |
SE509103C2 (sv) * | 1997-04-22 | 1998-12-07 | Tetra Laval Holdings & Finance | Homogeniseringsventil |
US7021330B2 (en) * | 2003-06-26 | 2006-04-04 | Planar Systems, Inc. | Diaphragm valve with reliability enhancements for atomic layer deposition |
JP2005155712A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁弁 |
ITBS20040074A1 (it) * | 2004-06-25 | 2004-09-25 | Ratti Giampietro & C S N C | Dispositivo di intercettazione di un fluido |
WO2006083783A1 (en) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Swagelok Company | Flow control device |
WO2007149076A1 (en) | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Norgren, Inc. | A fluid control device with a non-circular flow area |
US8066425B2 (en) * | 2007-12-03 | 2011-11-29 | Chemical Services Limited | Homogenisation valve |
US8844901B2 (en) * | 2009-03-27 | 2014-09-30 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow control valve |
JP5774024B2 (ja) | 2009-12-31 | 2015-09-02 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | マイクロバルブ |
JP5153898B2 (ja) | 2010-04-28 | 2013-02-27 | セントラル硝子株式会社 | ハロゲンガス又はハロゲン化合物ガスの充填容器用バルブ |
JP5249310B2 (ja) | 2010-12-17 | 2013-07-31 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
DE102013101497A1 (de) * | 2013-02-14 | 2014-08-28 | Bürkert Werke GmbH | Membranventilgehäuse und Verfahren zum Herstellen eines Membranventilgehäuses |
US9587750B2 (en) * | 2013-03-15 | 2017-03-07 | Tyco Fire Products Lp | Fluid control valve system and methods |
JP6606079B2 (ja) | 2013-09-04 | 2019-11-13 | 株式会社堀場エステック | インターレース昇降機構 |
WO2015075158A1 (en) | 2013-11-20 | 2015-05-28 | Transunit Ab | An expiratory valve for controlling a flow |
-
2015
- 2015-06-12 TW TW104119193A patent/TWI679364B/zh active
- 2015-06-12 CN CN201580031746.1A patent/CN106461090B/zh active Active
- 2015-06-12 JP JP2016572560A patent/JP6622724B2/ja active Active
- 2015-06-12 US US14/737,564 patent/US10240679B2/en active Active
- 2015-06-12 WO PCT/US2015/035487 patent/WO2015191960A1/en active Application Filing
- 2015-06-12 KR KR1020177000641A patent/KR102327921B1/ko active IP Right Grant
- 2015-06-12 EP EP15805948.5A patent/EP3155302A4/en active Pending
-
2019
- 2019-02-22 US US16/282,669 patent/US10941867B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017521612A (ja) | 2017-08-03 |
CN106461090B (zh) | 2019-09-03 |
TW201602481A (zh) | 2016-01-16 |
US10941867B2 (en) | 2021-03-09 |
CN106461090A (zh) | 2017-02-22 |
KR102327921B1 (ko) | 2021-11-18 |
EP3155302A1 (en) | 2017-04-19 |
US20150362080A1 (en) | 2015-12-17 |
US20190226588A1 (en) | 2019-07-25 |
EP3155302A4 (en) | 2018-03-21 |
KR20170020846A (ko) | 2017-02-24 |
TWI679364B (zh) | 2019-12-11 |
US10240679B2 (en) | 2019-03-26 |
WO2015191960A1 (en) | 2015-12-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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