JP6596998B2 - 光学装置及び光照射装置 - Google Patents

Description

本発明は、光学装置及び光照射装置に関する。

近年、各種光学機器、レーザプロジェクタ、レーザ加工機用光源等の高出力レーザの研究が盛んである。このような高出力レーザでは、例えば、面発光レーザアレイの光を集光して高出力化を達成している。

面発光レーザは、基板に垂直な方向に光が出射すること、集積化が容易で、かつ検査が容易である特徴から、高出力レーザの光源として適している。例えば、光源である面発光レーザアレイの光出射方向にレンズアレイからなるコリメータレンズを配置し、更に集光用レンズを配置した光学装置を実現することができる。

このような光学装置では、面発光レーザ毎にコリメートしなければならないため、コリメータレンズは面発光レーザに接近した位置に設置される。又、面発光レーザアレイとレンズアレイとの間には、高精度な位置合わせが要求され、例えば、面発光レーザアレイに設けた窪みに、レンズアレイのレンズ形成面と反対の面に設けた突起を嵌合させて位置合わせする技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、上記の技術は、高精度な位置合わせの方法としては検討の余地があり、この方法で光学部材同士が高精度で位置合わせされた光学装置を実現することは困難であった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、光学部材同士が高精度で位置合わせされた光学装置を提供することを課題とする。

本光学装置は、複数の第１の光学素子を有する第１の光学部材と、前記第１の光学部材と接合された、複数の第２の光学素子を有する第２の光学部材と、を有し、前記第１の光学部材は、前記第１の光学素子の少なくとも一部により構成された第１の凹部を備え、前記第２の光学部材は、前記第１の凹部と対向する面に、複数の前記第２の光学素子により構成された第２の凹部を備え、前記第１の光学素子は発光素子であり、前記第２の光学素子は前記発光素子から出射された光が入射するレンズであり、前記第１の凹部と前記第２の凹部とが介在部材を介して嵌合し、前記介在部材は、前記第１の凹部の内側と接する曲面と、前記第２の凹部の内側と接する曲面とを備えていることを要件とする。

開示の技術によれば、光学部材同士が高精度で位置合わせされた光学装置を提供できる。

第１の実施の形態に係る光学装置を例示する図である。 光学装置を構成する面発光レーザアレイを例示する図である。 光学装置を構成するレンズアレイを例示する図である。 各面発光レーザと各レンズとの位置関係を例示する図である。 図１の領域１ｅの拡大図である。 領域１ｅ中の嵌合構造のみを示した拡大図である。 従来の光学装置の問題点を説明する図（その１）である。 従来の光学装置の問題点を説明する図（その２）である。 第２の実施の形態に係る嵌合構造が設けられる領域の拡大平面図である。 第３の実施の形態に係る光学装置を例示する図である。 第４の実施の形態に係る光学装置を例示する図である。 第５の実施の形態に係る光学装置を例示する図である。 第６の実施の形態に係るレーザ加工機の主要部分を例示する図である。

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

本実施の形態に係る光学装置は、複数の第１の光学素子を有する第１の光学部材と、複数の第２の光学素子を有する第２の光学部材とを、所定の嵌合構造により嵌合するものである。ここで、所定の嵌合構造とは、第１の光学素子の一部をなす第１の嵌合部と、複数の第２の光学素子により構成された第２の嵌合部とが、球体を介して嵌合する構造である。

以下の各実施の形態では、複数の第１の光学素子を有する第１の光学部材が複数の面発光レーザを有する面発光レーザアレイであり、複数の第２の光学素子を有する第２の光学部材が複数の凸状のレンズを有するレンズアレイである場合を例にして説明する。しかし、上記の形態を満たす嵌合構造を備えていれば、第１の光学素子や第１の光学部材、第２の光学素子や第２の光学部材は如何なるものでも構わない。

例えば、複数の第２の光学素子を有する第２の光学部材が複数の面発光レーザを有する面発光レーザアレイであり、複数の第１の光学素子を有する第１の光学部材が面発光レーザと対向する面に複数の凸状のレンズを有するレンズアレイであってもよい。或いは、その他の構成であってもよい。

〈第１の実施の形態〉
［光学装置の全体構成］
図１は第１の実施の形態に係る光学装置を例示する図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図２は、光学装置を構成する面発光レーザアレイを例示する図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図３は、光学装置を構成するレンズアレイを例示する図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。図４は、各面発光レーザと各レンズとの位置関係を例示する図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。

図１に示すように、光学装置１は、面発光レーザアレイ１０と、レンズアレイ２０と、固定材３０とを有する。光学装置１において、面発光レーザアレイ１０とレンズアレイ２０とは、３箇所の領域１ｅに設けられた嵌合構造により位置合わせされ、固定材３０を介して接合されている。固定材３０は、例えば、面発光レーザアレイ１０とレンズアレイ２０との対向する面間の４隅に配置することができる。なお、領域１ｅに設けられた嵌合構造については後述する。

図１及び図２に示すように、面発光レーザアレイ１０は、発光領域１０ｅを有しており、発光領域１０ｅには、例えば平面形状（出射面の法線方向から視た形状）が数１０μｍ角程度である複数の面発光レーザ１１が２次元に規則的に配列されている。複数の面発光レーザ１１は、例えば、六方細密格子状に配置することができる。面発光レーザ１１は、例えば、ＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting Laser）である。

面発光レーザ１１は、レンズアレイ２０側に突起するメサ構造であり、レンズアレイ２０側に開口する凹部１１２を有している。面発光レーザ１１は、半導体層と、半導体層より上に積層されて面発光レーザ１１のレンズアレイ２０と対向する面の周辺部に形成された金属層とを含んでおり、この金属層により凹部１１２の枠状の側壁が形成されている。凹部１１２の底面が各面発光レーザ１１の出射面となり、出射面から略垂直方向にレーザ光が出射される。

図１及び図３に示すように、レンズアレイ２０は、コリメート領域２０ｅを有しており、コリメート領域２０ｅには複数の凸状のレンズ２１が２次元に規則的に配列されている。複数のレンズ２１は、例えば、六方細密格子状に配置することができる。

図４に示すように、各面発光レーザ１１と各レンズ２１とは、夫々の光学中心が一致するように位置合わせされている（図４（ｂ）の一点鎖線）。そのため、各面発光レーザ１１から出射されたレーザ光Ｌ_１（拡散光）は、対応する位置に配置されたレンズ２１に入射してコリメートされレーザ光Ｌ_２（平行光）となる。

［嵌合構造］
図１、図５、及び図６を参照しながら、本実施の形態に係る嵌合構造について説明する。図５は、図１の領域１ｅの拡大図である。又、図６は、領域１ｅ中の嵌合構造のみを示した拡大図であり、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。

図１に示すように、本実施の形態に係る嵌合構造は、例えば、発光領域１０ｅ内の外周側に略等間隔で配置された３つの領域１ｅに設けることができる。

図５及び図６に示すように、本実施の形態に係る嵌合構造では、面発光レーザ１１の凹部１１２上に介在部材である球体４０が設置されている。球体４０は、凹部１１２に位置決め良く設置できるため、面発光レーザ１１の発光中心と球体４０の中心とは一致している（図６（ｂ）の一点鎖線）。

ここで、球体４０が設置される面発光レーザ１１は、嵌合部となる部分であって発光する必要はない。そのため、球体４０が設置される面発光レーザ１１は、発光部となる面発光レーザ１１と完全に同じ構造としなくても構わないが、発光部形成プロセスで同時に形成することが可能であるため、便宜上、『面発光レーザ』と称する。

ところで、従来技術では、面発光レーザの発光部と位置合わせ用の窪みとは別プロセスで形成される。そのため、面発光レーザの発光部と位置合わせ用の窪みとの位置精度が十分に確保できず、高精度な位置合わせを行うことが困難である。

これに対して、本実施の形態では、面発光レーザ１１の凹部１１２が位置合わせに用いる嵌合部となるので、嵌合部となる面発光レーザ１１を、発光部となる面発光レーザ１１と同一プロセスで形成することが容易である。嵌合部となる面発光レーザ１１と発光部となる面発光レーザ１１とを同一プロセスで形成した場合、異なるプロセスで形成した場合と比べて両者の位置精度を向上することができる。

嵌合部となる面発光レーザ１１と、発光部となる面発光レーザ１１とは、例えば、積層した半導体層をエッチングしてメサ構造を形成し、メサ構造上の所定部に蒸着等により電極となる金属層を形成するプロセスにより作製できる。

但し、嵌合部となる面発光レーザ１１を、発光部となる面発光レーザ１１と十分な位置精度で形成可能であれば、両者を同一プロセスで形成することは必須ではない。

本実施の形態に係る嵌合構造では、レンズアレイ２０を構成するレンズ２１のうち、３つのレンズ２１の配置を変えている。具体的には、３つのレンズ２１で構成された隙間からなる凹部２１２の中心が嵌合部となる面発光レーザ１１の凹部１１２の中心と一致したときに、各面発光レーザ１１と各レンズ２１の夫々の光学中心が一致するように、３つの凸状のレンズ２１を配置している。

そして、レンズアレイ２０は、球体４０上に設置され、凹部２１２を構成する３つのレンズ２１の表面で球体４０と接触する位置で位置合わせされている。このように、球体４０が凹部２１２を構成する３つの凸状のレンズ２１の表面と接し、３点の接触点４０１で支えられるので、レンズアレイ２０を安定して位置合わせできる。

ここで、球体４０と接する３つのレンズ２１は、嵌合部となる部分であってレンズとして機能する必要はない。そのため、球体４０と接する３つのレンズ２１は、レンズとして機能するレンズ２１と完全に同じ形状としなくても構わない。

ところで、従来技術では、レンズアレイのレンズの形成される面とは反対面に、位置合わせに用いる突起が形成されている。この場合、突起とレンズとを正確に位置決めするために、両面の加工位置を高精度に合わせる必要があるが、その精度には限界があった。又、製造コストが大きくなってしまうという課題もあった。

これに対して、本実施の形態では、レンズアレイ２０のレンズ２１の形成される面と同一面に、位置合わせに用いる嵌合部となる３つのレンズ２１を形成している。そのため、従来技術と比較して高精度の位置合わせを容易に行うことができ、製造コストを抑制することもできる。

なお、嵌合部となる３つのレンズ２１は、嵌合部ではないレンズ２１と同一プロセスで形成することが好ましく、この場合、異なるプロセスで形成した場合と比べて両者の位置精度を向上することができる。嵌合部となるレンズ２１と、嵌合部ではないレンズ２１とは、例えば、金型を用いた成型加工や、レーザ等を用いた研削加工により作製できる。或いは、フォトリソグラフィの技術を用いて作製できる。

このように、本実施の形態では、面発光レーザ１１の有する凹部１１２（第１の嵌合部）と、複数のレンズ２１により構成された凹部２１２（第２の嵌合部）との間に介在部材である球体４０を配置した嵌合構造を３箇所の領域１ｅ内に１つずつ設けている。

これにより、面発光レーザ１１に形成された凹部１１２を位置決め基準に使用できると共に、球体４０に対し３つのレンズ２１が接触するので、各面発光レーザ１１と各レンズ２１とを、精度良く位置合わせすることが可能となる。但し、凹部１１２と凹部２１２との間に配置される介在部材は、各面発光レーザ１１と各レンズ２１とを精度良く位置合わせすることが可能であれば、球体以外の形状であってもよい。

又、嵌合部となる面発光レーザ１１が発光部となる面発光レーザ１１と同一プロセスで形成されるか、或いは、嵌合部となる凹部２１２を構成する３つのレンズ２１が嵌合部ではないレンズ２１と同一プロセスで形成されることが好ましい。この場合、各面発光レーザ１１と各レンズ２１とを、更に精度良く位置合わせすることが可能となる。

又、嵌合部となる面発光レーザ１１が発光部となる面発光レーザ１１と同一プロセスで形成され、かつ、嵌合部となる凹部２１２を構成する３つのレンズ２１が嵌合部ではないレンズ２１と同一プロセスで形成されることが特に好ましい。この場合、各面発光レーザ１１と各レンズ２１とを、特に精度良く位置合わせすることが可能となる。

面発光レーザアレイ１０上にレンズアレイ２０を位置合わせするには、まず、面発光レーザアレイ１０の所定位置（図１参照）に、未硬化の固定材３０を配置する。次に、３箇所の領域１ｅ（図１参照）内の嵌合部となる凹部１１２上に夫々球体４０を配置する。そして、嵌合部となるレンズアレイ２０の３箇所の凹部２１２の中心付近を各球体４０上に配置する。

このとき、レンズアレイ２０は、凹部２１２を構成する３つのレンズ２１の表面で球体４０と接触する位置で位置合わせされる。この状態で、固定材３０を硬化させることにより、面発光レーザアレイ１０とレンズアレイ２０とが精度よく位置合わせされた状態で固定される。

なお、嵌合構造は３箇所なので、３箇所に配置された凹部２１２を構成する３つのレンズ２１の表面と球体４０とが確実に接触するためには、球体４０は金属やセラミックス等の剛体ではなく、樹脂等の多少変形する材料であることが望ましい。球体４０の材料としては、例えば、ナイロン（登録商標）等を用いることができる。球体４０の材料として、ポリプロピレン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリアセタール、アクリル、エポキシ、フッ素樹脂等を用いても構わない。

又、固定材３０は柔らかいもので応力吸収できるものでよく、レンズ２１と球体４０と面発光レーザ１１との接触が維持できるよう、多少硬化収縮するタイプであることが望ましい。固定材３０の材料としては、例えば、弾性エポキシ樹脂を用いることができる。固定材３０の材料として、シリコン変性エポキシ樹脂、シリコン系樹脂、紫外線硬化樹脂等を用いても構わない。

ところで、従来の光学装置では、所定の嵌合構造を有していなく、図７に示すように、固定材３０のみにより、面発光レーザアレイ１０とレンズアレイ２０とを固定する場合があった。前述のように、面発光レーザアレイ１０とレンズアレイ２０との間には、高精度な位置合わせが要求されるため、図７の構造の場合には、固定材３０として、はんだ等の比較的固い材料を用いる必要があった。

そのため、図７に示すように、固定材３０で固定するため固定時の温度から常温に戻る際に、面発光レーザアレイ１０とレンズアレイ２０との熱膨張率の違いから、レンズアレイ２０が撓み、固定材３０の部分に応力が発生する。

なお、図７中の矢印の長さは、熱による収縮の大きさを示している。例えば、面発光レーザアレイ１０がＧａＡｓ基板からなり、レンズアレイ２０が石英基板からなる場合には、図７の矢印に示すように、面発光レーザアレイ１０の方が、収縮が大きくなる。

応力は常にかかっているため、接合時に常温に戻したときや経時的に固定材３０やその近傍でヒビ割れや破壊が起きるおそれがある。図８にはそのモードを示している。図８（ａ）は面発光レーザアレイ１０にヒビ割れ９１が入った様子、図８（ｂ）はレンズアレイ２０にヒビ割れ９２が入った様子、図８（ｃ）は固定材３０にヒビ割れ９３が入った様子を表わしている。

固定材３０として、応力を緩和できる柔らかい材料を使用すればヒビ割れや破壊を防ぐことができるが、柔らかい材料は変形して動きやすいため、所定の嵌合構造を有しない従来の構造では、そのまま材料を変えるだけでは高精度な位置合わせができない。

これに対して、本実施の形態では、凹部１１２と凹部２１２との間に球体４０を配置した嵌合構造を３箇所の領域１ｅ内に設けることで、各面発光レーザ１１と各レンズ２１とを精度良く位置合わせすることを可能としている。そのため、固定材３０は位置合わせには寄与しないので、固定材３０として、はんだ等の比較的固い材料を用いる必要がない。すなわち、固定材３０として、応力を緩和できる柔らかい材料を使用可能となり、面発光レーザアレイ１０とレンズアレイ２０との熱膨張率の違いに起因する固定材３０やその近傍におけるヒビ割れ等の発生を防止できる。

〈第２の実施の形態〉
第２の実施の形態では、第１の実施の形態の変形例を示す。なお、第２の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。

図９は、第２の実施の形態に係る嵌合構造が設けられる領域の拡大平面図である。図９に示すように、第２の実施の形態に係る嵌合構造では、レンズアレイ２０を構成するレンズ２１の配置は変えずに、面発光レーザアレイ１０を構成する面発光レーザ１１の一部の配置を変えている。

具体的には、規則正しく配列されているレンズ２１のうち所定の３つの凸状のレンズ２１の隙間により凹部２１２を構成する。そして、凹部２１２の中心が嵌合部となる面発光レーザ１１の凹部１１２の中心と一致したときに、各面発光レーザ１１と各レンズ２１の夫々の光学中心が一致するように（図４参照）、嵌合部となる面発光レーザ１１を配置している。

そして、第１の実施の形態と同様に、レンズアレイ２０は、球体４０上に設置され、凹部２１２を構成する３つのレンズ２１の表面で球体４０と接触する位置で位置合わせされている。このように、球体４０が凹部２１２を構成する３つの凸状のレンズ２１の表面と接し、３点の接触点４０１で支えられるので、レンズアレイ２０を安定して位置合わせできる。

このように、凹部１１２と凹部２１２との間に球体４０を配置した嵌合構造を実現する場合に、レンズアレイ２０を構成するレンズ２１の配置は変えずに、面発光レーザアレイ１０を構成する面発光レーザ１１の一部の配置を変えてもよい。この場合も、第１の実施の形態のように、面発光レーザアレイ１０を構成する面発光レーザ１１の配置は変えずに、レンズアレイ２０を構成するレンズ２１の一部の配置を変えた場合と同様の効果を奏する。

〈第３の実施の形態〉
第３の実施の形態では、第１の実施の形態とは異なる嵌合構造の例を示す。なお、第３の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。

図１０は第３の実施の形態に係る光学装置を例示する図であり、図１０（ａ）は平面図、図１０（ｂ）は嵌合構造が設けられる領域の拡大平面図である。図１０に示すように、光学装置２では、嵌合構造が配置される領域２ｅが、発光領域１０ｅ及びコリメート領域２０ｅの外側に略等間隔で３箇所設けられている点が、光学装置１（図１（ａ）等参照）と相違する。嵌合構造自体は、光学装置１の嵌合構造（図６等参照）と同一である。

このように、嵌合構造が配置される領域２ｅを、発光領域１０ｅ及びコリメート領域２０ｅの外側に設けることで、発光領域１０ｅ内の面発光レーザ１１やコリメート領域２０ｅ内のレンズ２１の規則正しい配列を乱すことがない。その結果、本来の発光量を減らすことなく、精度の良い位置合わせが可能となる。

〈第４の実施の形態〉
第４の実施の形態では、第１の実施の形態とは異なる嵌合構造の他の例を示す。なお、第４の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。

図１１は第４の実施の形態に係る光学装置を例示する図であり、図１１（ａ）は平面図、図１１（ｂ）は嵌合構造が設けられる領域の拡大平面図である。図１１に示すように、光学装置３では、嵌合構造が配置される領域３ｅ及び３ｆが設けられている。

領域３ｅ及び３ｆは、例えば、領域３ｅと領域３ｆとを結ぶ線が発光領域１０ｅ及びコリメート領域２０ｅの略中心を通るように、発光領域１０ｅ及びコリメート領域２０ｅの外側に互いに対向して設けることができる。領域３ｅ及び３ｆは、隣接する固定材３０の中央付近に配置することが好ましい。

領域３ｅに配置される嵌合構造は、光学装置１の嵌合構造（図６等参照）と同一である。一方、領域３ｆに配置される嵌合構造は、光学装置１の嵌合構造（図６等参照）とは異なる新たな嵌合構造である。図１１（ｂ）に示すように、領域３ｆに配置される嵌合構造では、面発光レーザ１１の凹部１１２上に介在部材である球体４１を設け、レンズアレイ２０側にシリンドリカルレンズ２２を設けている。球体４１の形状は、球体４０と同様とすることができる。

球体４１とシリンドリカルレンズ２２とは、２つのシリンドリカルレンズ２２で構成された細長状の隙間からなる凹部２２２の中心線と球体４１の中心とが一致するように、２点の接触点４１１で接触している。又、凹部２２２の中心線は、面発光レーザ１１の凹部１１２の中心と一致している。なお、図１１（ｂ）のＦ−Ｆ線に沿う断面は、図６（ｂ）と同様である。ここで、球体４１と接する２つのシリンドリカルレンズ２２は、嵌合部となる部分であってレンズとして機能する必要はない。

このように、球体４１が凹部２２２を構成する２つのシリンドリカルレンズ２２の表面と接し、２点の接触点４１１で支えられるので、レンズアレイ２０を安定して位置合わせできる。但し、凹部１１２と凹部２２２との間に配置される介在部材は、各面発光レーザ１１と各レンズ２１とを精度良く位置合わせすることが可能であれば、球体以外の形状であってもよい。なお、固定は、光学装置１と同様に固定材３０で行う。

なお、領域３ｅの嵌合構造では、凹部２１２を構成する３つのレンズ２１の表面と球体４０とが確実に接触するためには、球体４０は金属やセラミックス等の剛体ではなく、樹脂等の多少変形する材料であることが望ましい。球体４０の具体的な材料は、既に例示した通りである。

これに対して、領域３ｆの嵌合構造では、凹部２２２を構成する２つのシリンドリカルレンズ２２の表面と球体４１とが確実に接触できるので、球体４１は金属やセラミックス等の剛体で、変形しない材料であることが望ましい。球体４１の材料としては、例えば、ジルコニアを用いることができる。球体４１の材料として、石英、ソーダガラス、光学ガラス（ＢＫ７）、アルミナ、窒化珪素、炭化珪素、鋼、銅、黄銅、アルミニウム、チタン等を用いても構わない。

〈第５の実施の形態〉
第５の実施の形態では、第４の実施の形態の変形例を示す。なお、第５の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。

図１２は第５の実施の形態に係る光学装置を例示する図であり、図１２（ａ）は平面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）の領域４ｇの部分拡大断面図である。図１２に示すように、光学装置４では、嵌合構造が配置される領域４ｅ及び４ｆが設けられている。

領域４ｅ及び４ｆは、例えば、領域４ｅと領域４ｆとを結ぶ線が発光領域１０ｅ及びコリメート領域２０ｅの略中心を通るように、発光領域１０ｅ及びコリメート領域２０ｅの外側に互いに対向して設けることができる。領域４ｅ及び４ｆは、隣接する固定材３０の中央付近に配置することが好ましい。

領域４ｅに配置される嵌合構造は光学装置３の領域３ｅに配置される嵌合構造と同一であり、領域４ｆに配置される嵌合構造は光学装置３の領域３ｆに配置される嵌合構造と同一である。

又、２箇所の領域４ｇが設けられている。２箇所の領域４ｇは、例えば、２箇所の領域４ｇを結ぶ線が発光領域１０ｅ及びコリメート領域２０ｅの略中心を通り、かつ領域４ｅと領域４ｆとを結ぶ線と略直交するように、発光領域１０ｅ及びコリメート領域２０ｅの外側に互いに対向して設けることができる。領域４ｇは、隣接する固定材３０の中央付近に配置することが好ましい。

但し、２箇所の領域４ｇには嵌合構造は配置されず、図１２（ｂ）に示すように、スペーサとなる球体４２が配置されている。球体４２は球体４０及び４１よりも直径が僅かに大きく、面発光レーザアレイ１０の面発光レーザ１１が形成されていない領域と、レンズアレイ２０のレンズ２１が形成されていない領域と、２点の接触点４２１で接触している。

面発光レーザアレイ１０の面発光レーザ１１が形成されていない領域の表面と、レンズアレイ２０のレンズ２１が形成されていない領域の表面とが確実に接触するためには、球体４２は球体４０と同様に、樹脂等の多少変形する材料であることが望ましい。

このように、２箇所の領域４ｇにスペーサとなる球体４２を配置することにより、レンズアレイ２０の姿勢（出射方向に対する傾き）を安定させることができる。但し、第２の介在部材である球体４２は、レンズアレイ２０の姿勢を安定させることが可能であれば、介在部材である球体４０及び４１と同様に、球体以外の形状であってもよい。この場合、第２の介在部材の高さが介在部材の高さよりも高ければよい。

〈第６の実施の形態〉
第６の実施の形態では、発光素子として面発光レーザを備えた光学装置を用いたレーザ加工機の例を示す。なお、第６の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。

図１３は、第６の実施の形態に係るレーザ加工機の主要部分を例示する図である。図１３に示すように、レーザ加工機３００は、大略すると、光源３１０と、光学系３２０と、テーブル３３０と、テーブル駆動装置３４０と、操作パネル３５０と、制御装置３６０とを有する。テーブル３３０上には、加工する対象物Ｐが載置される。

光源３１０は、例えば、光学装置１、２、３、４の何れかを含む構成とすることができ、制御装置３６０の指示に基づいてレーザ光Ｌを射出する。この場合、面発光レーザアレイ１０が射出するレーザ光がレンズアレイ２０によりコリメートされて光源３１０からレーザ光Ｌとして射出される。

光学系３２０は、光源３１０から射出されたレーザ光Ｌの光路上に配置され、対象物Ｐに光を導光する。光学系３２０により、レーザ光Ｌは、テーブル３３０上に載置された対象物Ｐの表面近傍で集光される。テーブル駆動装置３４０は、制御装置３６０の指示に基づいて、テーブル３３０をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向に移動させることができる。

操作パネル３５０は、作業者が各種設定を行うための複数のキー、及び各種情報を表示するための表示器を有している。制御装置３６０は、操作パネル３５０からの各種設定情報に基づいて、光源３１０及びテーブル駆動装置３４０を制御することができる。

レーザ加工機３００は、光源３１０として光学装置１等を備えている。光学装置１では、面発光レーザアレイ１０とレンズアレイ２０とが所定の嵌合構造により高精度で位置合わせされている。そのため、面発光レーザアレイ１０が射出するレーザ光はレンズアレイ２０に確実に入射して集光され、光学装置１は高出力である。その結果、レーザ加工機３００は、加工処理（例えば、切断）を効率的に行うことができる。なお、レーザ加工機３００は、複数の光源３１０を有してもよい。

以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。

例えば、上記の各実施の形態では、固定材３０を４箇所に配置する例を示したが、固定材３０は３箇所に配置してもよいし、５箇所以上に配置してもよい。

又、光学装置１等は、レーザ加工機以外のレーザ光を利用する光照射装置にも適用可能である。このような光照射装置としては、例えば、内燃機関内に集光するレーザ点火装置や、加熱対象物に集光するレーザアニール装置、スクリーン等に画像を表示する表示装置等を挙げることができる。

１、２、３、４ 光学装置
１ｅ、２ｅ、３ｅ、３ｆ、４ｅ、４ｆ、４ｇ 領域
１０ 面発光レーザアレイ
１０ｅ 発光領域
１１ 面発光レーザ
２０ レンズアレイ
２０ｅ コリメート領域
２１ レンズ
３０ 固定材
４０、４１、４２ 球体
１１２、２１２、２２２ 凹部
３００ レーザ加工機
３１０ 光源
３２０ 光学系
３３０ テーブル
３４０ テーブル駆動装置
３５０ 操作パネル
３６０ 制御装置
４０１、４１１、４２１ 接触点

特開２００４−２８６８３５号公報

Claims (9)

1. 複数の第１の光学素子を有する第１の光学部材と、
   前記第１の光学部材と接合された、複数の第２の光学素子を有する第２の光学部材と、を有し、
   前記第１の光学部材は、前記第１の光学素子の少なくとも一部により構成された第１の凹部を備え、
   前記第２の光学部材は、前記第１の凹部と対向する面に、複数の前記第２の光学素子により構成された第２の凹部を備え、
   前記第１の光学素子は発光素子であり、前記第２の光学素子は前記発光素子から出射された光が入射するレンズであり、
   前記第１の凹部と前記第２の凹部とが介在部材を介して嵌合し、
   前記介在部材は、前記第１の凹部の内側と接する曲面と、前記第２の凹部の内側と接する曲面とを備えている、光学装置。
2. 前記複数の第１の光学素子を有する第１の光学部材は、複数の面発光レーザを有する面発光レーザアレイであり、
   前記複数の第２の光学素子を有する第２の光学部材は、前記面発光レーザと対向する面に、複数の凸状のレンズを有するレンズアレイである、請求項１に記載の光学装置。
3. 前記面発光レーザは、半導体層と、前記半導体層より上に積層され、前記面発光レーザの前記レンズアレイと対向する面の周辺部に形成された金属層と、を含み、
   前記第１の凹部は、前記金属層により形成されている、請求項２に記載の光学装置。
4. 前記第２の凹部は、３つの凸状のレンズにより構成された凹部を含み、
   前記３つの凸状のレンズが夫々前記介在部材と接触している、請求項１乃至３の何れか一項に記載の光学装置。
5. 前記第２の凹部は、２つのシリンドリカルレンズにより構成された凹部を含み、
   前記２つのシリンドリカルレンズが夫々前記介在部材と接触している、請求項１乃至４の何れか一項に記載の光学装置。
6. 前記第１の光学素子が面発光レーザアレイであり、
   前記第１の凹部は、前記面発光レーザアレイの発光領域の外側に配置されている、請求項１乃至５の何れか一項に記載の光学装置。
7. 前記第１の光学部材と前記第２の光学部材の互いに対向する面に接する第２の介在部材が配置されている、請求項１乃至６の何れか一項に記載の光学装置。
8. 前記第２の介在部材の高さは前記介在部材の高さよりも高い、請求項７に記載の光学装置。
9. 請求項１乃至８の何れか一項に記載の光学装置を含み、前記第１の光学素子を含む光源と、
   前記光源から射出された光の光路上に配置され、対象物に光を導光する光学系と、を含む光照射装置。

Images