JP6615885B2 - 流体で表面を印刷するための方法及び装置 - Google Patents

Description

本発明は、有機半導体材料を含む流体で表面を印刷する方法に関連し、ここにおいて、流体は、保管容器から供給ラインを通って、表面に亘って移動可能である印刷ヘッドに運ばれ、前述の流体は、印刷ヘッドによって表面上に印刷される。

有機半導体材料についての、おびただしい分野の用途及び潜在的な使用法が、近年さまざまな用途の部門において開発されている。有機エレクトロニクス又はモレキュラーエレクトロニクスにおいて、電子構造要素中で有機半導体材料の有利な特性を利用できるように、有機半導体材料は、電子構造要素と組み合わされる。適切な有機半導体材料を使用して、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）及び広域表示が、例えば、有機発光ダイオードアセンブリから生成され得る。

有機半導体材料はまた、処理潜在能力において、及び電子構造要素の製造において、有利な特性と潜在的な使用法を有する。実際、有機半導体材料は、流体中で溶かされることができ、印刷技術を介して処理されることができ、ここにおいて、流体中に溶かされている有機半導体材料は、非接触方法において、特に、適切に改変されたインクジェットシステムを使用することによって、印刷される広域表面上に適用され得ることが知られている。

可能な限り完璧な方法で、有機半導体材料から均質層を製造できるように、有機半導体材料にとって、非常に高度な純度を有することと、好ましくない異質な粒子又は空気含有物を可能な限り殆ど含まないことが必要である。さらに、品物の製造のために有利である特性を有し、そのために使用される有機半導体材料の殆どが、酸素や空気との任意の接触に対して、極めて敏感な反応を有することが実証されている。有機半導体材料の任意の汚染を可能な限り避ける、又は最小限にするために、有機半導体材料は、それぞれ高純度の環境条件下で保管容器に充填されることが多く、その後密閉方法で閉じられる保管容器において消費の現場に運ばれる。前述の消費の現場は、汚染粒子、又は、気体、特に酸素から可能な限り遮蔽されるように処理されている。

各場合において、使用中の印刷システムに連続的に接続され、その後空にされる異なる保管容器間を切り替えるとき、保管容器から印刷システムの出口開口部までの供給ラインが洗浄（flushing）されることが必要であることが多いので、洗浄手順のために要求された流体の量は、もはや印刷のために使用され得ない。異なる流体間で切り替えるとき、印刷システムの複雑な洗浄がさらに典型的に要求されるので、流体に関するさらなる損失は不可避である。

保管容器壁から解放された粒子による、充填又は排出開口部を介して侵入する粒子による、及び、気体特に酸素の拡散を介するような汚染物質による流体の汚染は、流体の生成及び保管容器の充填の現場と、印刷システムを使用して表面を印刷するための流体の消費の現場との間の非常に大きな輸送距離によって、ならびに、保管容器中にある流体の総量が使い尽くされるまで長い保管時間がかかることによって促進される。この理由により、少ない使用可能容量を有する保管容器が使用されることが多く、印刷手順の間、印刷システムの出口ノズルに対して、空間的な面で可能な限り密閉されて配置されて、可能な限り迅速に使い尽くされる。かなり複雑であるにも関わらず、流体の望ましくない汚染は、殆どの例において不可避である。

本発明の目的は、可能な最小の流体損失で、表面を印刷するのに使用される流体の可能な最大の純度が達成されるように、有機半導体材料を含む流体で表面を印刷する方法を設計することと考えられる。

この目的は、供給ラインを通して印刷ヘッドに運ばれる流体の少なくとも一部が、戻り（return）ラインを介して保管容器中に戻るように運ばれ、ここにおいて流体回路が形成される点において、及び、流体回路中の流体が、それを介して流体が浄化される浄化設備に潅流する（perfuse）本発明にしたがって達成されると考えられる。浄化設備を備える流体回路の形成として、オプションで複数回、保管容器中にある流体が浄化設備を通って流れて、これにより洗浄され得ることが可能である。

この流体の浄化は、流体の使用直前に、又は、印刷手順の開始直前に、それぞれ実行され得る。流体が保管容器に充填される前に、生成現場から意図される消費の現場への保管容器の輸送の間に新たに生ずるどの流体の汚染も、可能な限り回避され、又は最小化されるのをそれぞれ確実にするために、流体が高い複雑性をもって浄化されることはもはや必要でない。印刷手順に対して提供される流体は、装置を通して運ばれて、これによりオプションで複数回、又はさもなければ連続的に、要求に応じて浄化され得るので、関与する構成要素の純度と、印刷手順の前及び印刷手順の間の流体の遮蔽とに関する、以前よりも厳格でない要件が、印刷手順が実行される印刷装置に対して設定され得る。

流体回路において再循環されている流体の総量の浄化は、さらに、流体の任意の汚染を低減するために、印刷手順が実行されている間、連続的に、又は時間間隔でも実行され得る。したがって、保管容器中に位置付けられた流体の総量が可能な限り速く使い尽くされる必要はない。

本発明の構想の、１つの特に有利な設計実施形態にしたがうと、ここで保管容器に戻るように運ばれる流体は、少なくとも部分的に、供給ラインにおいて印刷ヘッドに運ばれる流体の周囲を流れることが提供される。例えば、広域表示の製造に適した多くの有機半導体材料は、望ましくないことに、それぞれ環境から吸収される、又は流体に侵入する酸素によって、すばやく汚染され得る。このために、例えば、流体への酸素の任意の侵入、又は、流体における前述の酸素の拡散手順が、それぞれ回避されて可能な限り最小化されるように、印刷装置の多くの構成要素は設計され、ステンレス鋼のような適切な材料から製造される。保管容器に戻るように運ばれる流体は、少なくとも部分において供給ラインを完全に囲むので、供給ラインを通して印刷ヘッドに運ばれる流体への望ましくない酸素の侵入は妨げられて、場合によってはかなり防がれ、流体ラインに侵入する環境からの酸素は、戻りラインのみに、したがって再び保管容器に戻るように運ばれる流体のみに、実質的に侵入し得る。供給ラインを囲む戻りラインは、戻りラインによって囲まれている供給ラインに対して、付加的な遮蔽と機能的な防壁とを形成する。戻りラインを通って再び戻し運ばれる流体は、印刷ヘッドに再供給される前に、任意の潜在的な汚染を低減するために、先手をうって又は要求に応じて浄化され得る。

印刷手順の間、保管容器は、表面から離れて間隔をあけられるように位置的に固定するし方で配置され、印刷するために、柔軟な（flexible）供給ライン及び柔軟な戻りラインを介して保管容器に接続された印刷ヘッドは、表面に亘って移動されることがさらに提供される。印刷装置内又は流体回路中の任意の潜在的な汚染は、それぞれ、印刷手順の間に浄化設備の支援により低減され得るので、流体が流体回路中で再循環されて、ここで流体回路中に組み込まれた浄化設備を介して浄化されるための潜在性によって、保管容器と印刷ヘッドの間に広い間隔をあけることは可能である。保管容器が、印刷手順の間、印刷ヘッドに、又は印刷ヘッド上に直接配置されることや、表面に亘って印刷ヘッドと連帯して移動されることは、必要ではない。保管容器は、印刷される表面から離れて間隔をあけられるように、位置的に固定するし方で配置され得る。保管容器の印刷ヘッドへの接続は、柔軟な供給ライン及び柔軟な戻りラインを介して可能にされる。柔軟な供給ラインは、供給ラインを囲む戻りラインによってさらに遮蔽される。供給ラインにおける、より長い滞留時間によって随意促進された流体の任意の汚染は、戻りラインを通って、及び浄化設備を通って流体が運ばれるので、要求に応じて再び低減され得る。

効率的で迅速な印刷装置の費用効果の高い製造は、表面から離れて間隔をあけられるような、及び、特に印刷ヘッドから離れて間隔をあけられるような保管容器の構成と、柔軟な供給ライン及び柔軟な戻りラインを用いた後者の組み込みとによって可能である。離れた間隔をあけられて位置的に固定するし方で配置された保管容器は、移動可能な印刷ヘッド上に又は移動可能な印刷ヘッドにおいて配置される保管容器よりも、かなり大きな容量を有し得る。個々の印刷手順は、より著しく迅速な方法で実行されて完了され得る。保管容器の交換が要求される前に、大容量保管容器のそれぞれによって、多数の印刷手順が実行され得る。

達成されるのに可能な限り効率的で効果的である流体の浄化のために、浄化設備中の流体は、脱気設備を通って、及び粒子濾過設備を通って運ばれることが、提供される。有機半導体材料に対して有害である、気体による任意の望ましくない汚染、及び、特に酸素によるどの汚染も、脱気設備を介して低減され得る。例えば、輸送の間又は長期保管の間に、保管容器から又は印刷装置の構成要素から解放されて、流体を汚染する粒子は、粒子濾過設備を介して流体から濾過され得る。この部分に対する粒子濾過設備は、複数の段階を有するように、又は、複数の異なる濾過器構成要素を有するように、段々とさらに細かい粒子を捕えることができるように、及び、後者を流体の流れから濾過できるように構成され得る。例えば、印刷ヘッドによって適用される流体の純度に対して設定された、より厳格でない要件の場合において、又は、費用の理由のために、印刷ヘッドに供給される前に、及び、印刷される表面上で印刷される印刷ヘッドを介して、流体が、脱気設備のみを通して、又は、粒子濾過設備のみを通して運ばれることが、同様に考えられる。

十分な純度の流体のみが印刷手順の間に使用されて、印刷ヘッドによって印刷される表面上に印刷されることを保証できるように、本発明によると、流体回路中の流体が、分析設備を通って運ばれ、流体の分析が実行されることが提供される。分析設備を通って運ばれる流体、及び流体の純度についての適切な鍵となる指標は、例えば、分析設備によって決定され得る。浄化の後、印刷ヘッドに供給されるのに直接先立って、分析設備によってここで実行される分析が流体を記述するように、流れ方向において、便宜上、分析設備は浄化設備の後に配置される。

分析設備は、例えば、印刷手順の開始前に、又は、印刷手順の間、連続的に、ここで実行された分析の結果を検出して記憶するように、データ記憶設備に接続され得る。このように、印刷手順前又は印刷手順の間に実行される分析の遡及評価も実行され得る。

分析の結果に依存するように、表面を印刷するための印刷ヘッドの使用が解放され、又は阻止されることが、有利に提供される。例えば、もし分析の結果が、流体が、肯定的な印刷結果が保証されるのに不十分な純度であることを実証したら、印刷ヘッドは印刷に対して阻止され得、流体は、浄化設備中の流体の浄化に影響を与えるように、流体回路を通って運ばれ得る。ここでの分析は継続されて、浄化設備によって既に影響を与えられている流体の浄化は、印刷ヘッドが表面を印刷するために再び解放される前に点検され得る。

本発明は、有機半導体材料を含む流体で表面を印刷する装置にも関連し、ここにおいて、装置は、流体のための保管容器と、印刷される表面に亘って移動可能である、流体で表面を印刷するための印刷ヘッドと、流体が供給ラインを介して保管容器から印刷ヘッドに運ばれ得る供給ラインとを有する。

本発明にしたがうと、装置は、印刷ヘッドに運ばれる流体の少なくとも一部分が、戻りラインを介して保管容器中に戻るように運ばれ得る戻りラインを有し、ここにおいて、流体回路は戻りラインと供給ラインによって共同して形成され得ることと、装置が流体のための浄化設備を有し、前述の浄化設備は、流体回路中に配置されて、流体によって潅流され得ることが提供される。

本発明の構想の、１つの有利な設計実施形態にしたがうと、円周方向における戻りラインは、供給ラインの少なくとも一部分を完全に囲むことが提供される。戻りラインは、少なくとも部分的に、中空の円筒であるように設計され、中空円筒の内部空間において、同心円のし方で配置された供給ラインを囲み得る。戻りラインが、螺旋形のし方で供給ラインの周囲にあることが同様に考えられる。このような訳で、戻りラインは、供給ラインにおいて、環境と、流体の任意の汚染とに関して、供給ラインに対する遮蔽を形成する。戻りラインは、実質的に供給ラインの長さ全体に亘って供給ラインを完全に囲って遮蔽し得る。戻りラインが、一部分に沿ってのみ、又は、特に露出された領域においてのみ供給ラインを囲むことが同様に考えられる。

移動可能な印刷ヘッドの費用効果の高い使用が、印刷ヘッドから離れて間隔をあけられるように配置された保管容器で可能にされるように、本発明によって、供給ラインと戻りラインが少なくとも部分的に柔軟であり、位置的に固定するし方で配置された保管容器と、移動可能な印刷ヘッドとの間に配置されることが、提供される。保管容器は、ハウジング壁又は空間（room）壁によって、移動可能な印刷ヘッドと印刷される表面とから隔離されて遮蔽され得るので、例えば、印刷される表面の直接の環境において、環境上の条件を妥協することなく、保管容器の交換が可能である。印刷ヘッドから離れて間隔をあけられるように配置される保管容器の容量は、数リットル又はそれ以上であり得る。位置的に固定するし方で配置された保管容器は、適切な迅速結合コネクタで提供されて、迅速に置き換えられ得る。順次的な方法で動作におかれることができる複数の保管容器が提供されることが、同様に考えられる。いったん第１の保管容器が完全に空になると、切り替えが行われ得、第２の保管容器が使用され得、印刷手順が可能な限りすばやく継続されるのを可能にする。第１の保管容器は補充され、又は、補充された保管容器によって置き換えられ得る。この方法において、殆ど途切れない方法で多数の印刷手順が実行され得る。

浄化設備は、便宜上、脱気設備と粒子濾過設備を有する。複数の段階でオプションで構成され得る、又はさまざまな構成要素を備える脱気設備及び粒子濾過設備は、保管容器の外側に配置され得る。脱気設備と粒子濾過設備が保管容器中に一体化されること、保管容器と共同して置き換えられることができること、及び、例えば保管容器が補充されたときに再生成されることが、同様に考えられる。

個々の場合において、例えば、流体の脱気又は濾過が不必要又は不相応に費用集約的であると見なされる限り、浄化設備が１つだけの脱気設備を、又は１つだけの粒子濾過設備を有することが、費用の理由から有利であり得る。脱気設備と粒子濾過設備は、浄化設備の永続的な構成要素部分でないことと、要求されたときのみ、流体のための回路又は保管容器において一体化されることが、同様に可能である。

本装置はさらに、流体を分析するための分析設備を有し得る。印刷ヘッド解放設備に対して信号送信するし方で接続された制御設備を介して、印刷ヘッドは解放され、又はさもなければ、もし印刷手順にとって必要な要件が満たされなければ、到来する印刷手順に対して阻止され得る。分析結果は、分析設備と制御設備との間の接続を介して制御設備に送信され得、印刷ヘッドは、分析結果に依存して、解放され又はそうでなければ阻止され得る。

分析設備と制御設備の両方は、それぞれ、保管容器において配置されるか、又は後者において一体化され得る。この場合において、保管容器は、印刷ヘッドのみに接続されることができるように、供給ライン及び戻りラインに対する接続のためのコネクタを有さなければならない。保管容器が供給ライン及び戻りラインに接続されるとすぐに、保管容器中に位置付けられた流体が、流体回路を通って運ばれて分析され得る。もし分析が、流体が要求される純度を有さないことを示せば、流体のさらなる浄化が先ず実行されるように、印刷ヘッドの解放が拒否され得る。要求される純度が分析設備によって実証されるとすぐに、印刷ヘッドは解放され得、保留中の印刷手順が開始され得る。

このように、浄化と、印刷手順の制御は、適切に設計された保管容器の支援とともに自律的な方法において実行され得る。現場に据え付けられた印刷装置の複雑な適応は要求されない。

組織的及び空間的な面で、有機半導体材料を有する流体の提供は、通常、印刷装置の動作とは別に実行され、また、表面を印刷するための有機半導体材料を有する流体の意図された使用とは別に実行される。印刷装置の動作の間に、及び、保管容器を漸進的に空にしている間に、連続的に獲得されて検出された分析結果のデータ記憶の支援により、保管容器の使用の間、及び、保管容器からの後者の取り出しの間、流体の純度に対する鍵となる指標が記録され得る。このように、動作の間に起きる潜在的なエラーの原因及び責任は、より容易に確証されて特定され得る。

保管容器に浄化設備が一体化された構成の場合において、後者において位置付けられた流体の再循環及び浄化は、印刷設備又は供給ライン及び戻りラインに接続された保管容器なしで、保管容器の内部において実行されることが同様に可能である。この場合において、潜在的に生じ得た任意の介在する流体の汚染をある時間間隔で低減するように、例えば、保管容器が使用されるに先立って、充填された保管容器を倉庫保管している間に、充填された保管容器中に位置付けられた流体の浄化も可能である。

図面において図示される本発明の構想の、さまざまな設計実施形態が、以下でさらに詳細に説明されるだろう。

図１は、表面を印刷するための装置の概略図を示しており、ここにおいて、保管容器は、表面に亘って移動可能である印刷ヘッドから離れて間隔をあけられるように配置されて、柔軟な供給ライン及び柔軟な戻りラインを介して、移動可能な印刷ヘッドに接続される。 図２は、柔軟な供給ラインと、供給ラインを囲む柔軟な戻りラインとの、設計実施形態の概略図を示している。 図３は、浄化設備と分析設備が一体化された保管容器の概略図を示している。 図４は、２つの保管容器が３方向バルブを介して供給ライン及び戻りラインに選択的に接続され得る、印刷装置の一部領域の概略図を示している。

図１において概略的に図示された、表面２を印刷するための装置１は、表面２に亘って移動可能である印刷ヘッド３を有する。印刷ヘッド３の印刷ノズル４からの流体は、表面２上に吹き付けられ、よって、表面２上に印刷され得る。

印刷ヘッド３は、柔軟な供給ライン５と、同様に柔軟であるように設計された戻りライン６とを介して、表面２から離れて間隔をあけられるように配置された保管容器７に接続される。保管容器７は、位置的に固定するし方で配置される。柔軟であるように設計された供給ライン５と、同様に柔軟であるように設計された戻りライン６とは、位置的に固定するし方で配置された保管容器７上で、移動可能な印刷ヘッド３の結合を可能にする。

制御バルブ８を介して、供給ライン５を介して印刷ヘッド３に供給される流体が、印刷ノズル４を通って表面２上に吹き付けられ得るか、又はさもなければ、保管容器７中に戻るように運ばれるように戻りライン６中に導かれ得るかのいずれかである制御バルブ８は、印刷ヘッド３において配置される。供給ライン５と戻りライン６が流体回路を形成する。

流体がポンプ９を介して保管容器７から印刷ヘッド３に向けて運ばれ得、そのポンプ９は、供給ライン５に配置される。制御バルブ８が、印刷ノズル４を阻止して、供給ライン５を介して印刷ヘッド３中に運ばれる流体を戻りライン６中に導くとき、ポンプ９は、流体回路における流体の循環を生成する。

供給ライン５において、脱気設備１０と粒子濾過設備１１がさらに配置され、これらを介して、供給ライン５を通って運ばれる流体は、浄化される。ここで、粒子が濾過されて、気体による任意の望ましくない流体の汚染が低減される。

供給ライン５及び戻りライン６の有利な設計が、図２において概略的に図示されている。ここでの戻りライン６は、中空の円筒であるように設計され、中空の円筒の内部空間において、同心円のし方で配置された供給ライン５を囲み得る。供給ライン５及び戻りライン６における流体の例示的な流れ方向は、矢印によって示される。図１において破線で示された広い領域内で、戻りライン６は、ここで円周方向に供給ライン５を完全に囲んで、環境に関して供給ライン５の遮蔽を形成する。このような訳で、柔軟なライン材料が使用されるときに殆ど不可避である、供給ライン５又は戻りライン６中に位置付けられた流体のどの汚染も、戻りライン６中に位置付けられた流体に主として集中し、限定され、前記の流体は、保管容器７中に戻るように運ばれ、再び印刷ヘッド３に運ばれる前に、脱気設備１０及び粒子濾過設備１１によって浄化される。脱気設備１０と粒子濾過設備１１は、各ケースにおいて複数の段階で構成され得、又は、各ケースにおいて複数の構成要素を有し得る。脱気設備１０と粒子濾過設備１１は、流体を潅流させるための浄化設備１２を形成する。

異なる設計の保管容器７及び浄化設備１２の構成が、図３において単に例示的な方法で図示されている。浄化設備１２の脱気設備１０及び粒子濾過設備１１は、保管容器７の内部空間１３において配置される。保管容器７の内部空間１３において、制御設備１５を有する分析設備１４がさらに配置される。ポンプ９によって、供給ライン５中に、印刷ヘッド３に向けて運ばれる流体は、この流体が供給ライン５中への及び印刷ヘッド３へ進む前に、まず、保管容器７の内部空間１３から浄化設備１２を通って、その後、分析設備１４を通って運ばれる。流体の浄化に続いて、分析設備１４によって分析が実行される。供給ライン５を通って印刷ヘッド３に向かって運ばれる流体を、戻りライン６中に向けるために、及び、前述の流体を、繰り返し浄化のために保管容器７に再び供給するために、印刷ヘッド３が、印刷手順の間に解放されるか、又はさもなければ阻止されるように、制御設備１５の支援による分析の結果が、印刷ヘッド３の制御バルブ８に送信され得る。

異なる設計の、装置１の変形の一部領域が、図４において概略的に図示されている。供給ライン５及び戻りライン６は、３方向バルブ１６を介して、２つの保管容器７のうちの１つに選択的に接続される。印刷手順を実行するために、２つの保管容器７のうちの１つが印刷ヘッド３に接続される一方、他方の保管容器７は、未処理の流体で充填された保管容器７によって交換されて置き換えられ得る。現在使用されている保管容器７からの流体が殆ど使い尽くされるとすぐに、３方向バルブ１６を介して切り替えが行われ、未処理の流体で充填された他の保管容器７が使用されるために継続され得る。この方法で、装置１の動作の間、中断時間期間が著しく低減され得る。

この例示的な実施形態の場合において、浄化設備１２と分析設備１４は、外部に配置されて、保管容器７において一体化されない。分析設備１４に接続された制御設備１５は、無線によって、印刷ヘッド３中における制御バルブ８に、制御情報の項目を送信し得る。

例示的な実施形態において記述された装置１の任意の変形から独立した方法で、ポンプ９は、流体回路内のどの任意の位置に配置され得ることが同様に可能である。したがって、流れ方向におけるポンプ９はまた、浄化設備１２より前に、又はオプションで浄化設備１２と分析設備１４との間に配置され得る。浄化設備１２と、オプションで分析設備１４も、戻りライン６に配置されることが同様に可能である。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
［１］ 有機半導体材料を含む流体で表面（２）を印刷する方法であって、前記流体は、保管容器（７）から供給ライン（５）を通って、前記表面（２）に亘って移動可能である印刷ヘッド（３）に運ばれ、前記流体は、前記印刷ヘッド（３）によって前記表面（２）上に印刷される方法において、前記供給ライン（５）を通って前記印刷ヘッド（３）に運ばれる前記流体の少なくとも一部は、戻りライン（６）を介して前記保管容器（７）に戻るように運ばれ、ここで、流体回路が形成され、前記流体回路中の流体は、浄化設備（１２）を潅流し、前記浄化設備（１２）を介して前記流体が浄化されることを特徴とする、方法。
［２］ 前記保管容器（７）に戻るように運ばれる前記流体は、ここで少なくとも複数の部分において、前記供給ライン（５）で前記印刷ヘッド（３）に運ばれる前記流体の周囲を流れることを特徴とする、［１］に記載の方法。
［３］ 印刷手順の間、前記表面（２）から離れて間隔をあけられるように、前記保管容器（７）が位置的に固定するし方で配置され、印刷のために、柔軟な供給ライン（５）と柔軟な戻りライン（６）を介して前記保管容器（７）に接続される前記印刷ヘッド（３）が、前記表面（２）に亘って移動されることを特徴とする、［１］又は［２］に記載の方法。
［４］ 前記浄化設備（１２）中の前記流体は、脱気設備（１０）を通って、又は、粒子濾過設備（１１）を通って、又は、脱気設備（１０）及び粒子濾過設備（１１）を通って運ばれることを特徴とする、［１］乃至［３］の１つ以上に記載の方法。
［５］ 前記流体回路中の前記流体は、分析設備（１４）を通って運ばれて、分析が実行されるという点で特徴付けられる、［１］乃至［４］の１つ以上に記載の方法。
［６］ 前記表面（２）を印刷するための前記印刷ヘッド（３）の使用は、前記分析の結果に依存するように、解放され又は阻止されることを特徴とする、［５］に記載の方法。
［７］ 有機半導体材料を含む流体で表面（２）を印刷する装置（１）であって、前記装置（１）は、前記流体のための保管容器（７）と、印刷される前記表面（２）に亘って移動可能である、前記流体で前記表面（２）を印刷するための印刷ヘッド（３）と、前記流体が供給ライン（５）を介して前記保管容器（７）から前記印刷ヘッド（３）に運ばれ得る前記供給ライン（５）とを有する装置において、前記装置（１）は、前記印刷ヘッド（３）に運ばれる前記流体の少なくとも一部分が戻りライン（６）を介して前記保管容器（７）中に戻るように運ばれ得る前記戻りライン（６）を有し、ここで、流体回路が、前記戻りライン（６）と前記供給ライン（５）によって共同して形成され、前記装置（１）が、前記流体のための浄化設備（１２）を有し、前記浄化設備（１２）は、前記流体回路に配置され、前記流体によって潅流されることができることを特徴とする、装置（１）。
［８］ 円周方向における前記戻りライン（６）は、前記供給ライン（５）の少なくとも一部分を完全に囲むことを特徴とする、［７］に記載の装置（１）。
［９］ 前記供給ライン（５）と前記戻りライン（６）は、少なくとも複数の部分において柔軟であり、位置的に固定するし方で配置された前記保管容器（７）と前記移動可能な印刷ヘッド（３）との間に配置されることを特徴とする、［７］又は［８］に記載の装置（１）。
［１０］ 前記浄化設備（１２）は、脱気設備（１０）を、又は、粒子濾過設備（１１）を、又は、脱気設備（１０）及び粒子濾過設備（１１）を有することを特徴とする、［７］乃至［９］の１つ以上に記載の装置（１）。
［１１］ 前記装置（１）は、前記流体を分析するための分析設備（１４）を有することを特徴とする、［７］乃至［１０］の１つ以上に記載の装置（１）。
［１２］ 前記装置（１）は、印刷ヘッド解放設備を有する制御設備（１５）を有することを特徴とする、［７］乃至［１１］の１つ以上に記載の装置（１）。

Claims (10)

1. 有機半導体材料を含む流体で表面（２）を印刷する方法であって、前記流体は、保管容器（７）から供給ライン（５）を通って、前記表面（２）に亘って移動可能である印刷ヘッド（３）に運ばれ、前記流体は、前記印刷ヘッド（３）によって前記表面（２）上に印刷される方法において、
   前記供給ライン（５）を通って前記印刷ヘッド（３）に運ばれる前記流体の少なくとも一部は、戻りライン（６）を介して前記保管容器（７）に戻るように運ばれ、ここで、流体回路が形成され、前記流体回路中の前記流体は、浄化設備（１２）を灌流し、前記浄化設備（１２）を介して前記流体が浄化され、前記保管容器（７）に戻るように運ばれる前記流体は、前記供給ライン（５）の中を前記印刷ヘッド（３）に運ばれる前記流体の周囲を少なくとも部分的に流れることを特徴とする、方法。
2. 印刷手順の間、前記表面（２）から離れて間隔をあけられるように、前記保管容器（７）が位置的に固定するし方で配置され、印刷のために、柔軟な供給ライン（５）と柔軟な戻りライン（６）を介して前記保管容器（７）に接続される前記印刷ヘッド（３）が、前記表面（２）に亘って移動されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 前記浄化設備（１２）中の前記流体は、脱気設備（１０）を通って、又は、粒子濾過設備（１１）を通って、又は、脱気設備（１０）及び粒子濾過設備（１１）を通って運ばれることを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記流体回路中の前記流体は、分析設備（１４）を通って運ばれて、分析が実行されるという点で特徴付けられる、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の方法。
5. 前記表面（２）を印刷するための前記印刷ヘッド（３）の使用は、前記分析の結果に依存するように、解放され又は阻止されることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
6. 有機半導体材料を含む流体で表面（２）を印刷する装置（１）であって、前記装置（１）は、前記流体のための保管容器（７）と、印刷される前記表面（２）に亘って移動可能である、前記流体で前記表面（２）を印刷するための印刷ヘッド（３）と、前記流体が供給ライン（５）を介して前記保管容器（７）から前記印刷ヘッド（３）に運ばれ得る前記供給ライン（５）とを有する装置において、前記装置（１）は、前記印刷ヘッド（３）に運ばれる前記流体の少なくとも一部分が戻りライン（６）を介して前記保管容器（７）中に戻るように運ばれ得る前記戻りライン（６）を有し、ここで、流体回路が、前記戻りライン（６）と前記供給ライン（５）によって共同して形成され、前記装置（１）が、前記流体のための浄化設備（１２）を有し、前記浄化設備（１２）は、前記流体回路に配置され、前記流体によって灌流されることができ、円周方向における前記戻りライン（６）は、前記供給ライン（５）の少なくとも一部分を完全に囲むことを特徴とする、装置（１）。
7. 前記供給ライン（５）と前記戻りライン（６）は、少なくとも複数の部分において柔軟であり、位置的に固定するし方で配置された前記保管容器（７）と前記移動可能な印刷ヘッド（３）との間に配置されることを特徴とする、請求項６に記載の装置（１）。
8. 前記浄化設備（１２）は、脱気設備（１０）を、又は粒子濾過設備（１１）を、又は脱気設備（１０）及び粒子濾過設備（１１）を有することを特徴とする、請求項６又は７に記載の装置（１）。
9. 前記装置（１）は、前記流体を分析するための分析設備（１４）を有することを特徴とする、請求項６乃至８のいずれか一項に記載の装置（１）。
10. 前記装置（１）は、印刷ヘッド解放設備を有する制御設備（１５）を有することを特徴とする、請求項６乃至９のいずれか一項に記載の装置（１）。

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