JP6606142B2 - 流体制御装置の製造方法 - Google Patents
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Description
101 基板
102 圧電アクチュエータ
103 間隙
2 流体制御装置
20 変形可能基材構成
21 流通板
21a 外部表面
210 導入孔
211 集約溝
212 集約開口部
22 可撓性板
22a 可動部
22b 固定部
23 圧電アクチュエータ
230 振動板
230a 第二表面
230b 第一表面
230c 突出部
231 外枠
232 フレーム
233 圧電素子
26 ケーシング
26a 収容空間
261 排出孔
260 側壁
δ 特定の深さ
h 間隙
A 一時保存チャンバ
θ 角度
d 変位
d’ 変位
S31 ステップ
S32 ステップ
S33 ステップ
Claims (15)
- ケーシングと、圧電素子及び振動板によって構成され、前記振動板が第一表面及びこれに対応する第二表面を有し、前記第二表面が突出部を有する圧電アクチュエータと、流通板及び可撓性板を包含し、前記流通板が外部表面を有し、前記可撓性板が可動部を有する変形可能基材構成とを提供するステップ(a)と、
前記可撓性板及び前記流通板を積層し合うように接合して前記変形可能基材構成を構成するステップ(b)と、
前記ケーシング、前記圧電アクチュエータ及び前記変形可能基材構成が順次積層し合い、定位するように接合して組み立て、外部に少なくとも一つの付勢力を加える同時変形作業を実施することで、前記変形可能基材構成にある前記可撓性板及び前記流通板を同時変形し、前記可撓性板の前記可動部と前記振動板の前記突出部との間に特定の深さを定義するステップ(c)と、を包含することを特徴とする、流体制御装置の製造方法。 - 前記同時変形作業は、少なくとも一つの付勢力を前記変形可能基材構成の前記流通板の外部表面に加えることで、前記変形可能基材構成に同時変形させることを特徴とする、請求項1に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記同時変形作業は、少なくとも一つの付勢力を前記変形可能基材構成の前記流通板の外部表面に加え、前記変形可能基材構成の前記可撓性板に近接する方向に向かって付勢することで、前記変形可能基材構成に同時変形を発生させ、且つ前記変形可能基材構成が接触した前記流通板の外部表面に少なくとも一つの付勢力痕跡を発生させることを特徴とする、請求項2に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記同時変形作業は、外部から少なくとも一つの付勢力を前記変形可能基材構成の前記流通板の外部表面に加え、前記変形可能基材構成の前記可撓性板から離れる方向に向かって付勢ことで、前記変形可能基材構成に同時変形を発生させ、且つ前記変形可能基材構成が接触した前記流通板の外部表面に少なくとも一つの付勢力痕跡を発生させることを特徴とする、請求項2に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記同時変形作業は、外部から少なくとも一つの付勢力を前記変形可能基材構成の前記流通板の外部表面に加え、前記少なくとも一つの付勢力は、前記流通板の外部表面と一定の間隙を保持し、前記変形可能基材構成の前記可撓性板から離れる方向に向かって付勢することで、前記変形可能基材構成に同時変形を発生させ、且つ前記変形可能基材構成が接触した前記流通板の外部表面に少なくとも一つの付勢力痕跡を発生させることを特徴とする、請求項2に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記少なくとも一つの付勢力は、前記流通板の外部表面と一定の間隙を保持し、前記流通板の外部表面に付勢する前記少なくとも一つの付勢力が吸引力であることで、前記変形可能基材構成に同時変形を発生させることを特徴とする、請求項5に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成の同時変形領域は、前記可撓性板の前記可動部の領域にあり、且つ同時変形は、湾曲同時変形構成であって、前記湾曲同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成の同時変形領域は、前記可撓性板の前記可動部の領域にあり、且つ同時変形は、錐体同時変形構成であって、前記錐体同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成の同時変形領域は、前記可撓性板の前記可動部の領域にあり、且つ同時変形は、凸起平面同時変形構成であって、前記凸起平面同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成の同時変形領域は、前記可撓性板の前記可動部の領域及び前記可動部を超えたその他の領域にあり、且つ前記同時変形構成は、湾曲同時変形構成であって、前記湾曲同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成の同時変形領域は、前記可撓性板の前記可動部の領域及び前記可動部を超えたその他の領域にあり、且つ前記同時変形構成は、錐体同時変形構成であって、前記錐体同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成は、前記流通板及び前記可撓性板によって構成される曲面同時変形構成であって、前記曲面同時変形構成は、異なる曲率にある複数の曲面によって構成され、前記可撓性板の前記曲面同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成は、前記流通板及び前記可撓性板によって構成される曲面同時変形構成であって、前記曲面同時変形構成は、同じ曲率にある複数の曲面によって構成され、前記可撓性板の前記曲面同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1に記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成は、前記振動板の前記突出部に近接する方向に向かう突出同時変形構成であって、前記突出同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1或いは請求項7乃至請求項13のいずれかに記載の流体制御装置の製造方法。
- 前記変形可能基材構成は、前記振動板の前記突出部から離れる方向に向かう突出同時変形構成であって、前記突出同時変形構成は、前記振動板の前記突出部との間で必要な特定の深さを定義することを特徴とする、請求項1或いは請求項7乃至請求項13のいずれかに記載の流体制御装置の製造方法。
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