JP6600563B2 - 磁気駆動ユニットおよび磁気駆動ユニットの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、磁石と空芯コイルを備えた磁気駆動ユニットおよびその製造方法に関する。

従来から、撮影用の光学ユニットが搭載された各種の光学機器が用いられている。かかる光学ユニットは、手振れや振動による撮影画像の乱れを抑制するために、光学モジュールを揺動させて振れを補正する振れ補正用駆動機構を備える。特許文献１には、この種の振れ補正機能付き光学ユニットが開示されている。特許文献１では、振れ補正用駆動機構として、光学モジュールを保持する可動体の外周側に配置される４個のマグネットと、４個のマグネットのそれぞれに対向配置される４個のコイルを備える磁気駆動機構を用いる。

特開２０１４−２３５１８８号公報

特許文献１では、磁気駆動機構のコイルは空芯コイルであり、可動体の外周面に接着されて固定される。可動体の外周面には凸部が形成され、空芯コイルの開口部に凸部が挿入される。従来は、可動体の凸部は、空芯コイルの開口部よりも一回り小さいので、空芯コイルの中心と凸部の中心とが位置ずれした状態で接着が行われ、空芯コイルの位置精度が低下するおそれがあった。また、従来は、接着剤を２種類使用し、ＵＶ接着剤で空芯コイルの仮固定を行い、熱硬化型接着剤で本固定を行う方法が用いられているが、この方法では取り付け作業に手間がかかってしまっていた。

本発明の課題は、このような点に鑑みて、空芯コイルと磁石を備える磁気駆動ユニットにおいて、空芯コイルの位置精度を高めることにある。

上記の課題を解決するために、本発明は、固定体および可動体と、前記固定体に対して前記可動体を移動させる磁気駆動機構と、を有する磁気駆動ユニットであって、前記磁気駆動機構は、前記固定体および前記可動体の一方に保持される磁石と、前記固定体および前記可動体の他方に設けられたコイル取付面から前記磁石に向けて突出するコイル保持部に保持される空芯コイルと、を有し、前記コイル保持部は、前記空芯コイルの開口部に挿入され、前記空芯コイルの辺に対して交差する第１方向に弾性変形可能な弾性変形部を備え、前記弾性変形部は、前記コイル保持部における前記第１方向の外周縁部の少なくとも１箇所に配置され、前記コイル保持部の前記第１方向の最大外形寸法は、前記空芯コイルの前記第１方向の開口幅よりも大きいことを特徴とする。

本発明によれば、磁気駆動機構の空芯コイルを保持するコイル保持部の外周縁部に、空芯コイルの辺と交差する第１方向に弾性変形する弾性変形部が配置されており、弾性変形部を含むコイル保持部の第１方向の最大外形寸法が空芯コイルの開口幅よりも大きい。従って、弾性変形部を弾性変形させてコイル保持部の第１方向の幅を狭めることができ、コイル保持部を空芯コイルの開口部に圧入して空芯コイルの位置決めおよび仮固定を行うことができる。このようにすると、空芯コイルの位置は弾性変形部の変形に従うので、空芯コイルの位置精度を高めることができる。また、圧入によって仮固定を行うので、仮固定
が容易であるとともに、仮固定のための接着剤を必要とせず、接着剤の種類が少なくて済む。

本発明において、前記コイル保持部は、前記第１方向に対向する一対の前記弾性変形部を備え、前記第１方向の一方側に位置する前記弾性変形部には、前記第１方向の一方側を向く側面が設けられ、前記第１方向の他方側に位置する前記弾性変形部には、前記第１方向の他方側を向く側面が設けられ、前記第１方向の一方側を向く側面と前記第１方向の他方側を向く側面との距離は、前記空芯コイルの前記第１方向の開口幅よりも大きいことが望ましい。このようにすると、第１方向に対向する２箇所で弾性変形部が均等に変形する。従って、空芯コイルを均等に保持できる。

本発明において、前記第１方向の一方側を向く側面および前記第１方向の他方側を向く側面は、それぞれ、前記コイル取付面に対して垂直な方向に延在するストレート部と、前記ストレート部の先端から前記コイル保持部の内周側へ向けて傾斜する傾斜部と、を備え、前記第１方向の一方側を向く前記ストレート部と前記第１方向の他方側を向く前記ストレート部との距離は、前記空芯コイルの前記第１方向の開口幅よりも大きいことが望ましい。このようにすると、傾斜面に沿ってストレート部までスムーズに空芯コイルを導くことができる。従って、コイル保持部に空芯コイルを取り付ける作業が容易である。

本発明において、前記コイル保持部は、前記コイル取付面を貫通する貫通部もしくは凹部を備え、前記弾性変形部は、前記貫通部もしくは凹部の外周側に位置することが望ましい。このようにすると、圧入時に弾性変形部を内周側へ変形させることができる。従って、空芯コイルが圧入時に変形するおそれを少なくすることができる。

本発明において、前記第１方向は、前記空芯コイルの長辺と交差する方向であることが望ましい。このようにすると、弾性変形部の数や形状の自由度を高めることができ、コイル形状に合わせたコイル保持部を設けることができる。

本発明において、前記コイル保持部は、前記コイル取付面からの突出寸法が前記空芯コイルの厚さよりも大きいことが望ましい。このようにすると、コイル保持部の先端と、対向する磁石によりストッパを構成できる。これにより、磁石と空芯コイルが対向する方向に可動体が動くときの可動範囲を制限できるので、可動体の動きに追従して変形する部材が過度に変形することを防止できる。

本発明において、前記磁石は前記第１方向と交差する分極線を境に磁極が異なり、前記空芯コイルは、前記分極線に対して第１方向の一方側に位置する磁極と対向する第１有効辺、および、前記分極線に対して第１方向の他方側に位置する磁極と対向する第２有効辺を備えることが望ましい。このようにすると、磁石の分極線に対する空芯コイルの有効辺の位置精度を高めることができる。従って、磁極に対する有効辺の位置ずれによる駆動力のロスを抑えることができる。

本発明において、前記固定体に対して前記可動体を揺動可能に支持する支持機構を有し、前記可動体は、光学モジュールと、前記光学モジュールを保持するホルダを備え、前記第１方向と交差する方向を第２方向、前記第１方向および前記第２方向と交差する方向を第３方向とするとき、対向する前記磁石と前記空芯コイルの組は、前記ホルダの前記第２方向の両側と、前記ホルダの前記第３方向の両側の４箇所に設けられ、前記コイル保持部は、前記ホルダの前記第２方向の両側を向く部分と、前記ホルダの前記第３方向の両側を向く部分の４箇所、もしくは、前記ホルダの前記第２方向の両側に位置する前記固定体の部分と、前記ホルダの前記第３方向の両側に位置する前記固定体の部分の４箇所に設けられ、前記４箇所に設けられた前記コイル保持部のそれぞれに前記空芯コイルが取り付けら
れていることが望ましい。このようにすると、可動体に保持された光学モジュールの撮影画像が手振れなどの外部振動の影響を受ける場合に、磁気駆動機構によって光軸と交差する２軸周りに可動体を揺動させて振れ補正を行うことができる。また、磁気駆動機構は光学モジュールの光軸周りに４組の磁石と空芯コイルを配置した構造であるため、空芯コイルの位置精度を高めることにより、バランス良く可動体を揺動させることができる。従って、高精度な振れ補正を行うことができる。

次に、本発明は、上記の磁気駆動ユニットの製造方法であって、前記コイル取付面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、前記弾性変形部を前記第１方向に弾性変形させて、前記空芯コイルの開口部に前記コイル保持部を圧入する仮固定工程と、前記接着剤が塗布された前記コイル取付面に前記空芯コイルを当接させた状態で前記接着剤を硬化させる本固定工程と、を行うことを特徴とする。このように、本発明では、仮固定を圧入によって行うことができるので、仮固定を容易に、且つ、精度良く行うことができる。また、空芯コイルの固定に用いる接着剤は、本固定の際に用いる１種類だけでよいので、複数の接着剤を用いる必要がない。従って、空芯コイルの位置精度を容易に高めることができる。

本発明によれば、磁気駆動機構の空芯コイルを保持するコイル保持部の外周縁部に、空芯コイルの辺と交差する第１方向に弾性変形する弾性変形部が配置されており、弾性変形部を含むコイル保持部の第１方向の最大外形寸法が空芯コイルの開口幅よりも大きい。従って、弾性変形部を弾性変形させてコイル保持部の第１方向の幅を狭めることができ、コイル保持部を空芯コイルの開口部に圧入して空芯コイルの位置決めおよび仮固定を行うことができる。このようにすると、空芯コイルの位置は弾性変形部の変形に従うので、空芯コイルの位置精度を高めることができる。

本発明を適用した振れ補正機能付き光学ユニットの斜視図である。 図１の振れ補正機能付き光学ユニットの断面図である。 図１の振れ補正機能付き光学ユニットを被写体側から見た分解斜視図である。 図１の振れ補正機能付き光学ユニットを像側から見た分解斜視図である。 ホルダに空芯コイルを取り付けた状態およびホルダの斜視図である。 空芯コイルの正面図、ホルダと磁石の側面図、およびホルダと空芯コイルの断面図である。 振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法における空芯コイルの取付工程のフローチャートである。

（全体構成）
以下に、図面を参照して、本発明の磁気駆動ユニットの実施の形態である振れ補正機能付き光学ユニット１を説明する。図１は振れ補正機能付き光学ユニット１の斜視図であり、図１（ａ）は光軸Ｌ方向の被写体側から見た斜視図、図１（ｂ）は光軸Ｌ方向の像側から見た斜視図である。図２は振れ補正機能付き光学ユニット１の断面図（図１（ｂ）のＡ−Ａ断面図）である。図１、図２に示す振れ補正機能付き光学ユニット１は光学モジュール２を搭載しており、例えばカメラ付き携帯電話機、ドライブレコーダー等の光学機器や、ヘルメット、自転車、ラジコンヘリコプター等に搭載されるアクションカメラやウエアラブルカメラ等の光学機器に用いられる。このような光学機器では、撮影時に振れが発生すると、撮像画像に乱れが発生することを回避するため、振れ補正機能付き光学ユニット１に搭載した磁気駆動機構５０（図１では図示せず）を駆動して振れを補正する。

本明細書において、ＸＹＺの３軸は互いに直交する方向であり、Ｘ軸方向の一方側を＋
Ｘ、他方側を−Ｘで示し、Ｙ軸方向の一方側を＋Ｙ、他方側を−Ｙで示し、Ｚ軸方向の一方側を＋Ｚ、他方側を−Ｚで示す。Ｚ軸方向は、振れ補正機能付き光学ユニット１に搭載される光学モジュール２の光軸Ｌが延在する方向である。また、−Ｚ方向は光軸Ｌ方向の像側を向く方向、＋Ｚ方向は光軸Ｌ方向の被写体側を向く方向である。振れ補正機能付き光学ユニット１のＸ軸周りの回転は、いわゆるピッチング（縦揺れ）に相当し、Ｙ軸周りの回転は、いわゆるヨーイング（横揺れ）に相当する。また、Ｚ軸周りの回転は、いわゆるローリングに相当する。

図３、図４は振れ補正機能付き光学ユニット１の分解斜視図であり、図３は光軸Ｌ方向の被写体側から見た斜視図であり、図４は光軸Ｌ方向の像側から見た斜視図である。図２〜図４に示すように、振れ補正機能付き光学ユニット１は、可動体１０と、固定体２０と、可動体１０を固定体２０に対して揺動可能に支持するジンバル機構３０と、可動体１０を固定体２０に対して相対変位させる磁気駆動力を発生させる磁気駆動機構５０と、可動体１０と固定体２０とを接続する板状バネ７０と、フレキシブル配線基板８０、９０を備える。光学モジュール２や磁気駆動機構５０への給電は、フレキシブル配線基板８０、９０を介して行われる。フレキシブル配線基板８０、９０は、振れ補正機能付き光学ユニット１が搭載される光学機器の本体側に設けられた制御装置に電気的に接続される。制御装置には、光学モジュール２に設けられるジャイロスコープ７（図２参照）の出力が入力される。制御装置は、光学機器に振れが発生したときに振れを検出するジャイロスコープ７の出力に基づき、磁気駆動機構５０を駆動して可動体１０を揺動させ、振れ補正を行う。

（固定体）
固定体２０は、Ｚ軸方向に見た場合に略正方形の外形をした第１ケース２１０と、第１ケース２１０に対して＋Ｚ方向側から取り付けられるカバー２２０と、第１ケース２１０に対して−Ｚ方向側から取り付けられる第２ケース２５０を備える。第１ケース２１０は、磁気駆動機構５０のヨークとして用いられる。図３に示すように、第１ケース２１０は、可動体１０の周りを囲む角筒状の胴部２１１と、胴部２１１の＋Ｚ方向の端部から内側に張り出した矩形枠状の端板部２１２を備える。端板部２１２の中央には窓２１４が形成されている。胴部２１１は、＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側の各方向に位置する側板部２１６を備える。側板部２１６の光軸Ｌ方向後側の端部には矩形の切り欠き２１７が形成されている。

カバー２２０は、矩形の端板部２２１と、端板部２２１から−Ｚ方向に突出する矩形の枠状部２２２（図４参照）を備える。枠状部２２２は、端板部２２１の外形よりも一回り小さい。端板部２２１の＋Ｚ方向側の面には湾曲状に凹んだ凹部２２５が形成され、凹部２２５の中央には円形の開口部２２６が形成されている。枠状部２２２における２箇所の対角位置には、後述するジンバル機構３０の第１接点バネ保持部３１が形成されている。

第２ケース２５０は、第１部材２６０と、第２部材２７０と、ストッパー２８０を備える。第１部材２６０は、矩形の底板部２６１（図４参照）と、底板部２６１の４辺から+Ｚ方向に突出した側板部２６２を備える。ストッパー２８０は矩形枠状であり、第１部材２６０の＋Ｚ方向側に取り付けられる。ストッパー２８０は、４辺の中央において外側に突出する凸部２８１を備える。図１（ａ）に示すように、第１部材２６０と第１ケース２１０とを組み付けた際、第１部材２６０の側板部２６２と第１ケース２１０の側板部２１６の切り欠き２１７との間にストッパー２８０の凸部２８１が挟まる。従って、側板部２６２、凸部２８１、切り欠き２１７の縁を溶接等によって接合することができる。

ストッパー２８０は、可動体１０に対して−Ｚ方向側に位置し、可動体１０とＺ軸方向で重なる（図２参照）。従って、ストッパー２８０は、可動体１０の−Ｚ方向側の可動範囲を制限する。図３に示すように、ストッパー２８０の中央には開口部２８２が形成され
ている。また、第１部材２６０には、底板部２６１の中央に開口部２６３が形成されている。第２部材２７０は、第１部材２６０に対して−Ｚ方向側から取り付けられ、開口部２６３を塞いでいる。図４に示すように、第２部材２７０は、−Ｚ方向に凹む凹部２７１と、凹部２７１の外周縁に設けられた縁部２７２を備えており、縁部２７２は底板部２６１に接合される。光学モジュール２や磁気駆動機構５０に接続されたフレキシブル配線基板８０の引き回し部８１およびフレキシブル配線基板９０の引き回し部９１は、ストッパー２８０の開口部２８２、および第１部材２６０の開口部２６３を通って凹部２７１に引き回され、凹部２７１の側面に形成された配線取り出し口から外部に引き出される。

（磁気駆動機構）
磁気駆動機構５０は、固定体２０と可動体１０の間に設けられた４組の磁石５２と空芯コイル５３を備える。また、固定体２０の第１ケース２１０は磁性材料からなり、磁気駆動機構５０のヨークとして用いられる。磁石５２は、第１ケース２１０の胴部２１１に保持される。胴部２１１は＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側の各方向に位置する側板部２１６を備えており、各側板部２１６の各々の内面に磁石５２が固定されている。空芯コイル５３は、可動体１０の＋Ｘ方向側および−Ｘ方向側の側面、ならびに可動体１０の＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側の側面に保持される。従って、可動体１０と第１ケース２１０の胴部２１１との間では、＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側のいずれにおいても、磁石５２と空芯コイル５３とが対向する。

４つの磁石５２は、外面側および内面側に対する着磁パターンが同一である。４つの磁石５２は、それぞれ、側板部２１６に接する外面側と、空芯コイル５３に面する内面側が異なる極に着磁されている。また、磁石５２は光軸Ｌ方向（すなわち、Ｚ軸方向）に２分割され、内面側の磁極が分割位置を境にして異なる。つまり、磁石５２の分極線５４（図３、図６（ｂ）参照）は、磁石５２の分割位置に位置する。分極線５４はＺ軸方向と直交する。

空芯コイル５３は、光軸Ｌ方向（すなわち、Ｚ軸方向）と直交する方向に延在する２つの長辺部分５３１、５３２（図２、図６（ａ）参照）と、長辺部分５３１、５３２の端部同士を繋ぐ２つの短辺部分５３３、５３４（図６（ａ）参照）とを有する。空芯コイル５３は全体として矩形の枠状であり、内周側に開口部５３５（図６（ａ）参照）が形成されている。空芯コイル５３において、長辺部分５３１、５３２と短辺部分５３３、５３４が繋がる角部は湾曲状である。２つの長辺部分５３１、５３２は磁石５２と対向する。このため、空芯コイル５３は、長辺部分５３１、５３２が有効辺として利用される。長辺部分５３１、５３２は、磁石５２の分極線５４に対して異なる側に位置する。従って、長辺部分５３１、５３２は、異なる極と対向する。

磁気駆動機構５０は、第１磁気駆動機構５０Ｘ（図３、図４参照）および第２磁気駆動機構５０Ｙ（図３、図４参照）を備える。第１磁気駆動機構５０Ｘは可動体１０の＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側に位置する２組の磁石５２および空芯コイル５３からなり、第２磁気駆動機構５０Ｙは可動体１０の＋Ｘ方向側および−Ｘ方向側に位置する２組の磁石５２と空芯コイル５３からなる。第１磁気駆動機構５０Ｘの空芯コイル５３に通電すると、可動体１０を挟んでＹ軸方向に対向する２か所でＸ軸周りの同一方向の磁気駆動力が発生するので、Ｘ軸周りの同一方向の回転力が可動体１０に加わる。また、第２磁気駆動機構５０Ｙの空芯コイル５３に通電すると、可動体１０を挟んでＸ軸方向に対向する２か所でＹ軸周りの同一方向の磁気駆動力が発生するので、Ｙ軸周りの回転力が可動体１０に加わる。従って、第１磁気駆動機構５０Ｘによりピッチング（縦揺れ）方向の振れ補正を行うことができる。また、第２磁気駆動機構５１Ｙによりヨーイング（横揺れ）方向の振れ補正を行うことができる。

（可動体）
図２〜図４に示すように、可動体１０は、光学モジュール２と、光学モジュール２を保持するホルダ４０と、ウェイト１１を備える。光学モジュール２は、円柱状の上部モジュール２Ａと、上部モジュール２Ａの−Ｚ方向側の端部に設けられる下部モジュール２Ｂを備える。上部モジュール２Ａの＋Ｚ方向側の端部からは円柱状のレンズユニット４が突出する。ウェイト１１は、レンズユニット４の外周側に配置され、ホルダ４０に保持される。ウェイト１１は非磁性の金属からなり、可動体１０のＺ軸方向における重心位置を調節する。下部モジュール２Ｂは直方体状である。下部モジュール２Ｂは、撮像素子５が実装される第１基板６、およびジャイロスコープ７が実装される第２基板８を備える。第１基板６および第２基板８は、フレキシブル配線基板８０に接続される。

図５はホルダ４０および空芯コイル５３の斜視図であり、図５（ａ）は空芯コイル５３を取り付けたホルダ４０の斜視図、図５（ｂ）は空芯コイル５３を取り付けていないホルダ４０の斜視図である。図２〜図５に示すように、ホルダ４０は、枠部４１と、スリーブ４２と、壁部４３を備える。枠部４１は、Ｚ軸方向に見た場合の平面形状が略正方向形である。スリーブ４２は円筒形であり、枠部４１の中央に位置する。壁部４３は角筒状であり、枠部４１の外周縁に位置する。スリーブ４２および壁部４３は、枠部４１から＋Ｚ方向に突出する。図２に示すように、上部モジュール２Ａはスリーブ４２に保持される。また、ウェイト１１は、スリーブ４２の先端に形成された段部４４に取り付けられる。図２、図４に示すように、枠部４１の中央には−Ｚ方向側を向く矩形の凹部４５が形成される。凹部４５には下部モジュール２Ｂが配置される。

壁部４３は、枠部４１の＋Ｘ方向側、−Ｘ方向側、＋Ｙ方向側、−Ｙ方向側の各側端縁から＋Ｚ方向に立ち上がる４箇所の平面部分４６を備える。平面部分４６はＸ軸方向もしくはＹ軸方向に直線状に延在する。４箇所の平面部分４６は、それぞれ、磁石５２が位置する側を向くコイル取付面４７と、コイル取付面４７から突出するコイル保持部６０を備える。コイル保持部６０はコイル取付面４７から突出する凸部であり、磁石５２と対向する。空芯コイル５３はコイル保持部６０に取り付けられる。図２に示すように、コイル保持部６０は、平面部分４６からの突出寸法が空芯コイル５３の厚さよりも大きい。従って、コイル保持部６０の先端は、空芯コイル５３の開口部５３５から磁石５２の側に突出する。このため、振動等によって可動体１０がＸ軸方向もしくはＹ軸方向に変位する際、コイル保持部６０が磁石５２と当接して可動体１０の移動範囲を規制する。

枠部４１には、空芯コイル５３に対する給電用の給電部９２が取り付けられる。図３、図４に示すように、給電部９２は矩形枠状であり、フレキシブル配線基板９０の引き回し部９１に接続される。給電部９２は下部モジュール２Ｂの外周側に配置され、枠部４１に−Ｚ方向側から取り付けられる。給電部９２は、図示しない端子ピンを介して、４つの空芯コイル５３と接続される。

（ジンバル機構）
可動体１０は、支持機構であるジンバル機構３０により、光軸Ｌと交差する第１軸線Ｒ１（図３、図４参照）回りに揺動可能に支持されているとともに、光軸Ｌおよび第１軸線Ｒ１と交差する第２軸線Ｒ２（図３、図４参照）回りに揺動可能に支持されている。第１軸線Ｒ１および第２軸線Ｒ２は、固定体２０の対角方向であり、光軸Ｌと直交する。また、第１軸線Ｒ１および第２軸線Ｒ２は、互いに直交する。ジンバル機構３０は、固定体２０のカバー２２０と可動体１０のホルダ４０との間に構成されている。ジンバル機構３０は、第１軸線Ｒ１方向で離間する２か所に配置される第１揺動支持部３６と、第２軸線Ｒ２方向で離間する２か所に配置される第２揺動支持部３７と、第１揺動支持部３６および第２揺動支持部３７によって支持される可動枠３９を備える。

図３、図４に示すように、可動枠３９は概略矩形状のジンバルばねである。可動枠３９は、光軸Ｌ回りの４か所に設けられた支点部３９１と、光軸Ｌ回りで隣り合う支点部３９１を繋ぐ連結部３９２を備える。各支点部３９１の内側面には球体が溶接されている。連結部３９２は、Ｘ軸方向もしくはＹ軸方向に蛇行する形状であり、光軸Ｌに対して直交する方向に弾性変形可能である。

第１揺動支持部３６は、カバー２２０の第１軸線Ｒ１上の対角位置から−Ｚ方向に突出する２箇所の支持板部２２３、２２４に設けられた第１接点バネ保持部３１と、第１接点バネ保持部３１に保持される第１接点バネ３３を備える。第１接点バネ３３は、Ｕ字状に屈曲した金属製の板バネである。第１揺動支持部３６は、第１軸線Ｒ１方向の対角位置に設けられた支点部３９１の内周側に配置され、第１軸線Ｒ１方向に弾性変形可能な状態に取り付けられた第１接点バネ３３を介して可動枠３９を支持する。

第２揺動支持部３７は、ホルダ４０の第２軸線Ｒ２上の対角位置に設けられた第２接点バネ保持部３２と、第２接点バネ保持部３２に保持される第２接点バネ３４を備える。第２接点バネ３４は、Ｕ字状に屈曲した金属製の板バネであり、第１接点バネ３３と同一形状である。第２揺動支持部３７は、第２軸線Ｒ２方向に弾性変形可能な状態に取り付けられた第２接点バネ３４を介して可動枠３９を支持する。

ホルダ４０には、スリーブ４２と壁部４３との間に空間が設けられ、この空間にジンバル機構３０が配置される。すなわち、スリーブ４２と壁部４３との間の空間には、第２軸線Ｒ２上の対角位置に第２接点バネ保持部３２が設けられている。また、スリーブ４２と壁部４３との間の空間には、カバー２２０に設けられた枠状部２２２の第１軸線Ｒ１上の対角位置から−Ｚ方向に突出する第１接点バネ保持部３１が配置される。従って、第１揺動支持部３６および第２揺動支持部３７に可動枠３９を組み付けると、スリーブ４２と壁部４３との間の空間にジンバル機構３０が配置される。

第１接点バネ３３および第２接点バネ３４には、それぞれ、支点部３９１に溶接された球体と接触する半球状の凹面が形成される。可動枠３９は、光軸Ｌ回りの４か所において、半球状の凹面と球体とが点接触することによって支持される。従って、可動枠３９は、光軸Ｌ方向と直交する２方向（第１軸線Ｒ１方向および第２軸線Ｒ２方向）の各方向回りに回転可能な状態で支持される。

（板状バネ）
板状バネ７０は、固定体２０と可動体１０とを接続する。磁気駆動機構５０が駆動されていない静止状態にあるときの可動体１０の姿勢は、板状バネ７０によって定まる。板状バネ７０は、金属板を加工した矩形枠状のバネ部材である。板状バネ７０は、その外周部に設けられた固定体側連結部７１と、内周部に設けられた環状の可動体側連結部７２と、固定体側連結部７１と可動体側連結部７２とを接続するアーム部７３とを有する。

固定体側連結部７１は、カバー２２０から突出する枠状部２２２の端面に接着剤により固定される。その際、枠状部２２２の端面に形成された凸部と固定体側連結部７１に形成された孔とを嵌合させて固定体側連結部７１を位置決めする。これにより、板状バネ７０が固定体２０に固定される。一方、可動体側連結部７２は、スリーブ４２の外周側に装着される。図３、図５に示すように、スリーブ４２の外周面には周方向に離れた複数位置に凸部４９が形成される。凸部４９は、可動体側連結部７２に設けられた凹部と係合する。この係合箇所を接着剤で固定することにより、板状バネ７０が可動体１０に固定される。

（コイル保持部）
図６はコイル保持部６０、空芯コイル５３、および磁石５２の説明図であり、図６（ａ
）は空芯コイルの正面図、図６（ｂ）はホルダ４０および磁石５２の側面図、図６（ｃ）はホルダ４０及び空芯コイルの断面図（コイル保持部６０の断面図）である。上述したように、ホルダ４０の壁部４３には平面部分４６が設けられ、平面部分４６には磁石５２と対向するコイル取付面４７が設けられている。コイル保持部６０は、コイル取付面４７から磁石５２に向けて突出する。以下、＋Ｙ方向側を向くコイル取付面４７に設けられたコイル保持部６０の構成を説明する。なお、他の３方向を向くコイル取付面４７に設けられたコイル保持部６０についても構成は同じである。

コイル保持部６０は、Ｘ軸方向に離間して配置された一対の凸部６１、６２と、Ｚ軸方向に離間して配置された一対の弾性変形部６３、６４を備える。一対の凸部６１、６２の間には、平面部分４６を貫通する矩形の貫通部４８が形成されている。弾性変形部６３は貫通部４８の＋Ｚ方向側の縁に形成され、弾性変形部６４は貫通部４８の−Ｚ方向側の縁に形成されている。従って、弾性変形部６３、６４は、貫通部４８を挟んでＺ軸方向に対向する。凸部６１、６２と弾性変形部６３、６４は、コイル取付面４７からの突出寸法が同一である。

コイル保持部６０は、Ｚ軸方向に延在する基準線Ｚ１に対して線対称に構成されている。すなわち、凸部６１、６２は同一形状であり、基準線Ｚ１に対して線対称に配置されている。また、弾性変形部６３、６４は基準線Ｚ１上に位置し、基準線Ｚ１に対して線対称な形状である。貫通部４８に対して＋Ｘ方向側に位置する凸部６１は、＋Ｘ方向を向く側面６１１と、＋Ｚ方向および−Ｚ方向を向く側面６１２、６１３とが湾曲状に繋がっている。同様に、貫通部４８に対して−Ｘ方向側に位置する凸部６２は、−Ｘ方向を向く側面６２１と、＋Ｚ方向および−Ｚ方向を向く側面６２２、６２３とが湾曲状に繋がっている。凸部６１、６２のＺ軸方向の幅Ｈは、空芯コイル５３のＺ軸方向の開口幅Ｈ１よりも所定寸法小さい。また、凸部６１、６２のＸ軸方向の配置幅Ｗは、空芯コイル５３のＸ軸方向の開口幅Ｗ１よりも所定寸法小さい。つまり、凸部６１、６２の外周面は、全体として、空芯コイル５３の開口部５３５よりも一回り小さい。

コイル保持部６０は、凸部６１、６２のＺ軸方向の中央を通りＸ軸方向に延在する基準線Ｘ１に対して線対称に構成されている。すなわち、弾性変形部６３、６４は同一形状であり、基準線Ｘ１に対して線対称に配置されている。弾性変形部６３、６４は、それぞれ、Ｚ軸方向に所定の厚さを備えており、Ｚ軸方向の厚さ寸法の一部が貫通部４８の内周側に張り出している。また、弾性変形部６３、６４のＺ軸方向の厚さ寸法の一部は、凸部６１の側面６１２、６１３および凸部６２の側面６２２、６２３よりも外周側へ張り出している。弾性変形部６３、６４は、それぞれ、コイル保持部６０の外周側を向く側面６５を備える。弾性変形部６３の側面６５は＋Ｚ方向を向いており、側面６１２、６２２よりも＋Ｚ方向側に位置する。また、弾性変形部６４の側面６５は−Ｚ方向を向いており、側面６１３、６２３よりも−Ｚ方向側に位置する。

このように、弾性変形部６３、６４は、コイル保持部６０のＺ軸方向の外周縁部に配置されている。具体的には、コイル保持部６０のＺ軸方向の一方側（＋Ｚ方向側）の端部に弾性変形部６３が配置され、他方側（−Ｚ方向側）の端部に弾性変形部６４が配置されている。上述したように、弾性変形部６３、６４の側面６５は、それぞれ、コイル保持部６０においてＺ軸方向の一方側および他方側に最も突出した位置にある。従って、コイル保持部６０のＺ軸方向の最大外形寸法Ｈ２（最大外形幅）は、弾性変形部６３、６４のＺ軸方向の配置幅となっている。言い換えれば、コイル保持部６０のＺ軸方向の最大外形寸法Ｈ２は、弾性変形部６３の側面６５と弾性変形部６４の側面６５との距離である。ここで、弾性変形部６３、６４の側面６５は、それぞれ、コイル取付面４７に対して垂直なストレート部６５１と、ストレート部６５１の先端からコイル保持部６０の内周側へ向けて傾斜する傾斜部６５２とを備える。従って、ストレート部６５１が延在する範囲では、コイ
ル保持部６０のＺ軸方向の最大外形寸法Ｈ２は、弾性変形部６３の側面６５に設けられたストレート部６５１と、弾性変形部６４の側面６５に設けられたストレート部６５１との距離である。コイル保持部６０のＺ軸方向の最大外形寸法Ｈ２は、空芯コイル５３のＺ軸方向の開口幅Ｈ１よりも大きい寸法である。

弾性変形部６３、６４は、樹脂成型品であるホルダ４０の一部であり、Ｚ軸方向に押圧されると押圧力によってＺ軸方向に弾性変形可能である。弾性変形部６３、６４の間には貫通部４８が設けられていて隙間があるため、両弾性変形部６３、６４は互いに接近する方向に弾性変形可能である。コイル保持部６０に空芯コイル５３を取り付ける際、凸部６１、６２と共に、弾性変形部６３、６４が空芯コイル５３の開口部５３５に挿入される。図６（ｃ）に示すように、弾性変形部６３、６４の傾斜部６５２の先端間隔Ｈ３は、空芯コイル５３のＺ軸方向の開口幅Ｈ１よりも小さい。空芯コイル５３は、コイル保持部６０に取り付けられる際、テーパ状の傾斜部６５２によってガイドされる。上述したように、弾性変形部６３、６４を含むコイル保持部６０のＺ軸方向の最大外形寸法Ｈ２は空芯コイル５３のＺ軸方向の開口幅Ｈ１よりも大きいので、弾性変形部６３、６４は、空芯コイル５３の開口部５３５への挿入途中で開口部５３５の内周縁に接触する。さらに挿入を続けると、弾性変形部６３、６４は互いに接近する方向に弾性変形しながら、開口部５３５に圧入される。弾性変形部６３、６４を空芯コイル５３の開口部５３５に圧入することにより、空芯コイル５３をホルダ４０に対して仮固定することができる。

コイル保持部６０は、全体としてＸ軸方向に長い矩形であり、弾性変形部６３、６４は、コイル保持部６０のＸ軸方向の中央に位置する。弾性変形部６３、６４は、空芯コイル５３の有効辺である長辺部分５３１、５３２の中央に接触する。空芯コイル５３にコイル保持部６０が圧入される際、空芯コイル５３の長辺部分５３１、５３２が弾性変形部６３、６４によってそれぞれ逆方向に均等に押圧される。そして、圧入時の弾性変形部６３、６４の変形に従って空芯コイル５３のＺ軸方向の位置決めがなされる。図６（ｂ）に示すように、コイル保持部６０は基準線Ｘ１を基準として線対称であり、基準線Ｘ１は、磁石５２の分極線５４とＺ軸方向の位置が同一である。従って、空芯コイル５３は、長辺部分５３１、５３２が磁石５２の分極線５４に対して対称に配置されるように位置決めされる。

（空芯コイル５３の取付工程）
図７は振れ補正機能付き光学ユニット１の製造方法における空芯コイル５３の取付工程のフローチャートである。空芯コイル５３の取付工程は、以下のように行う。まず、ステップＳ１において、コイル取付面４７に接着剤を塗布する（接着剤塗布工程）。接着剤としては、例えば熱硬化型接着剤を用いる。次に、ステップ２では、空芯コイル５３の開口部５３５にコイル保持部６０を挿入し、弾性変形部６３、６４をＺ軸方向に弾性変形させて空芯コイル５３の開口部５３５に圧入する。そして、熱硬化型接着剤が塗布されたコイル取付面４７に空芯コイル５３を当接させる。（仮固定工程）。続いて、ステップＳ３では、熱硬化型接着剤を硬化させて、空芯コイル５３をコイル取付面４７に固定する（本固定工程）。

（作用効果）
以上のように、本形態の振れ補正機能付き光学ユニット１は、磁気駆動機構５０の空芯コイル５３を保持するコイル保持部６０の外周縁部に、空芯コイル５３の長辺部分５３１、５３２と交差する第１方向（Ｚ軸方向）に弾性変形する弾性変形部６３、６４が配置されている。そして、弾性変形部６３、６４を含むコイル保持部６０の第１方向（Ｚ軸方向）の最大外形寸法Ｈ２は、空芯コイル５３の第１方向（Ｚ軸方向）の開口幅Ｈ１よりも大きい。従って、コイル保持部６０を空芯コイル５３の開口部５３５に圧入することにより、空芯コイル５３の位置決めおよび仮固定を行うことができる。このようにすると、空芯
コイル５３の位置は弾性変形部６３、６４の変形に従うので、仮固定時に空芯コイル５３の位置が設計位置に対してずれるおそれが少ない。従って、空芯コイル５３の位置精度を高めることができる。

また、本形態では、空芯コイル５３の取り付け工程を行うにあたって、仮固定を弾性変形部６３、６４の圧入によって行うことができる。従って、仮固定を容易に、且つ、精度良く行うことができる。また、空芯コイル５３の固定に用いる接着剤は、本固定の際に用いる１種類だけでよい。従って、仮固定のための接着剤を必要とせず、接着剤の種類が少なくて済む。

本形態のコイル保持部６０は、第１方向（Ｚ軸方向）に対向する一対の弾性変形部６３、６４を備えており、一対の弾性変形部６３、６４のＺ軸方向の配置幅（すなわち、弾性変形部６３の側面６５と弾性変形部６４の側面６５との距離）が、空芯コイル５３のＸ軸方向の開口幅Ｈ１よりも大きい。従って、Ｚ軸方向に対向する２箇所で弾性変形部６３、６４が均等に変形するので、空芯コイル５３を均等に保持できる。

本形態のコイル保持部６０には貫通部４８が形成されている。弾性変形部６３、６４は貫通部４８の外周側に位置し、Ｚ軸方向に隙間を空けて配置されている。従って、圧入時に弾性変形部６３、６４を内周側へ容易に変形させることができるので、空芯コイル５３が圧入時に変形するおそれを少なくすることができる。

本形態では、コイル保持部６０の弾性変形部６３、６４は、コイル保持部６０のＺ軸方向の外側を向く側面６５を備え、側面６５は、コイル取付面４７に対して垂直な方向（Ｙ軸方向）に延在するストレート部６５１と、ストレート部６５１の先端からコイル保持部６０のＺ軸方向の内側へ向けて傾斜する傾斜部６５２と、を備える。このように、先端にテーパ部（傾斜部６５２）を設けたことによって、テーパ部に沿ってスムーズに空芯コイル５３を導くことができる。従って、コイル保持部６０に空芯コイル５３を取り付ける作業が容易である。

本形態のコイル保持部６０は、コイル取付面４７からの突出寸法が空芯コイル５３の厚さよりも大きいので、コイル保持部６０の先端と、対向する磁石５２によりストッパを構成できる。これにより、磁石５２と空芯コイル５３とが対向する方向に可動体１０が動くときの可動範囲を制限できるので、可動体１０の動きに追従して変形する部材が過度に変形することを防止できる。

本形態の磁石５２は、Ｚ軸方向と交差する分極線５４を境に磁極が異なる。空芯コイル５３は、分極線５４に対して＋Ｚ方向側に位置する磁極と対向する第１有効辺である長辺部分５３１、および、分極線５４に対して−Ｚ方向側に位置する磁極と対向する第２有効辺である長辺部分５３２を備える。このような構成では、コイル保持部６０によって、磁石５２の分極線５４に対する空芯コイル５３の有効辺（長辺部分５３１、５３２）の位置精度を高めることができる。従って、磁極に対する有効辺（長辺部分５３１、５３２）の位置ずれによる駆動力のロスを抑えることができる。

本形態は、光学モジュール２を保持する可動体１０と、固定体２０と、固定体２０に対して可動体１０を揺動可能に支持する支持機構であるジンバル機構３０と、を備える振れ補正機能付き光学ユニット１において、可動体１０のＸ軸方向（第２方向）の両側とＹ軸方向（第３方向）の両側の４箇所に磁石５２と空芯コイル５３に設け、これら４組の磁石５２と空芯コイル５３によって磁気駆動機構５０を構成する。コイル保持部６０は、ホルダ４０の＋Ｘ方向、−Ｘ方向、＋Ｙ方向、−Ｙ方向を向く面の４箇所に設けられる。このような振れ補正機能付き光学ユニット１の磁気駆動機構５０において、４組の磁石５２と
空芯コイル５３のそれぞれについて、空芯コイル５３を上記のようなコイル保持部６０に取り付けることにより、空芯コイル５３の位置精度を高めることができる。従って、バランス良く可動体１０を揺動させることができ、高精度な振れ補正を行うことができる。

（変形例）
（１）弾性変形部６３、６４の間に貫通部４８でなく凹部を形成してもよい。凹部があれば弾性変形部６３、６４の間に隙間が確保される。従って、弾性変形部６３、６４を内周側へ容易に変形させることができる。

（２）上記形態のコイル保持部６０は、空芯コイルの長辺部分５３１、５３２と交差する方向（Ｚ軸方向）に弾性変形する一対の弾性変形部６３、６４を備えているが、このような場合、弾性変形部を長辺部分５３１、５３２に沿って複数個設けることができる。また、弾性変形部の寸法をＸ軸方向に長い形状にすることもできる。このように、長辺方向と交差する方向を圧入時の弾性変形方向とすることにより、弾性変形部の数や形状の自由度を高めることができる。これにより、コイル形状に合わせて弾性変形部を設けることができる。その結果、空芯コイル５３の辺を均等に保持できるので、空芯コイル５３が変形するおそれを少なくすることができる。

（３）上記形態のコイル保持部６０は、Ｚ軸方向に対向する一対の弾性変形部６３、６４を備えているが、コイル保持部６０の外周縁部の少なくとも１箇所に弾性変形部が設けられていればよい。例えば、弾性変形部６３、６４のうちの一方を省略してもよい。例えば、弾性変形部６３を省略した場合、弾性変形部６４の側面６５と、凸部６１、６２の側面６１２、６２２との距離がコイル保持部のＺ軸方向の最大外形寸法となる。従って、この最大外形寸法を空芯コイル５３の開口幅Ｈ１よりも大きくすれば、長辺部分５３１を凸部６１、６２の側面６１２、６２２と当接させ、弾性変形部６４をＺ軸方向に弾性変形させて、空芯コイル５３の開口部５３５に圧入できる。従って、上記形態と同様に、圧入によって空芯コイル５３の位置決めおよび仮固定を行うことができる。また、コイル保持部６０を弾性変形部のみによって構成してもよい。

（４）上記形態のコイル保持部６０は、Ｚ軸方向に対向する一対の弾性変形部６３、６４を備えているが、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に対向する一対の弾性変形部を設けてもよい。

（他の実施形態）
上記形態は、磁気駆動機構５０を用いる振れ補正機能付き光学ユニット１に本発明を適用したものであったが、他の用途に用いられる磁気駆動ユニットに本発明を適用することもできる。例えば、磁石５２と空芯コイル５３の組は４組以外の数であってもよく、その配置も上記のような配置に限定されるものではない。例えば、上記形態では可動体１０に空芯コイル５３を配置し、固定体２０に磁石５２を配置しているが、固定体２０に上記形態と同様のコイル保持部を設けて空芯コイル５３を保持させることもできる。この場合には、ホルダ４０のＸ軸方向の両側に位置する固定体２０の部分、および、ホルダ４０のＹ軸方向の両側に位置する固定体２０の部分にコイル保持部を設ければよい。また、可動体を揺動させる磁気駆動機構ではなく、可動体を直線方向に移動させる磁気駆動機構を備える磁気駆動ユニットに本発明を適用してもよい。

１…振れ補正機能付き光学ユニット、２…光学モジュール、２Ａ…上部モジュール、２Ｂ…下部モジュール、４…レンズユニット、５…撮像素子、６…第１基板、７…ジャイロスコープ、８…第２基板、１０…可動体、１１…ウェイト、２０…固定体、３０…ジンバル機構、３１…第１接点バネ保持部、３２…第２接点バネ保持部、３３…第１接点バネ、３４…第２接点バネ、３６…第１揺動支持部、３７…第２揺動支持部、３９…可動枠、４０
…ホルダ、４１…枠部、４２…スリーブ、４３…壁部、４４…段部、４５…凹部、４６…平面部分、４７…コイル取付面、４８…貫通部、４９…凸部、５０…磁気駆動機構、５０Ｘ…第１磁気駆動機構、５０Ｙ…第２磁気駆動機構、５２…磁石、５３…空芯コイル、５４…分極線、６０…コイル保持部、６１、６２…凸部、６３、６４…弾性変形部、６５…側面、７０…板状バネ、７１…固定体側連結部、７２…可動体側連結部、７３…アーム部８０…フレキシブル配線基板、８１…引き回し部、９０…フレキシブル配線基板、９１…引き回し部、９２…給電部、２１０…第１ケース、２１１…胴部、２１２…端板部、２１４…窓、２１６…側板部、２１７…切り欠き、２２０…カバー、２２１…端板部、２２２…枠状部、２２３、２２４…支持板部、２２５…凹部、２２６…開口部、２５０…第２ケース、２６０…第１部材、２６１…底板部、２６２…側板部、２６３…開口部、２７０…第２部材、２７１…凹部、２７２…縁部、２８０…ストッパー、２８１…凸部、２８２…開口部、３９１…支点部、３９２…連結部、５３１、５３２…長辺部分、５３３、５３４…短辺部分、５３５…開口部、６１１、６１２、６１３…側面、６２１、６２２、６２３…側面、６５１…ストレート部、６５２…傾斜部、Ｈ…凸部のＺ軸方向の幅、Ｈ１…空芯コイルのＺ軸方向の開口幅、Ｈ２…コイル保持部のＺ軸方向の最大外形寸法、Ｈ３…弾性変形部の傾斜部の先端間隔、Ｌ…光軸、Ｒ１…第１軸線、Ｒ２…第２軸線、Ｗ…凸部のＸ軸方向の配置幅、Ｗ１…空芯コイルのＸ軸方向の開口幅、Ｘ１…基準線、Ｚ１…基準線

Claims (9)

1. 固定体および可動体と、前記固定体に対して前記可動体を移動させる磁気駆動機構と、を有する磁気駆動ユニットであって、
   前記磁気駆動機構は、
   前記固定体および前記可動体の一方に保持される磁石と、
   前記固定体および前記可動体の他方に設けられたコイル取付面から前記磁石に向けて突出するコイル保持部に保持される空芯コイルと、を有し、
   前記コイル保持部は、
   前記空芯コイルの開口部に挿入され、前記空芯コイルの辺に対して交差する第１方向に弾性変形可能な弾性変形部を備え、
   前記弾性変形部は、前記コイル保持部における前記第１方向の外周縁部の少なくとも１箇所に配置され、
   前記コイル保持部の前記第１方向の最大外形寸法は、前記空芯コイルの前記第１方向の開口幅よりも大きいことを特徴とする磁気駆動ユニット。
2. 前記コイル保持部は、
   前記第１方向に対向する一対の前記弾性変形部を備え、
   前記第１方向の一方側に位置する前記弾性変形部には、前記第１方向の一方側を向く側面が設けられ、前記第１方向の他方側に位置する前記弾性変形部には、前記第１方向の他方側を向く側面が設けられ、
   前記第１方向の一方側を向く側面と前記第１方向の他方側を向く側面との距離は、前記空芯コイルの前記第１方向の開口幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の磁気駆動ユニット。
3. 前記第１方向の一方側を向く側面および前記第１方向の他方側を向く側面は、それぞれ、前記コイル取付面に対して垂直な方向に延在するストレート部と、前記ストレート部の先端から前記コイル保持部の内周側へ向けて傾斜する傾斜部と、を備え、
   前記第１方向の一方側を向く前記ストレート部と前記第１方向の他方側を向く前記ストレート部との距離は、前記空芯コイルの前記第１方向の開口幅よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の磁気駆動ユニット。
4. 前記コイル保持部は、前記コイル取付面を貫通する貫通部もしくは凹部を備え、
   前記弾性変形部は、前記貫通部もしくは凹部の外周側に位置することを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の磁気駆動ユニット。
5. 前記第１方向は、前記空芯コイルの長辺と交差する方向であることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の磁気駆動ユニット。
6. 前記コイル保持部は、前記コイル取付面からの突出寸法が前記空芯コイルの厚さよりも大きいことを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の磁気駆動ユニット。
7. 前記磁石は前記第１方向と交差する分極線を境に磁極が異なり、
   前記空芯コイルは、前記分極線に対して第１方向の一方側に位置する磁極と対向する第１有効辺、および、前記分極線に対して第１方向の他方側に位置する磁極と対向する第２有効辺を備えることを特徴とする請求項１から６の何れか一項に記載の磁気駆動ユニット。
8. 前記固定体に対して前記可動体を揺動可能に支持する支持機構を有し、
   前記可動体は、光学モジュールと、前記光学モジュールを保持するホルダを備え、
   前記第１方向と交差する方向を第２方向、前記第１方向および前記第２方向と交差する方向を第３方向とするとき、
   対向する前記磁石と前記空芯コイルの組は、前記ホルダの前記第２方向の両側と、前記ホルダの前記第３方向の両側の４箇所に設けられ、
   前記コイル保持部は、前記ホルダの前記第２方向の両側を向く部分と、前記ホルダの前記第３方向の両側を向く部分の４箇所、もしくは、前記ホルダの前記第２方向の両側に位置する前記固定体の部分と、前記ホルダの前記第３方向の両側に位置する前記固定体の部分の４箇所に設けられ、
   前記４箇所に設けられた前記コイル保持部のそれぞれに前記空芯コイルが取り付けられていることを特徴とする請求項７に記載の磁気駆動ユニット。
9. 請求項１から８の何れか一項に記載の磁気駆動ユニットの製造方法であって、
   前記コイル取付面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
   前記弾性変形部を前記第１方向に弾性変形させて、前記空芯コイルの開口部に前記コイル保持部を圧入する仮固定工程と、
   前記接着剤が塗布された前記コイル取付面に前記空芯コイルを当接させた状態で前記接着剤を硬化させる本固定工程と、を行うことを特徴とする磁気駆動ユニットの製造方法。
   

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